JP2015115574A - ウェーハ搬送システム - Google Patents
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Abstract
Description
なお本発明は、機構の性質上、ウェーハとそのデバイス保護基板のトータル厚みが薄いものへの適用は難しい為、トータル厚みが400um以上のものへ適用する。
ェーハ配置領域SWの内側に配置された状態でセットされる。
の下面にスムーズに入り込む状態となって移動される。そして、クランプ爪部21の上下の爪22a、22bで上方向の移動がそれぞれ規制されるとともに、垂直面部22cが、ウェーハWの周面に当接されて、クランプ爪部21によってウェーハWの外周周縁部、すなわちエッジ部分がクランプされる。また、ウェーハWがクランプ爪部21でクランプされたら、ウェーハ浮上手段14による水の噴出を停止させる。
12 チャックテーブル
12a ウェーハ載置面
13 ウェーハ真空吸着手段
14 ウェーハ浮上手段
15 ウェーハクランプ保持手段
15a 本体部
16 エア供給手段
17 搬送手段
17a 一端側(基端側)
17b 他端側(自由先端側)
18a 爪用の第1アーム
18b 爪用の第2アーム
19a 高さ調整用の第1アーム
19b 高さ調整用の第2アーム
20 位置決めピン
21 クランプ爪部
22a 下側爪
22b 上側爪
22c 垂直面部
SW ウェーハ配置領域
Claims (2)
- チャックテーブル上に真空チャックされた概略円板状のウェーハを、前記チャックテーブルから他の場所に搬送するウェーハ搬送システムにおいて、
前記真空チャックが解かれた前記ウェーハに対して前記チャックテーブル側から水を噴出して前記ウェーハを前記チャックテーブル上から浮かすウェーハ浮上手段と、
前記チェックテーブル上で浮上した前記ウェーハのエッジ部分をクランプして該ウェーハを保持するためのクランプ爪部を有するウェーハクランプ保持手段と、
前記クランプ爪部で保持されている前記ウェーハに対して前記チャックテーブル側からエアを噴出して前記ウェーハと前記チャックテーブル間の前記水を除去するためのエア供給手段と、
前記クランプ爪部で保持されている前記ウェーハを前記クランプ爪部と共に所要位置へ搬送する搬送手段と、
を備えることを特徴とするウェーハ搬送システム。 - 前記クランプ爪部は、前記ウェーハの外周外側に位置して外周方向に所要の間隔で複数設けられているとともに、各クランプ爪部は前記ウェーハが配置されている領域の外側から内側の領域に移動可能な下側爪と、常にウェーハが配置されている領域の内側にセットされる上側爪とを有し、かつ、前記上側爪の前記ウェーハと対向する面が外側から内側に向かって昇るように傾斜している傾斜面として形成されている、
ことを特徴とする請求項1に記載のウェーハ搬送システム。
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