JP2012117991A - 回路基板検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローブユニット2,3にそれぞれ配設されて、プローブユニット2,3のプローブ2a〜2dおよびプローブ3a〜3dが対応する各接触ポイントTP1〜TP4に接触したときに、互いに直接接触する一対の接触端子2e,3eと、一対の接触端子2e,3eに接続されて相殺電流I2を出力する相殺電流供給部5とを備え、処理部8は、相殺電流供給部5を制御して、一対の接触端子2e,3eを含む相殺電流経路に相殺電流I2を供給させて、電流供給プローブ2a,3aおよび検査対象とするビア31を含む測定電流経路に測定電流I1が流れることに起因して検査対象とするビア31および電圧検出プローブ2b,3bを含む電圧検出経路に発生する誘導起電力を相殺する相殺起電力を発生させる。
【選択図】図2
Description
2,3 プローブユニット
2a〜2d,3a〜3d プローブ
4 測定電流供給部
5 相殺電流供給部
6 電圧測定部
7 切替部
8 処理部
11 回路基板
21〜24 配線パターン
31,32 ビア
I1 測定電流
I2 相殺電流
TP1〜TP4 接触ポイント
V1 電圧
Claims (1)
- 複数のプローブを備えると共に、回路基板の一方の面側に配設されて当該一方の面に形成された複数の配線パターン上に規定された各接触ポイントに前記複数のプローブのうちの対応する2本のプローブを同時に接触可能に構成された第1のプローブユニットと、
複数のプローブを備えると共に、回路基板の他方の面側に配設されて当該他方の面に形成された複数の配線パターン上に規定された各接触ポイントに前記複数のプローブのうちの対応する2本のプローブを同時に接触可能に構成された第2のプローブユニットと、
測定電流を出力する測定電流供給部と、
電圧測定部と、
前記第1のプローブユニットの前記複数のプローブのうちの任意の1本のプローブと前記第2のプローブユニットの前記複数のプローブのうちの任意の1本のプローブとを選択して前記測定電流供給部に電気的に接続すると共に、当該第1のプローブユニットの当該複数のプローブのうちの他の任意の1本のプローブと当該第2のプローブユニットの当該複数のプローブのうちの他の任意の1本のプローブとを選択して前記電圧測定部に電気的に接続する切替部と、
処理部とを備え、
当該処理部は、前記第1および第2のプローブユニットを移動させて前記複数のプローブを対応する前記各接触ポイントに接触させ、その状態において前記切替部を制御して、前記回路基板に形成されている複数のビアのうちの検査対象とするビアの一端側と接続される前記一方の面側の前記配線パターン上に規定された第1の接触ポイントに接触している前記2本のプローブのうちの一方、および当該ビアの他端側と接続されている前記他方の面側の前記配線パターン上に規定された第2の接触ポイントに接触している前記2本のプローブのうちの一方をそれぞれ電流供給プローブとして前記測定電流供給部に接続させると共に、当該第1の接触ポイントに接触している前記2本のプローブのうちの他方および当該第2の接触ポイントに接触している前記2本のプローブのうちの他方をそれぞれ電圧検出プローブとして前記電圧測定部に接続させ、かつ当該測定電流供給部を制御して当該検査対象とする当該ビアに前記電流供給プローブを介して前記測定電流を供給させると共に、当該電圧測定部を制御して当該第1の接触ポイントおよび第2の接触ポイント間に発生するポイント間電圧を測定させ、当該測定電流および当該ポイント間電圧に基づいて前記検査対象とする前記ビアの抵抗を四端子法で測定して当該抵抗に基づいて当該ビアの検査を行う回路基板検査装置であって、
前記第1および第2のプローブユニットにそれぞれ配設されて、当該第1および第2のプローブユニットの前記複数のプローブが対応する前記各接触ポイントに接触したときに、互いに直接接触する一対の接触端子と、
前記一対の接触端子に接続されて相殺電流を出力する相殺電流供給部とを備え、
前記処理部は、前記相殺電流供給部を制御して、前記一対の接触端子を含む相殺電流経路に前記相殺電流を供給させて、前記電流供給プローブおよび当該検査対象とする当該ビアを含む測定電流経路に前記測定電流が流れることに起因して当該検査対象とする当該ビアおよび前記電圧検出プローブを含む電圧検出経路に発生する誘導起電力を相殺する相殺起電力を発生させる回路基板検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010269901A JP5507430B2 (ja) | 2010-12-03 | 2010-12-03 | 回路基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010269901A JP5507430B2 (ja) | 2010-12-03 | 2010-12-03 | 回路基板検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012117991A true JP2012117991A (ja) | 2012-06-21 |
JP5507430B2 JP5507430B2 (ja) | 2014-05-28 |
Family
ID=46500979
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010269901A Active JP5507430B2 (ja) | 2010-12-03 | 2010-12-03 | 回路基板検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5507430B2 (ja) |
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A621 | Written request for application examination |
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