JP2007121196A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007121196A JP2007121196A JP2005316415A JP2005316415A JP2007121196A JP 2007121196 A JP2007121196 A JP 2007121196A JP 2005316415 A JP2005316415 A JP 2005316415A JP 2005316415 A JP2005316415 A JP 2005316415A JP 2007121196 A JP2007121196 A JP 2007121196A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- case
- introduction hole
- orifice
- metal diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 51
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 51
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 38
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 26
- 239000012530 fluid Substances 0.000 abstract description 15
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 15
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 8
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 7
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 2
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000009365 direct transmission Effects 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- -1 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 210000002268 wool Anatomy 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/0038—Fluidic connecting means being part of the housing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0609—Pressure pulsation damping arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
- G01L19/0645—Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/142—Multiple part housings
- G01L19/143—Two part housings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
【解決手段】圧力導入孔31に、圧力導入孔31の断面積を縮小するオリフィス37を形成するか、圧力導入孔31を広げた部屋32に測定媒体となる流体の流動を規制するバッフル構造体38を設ける。
【選択図】図1
Description
以下、本発明の一実施形態が適用された圧力センサについて説明する。図1に、本実施形態における圧力センサS1の断面図を示し、この図に基づいて説明する。なお、この圧力センサS1は、例えば、自動車に搭載され自動車のエアコンの冷媒配管内の冷媒圧力やディーゼル車の排気洗浄フィルタであるDPFの差圧計測等の検出に用いられる。
上記実施形態では、オリフィス37とバッフル構造体38を共に用いる例を挙げて説明したが、これはより上記効果を得るために採用したものであり、これらのうちの少なくとも1つを備えた構造であれば、上記効果を得ることが可能である。
20…センシング部としてのセンサ素子、30…第2のケースとしてのハウジング、
34…メタルダイアフラム、35…リングウェルド、37…オリフィス、
38…バッフル構造体、42…溝、43…Oリング。
Claims (6)
- 第1のケース(10)と測定媒体が導入される圧力導入孔(31)が形成された第2のケース(30)とを一体に組み付けてなるケーシング(100)と、
該ケーシング(100)内に備えられた圧力検出用のセンシング部(20)と、
前記第1のケース(10)の先端面(10a)と前記第2のケース(30)の一面(30b)との間に配置されたメタルダイアフラム(34)と、を備え、
前記第2ケース(30)のうち前記圧力導入孔(31)が広げられることで形成された部屋(32)内に前記圧力導入孔(31)を通じて前記測定媒体が導入されることで、前記部屋(32)内の測定媒体の圧力を前記メタルダイアフラム(34)を介して前記センシング部(20)に伝え、圧力検出を行うように構成されており、
前記圧力導入孔(31)に、該圧力導入孔(31)の断面積を縮小するオリフィス(37)が備えられていることを特徴とする圧力センサ。
前記部屋(32)には、前記測定媒体が前記メタルダイアフラム(34)に流動することを規制するバッフル構造体(38)が備えられていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記圧力導入孔(31)および前記オリフィス(37)は断面が円形を成しており、前記オリフィス(37)の径が前記圧力導入孔(31)の径の1/2であることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記オリフィス(37)から前記メタルダイアフラム(34)までの距離が10mm以上離れていることを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサ。
- 前記部屋(32)には、前記測定媒体が前記メタルダイアフラム(34)に流動することを規制するバッフル構造体(38)が備えられていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 第1のケース(10)と測定媒体が導入される圧力導入孔(31)が形成された第2のケース(30)とを一体に組み付けてなるケーシング(100)と、
該ケーシング(100)内に備えられた圧力検出用のセンシング部(20)と、
前記第1のケース(10)の先端面(10a)と前記第2のケース(30)の一面(30b)との間に配置されたメタルダイアフラム(34)と、を備え、
前記第2ケース(30)のうち前記圧力導入孔(31)が広げられることで形成された部屋(32)内に前記圧力導入孔(31)を通じて前記測定媒体が導入されることで、前記部屋(32)内の測定媒体の圧力を前記メタルダイアフラム(34)を介して前記センシング部(20)に伝え、圧力検出を行うように構成されており、
前記部屋(32)には、前記測定媒体が前記メタルダイアフラム(34)に流動することを規制するバッフル構造体(38)が備えられていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記バッフル構造体(38)は、複数の孔が形成された金属製のバッフル板か、金属網か、もしくは、金属性のウール状部材であることを特徴とする請求項4または5に記載の圧力センサ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005316415A JP2007121196A (ja) | 2005-10-31 | 2005-10-31 | 圧力センサ |
US11/523,033 US7340959B2 (en) | 2005-10-31 | 2006-09-19 | Pressure sensor |
DE102006051192A DE102006051192B4 (de) | 2005-10-31 | 2006-10-30 | Drucksensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005316415A JP2007121196A (ja) | 2005-10-31 | 2005-10-31 | 圧力センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007121196A true JP2007121196A (ja) | 2007-05-17 |
Family
ID=37913069
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005316415A Pending JP2007121196A (ja) | 2005-10-31 | 2005-10-31 | 圧力センサ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7340959B2 (ja) |
JP (1) | JP2007121196A (ja) |
DE (1) | DE102006051192B4 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012117992A (ja) * | 2010-12-03 | 2012-06-21 | Fuji Koki Corp | 圧力検出器 |
JP2013064664A (ja) * | 2011-09-19 | 2013-04-11 | Denso Corp | 圧力センサ |
JP2015503749A (ja) * | 2011-12-28 | 2015-02-02 | ポスコ | センサー装置及びそれを含む冷却設備の性能評価装置 |
WO2015186576A1 (ja) * | 2014-06-03 | 2015-12-10 | 株式会社日立製作所 | 圧力センサ及びそれを備えた血圧測定システム、又は車載システム |
JP2022527746A (ja) * | 2019-03-26 | 2022-06-06 | コリア・エレクトリック・ターミナル・コーポレイション・リミテッド | 圧力センサ |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8117920B2 (en) * | 2006-11-22 | 2012-02-21 | Danfoss A/S | Pressure sensor |
JP4699418B2 (ja) * | 2007-04-19 | 2011-06-08 | 株式会社デンソー | 圧力センサ |
US9140618B2 (en) | 2009-05-29 | 2015-09-22 | Schlumberger Technology Corporation | Membrane for oil compensation |
DE102010001963A1 (de) * | 2010-02-16 | 2011-08-18 | Robert Bosch GmbH, 70469 | Vorrichtung zur Verminderung von Druckpulsen bei Drucksensoren |
US8817483B2 (en) * | 2011-08-01 | 2014-08-26 | Honeywell International Inc. | Connector assembly for a sensor |
KR102009043B1 (ko) * | 2011-09-02 | 2019-08-08 | 가부시기가이샤 후지고오키 | 압력 센서 |
DK2628586T3 (da) * | 2012-02-14 | 2014-09-01 | Siemens Ag | Sensorindretning og fremgangsmåde til overvågning af en infusionsfremgangsmåde |
US20130263671A1 (en) * | 2012-04-10 | 2013-10-10 | General Electric Company | Fluid pressure spike attenuation feature for pressure sensing devices |
US20140000375A1 (en) * | 2012-06-29 | 2014-01-02 | General Electric Company | Pressure sensor assembly |
DE102013101731A1 (de) * | 2013-02-21 | 2014-09-04 | Epcos Ag | Drucksensorsystem |
DE102013218479A1 (de) | 2013-09-16 | 2015-03-19 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines fluiden Mediums |
CN103645002A (zh) * | 2013-11-27 | 2014-03-19 | 芜湖通和汽车管路***有限公司 | 一种液压传感器基座 |
KR101945923B1 (ko) * | 2014-06-17 | 2019-02-08 | 가부시키가이샤 사기노미야세이사쿠쇼 | 센서칩을 구비하는 센서유닛, 및 그것을 구비하는 압력검출장치 |
DE102015206468A1 (de) * | 2015-04-10 | 2016-10-13 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zum Bestimmen eines Drucks und Verfahren zum Herstellen derselben |
DE102017217684A1 (de) * | 2017-10-05 | 2019-04-11 | Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft | Ansaugtrakt für eine Verbrennungskraftmaschine eines Kraftfahrzeugs |
US11686639B2 (en) * | 2018-01-09 | 2023-06-27 | Kistler Holding Ag | Device for protecting a sensor's membrane from electromagnetic radiation |
US12013298B2 (en) * | 2018-11-27 | 2024-06-18 | Grundfos Holding A/S | Protective cover for a pressure sensor |
KR102623221B1 (ko) * | 2021-12-16 | 2024-01-10 | 대양전기공업 주식회사 | 압력 센서 유닛 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS542171A (en) * | 1977-06-07 | 1979-01-09 | Teikoku Sanso Kk | Safety device for bourdon gauge |
JPS63113331A (ja) * | 1986-10-31 | 1988-05-18 | Saginomiya Seisakusho Inc | 圧力センサ |
JP2004012140A (ja) * | 2002-06-03 | 2004-01-15 | Saginomiya Seisakusho Inc | 圧力検知器 |
JP2005164478A (ja) * | 2003-12-04 | 2005-06-23 | Denso Corp | 圧力センサ |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US559593A (en) * | 1896-05-05 | murphy | ||
DE4334123C2 (de) * | 1993-10-07 | 2002-12-19 | Bosch Gmbh Robert | Drucksensor |
JP3198773B2 (ja) | 1994-01-25 | 2001-08-13 | 株式会社デンソー | 半導体圧力検出器及びその製造方法 |
JP3198779B2 (ja) | 1994-03-04 | 2001-08-13 | 株式会社デンソー | 半導体圧力検出器の製造方法 |
JPH09195813A (ja) * | 1996-01-23 | 1997-07-29 | Aisan Ind Co Ltd | 吸気圧力検出装置 |
US5811685A (en) * | 1996-12-11 | 1998-09-22 | Mks Instruments, Inc. | Fluid pressure sensor with contaminant exclusion system |
WO2003100373A1 (de) * | 2002-05-24 | 2003-12-04 | Tiefenbach Bergbautechnik Gmbh | Hydraulischer drucksensor |
DE10257124A1 (de) * | 2002-12-05 | 2004-06-24 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Druck- und Differenzdruckmessgerät mit Überlastschutz |
JP2005181066A (ja) * | 2003-12-18 | 2005-07-07 | Denso Corp | 圧力センサ |
JP4052263B2 (ja) * | 2004-03-04 | 2008-02-27 | 株式会社デンソー | 圧力センサ |
JP4548066B2 (ja) * | 2004-09-24 | 2010-09-22 | 株式会社デンソー | 圧力センサ |
JP2006177925A (ja) * | 2004-11-25 | 2006-07-06 | Denso Corp | 圧力センサおよびその製造方法 |
JP2006226989A (ja) * | 2005-01-18 | 2006-08-31 | Denso Corp | 圧力センサの製造方法 |
-
2005
- 2005-10-31 JP JP2005316415A patent/JP2007121196A/ja active Pending
-
2006
- 2006-09-19 US US11/523,033 patent/US7340959B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-10-30 DE DE102006051192A patent/DE102006051192B4/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS542171A (en) * | 1977-06-07 | 1979-01-09 | Teikoku Sanso Kk | Safety device for bourdon gauge |
JPS63113331A (ja) * | 1986-10-31 | 1988-05-18 | Saginomiya Seisakusho Inc | 圧力センサ |
JP2004012140A (ja) * | 2002-06-03 | 2004-01-15 | Saginomiya Seisakusho Inc | 圧力検知器 |
JP2005164478A (ja) * | 2003-12-04 | 2005-06-23 | Denso Corp | 圧力センサ |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012117992A (ja) * | 2010-12-03 | 2012-06-21 | Fuji Koki Corp | 圧力検出器 |
JP2013064664A (ja) * | 2011-09-19 | 2013-04-11 | Denso Corp | 圧力センサ |
JP2015503749A (ja) * | 2011-12-28 | 2015-02-02 | ポスコ | センサー装置及びそれを含む冷却設備の性能評価装置 |
WO2015186576A1 (ja) * | 2014-06-03 | 2015-12-10 | 株式会社日立製作所 | 圧力センサ及びそれを備えた血圧測定システム、又は車載システム |
JP2015227856A (ja) * | 2014-06-03 | 2015-12-17 | 株式会社日立製作所 | 圧力センサ及びそれを備えた血圧測定システム、又は車載システム |
JP2022527746A (ja) * | 2019-03-26 | 2022-06-06 | コリア・エレクトリック・ターミナル・コーポレイション・リミテッド | 圧力センサ |
US11852552B2 (en) | 2019-03-26 | 2023-12-26 | Korea Electric Terminal Co., Ltd. | Pressure sensor with a communicating passage in a straight line |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102006051192A1 (de) | 2007-05-03 |
US20070095145A1 (en) | 2007-05-03 |
US7340959B2 (en) | 2008-03-11 |
DE102006051192B4 (de) | 2011-02-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007121196A (ja) | 圧力センサ | |
US7036385B2 (en) | Pressure sensor and related method | |
JP3976015B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2005156307A (ja) | 圧力センサ | |
US5847282A (en) | Piezoresistive pressure sensor or pressure detector assembly | |
US20070020113A1 (en) | Pressure sensor | |
JP5157797B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2008096283A (ja) | 圧力センサ | |
JP2009139210A (ja) | 圧力センサ | |
JP4415662B2 (ja) | 超音波流量計 | |
JP2009047670A (ja) | 圧力センサ | |
JP2008267953A (ja) | 圧力センサおよび圧力センサの取付構造 | |
JP2006200926A (ja) | 圧力センサ | |
JP2013064664A (ja) | 圧力センサ | |
JP4507890B2 (ja) | 圧力センサの製造方法 | |
US6971268B2 (en) | Pressure sensor having metallic diaphragm with convexity | |
JP2004132726A (ja) | 圧力センサ | |
JP4952271B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP3976014B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2006194680A (ja) | 圧力センサ | |
JP4155204B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2005214780A (ja) | 圧力センサ | |
JP4848909B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2009192362A (ja) | 圧力センサ | |
JP2005188958A (ja) | 圧力センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071105 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100909 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100914 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101019 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110308 |