JP2007121196A - 圧力センサ - Google Patents

Abstract

【課題】受圧部に印加される圧力の不均一を抑制することで、メタルダイアフラムの割れやワイヤの断線の発生を防止する。
【解決手段】圧力導入孔３１に、圧力導入孔３１の断面積を縮小するオリフィス３７を形成するか、圧力導入孔３１を広げた部屋３２に測定媒体となる流体の流動を規制するバッフル構造体３８を設ける。
【選択図】図１

Description

本発明は、圧力導入孔を通じて導入される測定媒体の圧力を検出するための圧力センサに関するものである。

従来より、圧力導入孔を通じて導入される測定媒体の圧力を検出するための圧力センサとして様々なものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。図４は、従来の圧力センサの断面構成を示したものである。

図４に示される圧力センサは、第１のケースとしてのコネクタケースＪ１と測定媒体を導入するための第２のケースとしてのハウジングＪ２とを備えて構成されるダイアフラムシールタイプの圧力センサである。すなわち、両ケースＪ１、Ｊ２の間にメタルダイアフラムＪ３を介在させた状態でハウジングＪ２の収容凹部Ｊ４内にコネクタケースＪ１が挿入されたのち、ハウジングＪ２の収容凹部Ｊ４の入り口側をかしめて圧力センサの組み付けが成されることで、内部に圧力検出室Ｊ５が区画形成され、この圧力検出室Ｊ５内にセンシング部としてのセンサ素子Ｊ６などが設けられた構造となっている。

そして、圧力検出室Ｊ５は、コネクタケースＪ１とハウジングＪ２との間に介在するＯリングＪ７によってシールされており、圧力検出室Ｊ５の内部には、たとえばオイルなどの圧力伝達部材Ｊ８が封入されている。また、ハウジングＪ２には圧力導入孔Ｊ９が形成され、この圧力導入孔Ｊ９を介して測定媒体が断面テーパ状（ラッパ形状）の部屋Ｊ１０に導入されるように構成されている。そして、導入された測定媒体による圧力がメタルダイアフラムＪ３における圧力検出室Ｊ５とは反対側の面に印加されると、それに応じた圧力がメタルダイアフラムＪ３から圧力伝達部材Ｊ８を介してセンサ素子Ｊ６に印加される。

このようにセンサ素子Ｊ６に圧力が印加されると、それに応じた検出信号がアルミワイヤＪ１１およびコネクタターミナルＪ１２を通じて外部に出力される。これにより、測定媒体の圧力の検出が行われるようになっている。
特開平７−２４３９２６号公報

図４に示したように、圧力センサでは、測定媒体が断面テーパ状の部屋Ｊ１０に導入されることで、測定媒体の圧力を広い面積の受圧部（メタルダイアフラムＪ３）で受けるようにされる。これは、広い面積で圧力を受けることで受圧部の圧力損失を少なくするためである。高精度な圧力センサを構成するためには、このような構造が必要不可欠である。

このような構造では、圧力導入孔Ｊ９から導入される測定媒体の圧力伝達が例えば図５に（ａ）に示すように遅い場合には、均一な圧力分布となり、好適な圧力検出を行うことができる。

しかしながら、図５（ｂ）に示すように、圧力導入孔Ｊ９から急峻な圧力（急激に大きく変化するような圧力）が入力される場合には、メタルダイアフラムＪ３の中心部に圧力が伝わった後に径方向に広がりながら圧力が印加されることになるため、圧力伝達時間に差が生じる。

また、図５（ｃ）に示すように、測定媒体が気液混合媒体等である場合には、圧力導入孔Ｊ９や断面テーパ状の部屋Ｊ１０内に液体や気体が存在している場合、圧縮性の違いにより圧力伝達時間に差が生じる。

これらの場合、受圧部に印加される圧力の面内バラツキが発生し、圧力不均一が生じる。また、圧力媒体が液体の場合、圧力波が減衰し難いため、反射波による圧力の粗密が発生し、同様に、受圧部に印加される圧力分布が不均一となる。

このような圧力不均一が発生すると、受圧部であるメタルダイアフラムＪ３に割れが発生したり、センサ内部に伝達されることでセンサ素子Ｊ６とコネクタターミナルＪ１２を接続するアルミワイヤＪ１１の断線を発生させる。

本発明は上記点に鑑みて、受圧部に印加される圧力の不均一を抑制することで、メタルダイアフラムの割れやワイヤの断線が発生することが防止できる構造の圧力センサを提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明では、圧力導入孔（３１）に、該圧力導入孔（３１）の断面積を縮小するオリフィス（３７）が備えられていることを特徴としている。

このように、オリフィス（３７）を形成することで測定媒体となる流体の流入が規制され、圧力減衰効果が得られる。このため、受圧部となるメタルダイアフラム（３４）に対して直接印加される圧力が急峻に変化することを抑制することができ、受圧部に印加される圧力の不均一を抑制することが可能となる。したがって、メタルダイアフラム（３４）の割れやセンシング部（２０）と電気的に接続されるワイヤ（１３）の断線の発生を防止できる。

この場合、オリフィス（３７）の径が圧力導入孔（３１）の径の１／２となるようにすると好ましい。

このように、オリフィス（３７）の径が圧力導入孔（３１）の径の１／２になると、圧力減衰率の低下度合が高くなる。このため、オリフィス（３７）の径が圧力導入孔（３１）の径の１／２となるようにすることで、より上記効果を得ることができる。

また、オリフィス（３７）からメタルダイアフラム（３４）までの距離が１０ｍｍ以上離れるようにすると好ましい。

このように、オリフィス（３７）の受圧部からの距離が１０ｍｍ以上離すことで、測定媒体となる流体の流速が急激に減衰し、オリフィス（３７）による圧力減衰を効果的に発揮させることが可能となる。したがって、オリフィス（３７）が受圧部から１０ｍｍ以上離すことで、より有効に上記効果を得る事が可能となる。

また、本発明では、圧力導入孔（３１）が広げられることで形成された部屋（３２）には、測定媒体がメタルダイアフラム（３４）に流動することを規制するバッフル構造体（３８）が備えられていることを特徴としている。

このように、バッフル構造体（３８）を備えると、このバッフル構造体（３８）により測定媒体となる流体の流動が遮られることになるため、圧力伝達を分散させることができ、反射波を抑制することも可能となる。このため、上記と同様の効果を得ることが可能となる。

例えば、バッフル構造体（３８）としては、複数の孔が形成された金属製のバッフル板か、金属網か、もしくは、金属性のウール状部材を用いることができる。

なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。

（第１実施形態）
以下、本発明の一実施形態が適用された圧力センサについて説明する。図１に、本実施形態における圧力センサＳ１の断面図を示し、この図に基づいて説明する。なお、この圧力センサＳ１は、例えば、自動車に搭載され自動車のエアコンの冷媒配管内の冷媒圧力やディーゼル車の排気洗浄フィルタであるＤＰＦの差圧計測等の検出に用いられる。

図１に示されるように、第１のケースとしてのコネクタケース１０は、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）やＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）等の樹脂を型成形することにより作られ、本実施形態では略円柱状をなしている。この樹脂ケースとしてのコネクタケース１０の一端部（図１中、下方側の端部）には、凹部１１が形成されている。

この凹部１１の底面には、圧力検出用のセンシング部としてのセンサ素子２０が配設されている。

センサ素子２０は、その表面に受圧面としてのダイアフラムを有し、このダイアフラムの表面に形成されたゲージ抵抗により、ダイアフラムが受けた圧力を電気信号に変換し、この電気信号をセンサ信号として出力する半導体ダイアフラム式のものである。

そして、センサ素子２０は、ガラス等よりなる台座２１に陽極接合等により一体化されており、この台座２１を凹部１１の底面に接着することで、センサ素子２０はコネクタケース１０に搭載されている。

また、コネクタケース１０には、センサ素子２０と外部の回路等とを電気的に接続するための複数個の金属製棒状のターミナル１２が貫通している。

本実施形態では、ターミナル１２は黄銅（真鍮）にメッキ処理（例えばＮｉメッキ）を施した材料よりなり、インサートモールドによりコネクタケース１０と一体に成形されることによってコネクタケース１０内にて保持されている。

各ターミナル１２の一端側（図１中、下方端側）の端部は、センサ素子２０の搭載領域の周囲において凹部１１の底面から突出して配置されている。一方、各ターミナル１２の他端側（図１中、上方端側）の端部は、コネクタケース１０の他端側の開口部１５内に露出している。

この凹部１１内に突出する各ターミナル１２の一端部とセンサ素子２０とは、金やアルミニウム等のボンディングワイヤ１３により結線され電気的に接続されている。

また、凹部１１内にはシリコン系樹脂等からなるシール剤１４が設けられており、このシール剤１４によって、凹部１１に突出するターミナル１２の根元部とコネクタケース１０との隙間が封止されている。

一方、図１において、コネクタケース１０の他端部（図１中、上方側の端部）側は開口部１５となっており、この開口部１５は、ターミナル１２の他端側を例えばワイヤハーネス等の外部配線部材（図示せず）を介して上記外部回路（車両のＥＣＵ等）に電気的に接続するためのコネクタ部となっている。

つまり、開口部１５内に露出する各ターミナル１２の他端側は、このコネクタ部によって外部と電気的に接続が可能となっている。こうして、センサ素子２０と外部との間の信号の伝達は、ボンディングワイヤ１３およびターミナル１２を介して行われるようになっている。

また、図１に示されるように、コネクタケース１０の一端部には、第２のケースとしてのハウジング３０が組み付けられている。具体的には、ハウジング３０には収容凹部３０ａが形成されており、この収容凹部３０ａ内にコネクタケース１０の一端側が挿入されることで、コネクタケース１０にハウジング３０が組みつけられた構成となっている。

これにより、第１のケースとしてのコネクタケース１０と第２のケースとしてのハウジング３０とが一体に組み付けられてなるケーシング１００が構成されており、このケーシング１００内にセンサ素子２０が設けられた形となっている。

このハウジング３０は、例えばアルミニウム（Ａｌ）等の金属材料よりなるものであり、測定対象物から測定媒体となる流体が導入される圧力導入孔３１と、圧力導入孔３１におけるセンサ素子２０側の端部が断面テーパ状（ラッパ形状）に広げられることで形成された部屋３２と、圧力センサＳ１を測定対象物に固定するためのネジ部３３とを有する。上述したように、測定対象物としては、たとえば自動車エアコンの冷媒配管などであり、測定圧力は、その冷媒配管内の冷媒圧力などである。

さらに、コネクタケース１０の先端面１０ａとハウジング３０における収容凹部３０ａのうちコネクタケース１０の先端面１０ａと対向する一面３０ｂとの間に、薄い金属（たとえばＳＵＳ等）製のメタルダイアフラム３４と金属（たとえばＳＵＳ等）製のリングウェルド（押さえ部材）３５とが配置されている。ハウジング３０の一面３０ｂとリングウェルド３５とは、全周にわたって例えば溶接等によって気密接合されている。リングウェルド３５とメタルダイアフラム３４とは予め溶接によって、もしくは、リングウェルド３５をハウジング３０に溶接するときに、全周が気密接合された状態となっている。

そして、図１に示されるように、ハウジング３０のうち収容凹部３０ａ側の端部がコネクタケース１０の一端部にかしめられることで、かしめ部３６が形成され、それによって、ハウジング３０とコネクタケース１０とが固定され一体化されている。

こうして組み合わせられたコネクタケース１０とハウジング３０とにおいて、コネクタケース１０の凹部１１とハウジング３０のダイアフラム３４との間で、圧力検出室４０が構成されている。

この圧力検出室４０には圧力伝達媒体であり封入液であるオイル（フッ素オイル等）４１が充填され封入されている。このオイル４１の封入により、凹部１１にはセンサ素子２０及びワイヤ１３等の電気接続部分を覆うようにオイル４１が充填され、さらに、オイル４１はダイアフラム３４により覆われて封止された形となる。

このような圧力検出室４０を構成することにより、圧力導入孔３１から導入された圧力は、メタルダイアフラム３４、オイル４１を介して、圧力検出室４０内のセンサ素子２０、ボンディングワイヤ１３、ターミナル１２に印加されることになる。

また、コネクタケース１０の先端面１０ａに、圧力検出室４０の外周を囲むように、環状の溝（Ｏリング溝）４２が形成され、この溝４２内には、圧力検出室４０を気密封止するためのＯリング４３が配設されている。

このＯリング４３は例えばシリコンゴム等の弾性材料よりなり、コネクタケース１０とハウジング３０とにより挟まれて押圧されている。こうして、メタルダイアフラム３４とＯリング４３とにより圧力検出室４０が封止され閉塞される。

そして、このような構造の圧力センサＳ１において、本実施形態では、圧力導入孔３１にオリフィス３７を形成すると共に、部屋３２内にバッフル手段を構成するバッフル構造体３８を形成している。

オリフィス３７は、圧力導入孔３１の断面積を縮小したものである。具体的には、オリフィス３７の径が圧力導入孔３１の径の１／２以下となるように縮径されている。例えば、圧力導入孔３１の径がφ３．０の場合、オリフィス３７の径がφ１．５以下となるようにサイズ設定されている。このオリフィス３７は、受圧部となるメタルダイアフラム３４から１０ｍｍ以上距離を離して配置されている。

バッフル構造体３８は、圧力導入孔３１から導入される測定媒体となる流体が直接メタルダイアフラム３４に伝わるのを軽減するものである。バッフル構造体３８は、例えば、複数の孔が設けられた金属性のバッフル板や金属網もしくはスチールウールのような金属製のウール状部材で構成され、バッフル板もしくは金属網が単数もしくは複数枚重ねられるか、ウール状の金属を部屋３２に配置することで、測定媒体となる流体の移動を規制する。本実施形態では、図１に示されるように、バッフル構造体３８を孔が設けられたバッフル板で構成してある。このバッフル構造体３８の外周部は、部屋３２を構成するハウジング３０のテーパ状の部分の内壁面と溶接等によって接合されている。

なお、バッフル構造体３８をバッフル板で構成する場合の孔は、必ずしも圧力導入孔３１の断面積よりも小さなものでなければならないわけでない。例えば、孔が空けられていない金属板の部分が圧力導入孔３１の軸上に配置されることで、圧力導入孔３１が導入される測定媒体となる流体が直接メタルダイアフラム３４に伝わるのを遮るような構造であっても良い。

次に、上記圧力センサＳ１の製造方法について、圧力センサＳ１の製造工程図を参照して説明する。

まず、ターミナル１２がインサート成形されたコネクタケース１０を用意する。シリコン系樹脂等よりなる接着剤を用いて、コネクタケース１０の凹部１１内へセンサ素子２０を台座２１を介し接着固定する。

そして、凹部１１内へシール剤１４を注入し、シール剤１４を、凹部１１の底面まで行き渡らせる。ここで、シール剤１４がセンサ素子２０の表面に付着しないように、注入量を調整する。

続いて、注入したシール剤１４を硬化させる。そして、ワイヤボンディングを行って、各ターミナル１２の一端部とセンサ素子２０とをボンディングワイヤ１３で結線し、電気的に接続する。

そして、センサ素子２０側を上にしてコネクタケース１０を配置し、コネクタケース１０の上方から、ディスペンサ等によりフッ素オイル等よりなるオイル４１を、凹部１１へ一定量注入する。

続いて、バッフル構造体３８をハウジング３０における部屋３２を構成するテーパ状部分の内壁面に搭載し、溶接等を行うことで接合する。次いで、リングウェルド３５と共にメタルダイアフラム３４をハウジング３０における収容凹部３０ａ内に配置する。そして、リングウェルド３５の上方から溶接を行うことで、リングウェルド３５とメタルダイアフラム３４とハウジング３０とを接合する。

次に、メタルダイアフラム３４およびリングウェルド３５と共にハウジング３０を上から水平を保ったまま、コネクタケース１０に嵌合するように降ろす。そして、この状態のものを真空室に入れて真空引きを行い圧力検出室４０内の余分な空気を除去する。

その後、コネクタケース１０の先端面とハウジング３０の一面３０ｂとが十分接するまで押さえることによって、メタルダイアフラム３４とＯリング４３によってシールされた圧力検出室４０が形成される。

最後に、ハウジング３０の端部をコネクタケース１０の一端側にかしめることにより、かしめ部３６を形成する。こうして、ハウジング３０とコネクタケース１０とを一体化することにより、かしめ部３６によるコネクタケース１０とハウジング３０との組み付け固定がなされる。このようにして、図１に示される圧力センサＳ１が完成する。

かかる圧力センサＳ１の基本的な圧力検出動作について述べる。

圧力センサＳ１は、たとえば、ハウジング３０のネジ部３３を介して、車両におけるエアコンの冷媒配管系の適所に取り付けられる。そして、該配管内の圧力がハウジング３０の圧力導入孔３１より圧力センサＳ１内に導入される。

すると、導入された圧力がメタルダイアフラム３４から圧力検出室４０内のオイル４１を介して、センサ素子２０の表面すなわち受圧面に印加される。そして、印加された圧力に応じた電気信号がセンサ信号として、センサ素子２０から出力される。

このセンサ信号は、センサ素子２０からワイヤ１３、ターミナル１２を介して、上記外部回路へ伝達され、冷媒配管の冷媒圧力が検出される。このようにして、圧力センサＳ１における圧力検出が行われる。

このとき、上述したように、本実施形態の圧力センサＳ１では、圧力導入孔３１にオリフィス３７を配置している。このオリフィス３７によって測定媒体となる流体の流入が規制され、圧力減衰効果が得られる。このため、受圧部となるメタルダイアフラム３４に対して直接印加される圧力が急峻に変化することを抑制することができ、受圧部に印加される圧力の不均一を抑制することが可能となる。したがって、メタルダイアフラム３４の割れやボンディングワイヤ１３の断線の発生を防止できる。

特に、オリフィス３７の径を圧力導入孔３１の径の１／２以下としているため、その効果が顕著になる。これについて、図２に示すオリフィス３７の径と圧力減衰率との関係を参照して説明する。

圧力減衰率は、オリフィス３７を形成していない従来の構造（つまり圧力導入孔３１の径（＝φ３．０）のままの場合）における圧力伝達に対して、オリフィス３７を形成した場合の圧力伝達の比である。

図２に示されるように、オリフィス３７を形成した場合、圧力減衰率が１未満となっていることから、オリフィス３７を形成していない場合と比べて、受圧部の中心に集中して圧力が印加されることを緩和できることが判る。そして、オリフィス３７の径が小さくなるほど、圧力減衰率が高くなり、特に、オリフィス３７の径が圧力導入孔３１の径の１／２になると、圧力減衰率の低下度合が高くなっていることが判る。

このため、オリフィス３７の径が圧力導入孔３１の径の１／２となるようにすることで、より上記効果を得ることができる。

また、本実施形態では、オリフィス３７の配置に関して、オリフィス３７が受圧部（メタルダイアフラム３４）から１０ｍｍ以上離れた位置に配置されるようにしている。これについて、図３に示すオリフィス３７の受圧部からの距離と測定媒体となる流体の流速との関係を参照して説明する。

図３では、矢印の太さが太いほど、流速が大きいことを示している。この図に示されるように、オリフィス３７を形成した場合、その出口において流体の流速が早くなっていることが判る。そして、この関係について、シミュレーション解析を行ったところ、受圧部からの距離が１０ｍｍ以上離すことで、測定媒体となる流体の流速が急激に減衰し、オリフィス３７による圧力減衰を効果的に発揮させることが可能となることが確認された。

したがって、本実施形態のように、オリフィス３７が受圧部から１０ｍｍ以上離すことで、より有効に上記効果を得る事が可能となる。

さらに、本実施形態では、オリフィス３７に加えて、バッフル構造体３８を備えた構成としている。このバッフル構造体３８により、圧力導入孔３１から導入される測定媒体となる流体が直接メタルダイアフラム３４に伝わるのを軽減するようにしている。このため、圧力伝達速度を低下することができ、メタルダイアフラム３４の面内における圧力伝達の時間差を低減することができる。

また、バッフル構造体３８により、測定媒体となる流体の流動が遮られることになるため、圧力伝達を分散させることができ、反射波を抑制することも可能となる。

このため、バッフル構造体３８を備えることにより、より上記効果を得ることが可能となる。

（他の実施形態）
上記実施形態では、オリフィス３７とバッフル構造体３８を共に用いる例を挙げて説明したが、これはより上記効果を得るために採用したものであり、これらのうちの少なくとも１つを備えた構造であれば、上記効果を得ることが可能である。

上記各実施形態において、圧力検出室４０には、オイル４１が封入されていなくてもよい。つまり、メタルダイアフラム３４を介して圧力検出室４０内のセンサ素子２０に測定圧力が印加されればよく、圧力検出室４０内の圧力伝達媒体としては気体等であっても構わない。

また、第１のケースとなるコネクタケース１０や第２のケースとなるハウジング３０の材質などについても、それぞれ樹脂や金属というように限定されるものではなく、適宜変更可能である。

また、センサ素子２０は、上記したダイアフラムが受けた圧力を電気信号に変換し、この電気信号をセンサ信号として出力する半導体ダイヤフラム式のものに限定されるものではない。

本発明の第１実施形態に係る圧力センサの全体構成を示す断面図である。 オリフィス３７の径と圧力減衰率との関係を示したグラフである。 オリフィス３７の受圧部からの距離と測定媒体となる流体の流速との関係を示した図である。 従来の圧力センサの全体構成を示す断面図である。 図４に示す圧力センサに関して圧力導入孔から導入される測定媒体の圧力伝達の様子を示した模式図である。

符号の説明

１０…第１のケースとしてのコネクタケース、
２０…センシング部としてのセンサ素子、３０…第２のケースとしてのハウジング、
３４…メタルダイアフラム、３５…リングウェルド、３７…オリフィス、
３８…バッフル構造体、４２…溝、４３…Ｏリング。

Claims (6)

1. 第１のケース（１０）と測定媒体が導入される圧力導入孔（３１）が形成された第２のケース（３０）とを一体に組み付けてなるケーシング（１００）と、
   該ケーシング（１００）内に備えられた圧力検出用のセンシング部（２０）と、
   前記第１のケース（１０）の先端面（１０ａ）と前記第２のケース（３０）の一面（３０ｂ）との間に配置されたメタルダイアフラム（３４）と、を備え、
   前記第２ケース（３０）のうち前記圧力導入孔（３１）が広げられることで形成された部屋（３２）内に前記圧力導入孔（３１）を通じて前記測定媒体が導入されることで、前記部屋（３２）内の測定媒体の圧力を前記メタルダイアフラム（３４）を介して前記センシング部（２０）に伝え、圧力検出を行うように構成されており、
   前記圧力導入孔（３１）に、該圧力導入孔（３１）の断面積を縮小するオリフィス（３７）が備えられていることを特徴とする圧力センサ。
   前記部屋（３２）には、前記測定媒体が前記メタルダイアフラム（３４）に流動することを規制するバッフル構造体（３８）が備えられていることを特徴とする圧力センサ。
2. 前記圧力導入孔（３１）および前記オリフィス（３７）は断面が円形を成しており、前記オリフィス（３７）の径が前記圧力導入孔（３１）の径の１／２であることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
3. 前記オリフィス（３７）から前記メタルダイアフラム（３４）までの距離が１０ｍｍ以上離れていることを特徴とする請求項１または２に記載の圧力センサ。
4. 前記部屋（３２）には、前記測定媒体が前記メタルダイアフラム（３４）に流動することを規制するバッフル構造体（３８）が備えられていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の圧力センサ。
5. 第１のケース（１０）と測定媒体が導入される圧力導入孔（３１）が形成された第２のケース（３０）とを一体に組み付けてなるケーシング（１００）と、
   該ケーシング（１００）内に備えられた圧力検出用のセンシング部（２０）と、
   前記第１のケース（１０）の先端面（１０ａ）と前記第２のケース（３０）の一面（３０ｂ）との間に配置されたメタルダイアフラム（３４）と、を備え、
   前記第２ケース（３０）のうち前記圧力導入孔（３１）が広げられることで形成された部屋（３２）内に前記圧力導入孔（３１）を通じて前記測定媒体が導入されることで、前記部屋（３２）内の測定媒体の圧力を前記メタルダイアフラム（３４）を介して前記センシング部（２０）に伝え、圧力検出を行うように構成されており、
   前記部屋（３２）には、前記測定媒体が前記メタルダイアフラム（３４）に流動することを規制するバッフル構造体（３８）が備えられていることを特徴とする圧力センサ。
6. 前記バッフル構造体（３８）は、複数の孔が形成された金属製のバッフル板か、金属網か、もしくは、金属性のウール状部材であることを特徴とする請求項４または５に記載の圧力センサ。
   

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