JP2017135166A - 接合システム - Google Patents
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Abstract
Description
先ず、本実施形態に係る接合システムの構成について、図1〜図3を参照して説明する。図1は、接合システムの構成の概略を示す平面図である。図2は、接合システムの内部構成の概略を示す側面図である。図3は、被処理基板と支持基板の側面図である。なお、以下においては、位置関係を明確にするために、互いに直交するX軸方向、Y軸方向及びZ軸方向を規定し、Z軸正方向を鉛直上向き方向とする。
次に、以上のように構成された接合システム1において被処理基板Wと支持基板Sの接合処理を行う際、当該接合システム1内に生じる気流について図4に基づいて説明する。なお、図4中の矢印は気流の方向を示している。
次に、以上のように構成された接合システム1を用いて行われる被処理基板Wと支持基板Sの接合処理方法について説明する。図5は、かかる接合処理の主な工程の例を示すフローチャートである。
次に、本発明の他の実施形態について説明する。以上の接合システム1において、処理ステーション3の各装置の配置や数は任意に設定することができる。
2 搬入出ステーション
3 処理ステーション
30 貼付装置
31 検査装置
40 接合装置
41 反転装置
42 紫外線処理装置
60 第2の基板搬送領域
61 第2の基板搬送装置
70 制御部
80 反転装置
P 接着テープ
S 支持基板
T 重合基板
W 被処理基板
Claims (3)
- 接着テープを介して被処理基板と支持基板を接合する接合システムであって、
前記被処理基板、前記支持基板、及び前記被処理基板と前記支持基板が接合された重合基板に所定の処理を行う処理ステーションと、
前記被処理基板、前記支持基板又は前記重合基板をそれぞれ複数保有可能で、且つ前記被処理基板、前記支持基板又は前記重合基板を前記処理ステーションに対して搬入出する搬入出ステーションと、を有し、
前記支持基板は紫外線を透過する材料からなり、
前記処理ステーションは、
前記接着テープを介して前記被処理基板と前記支持基板を接合する接合装置と、
前記重合基板の表裏面を反転させる反転装置と、
前記重合基板に対し、前記支持基板側から前記接着テープに向けて紫外線を照射する紫外線処理装置と、
前記接合装置、前記反転装置及び前記紫外線処理装置に対して、前記被処理基板、前記支持基板又は前記重合基板を搬送する搬送装置が設けられた搬送領域と、を有することを特徴とする、接合システム。 - 前記反転装置は、
前記紫外線処理装置で紫外線処理が行われる前の前記重合基板の表裏面を反転させる第1の反転装置と、
前記紫外線処理装置で紫外線処理が行われた後の前記重合基板の表裏面を反転させる第2の反転装置と、を含むことを特徴とする、請求項1に記載の接合システム。 - 前記接合装置内の圧力、前記反転装置内の圧力及び前記紫外線処理装置内の圧力は、それぞれ前記搬送領域内の圧力に対して陰圧であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の接合システム。
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2016
- 2016-01-25 JP JP2016011803A patent/JP2017135166A/ja active Pending
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