JP2012084688A - 両面粘着テープ貼付け方法および両面粘着テープ貼付け装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】長尺のキャリアテープctに長尺の両面粘着テープtを貼合わせた原反テープTをナイフエッジ14に導いて折り返し走行させるとともに、ナイフエッジ14の手前において、両面粘着テープtをキャリアテープct上において基板形状に対応した形状のトムソン刃11によって切断し、原反テープTをナイフエッジ14において折り返し走行させることで、基板形状に切断された両面粘着テープ片taをキャリアテープctから剥離し、剥離した両面粘着テープ片taを剥離速度と同調して相対走行される基板に貼付けてゆく。
【選択図】図3
Description
すなわち、両面粘着テープを基板に貼付ける両面粘着テープ貼付け方法であって、
長尺のキャリアテープに長尺の両面粘着テープを貼合わせた原反テープを原反ロールから繰り出す繰り出し過程と、
前記キャリアテープ上で予め基板形状に対応した形状の切断部材で両面粘着テープをキャリアテープまでハーフカットする切断過程と、
前記基板形状に切り抜かれた両面粘着テープをキャリアテープから剥離する剥離過程と、
前記基板形状の両面粘着テープ片の添接されたキャリアテープをナイフエッジで折り返し走行させることにより、当該両面粘着テープ片をキャリアテープから剥離するとともに、剥離した両面粘着テープ片を剥離速度と同調して相対移動される基板に貼付ける貼付け過程と、
を備えたことを特徴とする。
長尺のキャリアテープに長尺の両面粘着テープを貼合わせた原反テープを原反ロールから送り出すテープ供給部と、
前記テープ供給部から繰り出された原反テープを所定のテープ搬送経路に沿って走行させナイフエッジに導くテープ走行案内機構と、
前記ナイフエッジの手前のテープ搬送経路において両面粘着テープを切断部材でキャリアテープまで基板形状にハーフカットして両面粘着テープ片を形成するテーププリカット機構と、
前記基板形状に切り抜かれた両面粘着テープをキャリアテープから剥離するテープ剥離機構と、
前記基板を保持する貼付けテーブルと、
前記貼付けテーブルをナイフエッジに対してテープ走行速度と同調して相対移動させるテーブル駆動機構と、
前記原反テープをナイフエッジによって折り返し走行させることにより、キャリアテープから剥離された基板形状の両面粘着テープ片を貼付けテーブル上の基板に押圧する貼付けローラを備えたテープ貼付機構と、
前記両面粘着テープ片が剥離されたキャリアテープを回収するキャリアテープ回収部と、
を備えたことを特徴とする。
2 … テーププリカット機構
3 … テープ貼付け部
4 … テープ剥離部
11 … トムソン刃
14 … ナイフエッジ
18 … 貼付けローラ
19 … 貼付けテーブル
ca … キャリアテープ
s … セパレータ
t … 両面粘着テープ
ta … 両面粘着テープ片
T … 原反テープ
TR … 原反ロール
W … 基板(半導体ウエハ)
Claims (4)
- 両面粘着テープを基板に貼付ける両面粘着テープ貼付け方法であって、
長尺のキャリアテープに長尺の両面粘着テープを貼合わせた原反テープを原反ロールから繰り出す繰り出し過程と、
前記キャリアテープ上で予め基板形状に対応した形状の切断部材で両面粘着テープをキャリアテープまでハーフカットする切断過程と、
前記基板形状に切り抜かれた両面粘着テープをキャリアテープから剥離する剥離過程と、
前記基板形状の両面粘着テープ片の添接されたキャリアテープをナイフエッジで折り返し走行させることにより、当該両面粘着テープ片をキャリアテープから剥離するとともに、剥離した両面粘着テープ片を剥離速度と同調して相対移動される基板に貼付ける貼付け過程と、
を備えたことを特徴とする両面粘着テープ貼付け方法。 - 請求項1に記載の両面粘着テープ貼付け方法において、
前記切断部材は、環状の切断刃をキャリアテープ上の両面粘着テープに押し付けて、両面粘着テープを基板の形状に切断するトムソン刃である
ことを特徴とする両面粘着テープ貼付け方法。 - 両面粘着テープを基板に貼付ける両面粘着テープ貼付け装置であって、
長尺のキャリアテープに長尺の両面粘着テープを貼合わせた原反テープを原反ロールから送り出すテープ供給部と、
前記テープ供給部から繰り出された原反テープを所定のテープ搬送経路に沿って走行させナイフエッジに導くテープ走行案内機構と、
前記ナイフエッジの手前のテープ搬送経路において両面粘着テープを切断部材でキャリアテープまで基板形状にハーフカットして両面粘着テープ片を形成するテーププリカット機構と、
前記基板形状に切り抜かれた両面粘着テープをキャリアテープから剥離するテープ剥離機構と、
前記基板を保持する貼付けテーブルと、
前記貼付けテーブルをナイフエッジに対してテープ走行速度と同調して相対移動させるテーブル駆動機構と、
前記原反テープをナイフエッジによって折り返し走行させることにより、キャリアテープから剥離された基板形状の両面粘着テープ片を貼付けテーブル上の基板に押圧する貼付けローラを備えたテープ貼付機構と、
前記両面粘着テープ片が剥離されたキャリアテープを回収するキャリアテープ回収部と、
を備えたことを特徴とする両面粘着テープ貼付け装置。 - 請求項3に記載の両面粘着テープ貼付け装置において、
前記テーププリカット機構の切断部材は、キャリアテープ上の両面粘着テープに押し付ける基板形状に形成された環状のトムソン刃である
ことを特徴とする両面粘着テープ貼付け装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010229534A JP2012084688A (ja) | 2010-10-12 | 2010-10-12 | 両面粘着テープ貼付け方法および両面粘着テープ貼付け装置 |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010229534A JP2012084688A (ja) | 2010-10-12 | 2010-10-12 | 両面粘着テープ貼付け方法および両面粘着テープ貼付け装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012084688A true JP2012084688A (ja) | 2012-04-26 |
Family
ID=45370366
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010229534A Pending JP2012084688A (ja) | 2010-10-12 | 2010-10-12 | 両面粘着テープ貼付け方法および両面粘着テープ貼付け装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20120085488A1 (ja) |
EP (1) | EP2441811A3 (ja) |
JP (1) | JP2012084688A (ja) |
SG (1) | SG180102A1 (ja) |
TW (1) | TW201230183A (ja) |
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JP7052961B1 (ja) * | 2020-05-22 | 2022-04-12 | 吉秀 西川 | 貼付装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
EP2441811A3 (en) | 2014-03-19 |
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US20120085488A1 (en) | 2012-04-12 |
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SG180102A1 (en) | 2012-05-30 |
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