JP2013064728A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧力検出素子2と、圧力検出素子が内面に固定されたべース4と、べースに対向して配置された受け部材5と、べースと受け部材とで挟持されたダイアフラム6と、ダイアフラムを挟持した状態のべース及び受け部材を、両者が互いに離間するのを防止するように両者を挟持する挟持部材13と、ベースとダイアフラムとの間の空間に封入された液体とを備え、受け部材とダイアフラムとの間の空間内の圧力が、ダイアフラム及び液体を介して圧力検出素子へ伝達される圧力センサ1。挟持部材13を備えるため、べースと受け部材との間に繰り返し高圧が付加された場合でも、両者が離間することがなく、べースと受け部材とが溶接接合されている場合でも、溶接部の割れを回避し、圧力センサの破損を防止することができる。
【選択図】図1
Description
2 圧力検出素子
3 流入管
4 べース
4a 貫通孔
4b ハーメチックシール
4c 周縁部
4d 側面部
4e 上面部
5 受け部材
5a 周縁部
5b 側面部
5c 下面部
6 ダイアフラム
7 受圧空間
8 加圧空間
9 ボール
11(11A〜11C) 出力用リードピン
12(12A〜12E) 調整用リードピン
13 挟持部材
13a 内フランジ部
13b 円筒部
14、15 溶接部
21 圧力センサ
22 挟持部材
22a 傾斜部
22b 円筒部
22c 内フランジ部
31 圧力センサ
32 挟持部材
32a 傾斜部
32b 円筒部
32c 内フランジ部
32x、32y 凹み
41 圧力センサ
42 挟持部材
42a、42b 孔
42c 円筒部
42d 傾斜部
42e 天井部
Claims (8)
- 圧力検出素子と、
該圧力検出素子が内面に固定されたべースと、
該べースに対向して配置された受け部材と、
前記べースと前記受け部材とで挟持されたダイアフラムと、
該ダイアフラムを挟持した状態の前記べース及び前記受け部材を、両者が互いに離間するのを防止するように両者を挟持する挟持部材と、
前記ベースと前記ダイアフラムとの間の空間に封入された液体とを備え、
前記受け部材と前記ダイアフラムとの間の空間内の圧力が、前記ダイアフラム及び前記液体を介して前記圧力検出素子へ伝達されることを特徴とする圧力センサ。 - 前記ベース及び受け部材は、それぞれ膨出部及び周縁部を備えると共に、前記ダイアフラムは、前記ベース及び受け部材の周縁部で挟持され、
前記挟持部材は、その一端が前記ベース及び前記受け部材のいずれか一方の膨出部又は周縁部と係合し、その他端が前記ベース及び前記受け部材のいずれか他方の周縁部と溶接接合されることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記挟持部材は、円筒部及び該円筒部の一端に設けられた内フランジ部より成り、
該内フランジ部が、前記ベース及び前記受け部材のいずれか一方の周縁部と係合し、その他端が前記ベース及び前記受け部材のいずれか他方の周縁部と溶接接合されることを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。 - 前記挟持部材は、円筒部及び該円筒部の一端に設けられた傾斜部より成り、
該傾斜部が、前記ベース及び前記受け部材のいずれか一方の膨出部の肩部と係合し、その他端が前記ベース及び前記受け部材のいずれか他方の周縁部と溶接接合されることを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。 - 前記挟持部材は、円筒部及び該円筒部の一端に設けられた内フランジ部より成り、
該内フランジ部が、前記ベース及び前記受け部材のいずれか一方の膨出部の上面部周辺と係合し、その他端が前記ベース及び前記受け部材のいずれか他方の周縁部と溶接接合されることを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。 - 前記内フランジ部の内周に、前記膨張部に形成されたハーメチック孔を逃げるための円弧状の凹みが形成されたことを特徴とする請求項5に記載の圧力センサ。
- 前記挟持部材は、円筒部及び該円筒部の一端に設けられた天井部より成り、
該天井部が、前記ベース及び前記受け部材のいずれか一方の膨出部の上面部全面と係合し、その他端が前記ベース及び前記受け部材のいずれか他方の周縁部と溶接接合されることを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。 - 前記天井部に、前記膨張部に形成されたハーメチック孔を逃げるための孔が形成されたことを特徴とする請求項7に記載の圧力センサ。
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