JP2012093252A5 - - Google Patents

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Claims (5)

  1. エンコーダ本体と、前記エンコーダ本体に対し回転自在な回転軸とを有し、前記エンコーダ本体に対する前記回転軸の相対的な回転角度を検出するロータリエンコーダと、
    前記エンコーダ本体の前記回転軸周りの絶対的な回転角度を一定範囲内に規制する規制部材と、
    前記エンコーダ本体の前記回転軸周りの絶対的な回転角度を検出する絶対角度検出手段と、
    前記ロータリエンコーダが検出した回転角度を、前記絶対角度検出手段で検出した回転角度に基づいて補正する補正手段と、
    を備えたことを特徴とする角度測定システム。
  2. 前記絶対角度検出手段は、前記エンコーダ本体に対して非接触で前記回転角度を検出する非接触角度検出手段であることを特徴とする請求項１に記載の角度測定システム。
  3. 前記非接触角度検出手段は、レーザ干渉計を用いたものであることを特徴とする請求項２に記載の角度測定システム。
  4. 前記規制部材は、前記エンコーダ本体の基準位置を鉛直下方に付勢する錘部材からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の角度測定システム。
  5. エンコーダ本体と、前記エンコーダ本体に対し回転自在な回転軸とを有し、前記エンコーダ本体に対する前記回転軸の相対的な回転角度を検出するロータリエンコーダを用いる角度測定方法であって、
    前記エンコーダ本体の前記回転軸周りの絶対的な回転角度を一定範囲内に規制し、
    前記エンコーダ本体の前記回転軸周りの絶対的な回転角度を検出し、
    前記ロータリエンコーダが検出した回転角度を、前記検出した絶対的な回転角度に基づいて補正することを特徴とする角度測定方法。
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