JP2014042959A - 研削装置 - Google Patents
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- 238000000227 grinding Methods 0.000 title claims abstract description 181
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 15
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 3
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
【課題】フットプリントの小型化を可能とする研削装置を提供する。
【解決手段】粗研削ホイール(第一ホイール)36と、粗研削ホイール36よりも大径の仕上げ研削ホイール(第二ホイール)37とを同心状に配設して二重ホイール35を構成する。粗研削ホイール36の直径D1を被加工物1の半径rと略同じ長さ、仕上げ研削ホイール37の半径R2と粗研削ホイール36の半径R1との差を被加工物1の半径r以上とする。回転させた二重ホイール35を被加工物1に向けて下降させ被加工面1aを研削するにあたり、粗研削ホイール36での粗研削、仕上げ研削ホイール37での仕上げ研削のいずれの工程でも、被加工物1の中心に研削ホイール36,37の外周を位置付けて被加工面1aの全面を研削する。
【選択図】図4
【解決手段】粗研削ホイール(第一ホイール)36と、粗研削ホイール36よりも大径の仕上げ研削ホイール(第二ホイール)37とを同心状に配設して二重ホイール35を構成する。粗研削ホイール36の直径D1を被加工物1の半径rと略同じ長さ、仕上げ研削ホイール37の半径R2と粗研削ホイール36の半径R1との差を被加工物1の半径r以上とする。回転させた二重ホイール35を被加工物1に向けて下降させ被加工面1aを研削するにあたり、粗研削ホイール36での粗研削、仕上げ研削ホイール37での仕上げ研削のいずれの工程でも、被加工物1の中心に研削ホイール36,37の外周を位置付けて被加工面1aの全面を研削する。
【選択図】図4
Description
本発明は、例えば半導体ウェーハ等の板状物を被加工物として研削する研削装置に関する。
半導体デバイスの製造工程では、シリコンやガリウムヒ素等の半導体材料からなるウェーハの表面に格子状の分割予定ラインが設定され、この分割予定ラインで囲まれた多数の矩形状領域に、ICやLSI等の電子回路を有するデバイスが形成される。そしてこのウェーハは、裏面が研削されて設定厚さに薄化されるなどの所定の工程を経てから、分割予定ラインに沿って切断されることにより、多数のチップ状のデバイスに分割される。このようにして得られたデバイスは、樹脂やセラミックでパッケージングされ、各種電子機器に実装される。
ウェーハの研削装置としては、保持テーブル上に被加工面を上方に露出した状態でウェーハを保持し、保持テーブルの上方に配設した研削ホイールを回転させながら、研削ホイールが有する研削砥石をウェーハに押し付けて研削する形式のものが一般的である。ウェーハを研削するにあたっては、はじめに粗研削を行い、引き続き仕上げ研削を行うと効率的な研削がなされ、これを実現するために、粗研削用と仕上げ研削用の研削ホイールが並列して配設され、これら研削ホイールに対しウェーハが回転するターンテーブルによって順に搬送される構成のものが知られている(例えば特許文献1)。
ところで、近年では半導体ウェーハの大型化が進んでおり、例えばφ(直径)450mmといったウェーハの開発が進んでいる。ウェーハの大型化に伴って、ウェーハを加工する各種装置も大型化することは否めないが、フットプリントをできるだけ小型化することが切望されており、それは上記のウェーハ研削装置も同様である。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その主たる課題は、フットプリントの小型化を可能とする研削装置を提供することにある。
本発明の研削装置は、被加工物を回転可能に保持する保持面を有した保持テーブルと該保持テーブルで保持された被加工物を研削する研削手段とを備えた研削装置であって、前記研削手段は、被加工物の半径と略同じ長さの直径を有した第一ホイールと、該第一ホイールの外周側に同心円状に配設された該第一ホイールより大径の第二ホイールと、を含み、該第二ホイールの半径と該第一ホイールの半径との差が被加工物の半径以上である二重ホイールと、該二重ホイールが装着されるスピンドルと、を有し、該研削手段を前記保持テーブルの前記保持面に対して鉛直方向で相対移動させる鉛直移動手段と、前記第一ホイールの外周と前記第二ホイールの外周にそれぞれ前記保持テーブルに保持された被加工物の中心が位置付けられるように該保持テーブルを位置付ける位置付け手段と、を備えることを特徴とする。
本発明によれば、保持テーブルに保持された被加工物の中心を、位置付け手段により第一ホイールの外周に位置付けた際、および被加工物の中心を第二ホイールの外周に位置付けた際のそれぞれの状態において、被加工物を保持テーブルとともに回転させ、研削手段を鉛直移動手段により被加工物に近付け、回転する第一ホイール、および第二ホイールを被加工物に押し付け、第一ホイールおよび第二ホイールによる研削を順次行う。ここで、第一ホイールおよび第二ホイールは、例えば、粗研削ホイールおよび仕上げ研削ホイールとして適用することができる。
本発明によれば、二重ホイールの第一ホイールと第二ホイールとが同心円状に配設されているため、これら研削ホイールを並列して配設した場合と比べるとフットプリントは小さくなる。また、第一ホイールの直径が被加工物の半径と略同じ長さであり、第二ホイールの半径と第一ホイールの半径との差が被加工物の半径以上という寸法設定に対し、第一ホイールと第二ホイールによる各研削工程において被加工物の中心に研削ホイールの外周を位置付けて研削を行うことにより、粗研削および仕上げ研削の各工程では、他方側の研削ホイールに干渉することなく被加工物の全面を確実に研削することができる。また、二重ホイールの外径すなわち第二ホイールの外径をできるだけ小さくすることができるといった利点も得られる。
本発明によれば、フットプリントの小型化を可能とする研削装置が提供されるといった効果を奏する。
以下、図面を参照して本発明の一実施形態を説明する。
(1)研削装置の基本的な構成および動作
はじめに、一実施形態の研削装置の基本的な構成および動作について説明する。
図1は、一実施形態に係る研削装置10の全体を示している。この研削装置10は、シリコンウェーハ等の円板状の半導体ウェーハ等を被加工物(図3の符号1)とし、この被加工物1の少なくとも片面を所定厚さになるまで研削して薄化するように用いられる。
(1)研削装置の基本的な構成および動作
はじめに、一実施形態の研削装置の基本的な構成および動作について説明する。
図1は、一実施形態に係る研削装置10の全体を示している。この研削装置10は、シリコンウェーハ等の円板状の半導体ウェーハ等を被加工物(図3の符号1)とし、この被加工物1の少なくとも片面を所定厚さになるまで研削して薄化するように用いられる。
図1で符号11は装置台であり、この装置台11の長手方向一端部(図1の右奥側の端部)には、壁部12が立設されている。図1では、装置台11の長手方向、幅方向および鉛直方向を、それぞれY方向、X方向およびZ方向としている。
装置台11上においては、長手方向のほぼ中間部分から壁部12側に凹所13が形成されており、この凹所13内には、移動台(位置付け手段)14を介して、真空チャック式の円板状の保持テーブル20がY方向に移動可能に設けられている。移動台14は、装置台11内に配設された図示せぬ移動機構によりY方向に沿って往復移動する。
移動台14の移動経路は、移動台14の移動方向両側に設けられた蛇腹状のカバー15,16によって覆われている。カバー15,16は移動台14の移動に伴って伸縮し、これらカバー15,16によって該移動経路への研削屑の落下が防がれるようになっている。
保持テーブル20は、移動台14に回転可能に支持され、図示せぬ回転駆動機構により一方向または双方向に回転駆動させられ、また、回転停止状態が保持される。保持テーブル20の上面は、被加工物1が載置される円形状の保持面21に形成されている。この保持面21は多孔質体により平面状に形成されている。保持面21の直径は、被加工物1の直径と同等である。
保持面21は図示せぬ吸引機構の運転によって負圧状態となり、保持面21に載置された被加工物1は、負圧作用によって保持面21に吸引、保持される。このようにして保持テーブル20に保持された被加工物1は、移動台14が壁部12側に移動することにより研削領域11Aに位置付けられる。その研削領域11Aの上方には、研削手段30が配設されている。
なお、保持テーブル20の保持面21は、厳密には回転中心を頂点として傾斜角度の小さい(例えば0.01°程度)勾配の傾斜面を有する円錐面状に形成されており、被加工物1は保持面21に吸着されると、保持面21に倣って円錐面状に僅かに変形した状態となる。そして被加工物1の研削時には、後述する研削ホイールの研削面と傾斜面が平行になるように、保持テーブル20は僅かに傾斜した状態に設定される。
研削手段30は、装置台11の壁部12の前面に、鉛直移動手段40によってZ方向に昇降自在に設けられている。鉛直移動手段40は、壁部12の前面に固定された左右一対のZ方向に延びるガイドレール41と、ガイドレール41に摺動可能に支持された昇降スライダ42と、昇降スライダ42に螺合して連結されたボールねじ43と、ボールねじ43を正逆回転させるモータ44とから構成され、ボールねじ43の回転により昇降スライダ42をガイドレール41に沿って昇降させるものである。
研削手段30は、軸方向がZ方向に延びる円筒状のハウジング31と、ハウジング31内に同軸的、かつ回転可能に支持されたスピンドル32(図2(a)に示す)と、スピンドル32を回転駆動するサーボモータ33と、スピンドル32の下端に円板状のマウント34を介して同軸的に固定され、研削領域11Aに位置付けられる被加工物1に対面する二重ホイール35とから構成されている。
二重ホイール35は被加工物1を研削する研削ホイールであって、図2に示すように環状の粗研削ホイール(第一ホイール)36と、粗研削ホイール36よりも大径の環状の仕上げ研削ホイール(第二ホイール)37とが同心状に配設されて構成されたものである。
研削手段30は、ハウジング31がホルダ39を介して鉛直移動手段40の昇降スライダ42に固定されており、昇降スライダ42と一体に鉛直方向に昇降する。これにより二重ホイール35は保持テーブル20に保持された被加工物1に対して近接離反させられる。サーボモータ33でスピンドル32が回転駆動されることにより、二重ホイール35は回転する。
移動台14が研削領域11Aから壁部12と離れる方向に移動した移動端が、搬入出領域11Bとなっている。保持テーブル20に保持された被加工物1は、移動台14の移動により、研削領域11Aと搬入出領域11Bとを往復移動させられる。
装置台11の凹所13より手前側は被加工物1の供給・回収エリア17となっている。供給・回収エリア17の中央には、2節リンク式のピックアップロボット50が設置されており、このピックアップロボット50の周囲には、上から見た状態で、反時計回りに、カセット51、位置決め手段52、搬入手段53、搬出手段54、スピンナ式の洗浄手段55、カセット56が、それぞれ配置されている。
カセット51、位置決め手段52および搬入手段53は、被加工物1を保持テーブル20に搬入する系統であり、搬出手段54、洗浄手段55およびカセット56は、研削後の被加工物1を保持テーブル20から搬出する系統である。2つのカセット51,56は同一の構造であり、ここでは用途別に、搬入カセット51、搬出カセット56と称する。これらカセット51,56は、複数の被加工物1を積層状態で収容して運搬可能とするもので、装置台11の所定位置にセットされる。搬入手段53および搬出手段54はともに同様の構造であって、それぞれ水平旋回アーム53a,54aの先端に、被加工物1の上面を負圧作用で吸着する吸着パッド53b,54bが取り付けられたものである。
以上の構成を有する研削装置10では、次のようにして被加工物1が研削される。
はじめに、ピックアップロボット50によって搬入カセット51内から1枚の被加工物1が取り出され、その被加工物1は、ピックアップロボット50によって位置決め手段52上に被加工面を上側にして載置される。位置決め手段52上で被加工物1は所定の搬送開始位置に位置決めされ、次いでその被加工物1は、搬入手段53の吸着パッド53bで保持され、水平旋回アーム53aの旋回により、予め搬入出領域11Bに位置付けられている保持テーブル20の保持面21に同心状に載置される。
はじめに、ピックアップロボット50によって搬入カセット51内から1枚の被加工物1が取り出され、その被加工物1は、ピックアップロボット50によって位置決め手段52上に被加工面を上側にして載置される。位置決め手段52上で被加工物1は所定の搬送開始位置に位置決めされ、次いでその被加工物1は、搬入手段53の吸着パッド53bで保持され、水平旋回アーム53aの旋回により、予め搬入出領域11Bに位置付けられている保持テーブル20の保持面21に同心状に載置される。
被加工物1は保持テーブル20の保持面21に負圧作用で吸着、保持され、移動台14が壁部12側に移動して研削領域11Aに送られる。そして、移動台14を移動させて被加工物1を研削領域11Aに送るとともに被加工物1を所定位置に位置付け、二重ホイール35を回転させた研削手段30を鉛直移動手段40によって二重ホイール35が所定の研削高さになるまで下降させることにより、被加工物1の被加工面が研削される。
研削は被加工面に対し内周側の粗研削ホイール36による粗研削が先に行われ、次いで外周側の仕上げ研削ホイール37による仕上げ研削が行われる。研削の際には図示せぬ加工液供給手段から被加工面に加工液が供給される。また、被加工物1の厚さが図示せぬ厚さ測定手段で測定される。被加工物1の被加工面全面が研削されて厚さが目的厚さに達したら、研削手段30を上昇させて二重ホイール35を被加工物1から離間させ、研削を終える。
研削後は、保持テーブル20を搬入出領域11Bまで移動させるとともに保持面21への被加工物1の吸着が解除され、被加工物1は搬出手段54によって洗浄手段55内に移送される。被加工物1は、洗浄手段55内で水洗、乾燥処理され、この後、ピックアップロボット50によって搬出カセット56内に移送、収容される。
以上が1枚の被加工物1を研削加工して洗浄し、回収するサイクルであり、このサイクルが繰り返し行われる。そして搬入カセット51内の全ての被加工物1に対して処理が終わったら、被加工物1は搬出カセット56ごと次の工程に移される。
(2)二重ホイール
以上が研削装置10の基本的な構成および動作であり、次に、上記二重ホイール35について詳述する。
以上が研削装置10の基本的な構成および動作であり、次に、上記二重ホイール35について詳述する。
(2−1)二重ホイールの構成
上記のように二重ホイール35は内周側の粗研削ホイール36と外周側の仕上げ研削ホイール37とが同心状に配設されて構成されたもので、図2に示すように、これら研削ホイール36,37は円板状のフレーム38の下面に設けられている。フレーム38は上記マウント34に同心状、かつ着脱可能に固定される。マウント34は、上記スピンドル32の先端軸心に突出形成されたチャック321に対して着脱可能に固定され、各研削ホイールは、スピンドル32とともに回転する。
上記のように二重ホイール35は内周側の粗研削ホイール36と外周側の仕上げ研削ホイール37とが同心状に配設されて構成されたもので、図2に示すように、これら研削ホイール36,37は円板状のフレーム38の下面に設けられている。フレーム38は上記マウント34に同心状、かつ着脱可能に固定される。マウント34は、上記スピンドル32の先端軸心に突出形成されたチャック321に対して着脱可能に固定され、各研削ホイールは、スピンドル32とともに回転する。
各研削ホイール36,37は、チップ状に形成された直方体状の複数の砥石(粗研削砥石361および仕上げ研削砥石371)が、それぞれフレーム38の下面に環状に固着されて構成されている。各砥石361,371は、例えば、ガラス質のボンド材中にダイヤモンド砥粒を混合して成形し、焼結したものなどが用いられる。粗研削ホイール36および仕上げ研削ホイール37の下面で形成される各研削面362,372は、スピンドル32の軸方向に直交する水平面に形成されている。これら研削面362,372は、同一面内に形成されている。
図3(b)に示すように、粗研削ホイール36の直径D1は被加工物1の半径rと略同じ長さであり、仕上げ研削ホイール37の半径R2と粗研削ホイール36の半径R1との差が被加工物1の半径r以上に設定されている。
(2−2)二重ホイールによる研削
上記構成を有する二重ホイール35では、次のようにして被加工物1が研削される。
はじめの粗研削では、図3に示すように、移動台14を移動させて被加工物1の上面すなわち被加工面1aの中心を粗研削ホイール36の外周下方に位置付け、保持テーブル20を回転させて被加工物1を自転させる。そして、研削手段30を下降させ、回転する粗研削ホイール36の研削面362を、回転する被加工面1aに押し付ける。これにより、粗研削ホイール36の研削面362は回転する被加工面1aの中心を通過し、被加工面1aの全面が研削面362で粗研削される。
上記構成を有する二重ホイール35では、次のようにして被加工物1が研削される。
はじめの粗研削では、図3に示すように、移動台14を移動させて被加工物1の上面すなわち被加工面1aの中心を粗研削ホイール36の外周下方に位置付け、保持テーブル20を回転させて被加工物1を自転させる。そして、研削手段30を下降させ、回転する粗研削ホイール36の研削面362を、回転する被加工面1aに押し付ける。これにより、粗研削ホイール36の研削面362は回転する被加工面1aの中心を通過し、被加工面1aの全面が研削面362で粗研削される。
上記のように、被加工物1の半径rが粗研削ホイール36の直径D1と略同じ長さであり、仕上げ研削ホイール37の半径R2と粗研削ホイール36の半径R1との差が被加工物1の半径r以上という寸法設定に対し、粗研削ホイール36の外周が被加工面1aの中心を通過するように被加工物1を位置付けることにより、研削面362,372が同一面内に形成されていても、被加工物1は外周側の仕上げ研削ホイール37に干渉することなく被加工面1aの全面が粗研削される。
被加工物1が粗研削による所定厚さに達したら、一旦研削手段30を上昇させて粗研削ホイール36を被加工物1から離間させる。続いて、保持テーブル20を回転させたまま移動台14を移動させ、図4に示すように被加工面1aの中心を仕上げ研削ホイール37の外周下方に位置付け、研削手段30を下降させて回転する仕上げ研削ホイール37の研削面372を回転する被加工面1aに押し付ける。これにより、仕上げ研削ホイール37の研削面372は回転する被加工面1aの中心を通過し、被加工面1aの全面が研削面362で仕上げ研削される。
仕上げ研削では、仕上げ研削ホイール37の半径R2と粗研削ホイール36の半径R1との差が被加工物1の半径r以上という寸法設定であり、仕上げ研削ホイール37の外周が被加工面1aの中心を通過するように被加工物1を位置付けることにより、研削面362,372が同一面内に形成されていても、被加工物1は内周側の粗研削ホイール36に干渉することなく被加工面1aの全面が仕上げ研削される。
仕上げ研削により被加工物1が目的厚さに達したら、研削手段30を上昇させて仕上げ研削ホイール37を被加工物1から離間させ、研削を終える。この後は、上記のように被加工物1は洗浄手段55で洗浄され、搬出カセット56内に収容される。
(3)一実施形態の作用効果
上記研削装置10によれば、粗研削ホイール36と仕上げ研削ホイール37とを同心状に配設して二重ホイール35とした構成により、これら研削ホイールを並列して配設した場合と比べるとフットプリントを小さくすることができる。
上記研削装置10によれば、粗研削ホイール36と仕上げ研削ホイール37とを同心状に配設して二重ホイール35とした構成により、これら研削ホイールを並列して配設した場合と比べるとフットプリントを小さくすることができる。
また、粗研削ホイール36の直径D1が被加工物1の半径rと略同じ長さであり、仕上げ研削ホイール37の半径R2と粗研削ホイール36の半径R1との差が被加工物1の半径r以上という寸法設定に対し、粗研削ホイール36と仕上げ研削ホイール37による各研削工程において被加工面1aの中心に各研削ホイール36,37の外周を位置付けて研削を行うことにより、粗研削および仕上げ研削の各工程では、他方側の研削ホイールに干渉することなく被加工面1aの全面を確実に研削することができる。また、二重ホイール35の外径すなわち仕上げ研削ホイール37の外径をできるだけ小さくすることができるといった作用効果も得ることができる。
(4)他の実施形態
上記実施形態は、本発明の内周側の第一ホイールを粗研削ホイール36、本発明の外周側の第二ホイールを仕上げ研削ホイール37としているが、これとは逆の配置パターン、すなわち図5に示すように、内周側の第一ホイールを仕上げ研削ホイール37、外周側の第二ホイールを粗研削ホイール36としてもよい。
上記実施形態は、本発明の内周側の第一ホイールを粗研削ホイール36、本発明の外周側の第二ホイールを仕上げ研削ホイール37としているが、これとは逆の配置パターン、すなわち図5に示すように、内周側の第一ホイールを仕上げ研削ホイール37、外周側の第二ホイールを粗研削ホイール36としてもよい。
この実施形態では、二重ホイール35を回転させた状態で、はじめに図5(a)に示すように外周側の粗研削ホイール36で被加工物1を粗研削し、次いで図5(b)に示すように内周側の仕上げ研削ホイール37で被加工物1を仕上げ研削する。粗研削と仕上げ研削のいずれの工程でも、回転させた研削ホイール36,37の外周が被加工面1aの中心を通過する状態で研削を行うことで、各工程において被加工面1aの全面を研削する。
1…被加工物
10…研削装置
14…移動台(位置付け手段)
20…保持テーブル
21…保持面
30…研削手段
32…スピンドル
35…二重ホイール
36…粗研削ホイール(第一ホイール)
37…仕上げ研削ホイール(第二ホイール)
40…鉛直移動手段
10…研削装置
14…移動台(位置付け手段)
20…保持テーブル
21…保持面
30…研削手段
32…スピンドル
35…二重ホイール
36…粗研削ホイール(第一ホイール)
37…仕上げ研削ホイール(第二ホイール)
40…鉛直移動手段
Claims (1)
- 被加工物を回転可能に保持する保持面を有した保持テーブルと該保持テーブルで保持された被加工物を研削する研削手段とを備えた研削装置であって、
前記研削手段は、
被加工物の半径と略同じ長さの直径を有した第一ホイールと、
該第一ホイールの外周側に同心円状に配設された該第一ホイールより大径の第二ホイールと、を含み、該第二ホイールの半径と該第一ホイールの半径との差が被加工物の半径以上である二重ホイールと、
該二重ホイールが装着されるスピンドルと、を有し、
該研削手段を前記保持テーブルの前記保持面に対して鉛直方向で相対移動させる鉛直移動手段と、
前記第一ホイールの外周と前記第二ホイールの外周にそれぞれ前記保持テーブルに保持された被加工物の中心が位置付けられるように該保持テーブルを位置付ける位置付け手段と、
を備えることを特徴とする研削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012186489A JP2014042959A (ja) | 2012-08-27 | 2012-08-27 | 研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012186489A JP2014042959A (ja) | 2012-08-27 | 2012-08-27 | 研削装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014042959A true JP2014042959A (ja) | 2014-03-13 |
Family
ID=50394614
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012186489A Pending JP2014042959A (ja) | 2012-08-27 | 2012-08-27 | 研削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014042959A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9731402B2 (en) | 2014-11-06 | 2017-08-15 | Disco Corporation | Grinding apparatus |
WO2019013037A1 (ja) * | 2017-07-12 | 2019-01-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 研削装置、研削方法及びコンピュータ記憶媒体 |
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2012
- 2012-08-27 JP JP2012186489A patent/JP2014042959A/ja active Pending
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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