JP2013156121A - 物理量センサーおよび電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る物理量センサー100は、基板10と、基板10の上方に設けられている揺動体20と、揺動体20を支持し、第1軸に沿って配置されている支持部40,42と、基板10に設けられ、揺動体20に対向配置されている検出電極50,52と、を含み、揺動体20は、前記第1軸に平面で直交する第2軸と交差する一対の側面を備え、前記第一対の側面の少なくとも一方には、突起部30が設けられている。
【選択図】図1
Description
本適用例に係る物理量センサーは、
基板と、
前記基板の上方に設けられている揺動体と、
前記揺動体を支持し、第1軸に沿って配置されている支持部と、
前記基板に設けられ、前記揺動体に対向配置されている検出電極と、
を含み、
前記揺動体は、前記第1軸に平面で直交する第2軸と交差する一対の側面を備え、
前記第一対の側面の少なくとも一方には、突起部が設けられている。
本適用例に係る物理量センサーにおいて、
前記基板の前記検出電極の配置領域の外側に設けられ、かつ、前記揺動体に対向配置されている電極を含み、
前記電極は、前記揺動体と電気的に接続されていてもよい。
本適用例に係る物理量センサーにおいて、
前記突起部は、平面視において、前記検出電極および前記電極と重ならなくてもよい。
本適用例に係る物理量センサーにおいて、
前記突起部の平面形状は、先端が先鋭状であってもよい。
本適用例に係る物理量センサーにおいて、
前記突起部の平面形状は、先端が円弧状であってもよい。
本適用例に係る物理量センサーにおいて、
前記突起部は、前記揺動体と一体に設けられていてもよい。
本適用例に係る物理量センサーにおいて、
前記第1側面は、前記第1側面の前記第1軸方向の幅の中心を通る前記第2軸によって、第1領域と第2領域とに区画したときに、
前記第1領域および前記第2領域には、それぞれ前記突起部が設けられていてもよい。
本適用例に係る物理量センサーにおいて、
前記揺動体の周囲には枠体が配置され、
前記揺動体は前記支持部によって前記枠体から離間して接続され、
前記揺動体および前記突起部の外側の縁と、前記枠体の内側の縁との間の空隙の幅は、均一であってもよい。
本適用例に係る物理量センサーにおいて、
前記揺動体は、前記第1軸を境にしたときに一方の領域と他方の領域とで質量が異なっていてもよい。
本適用例に係る物理量センサーにおいて、
前記検出電極は、前記揺動体の前記一方の領域に対向する位置に配置された第1検出電極と、前記揺動体の前記他方の領域に対向する位置に配置された第2検出電極と、を含んでいてもよい。
本適用例に係る電子機器は、
本適用例に係る物理量センサーを含む。
まず、本実施形態に係る物理量センサーについて、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る物理量センサー100を模式的に示す平面図である。図2および図3は、本実施形態に係る物理量センサー100を模式的に示す断面図である。なお、図2は、図1のII−II線断面図であり、図3は、図1のIII−III線断面図である。また、図1では、便宜上、蓋体70の図示を省略している。図1〜図3では、互いに直交する3つの軸として、X軸、Y軸、Z軸を図示している。
次に、本実施形態に係る物理量センサーの製造方法について、図面を参照しながら説明する。図5〜図8は、本実施形態に係る物理量センサー100の製造工程を模式的に示す断面図である。
(1)第1変形例
まず、本実施形態の第1変形例に係る物理量センサーについて、図面を参照しながら説明する。図9は、本実施形態の第1変形例に係る物理量センサー200を模式的に示す平面図である。以下、本実施形態の第1変形例に係る物理量センサー200において、本実施形態に係る物理量センサー100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
次に、本実施形態の第2変形例に係る物理量センサーについて、図面を参照しながら説明する。図10は、本実施形態の第2変形例に係る物理量センサー300を模式的に示す平面図である。以下、本実施形態の第2変形例に係る物理量センサー300において、本実施形態に係る物理量センサー300の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
次に、本実施形態に係る電子機器について、図面を参照しながら説明する。本実施形態に係る電子機器は、本発明に係る物理量センサーを含む。以下では、本発明に係る物理量センサーとして、物理量センサー100を含む電子機器について、説明する。
12 凹部、14 面、20 揺動体、21a 可動電極、21b 可動電極、
24 第1側面、24a 第1領域、24b 第2領域、25 第2側面、
25a 第3領域、25b 第4領域、26 貫通孔、28 上面、29 下面、
30 突起部、40 第1支持部、42 第2支持部、50 第1検出電極、
52 第2検出電極、54 対向電極、60 枠体、62 凹部、70 蓋体、
100 物理量センサー、101 ガラス基板、200 物理量センサー、
201 シリコン基板、300 物理量センサー、
1100 パーソナルコンピューター、1102 キーボード、1104 本体部、
1106 表示ユニット、1108 表示部、1200 携帯電話機、
1202 操作ボタン、1204 受話口、1206 送話口、1208 表示部、
1300 デジタルスチルカメラ、1302 ケース、1304 受光ユニット、
1306 シャッターボタン、1308 メモリー、1310 表示部、
1312 ビデオ信号出力端子、1314 入出力端子、1430 テレビモニター、
1440 パーソナルコンピューター
Claims (11)
- 基板と、
前記基板の上方に設けられている揺動体と、
前記揺動体を支持し、第1軸に沿って配置されている支持部と、
前記基板に設けられ、前記揺動体に対向配置されている検出電極と、
を含み、
前記揺動体は、前記第1軸に平面で直交する第2軸と交差する一対の側面を備え、
前記第一対の側面の少なくとも一方には、突起部が設けられている、物理量センサー。 - 請求項1において、
前記基板の前記検出電極の配置領域の外側に設けられ、かつ、前記揺動体に対向配置されている電極を含み、
前記電極は、前記揺動体と電気的に接続されている、物理量センサー。 - 請求項2において、
前記突起部は、平面視において、前記検出電極および前記電極と重ならない、物理量センサー。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記突起部の平面形状は、先端が先鋭状である、物理量センサー。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記突起部の平面形状は、先端が円弧状である、物理量センサー。 - 請求項1ないし5のいずれか1項において、
前記突起部は、前記揺動体と一体に設けられている、物理量センサー。 - 請求項1ないし6のいずれか1項において、
前記第1側面は、前記第1側面の前記第1軸方向の幅の中心を通る前記第2軸によって、第1領域と第2領域とに区画したときに、
前記第1領域および前記第2領域には、それぞれ前記突起部が設けられている、物理量センサー。 - 請求項1ないし7のいずれか1項において、
前記揺動体の周囲には枠体が配置され、
前記揺動体は前記支持部によって前記枠体から離間して接続され、
前記揺動体および前記突起部の外側の縁と、前記枠体の内側の縁との間の空隙の幅は、均一である、物理量センサー。 - 請求項1ないし8のいずれか1項において、
前記揺動体は、前記第1軸を境にしたときに一方の領域と他方の領域とで質量が異なる、物理量センサー。 - 請求項9において、
前記検出電極は、前記揺動体の前記一方の領域に対向する位置に配置された第1検出電極と、前記揺動体の前記他方の領域に対向する位置に配置された第2検出電極と、を含む、物理量センサー。 - 請求項1ないし10のいずれか1項に記載の物理量センサーを含む、電子機器。
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