JP2012186390A - インプリント装置および物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板に塗布された樹脂とモールドのパターン面とを接触させて該樹脂を硬化させるインプリント装置100は、前記基板を保持する基板保持部4と、モールド保持面MSで前記モールドを保持するモールド保持部3と、前記モールド保持部3に対して前記基板保持部4を相対的に移動させる駆動機構と、前記基板保持部4により前記基板の代わりにクリーニング部材12が保持されて前記クリーニング部材12と前記モールド保持面MSとが接触した状態で前記モールド保持部3に対して前記基板保持部4が相対的に移動するように前記駆動機構を制御し、これにより前記モールド保持面MSをクリーニングする制御部20とを備える。
【選択図】図2
Description
Claims (10)
- 基板に塗布された樹脂とモールドのパターン面とを接触させて該樹脂を硬化させるインプリント装置であって、
前記基板を保持する基板保持部と、
モールド保持面で前記モールドを保持するモールド保持部と、
前記モールド保持部に対して前記基板保持部を相対的に移動させる駆動機構と、
前記基板保持部により前記基板の代わりにクリーニング部材が保持されて前記クリーニング部材と前記モールド保持面とが接触した状態で前記モールド保持部に対して前記基板保持部が相対的に移動するように前記駆動機構を制御し、これにより前記モールド保持面をクリーニングする制御部と、
を備えることを特徴とするインプリント装置。 - 前記モールド保持面のクリーニングの進行の度合いを検出する検出部を更に備え、
前記制御部は、前記検出部による検出結果に基づいて前記モールド保持面のクリーニングを終了させる、
ことを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。 - 前記検出部は、前記モールド保持部に対して前記基板保持部を相対的に移動させるために必要な力に基づいて前記クリーニングの進行の度合いを検出する、
ことを特徴とする請求項2に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記クリーニングの進行の度合いが所定基準よりも遅い場合に、前記クリーニング部材と前記モールド保持部との接触圧力を増加させる、
ことを特徴とする請求項2に記載のインプリント装置。 - 基板に塗布された樹脂とモールドのパターン面とを接触させて該樹脂を硬化させるインプリント装置であって、
基板保持面で前記基板を保持する基板保持部と、
前記モールドを保持するモールド保持部と、
前記モールド保持部に対して前記基板保持部を相対的に移動させる駆動機構と、
前記モールド保持部により前記モールドの代わりにクリーニング部材が保持されて前記クリーニング部材と前記基板保持面とが接触した状態で前記モールド保持部に対して前記基板保持部が相対的に移動するように前記駆動機構を制御し、これにより前記基板保持面をクリーニングする制御部と、
を備えることを特徴とするインプリント装置。 - 前記基板保持面のクリーニングの進行の度合いを検出する検出部を更に備え、
前記制御部は、前記検出部による検出結果に基づいて前記基板保持面のクリーニングを終了させる、
ことを特徴とする請求項5に記載のインプリント装置。 - 前記検出部は、前記モールド保持部に対して前記基板保持部を相対的に移動させるために必要な力に基づいて前記クリーニングの進行の度合いを検出する、
ことを特徴とする請求項6に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記クリーニングの進行の度合いが所定基準よりも遅い場合に、前記クリーニング部材と前記基板保持部との接触圧力を増加させる、
ことを特徴とする請求項6に記載のインプリント装置。 - 前記基板保持面に対してクリーニング液を供給する供給機構を更に備えることを特徴とする請求項5乃至8のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 請求項1乃至9のいずれか1項に記載のインプリント装置を用いて基板に樹脂のパターンを形成する工程と、
前記工程でパターンが形成された基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
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