JP6689543B2 - 被加工物のアライメント方法 - Google Patents
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Landscapes
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
11a 表面
11b 裏面
11c ノッチ(切り欠き)
13 デバイス
2 加工装置(切削装置)
4 基台
4a,4b,4c 開口
6 カセット支持台
8 カセット
10 X軸移動テーブル
12 防塵防滴カバー
14 チャックテーブル
14a 保持面
14b 吸引路
16 バルブ
18 吸引源
20 第1搬送ユニット
22 第1支持構造
24 第1レール
26 第1昇降ユニット
28 第2搬送ユニット
30 第2レール
32 第2昇降ユニット
34 第3搬送ユニット
36 第2支持構造
38 移動ユニット
40 加工ユニット(切削ユニット)
42 切削ブレード
44 撮像ユニット
46 洗浄ユニット
48 制御ユニット
Claims (2)
- 板状の被加工物を保持し所定の角度の範囲で回転するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、該チャックテーブルに被加工物を搬入し、該チャックテーブルから被加工物を搬出する搬送ユニットと、該チャックテーブルに保持された被加工物を撮像する撮像ユニットと、を備える加工装置を用いる被加工物のアライメント方法であって、
向きを示す目印が設けられた被加工物を該チャックテーブルに搬入する搬入ステップと、
該搬入ステップを実施した後、該チャックテーブルを該所定の角度の範囲で第1方向に回転させつつ該撮像ユニットで被加工物を撮像し、該目印を探索する探索ステップと、
該探索ステップで該目印を検出できなかった場合に、該搬送ユニットで被加工物を該チャックテーブルから搬出して退避させ、該チャックテーブルを該第1方向とは反対の第2方向に回転させた後、被加工物を再び該チャックテーブルに搬入する置き直しステップと、
該探索ステップで検出した該目印に基づいて該チャックテーブルを回転させ、被加工物の向きを所定の方向に合わせる向き調整ステップと、を備え、
該目印を検出できるまで該探索ステップと該置き直しステップとを繰り返すことを特徴とする被加工物のアライメント方法。 - 該目印は、被加工物の外周に形成された結晶方位を示す切り欠きであることを特徴とする請求項1に記載の被加工物のアライメント方法。
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