JP6045993B2 - プローブ装置 - Google Patents
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Description
[プローブ装置全体の構成及び作用]
[コンタクトプレートの構成及び作用]
[コンタクトプレートに関する他の実施例又は変形例]
[コンタクトプレート以外の他の実施形態又は変形例]
14 移動ステージ
16 プローブカード
18 プローブカードホルダ
20 テストヘッド
22 載置面導体
24G,24E プローブ針
26G,26E 接続導体
32G,32E,32C テストヘッドの端子
34 コンタクトプレート
38 プレート上面端子
40 接続導体
44 接触子
46 ハードワイヤ
50 透かし部(開口部)
52 非透かし部(骨格部)
50' 肉薄部
52' 肉厚部
54 凹凸面
CP1,CP2,CP3,CP4,CP5,CP6 板片
Claims (16)
- 被検査基板上に形成され前記基板の両面に電極を有するパワーデバイスの電気的特性を検査するためのプローブ装置であって、
前記基板を載せて支持する移動可能な載置台と、
前記載置台と向かい合ってその上方に配置され、前記載置台に支持されている前記基板のおもて面に露出している前記パワーデバイスのおもて側電極にその先端にて接触可能なプローブ針を支持するプローブカードと、
前記プローブ針とテスタの対応する第1の端子とを電気的に繋ぐ第1の接続導体と、
前記載置台の載置面を形成し、前記載置台に支持されている前記基板の裏面に露出している前記パワーデバイスの裏側電極と接触する載置面導体と、
前記載置台に取り付けられ、前記載置面導体に電気的に接続されている昇降移動可能な接触子と、
前記プローブカードよりも低い位置で前記載置台の上方に配置され、その下面にて前記接触子と接触可能な導電性のコンタクトプレートと、
前記コンタクトプレートと前記テスタの対応する第2の端子とを電気的に繋ぐ第2の接続導体と
を有し、
前記コンタクトプレートが、網状に広がって、または枝状に分かれて延びる信号伝送路を有する、プローブ装置。 - 前記コンタクトプレートの上面に、前記第2の接続導体に接続されるプレート上面端子が設けられ、
前記コンタクトプレート上で、前記信号伝送路の任意の箇所が前記プレート上面端子に電気的に通じている、
請求項1に記載のプローブ装置。 - 前記プレート上面端子は、前記コンタクトプレートの中央部に設けられる、請求項2に記載のプローブ装置。
- 前記コンタクトプレートの前記プレート上面端子と前記テスタの前記第2の端子とは、鉛直方向で真正面に向かい合い、前記第2の接続導体は鉛直方向にまっすぐ延びる、請求項2または請求項3に記載のプローブ装置。
- 前記第2の接続導体は、前記プローブカードを支持するために前記プローブカードの周辺に延びているプローブカードホルダに形成されている第2の貫通孔を貫通して鉛直方向にまっすぐ延びる、請求項4に記載のプローブ装置。
- 前記第2の接続導体は、その上端にて前記テスタの前記第2の端子と着脱可能に直に接触する、請求項4または請求項5に記載のプローブ装置。
- 前記コンタクトプレートはメッシュ構造を有し、そのメッシュ構造の非透かし部が前記信号伝送路を形成する、請求項1〜6のいずれか一項に記載のプローブ装置。
- 前記コンタクトプレートは、透かし部が格子状に分布するメッシュ構造を有する、請求項7に記載のプローブ装置。
- 前記コンタクトプレートは、前記プレート上面端子を中心としてその周りに透かし部が放射状に分布するメッシュ構造を有し、そのメッシュ構造の非透かし部が前記信号伝送路を形成する、請求項2〜6のいずれか一項に記載のプローブ装置。
- 前記コンタクトプレートは、肉薄部および肉厚部をメッシュの透かし部および非透かし部にそれぞれ対応させて配置する繰り返し模様の凹凸面を有し、前記肉厚部が前記信号伝送路を形成する、請求項1〜6のいずれか一項に記載のプローブ装置。
- 前記コンタクトプレートは、前記信号伝送路を構成する多数の板片が多層構造で分岐している板片複合体を有し、
上層から下層にいくほど、前記板片の一層当たりの個数が増して、前記板片の一層内に分布する領域が拡大するとともに、前記板片の一個当たりの面積が減少する、
請求項1〜6のいずれか一項に記載のプローブ装置。 - 前記板片複合体の多層構造において、最上層以外の各層に含まれる各々の前記板片は、前記コンタクトプレートの面内で第1の方向に直線状に延びる第1の長尺状板片部と、前記第1の長尺状板片部の一端または両端から前記第1の方向と交差する第2の方向に直線状に延びる第2の長尺状板片部とを有する、請求項11に記載のプローブ装置。
- 前記第1の長尺状板片部の中心部が、当該層の1つ上の層に含まれるいずれか1つの前記板片の一端部に接続される、請求項12に記載のプローブ装置。
- 前記プローブ針の基端と前記テスタの前記第1の端子とは鉛直方向で真正面に向かい合い、前記第1の接続導体は鉛直方向にまっすぐ延びる、請求項1〜13のいずれか一項に記載のプローブ装置。
- 前記第1の接続導体の少なくとも一部は、前記プローブカードに形成されている第1の貫通孔に取り付けられている、請求項14に記載のプローブ装置。
- 前記第1の接続導体は、その上端にて前記テスタの前記第1の端子と着脱可能に直に接触する、請求項14または請求項15に記載のプローブ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013142462A JP6045993B2 (ja) | 2013-07-08 | 2013-07-08 | プローブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013142462A JP6045993B2 (ja) | 2013-07-08 | 2013-07-08 | プローブ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015015419A JP2015015419A (ja) | 2015-01-22 |
JP6045993B2 true JP6045993B2 (ja) | 2016-12-14 |
Family
ID=52436936
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013142462A Active JP6045993B2 (ja) | 2013-07-08 | 2013-07-08 | プローブ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6045993B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112673268B (zh) * | 2018-12-17 | 2024-05-28 | 株式会社东芝 | 探针检查机构以及检查装置 |
TWI738449B (zh) * | 2020-08-03 | 2021-09-01 | 致茂電子股份有限公司 | 晶圓檢測系統及其晶圓檢測設備 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5296117B2 (ja) * | 2010-03-12 | 2013-09-25 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブ装置 |
JP5291157B2 (ja) * | 2011-08-01 | 2013-09-18 | 東京エレクトロン株式会社 | パワーデバイス用のプローブカード |
JP5265746B2 (ja) * | 2011-09-22 | 2013-08-14 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブ装置 |
JP5796870B2 (ja) * | 2011-12-05 | 2015-10-21 | 株式会社日本マイクロニクス | 半導体デバイスの検査装置とそれに用いるチャックステージ |
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2013
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015015419A (ja) | 2015-01-22 |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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