JP2012186390A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 基板に塗布された樹脂とモールドのパターン面とを接触させて該樹脂を硬化させるインプリント装置であって、
   前記基板を保持する基板保持部と、
   モールド保持面で前記モールドを保持するモールド保持部と、
   前記モールド保持部に対して前記基板保持部を相対的に移動させる駆動機構と、
   前記基板保持部により前記基板の代わりにクリーニング部材が保持されて前記クリーニング部材と前記モールド保持面とが接触した状態で前記モールド保持部に対して前記基板保持部が相対的に移動するように前記駆動機構を制御し、これにより前記モールド保持面をクリーニングする制御部と、
   を備えることを特徴とするインプリント装置。
2. 前記モールド保持面のクリーニングの進行の度合いを検出する検出部を更に備え、
   前記制御部は、前記検出部による検出結果に基づいて前記モールド保持面のクリーニングを終了させる、
   ことを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
3. 前記検出部は、前記モールド保持部に対して前記基板保持部を相対的に移動させるために必要な力に基づいて前記クリーニングの進行の度合いを検出する、
   ことを特徴とする請求項２に記載のインプリント装置。
4. 前記制御部は、前記クリーニングの進行の度合いが所定基準よりも遅い場合に、前記クリーニング部材と前記モールド保持部との接触圧力を増加させる、
   ことを特徴とする請求項２に記載のインプリント装置。
5. 前記モールド保持部に対する前記基板保持部の相対的な移動は、前記モールド保持面に沿った方向における前記基板保持部および前記モールド保持部の少なくとも一方の移動、および、前記モールド保持面に直交する軸の周りでの前記基板保持部および前記モールド保持部の少なくとも一方の回転、の少なくとも一方を含む、
   ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のインプリント装置。
6. 基板に塗布された樹脂とモールドのパターン面とを接触させて該樹脂を硬化させるインプリント装置であって、
   基板保持面で前記基板を保持する基板保持部と、
   前記モールドを保持するモールド保持部と、
   前記モールド保持部に対して前記基板保持部を相対的に移動させる駆動機構と、
   前記モールド保持部により前記モールドの代わりにクリーニング部材が保持されて前記クリーニング部材と前記基板保持面とが接触した状態で前記モールド保持部に対して前記基板保持部が相対的に移動するように前記駆動機構を制御し、これにより前記基板保持面をクリーニングする制御部と、
   を備えることを特徴とするインプリント装置。
7. 前記基板保持面のクリーニングの進行の度合いを検出する検出部を更に備え、
   前記制御部は、前記検出部による検出結果に基づいて前記基板保持面のクリーニングを終了させる、
   ことを特徴とする請求項６に記載のインプリント装置。
8. 前記検出部は、前記モールド保持部に対して前記基板保持部を相対的に移動させるために必要な力に基づいて前記クリーニングの進行の度合いを検出する、
   ことを特徴とする請求項７に記載のインプリント装置。
9. 前記制御部は、前記クリーニングの進行の度合いが所定基準よりも遅い場合に、前記クリーニング部材と前記基板保持部との接触圧力を増加させる、
   ことを特徴とする請求項７に記載のインプリント装置。
10. 前記基板保持面に対してクリーニング液を供給する供給機構を更に備えることを特徴とする請求項６乃至９のいずれか１項に記載のインプリント装置。
11. 前記モールド保持部に対する前記基板保持部の相対的な移動は、前記基板保持面に沿った方向における前記基板保持部および前記モールド保持部の少なくとも一方の移動、および、前記基板保持面に直交する軸の周りでの前記基板保持部および前記モールド保持部の少なくとも一方の回転、の少なくとも一方を含む、
    ことを特徴とする請求項６乃至１０のいずれか１項に記載のインプリント装置。
12. 請求項１乃至１１のいずれか１項に記載のインプリント装置を用いて基板に樹脂のパターンを形成する工程と、
    前記工程でパターンが形成された基板を加工する工程と、
    を含むことを特徴とする物品の製造方法。