JP2015072188A - 物理量検出素子、および物理量検出装置、電子機器、移動体 - Google Patents

Abstract

【課題】小型で、検出感度と信頼性とを向上させた物理量検出素子を提供すること。
【解決手段】物理量検出素子１は、基板１０と、前記基板１０に設けられている第１固定電極部１１および第２固定電極部１２と、前記基板１０上に設けられている可動体２０と、前記可動体２０に設けられている梁１６と、を備え、前記可動体２０の前記梁１６に対して一方には、前記第１固定電極部１１と対向している第１可動電極部２１と、前記第１可動電極部２１から前記梁１６と反対方向に配置されている第１質量部２３と、を含み、前記可動体の前記梁１６に対して他方には、前記第２固定電極部１２と対向している第２可動電極部２２、を含み、前記第１可動電極部２１には、第１貫通孔２６が設けられ、前記第１質量部２３には、第２貫通孔２７が設けられ、前記第１質量部２３の平面視における単位面積当たりの質量は、前記第１可動電極部２１の単位面積当たりの質量より重い。
【選択図】図１

Description

本発明は、物理量検出素子、および当該物理量検出素子を備えた物理量検出装置、電子機器、移動体に関する。

従来、垂直方向の加速度等の物理量を検出する方法として、ロッカーレバー原理に従って構成され、加速度等の物理量に伴って変化する静電容量を検出する物理量検出素子が知られていた。例えば、特許文献１に記載されているように、ねじりばねと、ねじりばねの一方側にサイズモ補助質量体が設けられ、ねじりばねの両側で質量の異なる質量構造体と、で構成されたロッカーレバーを備えたマイクロマシニング式のＺセンサー（物理量検出素子）が開示されている。このような物理量検出素子は、ロッカーレバーに、垂直方向の加速度等の物理量が作用すると、質量体の質量の大きい側が押し下げられて、質量体に対向する対向電極との間で形成される静電容量が変化する。この静電容量の変化を計測することによって加速度等の物理量の検出が行われている。

特表２０１０−５１２５２７号公報

上記方式の物理量検出素子では、可動体（質量構造体）が固定電極（対向電極）の形成された基板に向かって変位した時に、可動体と基板との間に生じるエアーによる抗力（スクイーズフィルムダンピング：以降、ダンピングと記す）を防ぐために、可動体に貫通孔が設けられている。しかしながら、特許文献１に記載の物理量検出素子では、第１質量部（補助質量体）に設けられた貫通孔の隣り合う間隔（ウエブ幅）が可動体に設けられた貫通孔の隣り合う間隔より狭いため、可動体が衝撃を受けた時に、第１質量部が破損しやすいという課題があった。また、第１質量部の質量の減少は、加速度等の物理量を検出する感度の低下を招き、物理量検出素子を小型化することが困難であった。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例に係る物理量検出素子は、基板と、前記基板に設けられている第１固定電極部および第２固定電極部と、前記基板上に設けられている可動体と、前記可動体に設けられている梁と、を備え、前記可動体の前記梁に対して一方には、前記第１固定電極部と対向している第１可動電極部と、前記第１可動電極部から前記梁と反対方向に配置されている第１質量部と、を含み、前記可動体の前記梁に対して他方には、前記第２固定電極部と対向している第２可動電極部、を含み、前記第１可動電極部には、第１貫通孔が設けられ、前記第１質量部には、第２貫通孔が設けられ、前記第１質量部の平面視における単位面積当たりの質量は、前記第１可動電極部の単位面積当たりの質量より、重いことを特徴とする。

本適用例によれば、第１質量部の単位面積当たりの質量を第１可動電極部の単位面積当たりの質量より重くすることにより、可動体の第１可動電極部と第１質量部とを合わせた領域の重心が、梁から離れた位置に移るため、可動体に加速度等の物理量が加わった時に、梁を捩じるトルクが増大する。これにより、可動体の変位が大きくなり、第１可動電極部と第１固定電極部との間、および第２可動電極部と第２固定電極部との間、で生じる静電容量の変化量が大きくなるため、物理量検出素子の物理量を検出する感度を向上させることができる。換言すると、物理量を検出する感度を低下させることなく小型化を図ることができる。また、第１質量部の剛性は、第１可動電極部の剛性よりも高くなるため、可動体に大きな物理量が加わり、第１質量部の端部と基板とが接触した時の第１質量部の破損を防止することができる。したがって、物理量を検出する感度と信頼性とを向上させること、および小型化を図ること、が可能な物理量検出素子を提供することができる。

［適用例２］上記適用例に記載の物理量検出素子は、前記第１質量部の厚さは、前記第１可動電極部の厚さと、等しいことが好ましい。

本適用例によれば、第１質量部と第１可動電極部とで厚さが等しい可動体において、第１可動電極部に設けられている第１貫通孔および第１質量部に設けられている第２貫通孔の少なくとも一方の大きさや数量を調整して、第１質量部の単位面積当たりの質量を、第１電極部の単位面積当たりの質量より重くすることで、物理量検出素子の物理量を検出する感度および信頼性を向上させることができる。また、第１質量部と第１可動電極部との厚さが等しいため、エッチングなどによる微細加工を容易に行うことができる。

［適用例３］上記適用例に記載の物理量検出素子は、前記第１質量部の厚さは、前記第１可動電極部の厚さおよび前記第２可動電極部の厚さより、厚いことが好ましい。

本適用例によれば、可動体の厚さは、第１可動電極部および第２可動電極部と、第１質量部とで異なっている。第１質量部の厚さは、第１可動電極部および第２可動電極部よりも厚いため、第１質量部の質量が増加することで、梁を捩じるトルクが増大し、第１質量部の剛性も強くなる。したがって、さらに物理量検出素子の物理量を検出する感度と信頼性とを向上させることができる。

［適用例４］上記適用例に記載の物理量検出素子は、前記第１貫通孔および前記第２貫通孔は、複数設けられ、前記梁の延在方向と直交する方向に隣り合う前記第２貫通孔の間隔の平均寸法は、前記梁の延在方向と直交する方向に隣り合う前記第１貫通孔の間隔の平均寸法より、大きいことが好ましい。

本適用例によれば、第１質量部には第２貫通孔が設けられ、第１可動部には第１貫通孔が設けられている。梁の延在方向と直交する方向に隣り合う第２貫通孔の間隔の平均寸法は、梁の延在方向と直交する方向に隣り合う第１貫通孔の間隔の平均寸法より大きいため、第１質量部の質量が増加することで、梁を捩じるトルクが増大し、第１質量部の剛性も強くなる。したがって、物理量検出素子の物理量を検出する感度と信頼性とを向上させることができる。

［適用例５］上記適用例に記載の物理量検出素子は、前記第１貫通孔および前記第２貫通孔は、複数設けられ、前記梁の延在方向と平行する方向に隣り合う前記第２貫通孔の間隔の平均寸法は、前記梁の延在方向と平行する方向に隣り合う前記第１貫通孔の間隔の平均寸法より、大きいことが好ましい。

本適用例によれば、第１質量部には第２貫通孔が設けられ、第１可動部には第１貫通孔が設けられている。梁の延在方向と平行する方向に隣り合う第２貫通孔の間隔の平均寸法は、梁の延在方向と平行する方向に隣り合う第１貫通孔の間隔の平均寸法より大きいため、第１質量部の質量が増加することで、梁を捩じるトルクが増大し、第１質量部の剛性も強くなる。したがって、物理量検出素子の物理量を検出する感度と信頼性とを向上させることができる。

［適用例６］上記適用例に記載の物理量検出素子は、前記第１質量部の前記基板側の面には、緩衝部が設けられていることが好ましい。

本適用例によれば、可動体に大きな物理量が加わり、基板と接触する恐れがある第１質量部に、緩衝部が設けられているため、第１質量部に加わる衝撃を緩衝することができる。また、第１質量部には、緩衝部の質量が加わるため、第１質量部の質量が増加し、梁を捩じるトルクが増大する。したがって、物理量検出素子の物理量を検出する感度と信頼性とを向上させることができる。

［適用例７］上記適用例に記載の物理量検出素子は、前記第１質量部の前記基板側の面には、電極が設けられていることが好ましい。

本適用例によれば、第１質量部には、電極の負荷が加わるため、第１質量部の質量が増加し、梁を捩じるトルクが増加する。また、電極材料として使用されるアルミニウムや金などは、硬度が低いため、第１質量部に加わる衝撃を緩衝することができる。したがって、物理量検出素子の物理量を検出する感度と信頼性とを向上させることができる。

［適用例８］上記適用例に記載の物理量検出素子は、前記可動体を前記梁の延在方向と直交する方向に面積比で２等分した場合、各々の質量が等しいことが好ましい。

本適用例によれば、可動体は、梁の延在方向と直交する方向に２等分した質量が等しいため、可動体に垂直方向の加速度等の物理量が加わった時に、可動体は、梁の延在方向と平行する両短辺を、水平に保ったまま、梁を支点にシーソー搖動させることができる。これにより、可動体の捩れ搖動（振動）を防ぐことができるため、物理量検出素子の物理量を検出する精度を向上させることができる。

［適用例９］上記適用例に記載の物理量検出素子は、前記梁の延在方向と直交する方向の中心線に対して、線対称形状に設けられていることが好ましい。

本適用例によれば、可動体は、梁の延在方向と直交する方向の中心線に対して、線対称の形状であるため、質量および可動体が受けるダンピング（エアーの抗力）も対称になっている。これにより、可動体の捩れ搖動を防止する効果が高まるため、さらに、物理量検出素子の物理量を検出する精度を向上させることができる。

［適用例１０］本適用例に係る物理量検出装置は、上記適用例に記載の物理量検出素子と、前記物理量検出素子に加わった物理量に応じた信号を出力する検出回路と、を含むことを特徴とする。

本適用例によれば、物理量を検出する感度と信頼性とを向上させた物理量検出素子を備えた物理量検出装置を提供することができる。

［適用例１１］本適用例に係る電子機器は、上記適用例に記載の物理量検出素子を備えていることを特徴とする。

本適用例によれば、物理量を検出する感度と信頼性とを向上させた物理量検出素子を備えた電子機器を提供することができる。

［適用例１２］本適用例に係る移動体は、上記適用例に記載の物理量検出素子を備えていることを特徴とする。

本適用例によれば、物理量を検出する感度と信頼性とを向上させた物理量検出素子を備えた移動体を提供することができる。

実施形態１に係る物理量検出素子を模式的に示す平面図。 図１におけるＡ−Ａ線での断面図。 物理量検出素子の動作と静電容量の関係を模式的に示す断面図。 実施形態２に係る物理量検出素子を模式的に示す平面図。 図４におけるＡ−Ａ線での断面図。 変形例１に係る物理量検出素子を模式的に示す平面図。 図６におけるＡ−Ａ線での断面図。 変形例２に係る物理量検出素子を模式的に示す平面図。 図８におけるＡ−Ａ線での断面図。 物理量検出素子を備える物理量検出装置の概略を示す断面図。 物理量検出素子を備える電子機器としてのモバイル型（又はノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図。 物理量検出素子を備える電子機器としての携帯電話機を示す斜視図。 物理量検出素子を備える電子機器としてのデジタルスチルカメラを示す斜視図。 物理量検出素子を備える移動体としての自動車を示す斜視図。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の各図においては、各層や各部材を認識可能な程度の大きさにするため、各層や各部材の尺度を実際とは異ならせている。

（実施形態１）
図１は、実施形態１に係る物理量検出素子を模式的に示す平面図。図２は、図１におけるＡ−Ａ線での断面図である。ここで、図１、図２および後述する図３から図９では、説明の便宜上、互いに直交する３軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示しており、その図示した矢印の先端側を「＋側」、基端側を「−側」としている。また、以下では、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」と言い、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」と言い、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」と言う。
まず、実施形態１に係る物理量検出素子の概略構成について、図１と図２とを用いて説明する。

本実施形態の物理量検出素子１は、例えば、慣性センサーとして用いることができる。具体的には、鉛直方向（Ｚ軸方向）の加速度の物理量を測定するためのセンサー（静電容量型加速度センサー、静電容量型ＭＥＭＳ加速度センサー）素子として用いることができる。

図１および図２に示すように、物理量検出素子１は、基板１０と、基板１０の主面１０ａ上に設けられている第１固定電極部１１および第２固定電極部１２と、第１固定電極部１１と第２固定電極部１２との間の主面１０ａから＋Ｚ軸方向に立設されている支持部１４と、支持部１４に支持されている梁１６を介し、基板１０と間隙を有して設けられている可動体２０などから構成されている。梁１６は、所謂ねじりばねとしての機能を有し、可動体２０を回動可能に支持している。

支持部１４は、基板１０と一体で形成される支持部１４ａと、可動体２０と一体で形成される支持部１４ｂとで構成されている。

基板１０の材料は、特に限定されないが、本実施形態では、好適例として、ホウ珪酸ガラスを含む絶縁性材料が用いられている。基板１０上に設けられている支持部１４ａは、基板１０をフォトリソグラフィー法およびエッチング法などの微細加工により形成することができる。

第１固定電極部１１は、Ｙ軸方向からの側面視において、支持部１４ａの−Ｘ軸方向側に位置し、Ｚ軸方向からの平面視において、基板１０の主面１０ａ上の後述する第１可動電極部２１と重なる領域に、設けられている。
第２固定電極部１２は、Ｙ軸方向からの側面視において、支持部１４ａの＋Ｘ軸方向側に位置し、Ｚ軸方向からの平面視において、基板１０の主面１０ａ上の後述する第２可動電極部２２と重なる領域に、設けられている。
第１固定電極部１１および第２固定電極部１２には、例えば、Ｐｔ（プラチナ）、Ａｌ（アルミニウム）、Ｍｏ（モリブデン）、Ｃｒ（クロム）、Ｔｉ（チタン）、Ｎｉ（ニッケル）、Ｃｕ（銅）、Ａｇ（銀）、Ａｕ（金）、または、これらの金属を主成分とする合金などが用いられている。第１固定電極部１１および第２固定電極部１２の成膜には、例えば、スパッタ法などが用いられ、パターニング（外形形状形成）には、例えば、フォトリソグラフィー法およびエッチング法などが用いられる。

可動体２０は、支持部１４ｂと、支持部１４ｂに支持されている梁１６とで、一体で形成され、支持部１４ａ，１４ｂおよび梁１６を介して、基板１０と間隙を有して設けられている。可動体２０は、梁１６から−Ｘ軸方向に向かって、第１可動電極部２１と、第１質量部２３とが順に設けられ、梁１６から＋Ｘ軸方向に、第２可動電極部２２が設けられている。Ｚ軸方向からの平面視において、第１可動電極部２１は第１固定電極部１１と重なる領域に、第２可動電極は第２固定電極部１２と重なる領域に、位置している。なお、以降の説明では、可動体２０の内、梁１６の中心線ＣＬ２から−Ｘ軸方向側の領域は第１可動体２０ａと、梁１６の中心線ＣＬ２から＋Ｘ軸方向側の領域は第２可動体２０ｂと、称する。

可動体２０は、Ｚ軸方向からの平面視において、長方形の板状であり、本実施形態では、第１質量部２３の厚さ方向（Ｚ軸方向）の寸法は、第１可動電極部２１および第２可動電極部２２の厚さ方向（Ｚ軸方向）の寸法と、等しい。これにより、可動体２０を形成するための微細加工を容易に行うことができる。可動体２０、支持部１４ｂおよび梁１６の材料は、特に限定されないが、好適例として、シリコンを含む導電性材料が用いられている。可動体２０、支持部１４ｂおよび梁１６は、フォトリソグラフィー法およびエッチング法などの微細加工により一体形成することができる。可動体２０に導電性材料を用いたのは、第１可動電極部２１と第２可動電極部２２とに電極としての機能を持たせるためである。第１可動電極部２１と第２可動電極部２２とが、非導電性の基材の上に設けられた導電性の電極層で形成されていてもよい。

可動体２０は、梁１６によって支持され、梁１６を軸として回動可能である。可動体２０が、梁１６を支点としてシーソー揺動（傾倒）することで、第１可動電極部２１と第１固定電極部１１との間隙（距離）、および第２可動電極部２２と第２固定電極部１２との間隙（距離）、が変化する。物理量検出素子１は、可動体２０の傾倒に応じて、第１可動電極部２１と第１固定電極部１１との間、および第２可動電極部２２と第２固定電極部１２との間、で生じる静電容量を変化させることができる。

可動体２０に鉛直方向の加速度（例えば重力加速度）が加わった場合、第１可動体２０ａと第２可動体２０ｂの各々に回転モーメント（力のモーメント）が生じる。ここで、第１可動体２０ａの回転モーメント（例えば反時計回りの回転モーメント）と、第２可動体２０ｂの回転モーメント（例えば時計回りの回転モーメント）と、が均衡した場合には、可動体２０の傾きに変化が生じず、加速度を検出することができない。したがって、鉛直方向の加速度が加わった時に、第１可動体２０ａの回転モーメントと、第２可動体２０ｂの回転モーメントとが均衡せず、可動体２０に所定の傾きが生じるように、可動体２０が設計されている。

物理量検出素子１では、梁１６を、可動体２０のＸ軸方向の重心から外れた位置に配置させることによって（梁１６から第１可動体２０ａの端面および第２可動体２０ｂの端面までの距離を異ならせることによって）、第１可動体２０ａと第２可動体２０ｂとが互いに異なる質量を有している。すなわち、可動体２０は、梁１６の中心線ＣＬ２を起点にして、一方（第１可動体２０ａ）と他方（第２可動体２０ｂ）とで質量が異なる。図示の例では、梁１６から第１可動体２０ａの−Ｘ軸方向の端面までの距離は、梁１６から第２可動体２０ｂの＋Ｘ軸方向の端面までの距離よりも長い。また、第１可動体２０ａの厚さと、第２可動体２０ｂの厚さとは、略等しい。したがって、第１可動体２０ａの質量は、第２可動体２０ｂの質量よりも重い。このように、第１可動体２０ａと第２可動体２０ｂとが互いに異なる質量を有することにより、可動体２０に鉛直方向の加速度が加わった時に生じる、第１可動体２０ａの回転モーメントと、第２可動体２０ｂの回転モーメントと、を均衡させないことができる。したがって、鉛直方向の加速度が加わった時に、可動体２０を傾倒させることができる。

可動体２０は、第１可動電極部２１と第１固定電極部１１との間に、静電容量（可変静電容量）Ｃ１が構成されている。また、第２可動電極部２２と第２固定電極部１２との間に、静電容量（可変静電容量）Ｃ２が構成されている。静電容量Ｃ１は、第１可動電極部２１と第１固定電極部１１との間隙（距離）に応じて静電容量が変化し、静電容量Ｃ２は、第２可動電極部２２と第２固定電極部１２との間隙（距離）に応じて静電容量が変化する。

例えば、可動体２０が基板１０に対して水平状態では、静電容量Ｃ１，Ｃ２は、互いに略等しい静電容量値となる。詳しくは、Ｚ軸方向からの平面視で、第１可動電極部２１と第１固定電極部１１との重なり合う面積と、第２可動電極部２２と第２固定電極部１２との重なり合う面積と、が等しく、Ｙ方向からの側面視で、第１可動電極部２１と第１固定電極部１１との間隙と、第２可動電極部２２と第２固定電極部１２との間隙と、が等しくなっているため、静電容量Ｃ１，Ｃ２の静電容量値も等しくなる。
また、例えば、可動体２０に鉛直方向の加速度が加わり、可動体２０が梁１６を軸として傾倒すると、静電容量Ｃ１，Ｃ２は、可動体２０の傾倒に応じて、静電容量Ｃ１，Ｃ２の静電容量値が変化する。可動体２０が傾倒した状態では、第１可動電極部２１と第１固定電極部１１との間隙と、第２可動電極部２２と第２固定電極部１２との間隙と、が異なっているため、静電容量Ｃ１，Ｃ２の静電容量値も異なる。

ここで、図３を用いて、物理量検出素子の動作と静電容量の関係について詳細に説明する。図３は、物理量検出素子の動作を模式的に示す断面図であり、動作の説明に必要のない構成の図示を省略している。また、ここでは、説明の便宜のため、可動体は、一様の厚さを有する板状の長方形であり、後述する貫通孔が設けられていないものとして説明する。

図３（ａ）は、基板１０に対して可動体２０が、略水平状態に位置している物理量検出素子１に、＋Ｚ軸方向の加速度αｕが加わった場合を説明する図である。
可動体２０は、一様の厚さ（Ｚ軸方向の寸法）を有する板状の長方形である。第１可動体２０ａは質量ｍ１を有し、その重心Ｇ１は支持部１４に回転可能に支持されている梁１６の中心Ｑから−Ｘ軸方向の距離ｒ１に位置している。第２可動体２０ｂは質量ｍ２を有し、その重心Ｇ２は梁１６の中心Ｑから＋Ｘ軸方向の距離ｒ２に位置している。第１可動体２０ａは第２可動体２０ｂよりも、Ｘ軸方向に長い長方形の形状を有しているため、第１可動体２０ａの質量ｍ１は第２可動体の質量ｍ２よりも重く、第１可動体２０ａの重心Ｇ１の位置する距離ｒ１は、第２可動体２０ｂの重心Ｇ２の位置する距離ｒ２よりも長い。

物理量検出素子１に対して、−Ｚ軸方向から＋Ｚ軸方向に向かう加速度αｕが加わると、第１可動体２０ａには、質量ｍ１と、加速度αｕと、距離ｒ１との積に相当する第１回転モーメントＮｕ１が、梁１６の中心Ｑを回転軸として時計回りの方向に作用する。他方、第２可動体２０ｂには、質量ｍ２と、加速度αｕと、距離ｒ２との積に相当する第２回転モーメントＮｕ２が、梁１６の中心Ｑを回転軸として反時計回りの方向に作用する。第１可動体２０ａの質量ｍ１は第２可動体の質量ｍ２よりも重く、第１可動体２０ａの重心ｍ１の位置する距離ｒ１は、第２可動体２０ｂの重心ｍ２の位置する距離ｒ２よりも長いため、第１可動体２０ａに作用する第１回転モーメントＮｕ１は、第２可動体２０ｂに作用する第２回転モーメントＮｕ２よりも、大きい。

これにより、図３（ｂ）に示すように、梁１６には、第１回転モーメントＮｕ１（図３（ａ）参照）と第２回転モーメントＮｕ２（図３（ａ）参照）の差に相当するトルクＮｕが、梁１６の中心Ｑを回転軸として時計回りの方向に作用し、可動体２０は、時計回りに傾倒する。これにより、第１可動体２０ａの第１可動電極部２１と第１固定電極部１１との間隙が大きく（広く）なり、第１可動電極部２１と第１固定電極部１１との間の静電容量Ｃ１の静電容量値が減少する。他方、第２可動体２０ｂの第１可動電極部２１と第２固定電極部１２との間隙が小さく（狭く）なり、第２可動電極部２２と第２固定電極部１２との間の静電容量Ｃ２の静電容量値が増加する。

図３（ｃ）は、基板１０に対して可動体２０が、略水平状態に位置している物理量検出素子１に、−Ｚ軸方向の加速度αｄが加わった場合を説明する図である。
物理量検出素子１に対して、＋Ｚ軸方向から−Ｚ軸方向に向かう加速度αｄが加わると、第１可動体２０ａには、質量ｍ１と、加速度αｕと、距離ｒ１との積に相当する第１回転モーメントＮｄ１が、梁１６の中心Ｑを回転軸として反時計回りの方向に作用する。他方、第２可動体２０ｂには、質量ｍ２と、加速度αｕと、距離ｒ２との積に相当する第２回転モーメントＮｕ２が、梁１６の中心Ｑを回転軸として時計回りの方向に作用する。第１可動体２０ａの質量ｍ１は第２可動体の質量ｍ２よりも重く、第１可動体２０ａの重心ｍ１の位置する距離ｒ１は、第２可動体２０ｂの重心ｍ２の位置する距離ｒ２よりも長いため、第１可動体２０ａに作用する第１回転モーメントＮｄ１は、第２可動体２０ｂに作用する第２回転モーメントＮｄ２よりも、大きい。

これにより、図３（ｄ）に示すように、梁１６には、第１回転モーメントＮｄ１（図３（ｃ）参照）と第２回転モーメントＮｄ２（図３（ｃ）参照）の差に相当するトルクＮｄが、梁１６の中心Ｑを回転軸として反時計回りの方向に作用し、可動体２０は、反時計回りに傾倒する。これにより、第１可動体２０ａの第１可動電極部２１と第１固定電極部１１との間隙が小さく（狭く）なり、第１可動電極部２１と第１固定電極部１１との間の静電容量Ｃ１の静電容量値が増加する。他方、第２可動体２０ｂの第２可動電極部２２と第２固定電極部１２との間隙が大きく（広く）なり、第２可動電極部２２と第２固定電極部１２との間の静電容量Ｃ２の静電容量値が減少する。

物理量検出素子１は、梁１６に作用するトルクＮｕ，Ｎｄを大きくすることで、可動体２０を大きく傾倒させることができる。これにより静電容量Ｃ１，Ｃ２の静電容量値の増減が大きくなるため、物理量検出素子１の物理量を検出する感度を向上させることができる。
前述したように、トルクＮｕ，Ｎｄの増大は、第１可動電極部２１の質量ｍ１を第２可動電極部２２の質量ｍ２より重くすること、または／および、第１可動体２０ａの重心Ｇ１と梁１６の中心Ｑとの距離ｒ１を第２可動体２０ｂの重心Ｇ２と梁１６の中心Ｑとの距離ｒ２よりも長くすることで実現できる。したがって、物理量検出素子１は、第１可動電極部２１の質量ｍ１と、第２可動電極部２２の質量ｍ２と、の差を大きくすること、または／および、第１可動体２０ａの重心Ｇ１と梁１６の中心Ｑとの距離ｒ１と、第２可動体２０ｂの重心Ｇ２と梁１６の中心Ｑとの距離ｒ２と、の差を大きくすることで、物理量を検出する感度を向上させることができる。また、物理量検出素子１は、ねじりばねとして機能する梁１６のＸ軸方向の幅を、狭くすることで、ばねの靱性を低下させ、可動体２０の傾斜を大きくさせることで、物理量を検出する感度を向上させる方法もある。

次に、図１および図２に戻り、可動体に設けられている貫通孔について説明する。
可動体２０には、可動体２０に鉛直方向の加速度が加わり、可動体２０が揺動する際に、気体の粘性により生じるダンピング（可動体の動きを止めようとする働き、流動抵抗）を低減するために、可動体２０をＺ軸方向に貫通する第１貫通孔２６と第２貫通孔２７とが設けられている。第１可動電極部２１と第２可動電極部２２とには、複数の第１貫通孔２６が設けられ、第１質量部２３には、複数の第２貫通孔２７が設けられている。本実施形態では、第１可動電極部２１と第２可動電極部２２とには、３行３列のマトリックス状に配置された同一形状の第１貫通孔２６が設けられ、第１質量部２３には、２行２列にマトリックス状に配置された同一形状の第２貫通孔２７が設けられている。なお、複数設けられている第１貫通孔２６および第２貫通孔２７は、個々に異なる形状を有していてもよい。また、第１貫通孔２６および第２貫通孔２７を配置する位置や数量も自由に設定することができる。

本実施形態では、第１質量部２３の単位面積当たりの質量は、第１可動電極部２１の単位面積当たりの質量よりも重いため、物理量検出素子１の物理量を検出する感度を向上させることができる。図１および図３（ａ）を参照して詳述すると、第１可動体２０ａの質量ｍ１を維持したまま、第１質量部２３の単位面積当たりの質量を、第１可動電極部２１の単位面積当たりの質量よりも重くすることにより、第１可動体２０ａの重心Ｇ１の位置は、−Ｘ軸方向に移動する。これにより、第１可動体２０ａの重心Ｇ１と梁１６の中心Ｑとの距離ｒ１と、第２可動体２０ｂの重心Ｇ２と梁１６の中心Ｑとの距離ｒ２と、の差を大きくすることができるため、物理量検出素子１の物理量を検出する感度を向上させることができる。また、一般的に、質量の増加は剛性の向上につながることにより、第１質量部２３の剛性は、第１可動電極部２１の剛性よりも強くなるため、第１質量部２３の端部と基板１０とが接触した時の第１質量部２３の損傷を防止することができる。

本実施形態では、第１質量部には複数の第２貫通孔が設けられ、第１可動部には複数の第１貫通孔が設けられている。梁１６と直交する方向（Ｘ軸方向）に隣り合う第２貫通孔２７の間隔Ｌ２の平均寸法は、Ｘ軸方向に隣り合う第１貫通孔２６の間隔Ｌ１の平均寸法より大きいため、物理量検出素子１の物理量を検出する感度を向上させることができる。図１および図３（ａ）を参照して詳述すると、一般的に、複数の貫通孔が設けられた物体は、貫通孔の隣り合う寸法が大きくなるほど、その物体の質量は大きく（重く）なる。したがって、第１質量部２３の質量は、第１可動電極部２１の質量よりも重くなるため、第１可動体２０ａの重心Ｇ１の位置は、−Ｘ軸方向に移動する。これにより、第１可動体２０ａの重心Ｇ１の位置する距離ｒ１と、第２可動体２０ｂの重心Ｇ２の位置する距離ｒ２と、の差を大きくすることができるため、物理量検出素子１の物理量を検出する感度を向上させることができる。また、第１質量部２３の質量は、第１可動電極部２１の質量よりも重いため、第１質量部２３の端部と基板１０とが接触した時の第１質量部２３の損傷を防止することができる。
なお、例えば、ねじりばねとして機能する梁１６のＸ軸方向の幅を、第２貫通孔２７のＸ軸方向に隣り合う間隔Ｌ２の平均寸法より小さくすることなどで、ばねの靱性を低下させることにより、可動体２０の傾倒を大きくさせることができる。これによって、物理量を検出する感度を向上させることもできる。

本実施形態では、第１質量部には複数の第２貫通孔が設けられ、第１可動部には複数の第１貫通孔が設けられている。

梁１６と平行する方向（Ｙ軸方向）に隣り合う第２貫通孔２７の間隔Ｒ２の平均寸法は、Ｙ軸方向に隣り合う第１貫通孔２６の間隔Ｒ１の平均寸法より大きいため、物理量検出素子１の物理量を検出する感度を向上させることができる。したがって、第１質量部２３の質量は、第１可動電極部２１の質量よりも重くなるため、第１可動体２０ａの重心Ｇ１の位置は、−Ｘ軸方向に移動する。これにより、第１可動体２０ａの重心Ｇ１と梁１６の中心Ｑとの距離ｒ１と、第２可動体２０ｂの重心Ｇ２と梁１６の中心Ｑとの距離ｒ２と、の差を大きくすることができるため、物理量検出素子１の物理量を検出する感度を向上させることができる。また、第１質量部２３の質量は、第１可動電極部２１の質量よりも重いため、第１質量部２３の端部と基板１０とが接触した時の第１質量部２３の損傷を防止することができる。

本実施形態では、可動体２０は、梁１６の延在方向と直交する方向に面積比で２等分（Ｘ軸方向の中心線ＣＬ１で２等分）した場合、各々の質量が等しい。Ｚ軸方向からの平面視において、第１貫通孔２６および第２貫通孔２７の大きさや配置などが異なり、対称形状を成していない場合でも、領域２０ｃの質量と、領域２０ｄの質量と、が等しいため、可動体２０にＺ軸方向の加速度が加わった際、可動体２０のＹ軸に平行する２辺を水平に保ったままシーソー搖動させることができる。これにより、可動体２０の捩れ搖動を防げるため、物理量検出素子１の検出精度を向上させることができる。

本実施形態では、可動体２０は、中心線ＣＬ１に対して、線対称形状に設けられている。可動体２０には、中心線ＣＬ２に対して対象に、第１貫通孔２６および第２貫通孔２７が設けられているため、領域２０ｃ、領域２０ｄとは、質量が等しく、各々の領域が受けるダンピング（エアーの抗力）も対称になる。このため、さらに、可動体２０の捩れ搖動を防ぎ、物理量検出素子１の検出精度を向上させる効果がある。

なお、本実施形態では、可動体２０は、第１固定電極部１１と第２固定電極部１２との間の主面１０ａから＋Ｚ軸方向に立設されている支持部１４と、支持部１４に支持されている梁１６を介して設けられているものとして説明したが、この構成に限定されるものではない。例えば、可動体は、Ｚ軸方向からの平面視にて、可動体と所定の間隔を有して、可動体の外周を取り囲む枠状の支持体を設けて、支持体の上に設けられている支持部からＹ軸方向に延設されている梁に、支持されている構成としてもよい。

以上述べたように、本実施形態に係る物理量検出素子１によれば、以下の効果を得ることができる。
第１質量部２３に複数設けられている第２貫通孔２７の隣り合う間隔Ｌ２およびＲ２の少なくとも一方の平均寸法は、第１可動電極部２１に複数設けられている第１貫通孔２６の隣り合う間隔Ｌ１および／またはＲ１の平均寸法より、大きい。可動体２０は、均一な厚さを有しているため、第１質量部２３の質量は、第１可動電極部２１の質量より、重くなり、第１可動体２０ａの重心Ｇ１の位置は、−Ｘ軸方向に移動する。これにより、第１可動体２０ａの重心Ｇ１と梁１６の中心Ｑとの距離ｒ１と、第２可動体２０ｂの重心Ｇ２と梁１６の中心Ｑとの距離ｒ２と、の差を大きくすることができるため、物理量検出素子１の物理量を検出する感度を向上させることができる。換言すると、検出感度を維持したまま小型化を図ることができる。また、第１質量部２３の剛性は、第１可動電極部２１の剛性よりも強くなるため、第１質量部２３の端部と基板１０とが接触した時の第１質量部２３の破損を防止することができる。したがって、検出感度と信頼性とを向上させること、および小型化を図ること、が可能な物理量検出素子１を提供することができる。

（実施形態２）
図４は、実施形態２に係る物理量検出素子を模式的に示す平面図である。図５は、図４におけるＡ−Ａ線での断面図である。
本実施形態に係る物理量検出素子について、これらの図を参照して説明する。なお、実施形態１と同一の構成部位については、同一の符号を使用し、重複する説明は省略する。なお、本実施形態の物理量検出素子は、第１質量部と、第１可動電極部とで、異なる厚さの可動体を備えているところが、実施形態１の構成と異なっている。

図４および図５に示すように、物理量検出素子２は、基板１０と、基板１０の主面１０ａ上に設けられている第１固定電極部１１および第２固定電極部１２と、第１固定電極部１１と第２固定電極部１２との間の主面１０ａから＋Ｚ軸方向に立設されている支持部１４と、支持部１４に支持されている梁１６を介し、基板１０と間隙を有して設けられている可動体３０などから構成されている。

可動体３０は、支持部１４ｂと、支持部１４ｂに支持されている梁１６とで、一体で形成され、支持部１４ａ，１４ｂおよび梁１６を介して、基板１０と間隙を有して設けられている。可動体３０は、梁１６から−Ｘ軸方向に向かって、第１可動電極部３１と、第１質量部３３とが順に設けられ、梁１６から＋Ｘ軸方向に、第２可動電極部３２が設けられている。なお、以降の説明では、可動体３０の内、梁１６の中心線ＣＬ２から−Ｘ軸方向側の領域は第１可動体３０ａと、梁１６の中心線ＣＬ２から＋Ｘ軸方向側の領域は第２可動体３０ｂと、称する。

可動体３０は、Ｚ軸方向からの平面視において、長方形の板状であり、本実施形態では、第１質量部３３の厚さ方向（Ｚ軸方向）の寸法は、第１可動電極部３１および第２可動電極部３２の厚さ方向（Ｚ軸方向）の寸法より、大きい（厚い）。これにより、第１質量部３３の質量が大きく（重く）なるため、第１可動体３０ａの重心の位置は、−Ｘ軸方向に移動する。これにより、第１可動体３０ａの重心Ｇ１と梁１６の中心Ｑとの距離ｒ１と、第２可動体３０ｂの重心Ｇ２と梁１６の中心Ｑとの距離ｒ２と、の差を大きくすることができるため、物理量検出素子２の物理量を検出する感度を向上させることができる。また、第１質量部３３の質量は、第１可動電極部２１の質量よりも重いため、第１質量部３３の端部と基板１０とが接触した時の第１質量部３３の損傷を防止することができる。

なお、本実施形態では、可動体３０は、第１質量部３３と、第１可動電極部３１との境界で、厚さが異なっているものとして説明したが、この構成に限定されるものではない。例えば、第１可動体３０ａの厚さが、＋Ｘ軸方向から−Ｘ軸方向に向かって、階段状に順次厚くなっていてもよいし、なだらかに厚くなっていてもよい。

以上述べたように、本実施形態に係る物理量検出素子２によれば、実施形態１での効果に加えて、以下の効果を得ることができる。
物理量検出素子２は、第１質量部３３と、第１可動電極部３１とで、異なる厚さの可動体３０を備えている。第１質量部３３の厚さが、第１可動電極部３１の厚さより、厚いため、第１可動体３０ａの質量は重くなり、重心位置は−Ｘ軸方向に移動する。これにより、さらに、物理量検出素子２の物理量を検出する感度を向上させることができる。換言すると、検出感度を維持したまま小型化を図ることもできる。また、第１質量部３３の剛性は、第１可動電極部３１の剛性よりも強くなるため、第１質量部３３の端部と基板１０とが接触した時の第１質量部３３の破損を防止することができる。したがって、検出感度と信頼性とを向上させること、および小型化を図ること、が可能な物理量検出素子２を提供することができる。

なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、上述した実施形態に種々の変更や改良などを加えることが可能である。
上記実施形態１では、図１のように、第１質量部２３に複数設けられている第２貫通孔２７の隣り合う間隔を、第１可動電極部２１に複数設けられている第１貫通孔２６の隣り合う間隔より、大きくすることで、第１可動体２０ａの質量を増し、重心の位置を−Ｘ軸方向に変えるものとして説明したが、この構成に限定するものではない。以下に、変形例を述べる。

（変形例１）
図６は、変形例１に係る物理量検出素子を模式的に示す平面図である。図７は、図６におけるＡ−Ａ線での断面図である。
以下、変形例１に係る物理量検出素子３について説明する。なお、実施形態１と同一の構成部位については、同一の符号を使用し、重複する説明は省略する。

物理量検出素子３には、Ｚ軸方向からの平面視で、第１質量部２３に形成されている２つの角の基板１０側の面に、質量を有する緩衝部５０が設けられている。緩衝部５０の材料には、第１質量部３３の端部と基板１０とが、接触した時の衝撃を吸収するため、柔軟性を有するシリコーンなどが使用されている。これにより、第１可動体２０ａの質量は重くなり、重心位置は−Ｘ軸方向に移動するため、前記の各実施形態と同様な作用効果を得ることができる。また、本変形例では、柔軟性を有する緩衝部５０を備えているため、さらに信頼性を向上させた物理量検出素子３を提供できる。

なお、緩衝部５０の形状や数量は、第１質量部３３と基板１０とが接触する恐れのある領域の一部を含んでいれば、特に限定されない。緩衝部５０は、衝撃を受けるため、信頼性の観点より、第２貫通孔２７を有さない領域に設けることが望ましい。

（変形例２）
図８は、変形例２に係る物理量検出素子を模式的に示す平面図である。図９は、図８におけるＡ−Ａ線での断面図である。
以下、変形例２に係る物理量検出素子４について説明する。なお、実施形態１と同一の構成部位については、同一の符号を使用し、重複する説明は省略する。

物理量検出素子４には、第１質量部２３の基板１０側の面に、電極８０が設けられている。電極８０に、比重の大きい金属材料を用いることで、第１質量部２３の質量を効果的に重くすることができる。これにより、第１可動体２０ａの質量は重くなり、重心位置は−Ｘ軸方向に移動するため、前記の各実施形態と同様な作用効果を得ることができる。また、電極８０に、硬度の低い金属材料を用いることで、第１質量部３３の端部と基板１０とが、接触した時の衝撃を吸収させることができるため、さらに信頼性を向上させた物理量検出素子４を提供できる。

（物理量検出装置）
次に、本発明の物理量検出素子１を適応した物理量検出装置について説明する。図１０は、物理量検出素子１を備える物理量検出装置１００の概略を示した断面図である。
物理量検出装置１００は、インターポーザ（ＩＰ：Ｉｎｔｅｒｐｏｓｅｒ）基板１１０の底面に、蓋体９０で覆われた物理量検出素子１と、ＩＣチップとが実装され、さらにモールド樹脂１２０で覆われている。

物理量検出素子１は、基板１０に設けられている第１固定電極部１１および第２固定電極部１２と、可動体２０などと、で構成されている。第１固定電極部１１、第２固定電極部１２および可動体２０と、基板１０とは、図示しない配線で電気的に接続されている。蓋体９０の材料は、特に限定されないが、本物理量検出装置１００では、好適例として、加工が容易なシリコンを含む導電性の材料が用いられている。蓋体９０は、ホウ珪酸ガラスを用いた基板１０と、陽極接合法などによって接合されている。なお、蓋体９０で覆われている物理量検出素子１のキャビティー１６０は、窒素などの不活性気体雰囲気であることが望ましい。

ＩＰ基板１１０には、ガラス繊維入りエポキシなどの材料が使用され、図示しない外部接続端子と配線とが、形成されている。ＩＰ基板１１０に、物理量検出素子１の基板１０と、ＩＣチップ１３０とが、接着剤などの固定部材１４０を介して接着支持されている。この固定部材１４０の材料は、特に限定されないが、エポキシ樹脂を主剤としたコンポジットレジンなどを使用することができる。ＩＣチップ１３０は、Ａｕ（金）などのワイヤー１５０で、基板１０およびＩＰ基板１１０に形成された配線（図示せず）と電気的接続がされている。ＩＣチップ１３０は、物理量検出素子１に加わった加速度などの物理量を出力する検出回路を含んでいる。
最後に、ＩＰ基板１１０の物理量検出素子１などが実装されている面を、モールド樹脂１２０で覆うことで、物理量検出装置１００を構成することができる。

以上述べたように、物理量検出装置１００には、小型で、物理量の検出感度と信頼性とを向上させた物理量検出素子１が用いられているため、小型で、高い検出感度と高い信頼性とを有した物理量検出装置１００を提供することができる。

（電子機器）
次に、本発明の実施形態に係る物理量検出素子１、または物理量検出装置１００を備えた電子機器について図１１から図１３を用いて説明する。なお、説明では、物理量検出素子１を用いた例を示している。

図１１は、本発明の実施形態１に係る物理量検出素子１を備える電子機器としてのモバイル型（又はノート型）のパーソナルコンピューター１１００の構成の概略を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１０００を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、加速度センサーなどとして機能する物理量検出素子１が内蔵されている。

図１２は、本発明の実施形態１に係る物理量検出素子１を備える電子機器としての携帯電話機１２００（ＰＨＳも含む）の構成の概略を示す斜視図である。この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１０００が配置されている。このような携帯電話機１２００には、加速度センサーなどとして機能する物理量検出素子１が内蔵されている。

図１３は、本発明の実施形態１に係る物理量検出素子１を備える電子機器としてのデジタルスチルカメラ１３００の構成の概略を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、従来のフィルムカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）等の撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
デジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１０００が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１０００は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤ等を含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が表示部１０００に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このデジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなデジタルスチルカメラ１３００には、加速度センサーなどとして機能する物理量検出素子１が内蔵されている。

なお、本発明の実施形態１に係る物理量検出素子１は、図１１のパーソナルコンピューター１１００（モバイル型パーソナルコンピューター）、図１２の携帯電話機１２００、図１３のデジタルスチルカメラ１３００の他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター等の電子機器に適用することができる。

（移動体）
図１４は移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。自動車１５００には実施形態１に係る物理量検出素子１が搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車１５００には、物理量検出素子１を内蔵してタイヤなどを制御する電子制御ユニット１５１０が車体に搭載されている。また、物理量検出素子１は、他にもキーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム(ＴＰＭＳ：Ｔｉｒｅ Ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｍｏｎｉｔｏｒｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ)、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｕｎｉｔ）に広く適用できる。

１，２，３，４…物理量検出素子、１０…基板、１１…第１固定電極部、１２…第２固定電極部、１４…支持部、１６…梁、２０…可動体、２０ａ…第１可動体、２０ｂ…第２可動体、２１…第１可動電極部、２２…第２可動電極部、２３…第１質量部、２６…第１貫通孔、２７…第２貫通孔、３０…可動体、３０ａ…第１可動体、３０ｂ…第２可動体、３１…第１可動電極部、３２…第２可動電極部、３３…第１質量部、５０…緩衝部、８０…電極部、９０…蓋体、１００…物理量検出装置、１１０…ＩＰ基板、１２０…モールド樹脂、１３０…ＩＣチップ、１４０…固定部材、１５０…ワイヤー、１６０…キャビティー、１７０…実装部、１０００…表示部、１１００…パーソナルコンピューター、１１０２…キーボード、１１０４…本体部、１１０６…表示ユニット、１２００…携帯電話機、１２０２…操作ボタン、１２０４…受話口、１２０６…送話口、１３００…デジタルスチルカメラ、１３０２…ケース、１３０４…受光ユニット、１３０６…シャッターボタン、１３０８…メモリー、１３１２…ビデオ信号出力端子、１３１４…データ通信用の入出力端子、１４３０…テレビモニター、１４４０…パーソナルコンピューター、１５００…自動車、１５１０…電子制御ユニット。

Claims (12)

1. 基板と、
   前記基板に設けられている第１固定電極部および第２固定電極部と、
   前記基板上に設けられている可動体と、
   前記可動体に設けられている梁と、を備え、
   前記可動体の前記梁に対して一方には、前記第１固定電極部と対向している第１可動電極部と、前記第１可動電極部から前記梁と反対方向に配置されている第１質量部と、を含み、
   前記可動体の前記梁に対して他方には、前記第２固定電極部と対向している第２可動電極部、を含み、
   前記第１可動電極部には、第１貫通孔が設けられ、
   前記第１質量部には、第２貫通孔が設けられ、
   前記第１質量部の平面視における単位面積当たりの質量は、前記第１可動電極部の単位面積当たりの質量より、重いことを特徴とする物理量検出素子。
2. 前記第１質量部の厚さは、前記第１可動電極部の厚さと、等しいことを特徴とする請求項１に記載の物理量検出素子。
3. 前記第１質量部の厚さは、前記第１可動電極部の厚さおよび前記第２可動電極部の厚さより、厚いことを特徴とする請求項１に記載の物理量検出素子。
4. 前記第１貫通孔および前記第２貫通孔は、複数設けられ、
   前記梁の延在方向と直交する方向に隣り合う前記第２貫通孔の間隔の平均寸法は、前記梁の延在方向と直交する方向に隣り合う前記第１貫通孔の間隔の平均寸法より、大きいことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の物理量検出素子。
5. 前記第１貫通孔および前記第２貫通孔は、複数設けられ、
   前記梁の延在方向と平行する方向に隣り合う前記第２貫通孔の間隔の平均寸法は、前記梁の延在方向と平行する方向に隣り合う前記第１貫通孔の間隔の平均寸法より、大きいことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の物理量検出素子。
6. 前記第１質量部の前記基板側の面には、緩衝部が設けられていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の物理量検出素子。
7. 前記第１質量部の前記基板側の面には、電極が設けられていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の物理量検出素子。
8. 前記可動体を前記梁の延在方向と直交する方向に面積比で２等分した場合、各々の質量が等しいことを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の物理量検出素子。
9. 前記可動体は、前記梁の延在方向と直交する方向の中心線に対して、線対称形状に設けられていることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の物理量検出素子。
10. 請求項１から９のいずれか一項に記載の物理量検出素子と、
    前記物理量検出素子に加わった物理量に応じた信号を出力する検出回路と、を含むことを特徴とする物理量検出装置。
11. 請求項１から９のいずれか一項に記載の物理量検出素子を備えていることを特徴とする電子機器。
12. 請求項１から９のいずれか一項に記載の物理量検出素子を備えていることを特徴とする移動体。

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