JP2011214992A - 検査装置および検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プロービング機構と、制御部と、理論上のプロービング位置と実際のプロービング位置との間の離間距離に基づいてプロービング処理において指定するプローブ21の移動量を補正するための補正値を算出する演算部とを備え、制御部は、接離方向に沿った移動量が互いに異なる第1の移動量および第2の移動量を指定してプロービング機構に対して第1プロービング処理および第2プロービング処理を実行させ、演算部は、第1プロービング処理および第2プロービング処理における平面方向に沿った離間距離の差分値(Gxt)と、両プロービング処理の各々における表面に対して垂直な方向に沿ったプローブ21の移動量の差分値(差分値Tg1)とに基づいてテスト基板100の表面に対する接離方向の傾斜角度(θx)を特定すると共に、傾斜角度に基づいて補正値を補完する。
【選択図】図10
Description
tanθx=Tg1/Gxt
∴θx=tan−1(Tg1/Gxt)・・・・(1)式
また、A方向がテスト基板100の表面に対して傾斜しているときのY方向に沿った傾斜角度θy、差分値Gytおよび差分値Tg1の関係は、次の式で表される。
tanθy=Tg1/Gyt
∴θy=tan−1(Tg1/Gyt)・・・・(2)式
したがって、制御部7は、(1)式および(2)式から傾斜角度θx,θyを算出する。次いで、制御部7は、特定した傾斜角度θx,θyを記憶部6に記憶させる。以上により、補正値Drx,Dryおよび傾斜角度θx,θyの算出が終了する。
Dcx=Tg2/tanθx・・・・(3)式
Dcy=Tg2/tanθy・・・・(4)式
したがって、制御部7は、差分値Tg2を算出し、(3)式および(4)式から補完値Dcx,Dcyを算出する。次いで、制御部7は、補正値Drx,Dryを補完値Dcx,Dcyで補完する。この場合、制御部7は、例えば、補正値Drxに補完値Dcxを加算する補完を行うと共に、補正値Dryに補完値Dcyを加算する補完を行う。続いて、制御部7は、その補完後の補正値Drx,Dryで移動距離Lmx,Lmyを補正(加算)し、その補正後の移動距離Lmx,Lmyを指定する。
cosθx=Gxt/Gat
∴θx=cos−1(Gxt/Gat)・・・・(5)式
cosθy=Gyt/Gat
∴θy=cos−1(Gyt/Gat)・・・・(6)式
したがって、この構成および方法では、制御部7は、(5)式および(6)式から傾斜角度θx,θyを算出する。
また、検査用プロービング処理において指定する接離方向に沿った移動距離Lmaと第1プロービング処理において指定した移動距離Lta1との差分値をGamとすると、X方向に沿った補完値Dcx、およびY方向に沿った補完値Dcyは、次の式で表される。
Dcx=Gam/cosθx・・・・(7)式
Dcy=Gam/cosθy・・・・(8)式
したがって、制御部7は、差分値Gamを算出し、(7)式および(8)式から補完値Dcx,Dcyを算出する。
3 プロービング機構
4 撮像部
7 制御部
21 プローブ
100 テスト基板
102a,102b 打痕シート
200 回路基板
Drx,Dry 補正値
Ldx1,Ldy1,Ldx2,Ldy2 離間距離
Gxt,Gyt,Gat,Gam 差分値
Ltx1,Lty1,Lta1,Ltx2,Lty2,Lta2 移動距離
S 電気信号
θx,θy 傾斜角度
Claims (6)
- プロービング対象体の表面に平行な平面方向および当該表面に接離する接離方向に沿って当該プローブを移動させて当該プロービング対象体に対して当該プローブをプロービングさせるプロービング機構と、前記プローブの移動量を指定して前記プロービング機構に対して前記プロービング処理を実行させる制御部と、前記指定された移動量によって特定される理論上のプロービング位置と前記プロービング処理による実際のプロービング位置との間の前記平面方向沿った離間距離に基づいて当該移動量を補正するための補正値を算出する演算部とを備え、前記補正値で補正した新たな移動量を前記プロービング機構に対して指定して移動させた前記プローブを介して入力した電気信号に基づく電気的検査を行う検査装置であって、
前記制御部は、第1の前記移動量を指定して前記プロービング機構に対して前記プロービング処理としての第1プロービング処理を実行させると共に、前記接離方向に沿った移動量が前記第1の移動量における当該接離方向に沿った移動量とは異なる第2の前記移動量を指定して前記プロービング機構に対して前記プロービング処理としての第2プロービング処理を実行させ、
前記演算部は、前記第1プロービング処理における前記平面方向に沿った前記離間距離と前記第2プロービング処理における当該平面方向に沿った前記離間距離との差分値と、当該両プロービング処理の各々における前記表面に対して垂直な方向に沿った前記プローブの移動量の差分値および前記接離方向に沿った当該プローブの移動量の差分値のいずれか一方の差分値とに基づいて前記プロービング対象体の前記表面に対する前記接離方向の傾斜角度を特定すると共に、前記傾斜角度に基づいて前記補正値を補完する検査装置。 - 前記演算部は、前記平面方向における第1方向に沿った前記補正値としての第1補正値、および当該第1方向に直交する第2方向に沿った前記補正値としての第2補正値を算出すると共に、前記第1補正値を前記第1方向に沿った前記傾斜角度に基づいて補完し、かつ前記第2補正値を前記第2方向に沿った前記傾斜角度に基づいて補完する請求項1記載の検査装置。
- 前記プロービング処理において前記プロービング対象体に形成される打痕を撮像する撮像部を備え、
前記演算部は、前記撮像部によって撮像された画像に基づいて前記離間距離を測定する請求項1または2記載の検査装置。 - プローブの移動量を指定してプロービング対象体の表面に平行な平面方向および当該表面に接離する接離方向に沿って当該プローブを移動させて当該プロービング対象体に対して当該プローブをプロービングさせ、当該プローブを介して入力した電気信号に基づく電気的検査を行う際に、前記指定した移動量によって特定される理論上のプロービング位置と前記プロービング処理による実際のプロービング位置との間の前記平面方向沿った離間距離に基づいて当該移動量を補正するための補正値を算出し、当該補正値で補正した新たな移動量を指定して移動させた前記プローブを介して入力した電気信号に基づく電気的検査を行う検査方法であって、
第1の前記移動量を指定して前記プロービング処理としての第1プロービング処理を実行すると共に、前記接離方向に沿った移動量が前記第1の移動量における当該接離方向に沿った移動量とは異なる第2の前記移動量を指定して前記プロービング処理としての第2プロービング処理を実行し、
前記第1プロービング処理における前記平面方向に沿った前記離間距離と前記第2プロービング処理における当該平面方向に沿った前記離間距離との差分値と、当該両プロービング処理の各々における前記表面に対して垂直な方向に沿った前記プローブの移動量の差分値および前記接離方向に沿った当該プローブの移動量の差分値のいずれか一方の差分値とに基づいて前記プロービング対象体の前記表面に対する前記接離方向の傾斜角度を特定すると共に、前記傾斜角度に基づいて前記補正値を補完する検査方法。 - 前記平面方向における第1方向に沿った前記補正値としての第1補正値、および当該第1方向に直交する第2方向に沿った前記補正値としての第2補正値を算出すると共に、前記第1補正値を前記第1方向に沿った前記傾斜角度に基づいて補完し、かつ前記第2補正値を前記第2方向に沿った前記傾斜角度に基づいて補完する請求項4記載の検査方法。
- 前記プロービング処理において前記プロービング対象体に形成される打痕を撮像し、
前記撮像した画像に基づいて前記離間距離を測定する請求項4または5記載の検査方法。
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