JP2012521548A - 互いに直交する三つの空間軸に関する回転運動を決定するためのマイクロジャイロスコープ - Google Patents
互いに直交する三つの空間軸に関する回転運動を決定するためのマイクロジャイロスコープ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012521548A JP2012521548A JP2012501228A JP2012501228A JP2012521548A JP 2012521548 A JP2012521548 A JP 2012521548A JP 2012501228 A JP2012501228 A JP 2012501228A JP 2012501228 A JP2012501228 A JP 2012501228A JP 2012521548 A JP2012521548 A JP 2012521548A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- mass
- respect
- substrate
- frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 title claims abstract description 86
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 54
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 6
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 4
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 abstract 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 9
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 9
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 9
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5705—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis
- G01C19/5712—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis the devices involving a micromechanical structure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
- B81B3/0018—Structures acting upon the moving or flexible element for transforming energy into mechanical movement or vice versa, i.e. actuators, sensors, generators
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
- G01C19/5733—Structural details or topology
- G01C19/5755—Structural details or topology the devices having a single sensing mass
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
Description
2 角度可変プレート
3 zマス
4 フレーム
5 バネ
6 フレームバネ
7 フレーム締め付けボルト
8 角度可変バネ
9 締め付けボルト
10 同調バネ
11 くし状電極
11’ 対電極
12 センサー素子
13 センサーバネ
14 締め付けボルト
15 結合バネ
Claims (24)
- 3つの垂直に配置された空間軸x,yおよびzに関する回転運動を決定するためのマイクロジャイロスコープであって、
接線方向に振動する複数のマス(2,3)が前記z軸に関して垂直に配置されており、前記マス(2,3)が、バネ(5,6,8)と締め付けボルト(7,9)により基板(1)に固定されている基板(1)と、
前記マス(2,3)のz軸に関する周期的な接線方向の振動を保持し、その結果、前記マス(2,3)がコリオリ力に従い、前記基板(1)が任意の空間軸のまわりを回転するとき、コリオリ力により偏向が引き起こされる駆動要素(11)と、
生じたコリオリ力による前記マス(2,3)の偏向を記録するためのセンサー要素と、
を有し、
前記z軸に関して振動するいくつかの前記マス(2,3)は、前記基板(1)に対して平行なx軸に関して本質的に角度可変に配置され、
前記z軸に関して振動する他のマス(2,3)は、前記基板(1)に平行なy軸に関して本質的に角度可変に配置され、
前記振動マス(2,3)のうち少なくとも1は、前記基板(1)の平面に平行なx−y平面における前記z軸に対して少なくとも部分的に放射方向に傾くことができ、
この付加的に放射方向に傾くことができるzマス(3)はまた、z軸回りではなく、z軸に対して放射方向に傾くことができる振動センサー要素(12)に配置されることを特徴とするマイクロジャイロスコープ。 - 前記ジャイロスコープが前記z軸の回りに接線方向に振動する8つのマス(2,3)を本質的に有し、
これらのマスのうち4つが、前記z軸に対して放射方向に付加的に動かされるzマス(3)として扱われることを特徴とする請求項1に記載のマイクロジャイロスコープ。 - 本質的にz軸の接線方向にのみ振動する前記マスは、前記基板(1)の回転の記録のための前記xまたはy軸に関する角度可変プレート(2)であることを特徴とする請求項1または2に記載のマイクロジャイロスコープ。
- 前記z軸の放射方向および接線方向の両方に動かされ得る前記zマス(3)は、前記z軸に関する接線運動を可能にするため、フレーム(4)に結合されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のマイクロジャイロスコープ。
- コリオリ力により引き起こされる前記放射方向の偏向の記録のための他のセンサー要素(12)が、前記z軸に関して放射方向および接線方向に動かされ得る前記zマス(3)に配置されることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のマイクロジャイロスコープ。
- 前記フレーム(4)は前記基板(1)に、バネ(6)、特に二つのバネ(6)により固定されており、前記z軸に関して接線方向に動かされ得ることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のマイクロジャイロスコープ。
- 前記フレーム(4)は、前記zマスの間またはz軸に関して接線方向にのみ振動する角度可変プレート(2)の間に配置されることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のマイクロジャイロスコープ。
- 前記z軸に関して放射方向および接線方向の両方に動かされ得る前記zマス(3)は、少なくとも1、好ましくは4のバネ(5)により前記フレーム(4)に接続していることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のマイクロジャイロスコープ。
- 前記フレーム(4)に配置された前記zマス(3)は、本質的に放射方向にのみ動かされ得ることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載のマイクロジャイロスコープ。
- 前記フレーム(4)は、前記基板(1)に固定されており、前記z軸に関して接線方向にのみ動かされ得ることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載のマイクロジャイロスコープ。
- 前記角度可変プレート(2)と前記フレーム(4)は、前記バネ(10)により互いに接続されていることを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載のマイクロジャイロスコープ。
- 前記バネ(10)は角度可変プレート(2)とつながっており、フレーム(4)は、接線方向に固定されており、放射方向には固定されていないことを特徴とする請求項1〜11のいずれかに記載のマイクロジャイロスコープ。
- 前記マスのいくつかまたは前記z軸に関して接線方向にのみ振動する角度可変プレート(2)は、本質的にx軸に関してのみ固定され、他のマスまたはz軸に関して接線方向にのみ振動する角度可変プレート(2)は、本質的に基板(1)のみに配置され、y軸に関してのみ傾けられていることを特徴とする請求項1〜12のいずれかに記載のマイクロジャイロスコープ。
- 前記z軸に関して接線方向にのみ振動する前記マス(2)および/または前記フレーム(4)は前記z軸に関して前記接線方向の駆動振動を保持するための駆動要素(11)を含むことを特徴とする請求項1〜13のいずれかに記載のマイクロジャイロスコープ。
- 前記z軸に関する駆動振動を保持するために必要な前記駆動要素(11)は、適切なスイッチ駆動電圧を備えるくし状キャパシター電極である請求項1〜14のいずれかに記載のマイクロジャイロスコープ。
- 前記角度可変プレート(2)の偏向の記録のためのセンサー要素は、前記角度可変プレート(2)の下に配置されていることを特徴とする請求項1〜15のいずれかに記載のマイクロジャイロスコープ。
- 前記コリオリ力により引き起こされる前記放射偏向を記録するためのセンサー要素は、前記zマス(3)に配置されることを特徴とする請求項1〜16のいずれかに記載のマイクロジャイロスコープ。
- 前記zマス(3)に配置され、前記コリオリ力により生じた前記放射偏向を記録するための前記センサー要素は、その固定されたカウンターパートが固定されて前記基板(1)に接続されている移動可能なキャパシター測定電極であることを特徴とする請求項1〜17のいずれかに記載のマイクロジャイロスコープ。
- 前記測定電極は放射方向に移動可能なフレームとして実行されることを特徴とする請求項1〜18のいずれかに記載のマイクロジャイロスコープ。
- 前記センサー素子(12)の前記測定電極は、前記zマス(3)よりも前記センサーの中心により近いことを特徴とする請求項1〜19のいずれかに記載のマイクロジャイロスコープ。
- 前記センサー全体は、大きな円形の外形であることを特徴とする請求項1〜20のいずれかに記載のマイクロジャイロスコープ。
- 前記zマスと前記センサー要素(12)は接線方向には堅くなく、放射方向には堅いバネ(15)でつなげられていることを特徴とする請求項1〜21のいずれかに記載のマイクロジャイロスコープ。
- 前記センサー要素(12)は、好ましくは4つのバネ(13)で前記基板(1)に固定されていることを特徴とする請求項1〜22のいずれかに記載のマイクロジャイロスコープ。
- 前記角度可変プレート(2)は、バネ(8)により前記基板(1)に配置されており、x−y平面における接線運動およびx−y平面外の角度可変運動を可能にし、前記角度可変プレート(2)を縦方向にねじり曲げることを特徴とする請求項1〜13のいずれかに記載のマイクロジャイロスコープ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE200910001922 DE102009001922A1 (de) | 2009-03-26 | 2009-03-26 | Mikro-Gyroskop zur Ermittlung von Rotationsbewegungen um drei senkrecht aufeinanderstehende Raumachsen x, y und z |
DE102009001922.7 | 2009-03-26 | ||
PCT/EP2010/052880 WO2010108773A1 (de) | 2009-03-26 | 2010-03-08 | Mikro-gyroskop zur ermittlung von rotationsbewegungen um drei senkrecht aufeinanderstehende raumachsen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012521548A true JP2012521548A (ja) | 2012-09-13 |
JP5743338B2 JP5743338B2 (ja) | 2015-07-01 |
Family
ID=42227734
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012501228A Active JP5743338B2 (ja) | 2009-03-26 | 2010-03-08 | 互いに直交する三つの空間軸に関する回転運動を決定するためのマイクロジャイロスコープ |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8776599B2 (ja) |
EP (1) | EP2411766B1 (ja) |
JP (1) | JP5743338B2 (ja) |
KR (1) | KR101727514B1 (ja) |
CN (1) | CN102365523B (ja) |
CA (1) | CA2756485C (ja) |
DE (1) | DE102009001922A1 (ja) |
WO (1) | WO2010108773A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012088245A (ja) * | 2010-10-21 | 2012-05-10 | Seiko Epson Corp | 物理量センサーおよび電子機器 |
JP2017506739A (ja) * | 2014-01-28 | 2017-03-09 | 株式会社村田製作所 | 改良されたジャイロスコープ構造およびジャイロスコープ |
Families Citing this family (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IT1391972B1 (it) | 2008-11-26 | 2012-02-02 | St Microelectronics Rousset | Giroscopio microelettromeccanico con movimento di azionamento rotatorio e migliorate caratteristiche elettriche |
IT1392741B1 (it) | 2008-12-23 | 2012-03-16 | St Microelectronics Rousset | Giroscopio microelettromeccanico con migliorata reiezione di disturbi di accelerazione |
IT1394007B1 (it) | 2009-05-11 | 2012-05-17 | St Microelectronics Rousset | Struttura microelettromeccanica con reiezione migliorata di disturbi di accelerazione |
DE102009026511A1 (de) * | 2009-05-27 | 2010-12-02 | Sensordynamics Ag | Mikro-Gyroskop zur Ermittlung von Rotationsbewegungen um mindestens eine von drei senkrecht aufeinanderstehenden Raumachsen |
US8534127B2 (en) | 2009-09-11 | 2013-09-17 | Invensense, Inc. | Extension-mode angular velocity sensor |
US9097524B2 (en) | 2009-09-11 | 2015-08-04 | Invensense, Inc. | MEMS device with improved spring system |
ITTO20091042A1 (it) | 2009-12-24 | 2011-06-25 | St Microelectronics Srl | Giroscopio integrato microelettromeccanico con migliorata struttura di azionamento |
CN102116622B (zh) * | 2011-02-14 | 2012-09-26 | 孙博华 | 心跳型单结构三轴微机电陀螺仪 |
CN102840857B (zh) * | 2011-06-24 | 2015-04-08 | 鄂尔多斯市嘉美科技股份有限公司 | 单结构三轴微机电陀螺仪 |
ITTO20110806A1 (it) | 2011-09-12 | 2013-03-13 | St Microelectronics Srl | Dispositivo microelettromeccanico integrante un giroscopio e un accelerometro |
EP2607849A1 (en) * | 2011-12-22 | 2013-06-26 | Tronics Microsystems S.A. | Multiaxial micro-electronic inertial sensor |
DE102011057081A1 (de) | 2011-12-28 | 2013-07-04 | Maxim Integrated Products, Inc. | Mikro-Drehratensensor und Verfahren zum Betreiben eines Mikro-Drehratensensors |
US9506756B2 (en) * | 2013-03-15 | 2016-11-29 | Freescale Semiconductor, Inc. | Multiple axis rate sensor |
FI125695B (en) * | 2013-09-11 | 2016-01-15 | Murata Manufacturing Co | Improved gyroscope construction and gyroscope |
WO2015045621A1 (ja) * | 2013-09-26 | 2015-04-02 | 株式会社村田製作所 | 角速度検出素子 |
US9404747B2 (en) * | 2013-10-30 | 2016-08-02 | Stmicroelectroncs S.R.L. | Microelectromechanical gyroscope with compensation of quadrature error drift |
KR101645940B1 (ko) * | 2014-04-28 | 2016-08-05 | 주식회사 티엘아이 | 링 스프링을 가지는 3축 마이크로 자이로스코프 |
CN105091874A (zh) * | 2014-05-23 | 2015-11-25 | 北京大学 | 一种双解耦微机械轮式水平轴陀螺 |
WO2017061638A1 (ko) * | 2015-10-06 | 2017-04-13 | 주식회사 스탠딩에그 | Mems 장치, 이를 포함하는 mems 패키지 및 사용자 단말기 |
JP6514790B2 (ja) * | 2016-01-27 | 2019-05-15 | 株式会社日立製作所 | ジャイロスコープ |
US10371521B2 (en) * | 2016-05-26 | 2019-08-06 | Honeywell International Inc. | Systems and methods for a four-mass vibrating MEMS structure |
US10696541B2 (en) | 2016-05-26 | 2020-06-30 | Honeywell International Inc. | Systems and methods for bias suppression in a non-degenerate MEMS sensor |
JP6562878B2 (ja) * | 2016-06-30 | 2019-08-21 | 株式会社東芝 | 角速度取得装置 |
JP6571065B2 (ja) * | 2016-12-08 | 2019-09-04 | 株式会社東芝 | 振動装置 |
CN107328402B (zh) * | 2017-07-12 | 2022-06-24 | 深迪半导体(绍兴)有限公司 | 一种三轴mems陀螺仪 |
CN107192384B (zh) * | 2017-07-24 | 2022-04-05 | 深迪半导体(绍兴)有限公司 | 一种mems三轴陀螺仪 |
JP6849042B2 (ja) | 2018-12-19 | 2021-03-24 | 株式会社村田製作所 | 振動に強い多軸ジャイロスコープ |
EP3671116B1 (en) * | 2018-12-19 | 2021-11-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Synchronized multi-axis gyroscope |
JP6879391B2 (ja) * | 2019-02-15 | 2021-06-02 | 株式会社村田製作所 | 同期フレームを有する多軸ジャイロスコープ |
US11060866B2 (en) * | 2019-02-15 | 2021-07-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Balanced multiaxis gyroscope |
EP3696503B1 (en) * | 2019-02-15 | 2022-10-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibration-robust multiaxis gyroscope |
CN114459453A (zh) * | 2021-12-24 | 2022-05-10 | 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 | 微机械陀螺仪及电子产品 |
CN114719833A (zh) * | 2022-02-22 | 2022-07-08 | 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 | 一种mems陀螺 |
CN116734821A (zh) * | 2022-03-04 | 2023-09-12 | 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 | 微机械陀螺仪及电子产品 |
CN115355898A (zh) * | 2022-07-15 | 2022-11-18 | 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 | 一种全解耦三轴mems陀螺 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0791958A (ja) * | 1993-09-27 | 1995-04-07 | Canon Inc | 角速度センサ |
JPH10246636A (ja) * | 1997-03-05 | 1998-09-14 | Shinko Electric Co Ltd | 減揺装置 |
JPH11183179A (ja) * | 1997-12-22 | 1999-07-09 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 検出器 |
JPH11325905A (ja) * | 1998-05-08 | 1999-11-26 | Fuji Electric Co Ltd | 振動ジャイロ |
JP2000180177A (ja) * | 1998-12-15 | 2000-06-30 | Mitsumi Electric Co Ltd | 回転振動型ジャイロ |
JP2000180174A (ja) * | 1998-12-10 | 2000-06-30 | Denso Corp | 角速度センサ |
JP2000509812A (ja) * | 1996-10-07 | 2000-08-02 | ハーン―シッカート―ゲゼルシャフト フア アンゲワンテ フォルシュンク アインゲトラーゲナー フェライン | 直交する1次振動および2次振動の相互干渉を防止した回転速度ジャイロスコープ |
JP2002148048A (ja) * | 2000-11-08 | 2002-05-22 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度検出素子 |
JP2006153798A (ja) * | 2004-12-01 | 2006-06-15 | Denso Corp | 回転振動型角速度センサ |
EP1832841A1 (en) * | 2006-03-10 | 2007-09-12 | STMicroelectronics S.r.l. | Microelectromechanical integrated sensor structure with rotary driving motion |
JP2012519270A (ja) * | 2009-02-27 | 2012-08-23 | センサーダイナミックス ゲーエムベーハー | X軸又は/及びy軸及びz軸の回転運動を測定するマイクロジャイロスコープ |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3106395B2 (ja) * | 1998-07-10 | 2000-11-06 | 株式会社村田製作所 | 角速度センサ |
JP2001264071A (ja) * | 2000-03-17 | 2001-09-26 | Aisin Seiki Co Ltd | 振動子駆動装置 |
JP2002296038A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-09 | Mitsubishi Electric Corp | 角速度センサ |
US6848304B2 (en) * | 2003-04-28 | 2005-02-01 | Analog Devices, Inc. | Six degree-of-freedom micro-machined multi-sensor |
TWI286201B (en) | 2006-08-18 | 2007-09-01 | Nan-Chyuan Tsai | Three-axis sensing micro gyroscope |
US7461552B2 (en) * | 2006-10-23 | 2008-12-09 | Custom Sensors & Technologies, Inc. | Dual axis rate sensor |
-
2009
- 2009-03-26 DE DE200910001922 patent/DE102009001922A1/de not_active Withdrawn
-
2010
- 2010-03-08 US US13/258,177 patent/US8776599B2/en active Active
- 2010-03-08 EP EP10709994.7A patent/EP2411766B1/de active Active
- 2010-03-08 CN CN201080013525.9A patent/CN102365523B/zh active Active
- 2010-03-08 KR KR1020117025179A patent/KR101727514B1/ko active IP Right Grant
- 2010-03-08 WO PCT/EP2010/052880 patent/WO2010108773A1/de active Application Filing
- 2010-03-08 CA CA2756485A patent/CA2756485C/en active Active
- 2010-03-08 JP JP2012501228A patent/JP5743338B2/ja active Active
-
2014
- 2014-07-14 US US14/331,124 patent/US20140345379A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0791958A (ja) * | 1993-09-27 | 1995-04-07 | Canon Inc | 角速度センサ |
JP2000509812A (ja) * | 1996-10-07 | 2000-08-02 | ハーン―シッカート―ゲゼルシャフト フア アンゲワンテ フォルシュンク アインゲトラーゲナー フェライン | 直交する1次振動および2次振動の相互干渉を防止した回転速度ジャイロスコープ |
JPH10246636A (ja) * | 1997-03-05 | 1998-09-14 | Shinko Electric Co Ltd | 減揺装置 |
JPH11183179A (ja) * | 1997-12-22 | 1999-07-09 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 検出器 |
JPH11325905A (ja) * | 1998-05-08 | 1999-11-26 | Fuji Electric Co Ltd | 振動ジャイロ |
JP2000180174A (ja) * | 1998-12-10 | 2000-06-30 | Denso Corp | 角速度センサ |
JP2000180177A (ja) * | 1998-12-15 | 2000-06-30 | Mitsumi Electric Co Ltd | 回転振動型ジャイロ |
JP2002148048A (ja) * | 2000-11-08 | 2002-05-22 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度検出素子 |
JP2006153798A (ja) * | 2004-12-01 | 2006-06-15 | Denso Corp | 回転振動型角速度センサ |
EP1832841A1 (en) * | 2006-03-10 | 2007-09-12 | STMicroelectronics S.r.l. | Microelectromechanical integrated sensor structure with rotary driving motion |
JP2007271611A (ja) * | 2006-03-10 | 2007-10-18 | Stmicroelectronics Srl | 回転駆動運動を用いる微小電気機械集積センサ構造 |
JP2012519270A (ja) * | 2009-02-27 | 2012-08-23 | センサーダイナミックス ゲーエムベーハー | X軸又は/及びy軸及びz軸の回転運動を測定するマイクロジャイロスコープ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012088245A (ja) * | 2010-10-21 | 2012-05-10 | Seiko Epson Corp | 物理量センサーおよび電子機器 |
JP2017506739A (ja) * | 2014-01-28 | 2017-03-09 | 株式会社村田製作所 | 改良されたジャイロスコープ構造およびジャイロスコープ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20140345379A1 (en) | 2014-11-27 |
EP2411766A1 (de) | 2012-02-01 |
CN102365523A (zh) | 2012-02-29 |
KR101727514B1 (ko) | 2017-04-17 |
CN102365523B (zh) | 2015-04-29 |
US20120024056A1 (en) | 2012-02-02 |
DE102009001922A1 (de) | 2010-09-30 |
WO2010108773A1 (de) | 2010-09-30 |
EP2411766B1 (de) | 2015-05-06 |
CA2756485C (en) | 2018-08-21 |
JP5743338B2 (ja) | 2015-07-01 |
KR20110134492A (ko) | 2011-12-14 |
CA2756485A1 (en) | 2010-09-30 |
US8776599B2 (en) | 2014-07-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5743338B2 (ja) | 互いに直交する三つの空間軸に関する回転運動を決定するためのマイクロジャイロスコープ | |
JP5639088B2 (ja) | X軸又は/及びy軸及びz軸の回転運動を測定するマイクロジャイロスコープ | |
JP5690919B2 (ja) | 運動を検出するためのマイクロジャイロスコープ | |
JP5560451B2 (ja) | マイクロジャイロスコープ | |
KR101885909B1 (ko) | x, y 및/또는 z축에 대한 회전 움직임을 검출하기 위한 MEMS 자이로스코프 | |
JP6190586B2 (ja) | マイクロ回転速度センサおよびその操作方法 | |
KR101699573B1 (ko) | 포개지고 선형으로 진동하는 진동 부재를 포함하는 이중축 내충격 요 레이트 센서 | |
JP5583767B2 (ja) | 直交誤差に対する感度および微細加工の不正確さを低減した慣性センサ | |
KR101823325B1 (ko) | 개선된 자이로스코프 구조체 및 자이로스코프 | |
JP5532455B2 (ja) | 加速度と回転速度の検出方法およびmemsセンサー | |
JP5247182B2 (ja) | 角速度センサ | |
US6860151B2 (en) | Methods and systems for controlling movement within MEMS structures | |
JP6879391B2 (ja) | 同期フレームを有する多軸ジャイロスコープ | |
JP2014112085A (ja) | 微小電気機械システム(mems)デバイスのためのばね | |
JP4291158B2 (ja) | マイクロメカニカル回転速度センサ | |
US11226202B2 (en) | Three-axis micromechanical rotation rate sensor system including linearly and rotatorily drivable sensor units |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130308 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140107 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140331 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140924 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141219 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150407 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150427 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5743338 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |