JP2012161861A - 加工装置 - Google Patents
加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012161861A JP2012161861A JP2011022782A JP2011022782A JP2012161861A JP 2012161861 A JP2012161861 A JP 2012161861A JP 2011022782 A JP2011022782 A JP 2011022782A JP 2011022782 A JP2011022782 A JP 2011022782A JP 2012161861 A JP2012161861 A JP 2012161861A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- unit
- rotation angle
- motor
- movable part
- distance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 39
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Dicing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】可動部と、該可動部を移動させるモータとボールねじとを含む移動手段と、該移動手段を制御する制御手段とを備えた加工装置であって、簡易スケールユニットを具備し、該制御手段は、所定のタイミングで該モータを回転させて該可動部を該基準距離の始点から終点まで移動させた際の該モータの回転角を記憶する回転角記憶部72と、記憶した回転角と該基準距離とから単位回転当たりの該可動部の移動距離を算出する単位回転角移動距離算出部74と、該単位回転角移動距離算出部74で算出した該単位回転当たりの移動距離に基づいて、該可動部を所定距離移動させるのに必要な該モータの回転角を算出する回転角算出部76を、該回転角算出部76で算出した該回転角だけ該モータを回転させて該可動部を該所定距離移動させるモータ制御部78と、を含む。
【選択図】図5
Description
20 チャックテーブル
30 Y軸移動ブロック
34 パルスモータ
36 Y軸移動機構
46 切削ユニット(切削手段)
50 切削ブレード
60 簡易スケール
64a 第1スリット
64b 第2スリット
65 簡易スケールユニット
66 発光素子
68 受光素子
70 制御手段
Claims (2)
- 可動部と、該可動部を移動させるモータとボールねじとを含む移動手段と、該移動手段を制御する制御手段とを備えた加工装置であって、
該可動部が基準距離の始点から終点まで移動したことを検出する簡易スケールユニットを具備し、
該制御手段は、所定のタイミングで該モータを回転させて該可動部を該基準距離の始点から終点まで移動させた際の該モータの回転角を記憶する回転角記憶部と、
該回転角記憶部で記憶した回転角と該基準距離とから単位回転当たりの該可動部の移動距離を算出する単位回転角移動距離算出部と、
該単位回転角移動距離算出部で算出した該単位回転当たりの移動距離に基づいて、該可動部を所定距離移動させるのに必要な該モータの回転角を算出する回転角算出部を、
該回転角算出部で算出した該回転角だけ該モータを回転させて該可動部を該所定距離移動させるモータ制御部と、
を含むことを特徴とする加工装置。 - 前記簡易スケールユニットは、第1スリットと該第1スリットから基準距離離間した第2スリットとを有し、該可動部に取り付けられた簡易スケールと、
該簡易スケールを挟んでベース上に対向するように配設された発光素子と受光素子とからなるフォトインターラプターとから構成される請求項1記載の加工装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011022782A JP5730048B2 (ja) | 2011-02-04 | 2011-02-04 | 加工装置 |
CN201210023465.XA CN102629566B (zh) | 2011-02-04 | 2012-02-02 | 加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011022782A JP5730048B2 (ja) | 2011-02-04 | 2011-02-04 | 加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012161861A true JP2012161861A (ja) | 2012-08-30 |
JP5730048B2 JP5730048B2 (ja) | 2015-06-03 |
Family
ID=46587794
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011022782A Active JP5730048B2 (ja) | 2011-02-04 | 2011-02-04 | 加工装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5730048B2 (ja) |
CN (1) | CN102629566B (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015093359A (ja) * | 2013-11-13 | 2015-05-18 | 株式会社ジェイテクト | 研削盤 |
CN104703755A (zh) * | 2012-10-11 | 2015-06-10 | 株式会社牧野铣床制作所 | 刀具路径生成方法、机床的控制装置及刀具路径生成装置 |
CN104756025A (zh) * | 2012-10-30 | 2015-07-01 | 株式会社牧野铣床制作所 | 工件安装信息报告装置 |
JP2015128122A (ja) * | 2013-12-28 | 2015-07-09 | Towa株式会社 | 電子部品製造用の切断装置及び切断方法 |
JP2016124097A (ja) * | 2014-12-29 | 2016-07-11 | エルジー シルトロン インコーポレイテッド | ウェハー研磨装置およびその研磨方法 |
EP2915625A4 (en) * | 2012-10-30 | 2016-07-20 | Makino Milling Machine | DEVICE FOR CONTROLLING MACHINE TOOL AND MACHINE TOOL |
EP2915614A4 (en) * | 2012-10-31 | 2016-07-27 | Makino Milling Machine | DEVICE FOR CONTROLLING MACHINE TOOL AND MACHINE TOOL |
KR20190010438A (ko) | 2017-07-21 | 2019-01-30 | 가부시기가이샤 디스코 | 연삭 장치 |
CN109531840A (zh) * | 2018-11-29 | 2019-03-29 | 武汉畅新科技发展有限公司 | Led晶圆片的切割装置 |
JP2020049588A (ja) * | 2018-09-27 | 2020-04-02 | 株式会社ジェイテクト | 工作機械 |
KR20200081239A (ko) | 2018-12-27 | 2020-07-07 | 가부시기가이샤 디스코 | 자기 진단 기능을 구비하는 가공 장치 |
CN115284167A (zh) * | 2022-06-13 | 2022-11-04 | 哈尔滨汽轮机厂有限责任公司 | 一种轴承箱基架研磨非标装备及其使用方法 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016165785A (ja) * | 2015-03-10 | 2016-09-15 | 株式会社ディスコ | 可動装置および加工装置 |
CN105773303A (zh) * | 2016-04-12 | 2016-07-20 | 莱芜钢铁集团有限公司 | 机床直线升降精度矫正用辅助组件及方法 |
CN105855629B (zh) * | 2016-05-25 | 2018-05-08 | 重庆大学 | 自动修锉装置及其修锉方法 |
JP7114166B2 (ja) * | 2018-01-16 | 2022-08-08 | 株式会社ディスコ | 切削ブレードの管理方法及び切削装置 |
CN112223501A (zh) * | 2020-10-13 | 2021-01-15 | 沈阳汉为科技有限公司 | 一种新型蜂窝陶瓷模具开槽装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5272180A (en) * | 1975-12-13 | 1977-06-16 | Fujitsu Ltd | Positioning stopper for moving object |
JPS55132971U (ja) * | 1979-03-14 | 1980-09-20 | ||
JPH01109048A (ja) * | 1987-10-23 | 1989-04-26 | Matsuo Sangyo Kk | ねじ送り装置の自動制御方法 |
-
2011
- 2011-02-04 JP JP2011022782A patent/JP5730048B2/ja active Active
-
2012
- 2012-02-02 CN CN201210023465.XA patent/CN102629566B/zh active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5272180A (en) * | 1975-12-13 | 1977-06-16 | Fujitsu Ltd | Positioning stopper for moving object |
JPS55132971U (ja) * | 1979-03-14 | 1980-09-20 | ||
JPH01109048A (ja) * | 1987-10-23 | 1989-04-26 | Matsuo Sangyo Kk | ねじ送り装置の自動制御方法 |
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2907621A4 (en) * | 2012-10-11 | 2016-07-13 | Makino Milling Machine | TOOL PROCESSING METHOD, METHOD FOR CONTROLLING A TOOL MACHINE AND TOOL MOTORIZATION DEVICE |
CN104703755A (zh) * | 2012-10-11 | 2015-06-10 | 株式会社牧野铣床制作所 | 刀具路径生成方法、机床的控制装置及刀具路径生成装置 |
US10042348B2 (en) | 2012-10-11 | 2018-08-07 | Makino Milling Machine Co., Ltd. | Tool path-generating method, machine tool control device and tool path-generating device |
US9791845B2 (en) | 2012-10-30 | 2017-10-17 | Makino Milling Machine Co., Ltd. | Workpiece-attachment-information reporting device |
EP2916184A4 (en) * | 2012-10-30 | 2016-06-29 | Makino Milling Machine | DEVICE FOR OUTPUTING INFORMATION ON A WORKPIECE FASTENING |
EP2915625A4 (en) * | 2012-10-30 | 2016-07-20 | Makino Milling Machine | DEVICE FOR CONTROLLING MACHINE TOOL AND MACHINE TOOL |
CN104756025B (zh) * | 2012-10-30 | 2017-11-14 | 株式会社牧野铣床制作所 | 工件安装信息报告装置 |
US10007251B2 (en) | 2012-10-30 | 2018-06-26 | Makino Milling Machine Co., Ltd. | Machine tool control device and machine tool |
CN104756025A (zh) * | 2012-10-30 | 2015-07-01 | 株式会社牧野铣床制作所 | 工件安装信息报告装置 |
EP2915614A4 (en) * | 2012-10-31 | 2016-07-27 | Makino Milling Machine | DEVICE FOR CONTROLLING MACHINE TOOL AND MACHINE TOOL |
US10180675B2 (en) | 2012-10-31 | 2019-01-15 | Makino Milling Machine Co., Ltd. | Machine tool control device and machine tool |
JP2015093359A (ja) * | 2013-11-13 | 2015-05-18 | 株式会社ジェイテクト | 研削盤 |
JP2015128122A (ja) * | 2013-12-28 | 2015-07-09 | Towa株式会社 | 電子部品製造用の切断装置及び切断方法 |
JP2016124097A (ja) * | 2014-12-29 | 2016-07-11 | エルジー シルトロン インコーポレイテッド | ウェハー研磨装置およびその研磨方法 |
KR20190010438A (ko) | 2017-07-21 | 2019-01-30 | 가부시기가이샤 디스코 | 연삭 장치 |
JP2020049588A (ja) * | 2018-09-27 | 2020-04-02 | 株式会社ジェイテクト | 工作機械 |
JP7279326B2 (ja) | 2018-09-27 | 2023-05-23 | 株式会社ジェイテクト | 工作機械 |
CN109531840A (zh) * | 2018-11-29 | 2019-03-29 | 武汉畅新科技发展有限公司 | Led晶圆片的切割装置 |
KR20200081239A (ko) | 2018-12-27 | 2020-07-07 | 가부시기가이샤 디스코 | 자기 진단 기능을 구비하는 가공 장치 |
JP2020106375A (ja) * | 2018-12-27 | 2020-07-09 | 株式会社ディスコ | 自己診断機能を備える加工装置 |
JP7246827B2 (ja) | 2018-12-27 | 2023-03-28 | 株式会社ディスコ | 自己診断機能を備える加工装置 |
CN115284167A (zh) * | 2022-06-13 | 2022-11-04 | 哈尔滨汽轮机厂有限责任公司 | 一种轴承箱基架研磨非标装备及其使用方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102629566B (zh) | 2016-04-06 |
JP5730048B2 (ja) | 2015-06-03 |
CN102629566A (zh) | 2012-08-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5730048B2 (ja) | 加工装置 | |
JP5777415B2 (ja) | 分割予定ライン検出方法 | |
JP4532895B2 (ja) | 板状物の切削装置 | |
JP5248339B2 (ja) | 切削ブレードの管理方法 | |
CN104867842B (zh) | 加工装置的晶片中心检测方法 | |
KR102008532B1 (ko) | 가공 장치 | |
JP6143668B2 (ja) | 電子部品製造用の切断装置及び切断方法 | |
JP2010089094A (ja) | レーザ加工装置 | |
KR101786123B1 (ko) | 반도체 디바이스의 제조 방법 및 레이저 가공 장치 | |
JP2012146831A (ja) | 加工位置調製方法及び加工装置 | |
JP4554265B2 (ja) | 切削ブレードの位置ずれ検出方法 | |
JP2011151117A (ja) | 加工装置 | |
JP2013086188A (ja) | 加工装置 | |
JP2019115962A (ja) | チャックテーブル修正方法及び切削装置 | |
JP2011009652A (ja) | 切削装置における切削ブレードの位置検出方法 | |
JP2015103752A (ja) | ダイシング装置及びその切削方法 | |
JP5645692B2 (ja) | 加工方法 | |
JP5372429B2 (ja) | 板状物の分割方法 | |
KR20160110136A (ko) | 가동 장치 및 가공 장치 | |
JP2015131303A (ja) | レーザー加工装置における加工送り機構の作動特性検出方法およびレーザー加工装置 | |
JP5248341B2 (ja) | 切削ブレードの管理方法 | |
JP5839383B2 (ja) | ウエーハの加工方法 | |
JP2005183584A (ja) | 板状物の切削装置 | |
JP4683866B2 (ja) | 半導体装置の製造装置 | |
JP5001064B2 (ja) | チャックテーブル機構 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140110 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141022 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141028 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141226 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150407 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150407 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5730048 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |