JP2014033178A - 液処理装置、洗浄用治具および洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】洗浄用治具(80)を基板保持部(52)により保持して回転させ、洗浄用治具の上方から洗浄用治具に洗浄液を供給する。洗浄用治具に供給された洗浄液は、洗浄用治具の外周縁の近傍において洗浄用治具の全周にわたって設けられた傾斜部(82)の傾斜面に沿って斜め上方に飛散し、これによりカップ(60,62)が洗浄される。これと同時に洗浄用治具の上方から供給された洗浄液の一部を、洗浄用治具に設けられた貫通穴(89)を介して洗浄用治具の下方に導き、洗浄用治具の下方にある部材(52)を洗浄する。
【選択図】図11
Description
前記基板保持部に保持された基板を囲い、基板に供給した後の処理液を受けるカップと、少なくとも前記カップを洗浄するための円板状の洗浄用治具を収納する洗浄用治具収納部と、前記基板保持部の上方に位置し、洗浄液を供給する洗浄液供給部と、を備え、前記洗浄液供給部は、前記洗浄用治具が前記基板保持部により保持されたときに洗浄液が供給される上面において、前記洗浄用治具の外周縁の近傍に、前記洗浄用治具の径方向外方に向かって斜め上方に傾斜した傾斜部が全周にわたって設けられており、かつ、前記上面の中央部分に、前記上面に供給された洗浄液を前記洗浄用治具を通過させて前記洗浄用治具の下方に案内する貫通穴が設けられている前記洗浄用治具に洗浄液を供給する、液処理装置を提供する。
この第2の搬送部42は、ウエハWの裏面側周縁を保持する保持アーム44が進退自在、回転自在、昇降自在および搬送路46に沿って移動自在に設けられている。
なお、洗浄液は、第1処理液回収用タンク66および第2処理液回収用タンク68のうち何れの回収用タンクに送られるようになっていてもよい。
このことにより、回転カップ60における、傾斜部82の貫通孔84を通って洗浄用治具80から飛散する洗浄液(図5の矢印B参照)が当たる箇所とは異なる箇所に洗浄液を供給することができるようになり、回転カップ60の内側に対して洗浄液をよりまんべんなく供給することができるようになる。
26 第1の搬送部
40 処理ブロック
42 第2の搬送部
46 搬送路
50 液処理ユニット
52 基板保持台
52a 基板保持体
53 回転駆動軸
54 回転モータ
55 ノズル
56 洗浄液供給管
59 チャンバー
60 回転カップ(カップ)
62 液回収カップ(カップ)
64 昇降カップ
80 洗浄用治具
81 水平部
82 傾斜部
82a〜82c 第1〜第3の傾斜部分
84 貫通孔
86 案内部
88 端縁
89 貫通穴
90 洗浄用治具収納部
91 制御部
Claims (16)
- 基板を処理液で処理するための液処理装置であって、
基板を水平に保持する基板保持部と、
前記基板保持部を回転させる基板回転機構と、
前記基板保持部に保持された基板を囲い、基板に供給した後の処理液を受けるカップと、
少なくとも前記カップを洗浄するための円板状の洗浄用治具を収納する洗浄用治具収納部と、
前記基板保持部の上方に位置し、洗浄液を供給する洗浄液供給部と、
を備え、
前記洗浄液供給部は、前記洗浄用治具が前記基板保持部により保持されたときに洗浄液が供給される上面において、前記洗浄用治具の外周縁の近傍に、前記洗浄用治具の径方向外方に向かって斜め上方に傾斜した傾斜部が全周にわたって設けられており、かつ、前記上面の中央部分に、前記上面に供給された洗浄液を前記洗浄用治具を通過させて前記洗浄用治具の下方に案内する貫通穴が設けられている前記洗浄用治具に洗浄液を供給する、液処理装置。 - 前記洗浄用治具は、水平部と前記傾斜部とを有し、
前記水平部と前記傾斜部とが接する位置に貫通孔が設けられている、請求項1記載の液処理装置。 - 前記貫通孔は、前記洗浄用治具の周方向において複数設けられている、請求項2記載の液処理装置。
- 前記洗浄用治具の外周縁の近傍には、前記傾斜部の前記貫通孔から出た洗浄液を前記洗浄用治具の径方向外方に向かって水平方向に案内する案内部が設けられている、請求項2または3記載の液処理装置。
- 前記傾斜部には、少なくとも2段の傾斜部分が設けられている、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の液処理装置。
- カップ内で回転する基板に処理液を供給した後に少なくとも前記カップを洗浄するための洗浄用治具であって、
円板状であるとともに、前記カップ内に配置されたときに洗浄液が供給される上面において、前記洗浄用治具の外周縁の近傍に、前記洗浄用治具の径方向外方に向かって斜め上方に傾斜した傾斜部が全周にわたって設けられており、かつ、前記上面の中央部分に、前記上面に供給された洗浄液をこの洗浄用治具を通過させてこの洗浄用治具の下方に案内する貫通穴が設けられている洗浄用治具。 - 前記傾斜部には貫通孔が設けられている、請求項6記載の洗浄用治具。
- 前記貫通孔は、前記洗浄用治具の周方向において複数設けられている、請求項7記載の洗浄用治具。
- 前記洗浄用治具の外周縁の近傍には、前記傾斜部の前記貫通孔から出た洗浄液を前記洗浄用治具の径方向外方に向かって略水平方向に案内する案内部が設けられている、請求項7または8記載の洗浄用治具。
- 前記傾斜部には、少なくとも2段の傾斜部分が設けられている、請求項6乃至9のいずれか一項に記載の洗浄用治具。
- 液処理装置における少なくともカップを洗浄するための洗浄方法であって、
円板状の洗浄用治具を基板保持部により保持させる工程と、
前記基板保持部を回転させて前記洗浄用治具を回転させる工程と、
回転している前記洗浄用治具に上方から洗浄液を供給する工程と、
前記洗浄用治具に供給された洗浄液を、当該洗浄用治具の外周縁の近傍において前記洗浄用治具の全周にわたって設けられた傾斜部の傾斜面に沿って、斜め上方に飛散させて前記カップを洗浄するとともに、これと同時に回転する前記洗浄用治具の上方から供給された洗浄液の一部を、前記洗浄用治具に設けられた貫通穴を介して前記洗浄用治具の下方に導き、前記洗浄用治具の下方にある部材を洗浄する工程と、
を備えた、洗浄方法。 - 前記洗浄用治具に供給された洗浄液を、前記洗浄用治具の径方向外方に向かって水平方向に案内して、前記カップの内周を洗浄する、請求項11記載の洗浄方法。
- 回転している前記洗浄用治具に上方から洗浄液を供給する工程において、前記基板回転機構による前記洗浄用治具の回転速度を途中で変化させる、請求項11または12記載の洗浄方法。
- 回転している前記洗浄用治具に下方から洗浄液を供給する工程を更に備えた、請求項11乃至13のいずれか一項に記載の洗浄方法。
- 回転している前記洗浄用治具に上方から洗浄液を供給する際の前記洗浄用治具の回転速度よりも、回転している前記洗浄用治具に下方から洗浄液を供給する際の前記洗浄用治具の回転速度が大きくなっている、請求項14記載の洗浄方法。
- 大きな回転速度で回転している前記洗浄用治具に下方から洗浄液を供給して、前記カップの内周を洗浄する、請求項14または15記載の洗浄方法。
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