JP2012093252A - 角度測定方法及び角度測定システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回転駆動される被測定物1の回転軸1aにロータリエンコーダ2の回転軸3を取り付けるとともに、被測定物1の回転軸1aとロータリエンコーダ2の回転軸3との偏心を許容するように、ロータリエンコーダ2の回転軸3に直交する面内におけるエンコーダ本体2aの変位を一定の遊び範囲内に規制し、ロータリエンコーダ2のエンコーダ読取ヘッドの読み取ったコードに基づいてロータリエンコーダ2の回転軸3の回転角度を測定するとともに、非接触角度検出手段20によりロータリエンコーダ2の回転軸3の回転角度測定開始時点からのエンコーダ本体2aの変化した角度を検出し、ロータリエンコーダ2を用いて測定された回転角度を非接触角度検出手段20で検出されたエンコーダ本体2aの変化した角度に基づいて補正する。
【選択図】 図1
Description
図9は、第2実施形態における角度測定システムの一例の全体構成図である。図9にて、図1〜8に示した第1実施形態と同じ構成要素には同じ符号を付した。以下では、第1実施形態で説明した内容については説明を省略し、主として第1実施形態と異なる点を説明する。
Claims (16)
- 本体部と前記本体部に対し回転自在な回転軸と前記回転軸に取り付けられたコード部と前記本体部に固定されて前記コード部のコードを読み取る読取部とを有するロータリエンコーダを用いる角度測定方法であって、
回転駆動される被測定物の回転軸に前記ロータリエンコーダの回転軸を取り付けるとともに、前記被測定物の回転軸と前記ロータリエンコーダの回転軸との偏心を許容するように、前記ロータリエンコーダの回転軸に直交する面内における前記ロータリエンコーダの本体部の変位を一定の遊び範囲内に規制し、
前記ロータリエンコーダの読取部の読取ったコードに基づいて前記ロータリエンコーダの回転軸の回転角度を測定するとともに、非接触で角度を検出する非接触角度検出手段により前記ロータリエンコーダの回転軸の回転角度測定開始時点からの前記ロータリエンコーダの本体部の変化した角度を検出し、
前記ロータリエンコーダを用いて測定された回転角度を、前記非接触角度検出手段で検出された前記ロータリエンコーダの本体部の変化した角度に基づいて補正することを特徴とする角度測定方法。 - 前記ロータリエンコーダの本体部の変位を前記一定の遊び範囲内で許容しつつ前記ロータリエンコーダの本体部を係止する治具を用いることを特徴とする請求項1に記載の角度測定方法。
- 前記ロータリエンコーダの本体部に錘を取り付け、前記ロータリエンコーダの本体部を重力方向に付勢することを特徴とする請求項1または2に記載の角度測定方法。
- 本体部と前記本体部に対し回転自在な回転軸と前記回転軸に取り付けられたコード部と前記本体部に固定されて前記コード部のコードを読み取る読取部とを有するロータリエンコーダを用いる角度測定方法であって、
回転駆動される被測定物の回転軸に前記ロータリエンコーダの本体部を取り付けるとともに、前記被測定物の回転軸と前記ロータリエンコーダの回転軸との偏心を許容するように、前記ロータリエンコーダの回転軸に直交する面内における前記ロータリエンコーダの回転軸の変位を一定の遊び範囲内に規制し、
前記ロータリエンコーダの読取部が読み取ったコードに基づいて前記ロータリエンコーダの本体部の回転角度を測定するとともに、非接触で角度を検出する非接触角度検出手段により前記ロータリエンコーダの本体部の回転角度測定開始時点からの前記ロータリエンコーダの回転軸の変化した角度を検出し、
前記ロータリエンコーダを用いて測定された回転角度を、前記非接触角度検出手段で検出された前記ロータリエンコーダの回転軸の変化した角度に基づいて補正することを特徴とする角度測定方法。 - 前記ロータリエンコーダの回転軸の変位を前記一定の遊び範囲内で許容しつつ前記ロータリエンコーダの回転軸を係止する治具を用いることを特徴とする請求項4に記載の角度測定方法。
- 前記ロータリエンコーダの回転軸に錘を取り付け、前記ロータリエンコーダの回転軸を重力方向に付勢することを特徴とする請求項4または5に記載の角度測定方法。
- 前記被測定物の回転軸の回転が停止したタイミングで回転角度を検出する静的測定、及び、前記被測定物の回転軸の回転中のタイミングで回転角度を検出する動的測定のうち少なくとも一方の測定を行なうことを特徴とする請求項1から6のうちいずれか1項に記載の角度測定方法。
- 本体部と前記本体部に対し回転自在な回転軸と前記回転軸に取り付けられたコード部と前記本体部に固定されて前記コード部のコードを読み取る読取部とを有し、回転駆動される被測定物に前記回転軸が取り付けられるロータリエンコーダと、
前記被測定物の回転軸と前記ロータリエンコーダの回転軸との偏心を許容するように、前記ロータリエンコーダの回転軸に直交する面内における前記ロータリエンコーダの本体部の変位を一定の遊び範囲内に規制する規制部材と、
前記ロータリエンコーダの回転軸の回転角度測定開始時点からの前記ロータリエンコーダの本体部の変化した角度を非接触で検出する非接触角度検出手段と、
前記ロータリエンコーダの読取部が読み取ったコードに対応する回転角度を、前記非接触角度検出手段で検出される前記ロータリエンコーダの本体部の変化した角度に基づいて補正する補正手段と、
を備えたことを特徴とする角度測定システム。 - 前記規制部材は、前記ロータリエンコーダの本体部の変位を前記一定の遊び範囲内で許容しつつ前記ロータリエンコーダの本体部を係止する治具を含むことを特徴とする請求項8に記載の角度測定システム。
- 前記規制部材は、前記ロータリエンコーダの本体部に取り付けられ、前記ロータリエンコーダの本体部を重力方向に付勢する錘を含むことを特徴とする請求項8または9に記載の角度測定システム。
- 本体部と前記本体部に対し回転自在な回転軸と前記回転軸に取り付けられたコード部と前記本体部に固定されて前記コード部のコードを読み取る読取部とを有し、回転駆動される被測定物に前記回転軸が取り付けられるロータリエンコーダと、
前記被測定物の回転軸と前記ロータリエンコーダの回転軸との偏心を許容するように、前記ロータリエンコーダの回転軸に直交する面内における前記ロータリエンコーダの回転軸の変位を一定の遊び範囲内に規制する規制部材と、
前記ロータリエンコーダの本体部の回転角度測定開始時点からの前記ロータリエンコーダの回転軸の変化した角度を非接触で検出する非接触角度検出手段と、
前記ロータリエンコーダの読取部が読み取ったコードに対応する回転角度を、前記非接触角度検出手段で検出される前記ロータリエンコーダの回転軸の変化した角度に基づいて補正する補正手段と、
を備えたことを特徴とする角度測定システム。 - 前記規制部材は、前記ロータリエンコーダの回転軸の変位を前記一定の遊び範囲内で許容しつつ前記ロータリエンコーダの回転軸を係止する治具を含むことを特徴とする請求項11に記載の角度測定システム。
- 前記規制部材は、前記ロータリエンコーダの回転軸に取り付けられ、前記ロータリエンコーダの回転軸を重力方向に付勢する錘を含むことを特徴とする請求項11または12に記載の角度測定システム。
- 前記非接触角度検出手段は、
前記ロータリエンコーダのうち前記規制部材により規制された部分の前記回転軸に直交する面に設置される第1及び第2の反射素子と、
レーザ光源と、
前記レーザ光源から発光された光束を前記第1の反射素子に向かう第1の光束と前記第2の反射素子に向かう第2の光束とに分割し、前記第1の反射素子で反射された第1の反射光束と前記第2の反射素子で反射された第2の反射光束とを干渉させる干渉光学系と、
前記干渉光学系により干渉した前記第1の反射光束と前記第2の反射光束との位相差を検出する位相差検出手段と、
前記位相差検出手段で検出される前記第1の反射光束と前記第2の反射光束との位相差と、前記第1の反射素子と前記第2の反射素子との位置の差とに基づいて、前記第1の反射素子と前記第2の反射素子との対応点間を結ぶ直線の傾斜角度を算出する傾斜角度算出手段と、
を有することを特徴とする請求項8から13のうちいずれか1項に記載の角度測定システム。 - 前記補正手段は、前記ロータリエンコーダの読取部が読み取ったコードに対応する前記回転角度と前記非接触角度検出手段の前記傾斜角度算出手段で算出された前記傾斜角度との和をとることを特徴とする請求項14に記載の角度測定システム。
- 前記被測定物の回転軸の回転が停止したタイミングで回転角度を検出する静的測定、及び、前記被測定物の回転軸の回転中のタイミングで回転角度を検出する動的測定のうち少なくとも一方の測定を行なうことを特徴とする請求項8から15のうちいずれか1項に記載の角度測定システム。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013122037A1 (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-22 | 株式会社東京精密 | 回転角度測定装置及び回転角度測定方法 |
JP2014112067A (ja) * | 2012-02-15 | 2014-06-19 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 回転角度測定装置及び回転角度測定方法 |
US9134145B2 (en) | 2013-04-03 | 2015-09-15 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Angle measuring method and angle measuring system |
KR20190035612A (ko) * | 2016-05-03 | 2019-04-03 | 아르게스 게엠베하 | 광학 회전각 측정 시스템 |
JP2019194525A (ja) * | 2018-05-01 | 2019-11-07 | 新東エスプレシジョン株式会社 | 角度測定システム |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113639674B (zh) * | 2021-10-13 | 2022-01-14 | 成都宏明电子股份有限公司 | 基于光折射原理的非接触式旋转电位器 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05500864A (ja) * | 1990-06-15 | 1993-02-18 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 角度変位測定の方法および装置 |
JPH06502727A (ja) * | 1991-09-10 | 1994-03-24 | レニショウ トランスデューサ システムズ リミテッド | 角度変位較正装置および方法 |
JPH09243336A (ja) * | 1996-03-12 | 1997-09-19 | Olympus Optical Co Ltd | 角度検出装置、及び頭部搭載型映像表示装置 |
JP2005292037A (ja) * | 2004-04-02 | 2005-10-20 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 角度測定装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE396108B (sv) * | 1975-03-12 | 1977-09-05 | Akermans Verkstad Ab | Vinkelmetdon for grevarmen vid grevmaskiner |
US5508806A (en) * | 1995-02-13 | 1996-04-16 | Hewlett-Packard Company | Apparatus and method for making rotary calibrations of a machine tool table |
JP3192992B2 (ja) * | 1996-08-27 | 2001-07-30 | 株式会社東京精密 | 工作機械の角度割出精度測定方法及びシステム |
NL1033040C2 (nl) * | 2006-12-12 | 2008-06-18 | Iac Geometrische Ingenieurs B | Een methode voor de kalibratie van de hoek waarover een object geroteerd is om een rotatie-as zoals van een rondtafel. |
JP5682802B2 (ja) * | 2012-02-15 | 2015-03-11 | 株式会社東京精密 | 回転角度測定装置及び回転角度測定方法 |
-
2010
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-
2011
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05500864A (ja) * | 1990-06-15 | 1993-02-18 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 角度変位測定の方法および装置 |
JPH06502727A (ja) * | 1991-09-10 | 1994-03-24 | レニショウ トランスデューサ システムズ リミテッド | 角度変位較正装置および方法 |
JPH09243336A (ja) * | 1996-03-12 | 1997-09-19 | Olympus Optical Co Ltd | 角度検出装置、及び頭部搭載型映像表示装置 |
JP2005292037A (ja) * | 2004-04-02 | 2005-10-20 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 角度測定装置 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013122037A1 (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-22 | 株式会社東京精密 | 回転角度測定装置及び回転角度測定方法 |
JP2014112067A (ja) * | 2012-02-15 | 2014-06-19 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 回転角度測定装置及び回転角度測定方法 |
US9354088B2 (en) | 2012-02-15 | 2016-05-31 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Rotation angle measurement device and rotation angle measurement method |
US9778075B2 (en) | 2012-02-15 | 2017-10-03 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Rotation angle measurement device and rotation angle measurement method |
US9134145B2 (en) | 2013-04-03 | 2015-09-15 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Angle measuring method and angle measuring system |
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