JP2013032938A5 - - Google Patents
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しかしながら、特許文献１には記載されていないが、現状のプローブカード３では、プローブ３Ａが例えば図８の（ａ）に示すように回路基板３Ｂの配線パターン３Ｂ１、ビア導体３Ｂ２、バナナ端子等の接続プラグ３Ｃからなる測定用ラインを介してテスタと接続されるため、測定ライン上の抵抗が大きく抵抗にもバラツキがあり、また耐熱性も十分でないため、このようなプローブカード３をプローブ装置の実機で使用しても十分な性能を発揮できない虞がある。また、導通機構４の測定ラインも接続プラグ３Ｃ、回路基板３Ｂの配線パターン３Ｂ１、ビア導体３Ｂ２、ポゴピン３Ｄからなるため、プローブ３Ａとテスタ間の測定ラインと同様の課題がある。更に、プローブカード３が複数の接続プラグ３Ｃ及びポゴピン３Ｄを介してテスタに弾力的に接続されるため、プローブカード３の着脱に大きな力を要し、例えばプローブカード３の自動交換が難しくなることもある。
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、プローブとテスタ間の測定ラインと載置台とテスタ間の測定ラインそれぞれの抵抗を格段に低減し、プローブ装置の実機として使用しても信頼性を十分に確保することができ、また、ポゴピン３Ｄを必要としないため、容易に自動交換することができるパワーデバイス用のプローブカードを提供することを目的としている。
本発明によれば、プローブとテスタ間の測定ラインと載置台とテスタ間の測定ラインそれぞれの抵抗を格段に低減し、プローブ装置の実機として使用しても信頼性を十分に確保することができ、また、ポゴピン３Ｄを必要としないため、容易に自動交換することができるパワーデバイス用のプローブカードを提供することができる。
コンタクトプレート１５は、図１に示すように載置台２０の側面に付設されたコンタクトブロック２１を介して載置台２０の表面に形成された導体膜電極（コレクタ電極）（図示せず）に接続されるように構成されている。コンタクトブロック２１は、先端部が上下方向に弾力的に揺動するように構成されている。そのため、コンタクトブロック２１は、パワーデバイスＤの評価時に載置台２０が移動してコンタクトプレート１５と弾力的に接触することにより、両者１６、２１間、延いてはパワーデバイスＤのコレク電極とテスタ５０のコレクタ端子５３間で大電流が流れるように構成されている。コンタクトプレート１５は、図２の（ａ）に示すように上下に長短の二辺を有する六角形状に形成され、支持基板１８の互いに対向する両側縁部に被さるようにカードホルダ３０に複数箇所で固定されている。コンタクトプレート１５は、複数箇所でネジ部材を介してカードホルダ３０に固定され、両者１５、３０の固定部にはスペーサ（図示せず）が介在し、これら両者１５、３０間に隙間が形成されている。コンタクトプレート１５には図３の（ａ）に示すように支持基板１８を被覆する短辺近傍に第３の接続端子１６が固定されている。第３の接続端子１６は、図１、図３の（ｂ）に示すように支持基板１８に形成された第３の孔１８Ｃを貫通し、テスタ５０のコレクタ端子５３と直に接触するように構成されている。
次いで、図１に示すように複数のパワーデバイスＤが形成された半導体ウエハＷが載置された載置台２０が移動し、アライメント機構を介してパワーデバイスＤのエミッタ電極、ゲート電極と第１、第２のプローブ１１、１３とのアライメントが行なわれる。その後、載置台２０が移動し、最初に評価すべきパワーデバイスＤのエミッタ電極、ゲート電極と第１、第２のプローブ１１、１３とが接触する。この時、載置台２０に付設されたコンタクトブロック２１とコンタクトプレート１５が弾力的に接触する。更に、載置台２０がオーバードライブしてパワーデバイスＤとテスタ５０とが電気的に接続される。これにより、パワーデバイスＤのエミッタ電極、ゲート電極及びコレクタ電極がテスタ５０のエミッタ端子５１、ゲート端子５２及びコレクタ端子５３との間で導通可能になる。
然る後、テスタ５０のゲート端子５２からプローブカード１０のブロック状の第２の接続端子１４及び第２のプローブ１３を介してパワーデバイスＤのゲート電極にゲート電流を印加してターンオンすると、図１に矢印で示すようにテスタ５０のコレクタ端子５３からブロック状の第３の接続端子１６、コンタクトプレート１５、コンタクトブロック２１及び載置台２０の導体膜電極（コレクタ電極）を介してパワーデバイスＤのコレクタ電極へ大電流（例えば、６００Ａ）が流れる。この大電流はパワーデバイスＤのエミッタ電極から第１のプローブ１１、ブロック状の第１の接続端子１２及びエミッタ端子５１を介してテスタ５０へ流れ、テスタ５０において測定される。このようにテスタ５０からパワーデバイスＤのゲート電極にゲート電圧を印加することにより、コレクタ電極からエミッタ電極に大電流を流し、電流変化を測定した後、ターンオフする。この電流変化の測定により、パワーデバイスＤの動特性を確実に評価することができる。
また、本発明のプローブカードは、図６に示すように構成することもできる。本実施形態のプローブカード１０Ａは、上記実施形態における支持基板１８に代えて回路基板１８’を用い、ブロック状の第１、第２、第３の接続端子１２’、１４’ 、１６’をテスタ（図示せず）に設けた点に特徴があり、その他は上記実施形態に準じて構成されている。従って、以下では、本実施形態の特徴部分のみを説明する。
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