JP2013099809A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チャックテーブル18と、スピンドルと、被加工物11を切削する切削ブレード28と、該スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、切削ブレード28を覆うブレードカバー46と、を含む切削手段と、該チャックテーブル18と該切削手段とを相対移動させる加工送り手段と、該チャックテーブル18と該切削手段とを該加工送り方向に直交する割り出し送り方向に相対移動させる割り出し送り手段と、を具備し、該ブレードカバー46は、加工進行方向先頭側に配設されて該切削ブレード28に向かって切削液を供給する切削液ノズル70と、該ブレードカバー28から加工進行方向後ろ側に伸長するように配設されて、被加工物11を洗浄する洗浄液からなる洗浄液カーテンを形成する洗浄液カーテン形成手段50と、を有する。
【選択図】図5
Description
11 被加工物
13 支持基板
18 チャックテーブル
24 切削ユニット
28 切削ブレード
46 ブレードカバー
50 洗浄液カーテン形成ユニット
54a 洗浄液カーテン形成前ノズル
54b 洗浄液カーテン形成後ろノズル
64 洗浄液サブノズル
56a,56b,66 洗浄液噴出スリット
70 切削液ノズル
Claims (2)
- 被加工物を切削する切削装置であって、
被加工物を保持するチャックテーブルと、
回転駆動されるスピンドルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する該スピンドルの先端に装着された切削ブレードと、該スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに装着されて該切削ブレードを覆うブレードカバーと、を含む切削手段と、
該チャックテーブルと該切削手段とを加工送り方向に相対移動させる加工送り手段と、
該チャックテーブルと該切削手段とを該加工送り方向に直交する割り出し送り方向に相対移動させる割り出し送り手段と、を具備し、
該ブレードカバーは、加工進行方向先頭側に配設されて該切削ブレードに向かって切削液を供給する切削液ノズルと、
該ブレードカバーから加工進行方向後ろ側に伸長するように配設されて、被加工物を洗浄する洗浄液からなる洗浄液カーテンを形成する洗浄液カーテン形成手段と、
を有することを特徴とする切削装置。 - 前記洗浄液カーテン形成手段は、
前記切削ブレードの一方の面側に配設されて前記ブレードカバーから前記加工進行方向後ろ側に伸長する洗浄液噴出部を有する第1洗浄液カーテン形成ノズルと、
該切削ブレードの他方の面側に配設されて該ブレードカバーから該加工進行方向後ろ側に伸長する洗浄液噴出部を有する第2洗浄液カーテン形成ノズルと、
を含むことを特徴とする請求項1記載の切削装置。
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