JP2011086826A - 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハWへのレジストの吐出を行っている間に、流路形成部材50から外側カップ42の内壁面を伝うように、洗浄液を吐出させ、外側カップ42の内壁に洗浄液の液膜を形成させる。ウエハWから振り切られたレジストは洗浄液の液膜により捕捉される。レジストを捕捉した洗浄液は、外側カップ42の底部に設けられた樋部53に回収され、再び流路形成部材50から外側カップ42の内壁面へ吐出される。
【選択図】図11
Description
また、ウエハWが大口径化する傾向にあり、これに伴ってウエハWの周速度が大きくなることから、カップ20内における逆流が起こりやすくなる。
基板保持部に水平に保持された基板にノズルから処理液を供給して処理を行う液処理装置において、
前記基板保持部を鉛直軸回りに回転させる回転機構と、
前記基板保持部に保持された基板を囲むカップと、
前記カップの下方側から当該カップ内の雰囲気を吸引排気するための吸引排気部と、
前記基板を回転させて処理液が当該基板から振り切られるときに、当該処理液のミストを捕捉するためのミスト捕捉液を、前記基板と同じ高さかそれよりも高い位置から前記カップの内周面に供給するために前記カップの周方向に沿って設けられたミスト捕捉液の供給口と、を備えたことを特徴とする。
1.前記ミスト捕捉液の供給口は、ミスト捕捉液の吐出の向きが基板の回転と同じ向きである。
2.前記ミスト捕捉液の供給口からのミスト捕捉液の供給量を調整するための供給量調整部と、
前記基板の回転数に応じて捕捉液の供給量を設定したデータを記憶する記憶部と、
前記データから基板の回転数に応じた供給量を読み出し、この供給量となるように前記供給量調整部を制御する制御部と、を備えた構成。
3.前記ミスト捕捉液は、基板を洗浄するための洗浄液である。
4.前記供給口よりも下方側に設けられ、前記前記ミスト捕捉液を回収するための回収部と、この回収部にて回収した前記ミスト捕捉液を前記供給口に循環させる循環部と、を備えた構成。
基板保持部に水平に保持された基板に処理液を供給して処理を行う液処理方法において、
基板を基板保持部に水平に保持させる工程と、
次に、基板保持部を鉛直軸回りに回転させると共に当該基板にノズルから処理液を供給する工程と、
前記基板保持部に保持された基板を囲むカップ内の雰囲気を吸引排気する工程と、
前記基板を回転させて処理液が当該基板から振り切られるときに、当該処理液のミストを捕捉するためのミスト捕捉液を、前記基板と同じ高さかそれよりも高い位置にてカップの周方向に沿って設けられた供給口から前記カップの内周面に供給し、処理液のミストを捕捉する工程と、を備えたことを特徴とする。
外側カップ42の底部には、後述する樋部53が設けられ、当該樋部53に隣接して下方より廃液路34が接続されている。また、前記廃液路34よりスピンチャック31寄りの位置に2本の排気管35が突入する形で設けられ、排気管35の側壁によって気体と液体とを分離することが可能となる。前記樋部53をあふれた液は廃液路34より廃液される。前記排気管35は、下流にて夫々合流し、図示しないダンパを介して例えば工場の排気ダクトに接続されている。
前記内側カップ41、外側カップ42は、親水性の素材例えばステンレスから構成されるか、あるいは夫々の樹脂カップ41、42の表面には親水性材料により被膜が形成されている。これによりカップ41、42の表面には、飛散したレジスト液が付着し難くなっている。
また、図1及び図3に示すように、外側カップ42の底部の内壁には、上方よりカップ40の壁面を伝って流れてきた洗浄液を受け止め、回収するために、周方向に沿って樋部53が設けられている。樋部53には下方より回収管54の一端が接続され、当該回収管54の他端は筐体80の外部へ引き出され、バッファタンク65に接続されている。
分岐管52aの下流側は、洗浄液を一時的に貯留するバッファタンク65に接続されている。バッファタンク65にはバルブV3が配設された配管66dを介して廃液部68が接続され、また既述の回収管54が接続されている。更にまた、バッファタンク65内には液面検出計65aが設けられている。
図1に戻って、内側カップ41のガイド部41aには、ベベル洗浄ノズル71が嵌め込まれて設けられ、このベベル洗浄ノズル71は洗浄液を吐出するための吐出口71aがウエハWの裏面周縁部を向くように形成されている。ベベル洗浄ノズル71は図示しない配管を介してリンス液供給源に接続されている。
その後、ベベル洗浄ノズル71よりウエハWの裏面周縁部へリンス液である溶剤の吐出を行う(図8の時刻t4)。このリンス液の吐出は例えば5秒間行なわれ、ウエハWの裏面周縁部のレジストが洗浄される。また、図12に示すように回転しているウエハWよりリンス液が振り切られるが、予めリンス液の吐出前例えば5秒前(図8の時刻t4’)にて、流路形成部材50より外側カップ42の内壁面に洗浄液を流し、洗浄液の液膜を形成していることから、既述のように洗浄液の液膜にリンス液のミストが捕捉される。このときの洗浄液の吐出量は、例えば200cc/minである。
洗浄液の供給は、流路形成部材50より外側カップ42の内壁面に供給したものを再利用しているが、循環している洗浄液が時間の経過に伴って揮発し、循環している洗浄液の量が少なくなったとき、具体的には液面検出計65aの検出する液面レベルが設定された液面レベルを下回ったときに、切り替えバルブ61により流路が洗浄液供給源60側と接続し、洗浄液供給源60から新しい洗浄液の供給が行われる。
ここで、図13は洗浄液の量とミストの飛散量との関係をウエハWの回転数毎に示した図である。この図13より、ウエハWの回転数を大きくする毎にミストの飛散を抑制するための洗浄液の量が増加することが分かる。また、ウエハWの回転数が大きく、洗浄液の量が少ない場合にはミストの飛散量が増加することが分かる。更にまた、各回転数毎に洗浄液の量を増加させると、ミストの飛散量が減少することが分かる。従って、これらの特性を考慮して、既述のように洗浄液の吐出量を調整している。なお、処理液を使用する時間が短いレシピの場合、洗浄液の吐出量は、必ずしもウエハWの回転数に応じて調整しなくても良い。
レジストミストを捕捉した洗浄液は、樋部53より回収され、再利用されるため、洗浄液の使用量を低減することができる。
また、洗浄液を吐出するポンプ62は、ウエハWの回転数に応じて洗浄液の吐出量が制御されているため、ポンプ62の省電力化を図りながら、飛散するレジストミストの捕捉を効率的に行うことができる。また、ウエハWに対する液処理とカップ40の洗浄処理を同時に行うことができるため、スループットの向上を図ることができる。
ミスト捕捉液は洗浄液を用いることに限られないが、既述のように洗浄液を兼用することがカップ40内の洗浄を同時に行えることから好ましい。また、本発明はレジスト塗布装置に限られず背景の項目で記載したように、現像装置、洗浄装置に用いても良い。
31 スピンチャック
32 回転駆動部
35 排気管
40 カップ
41 内側カップ
42 外側カップ
42a 円筒部
42b 傾斜壁
44 環状流路
50 流路形成部材
51 貫通孔
53 樋部
62 ポンプ
90 制御部
93 記憶部
Claims (7)
- 基板保持部に水平に保持された基板にノズルから処理液を供給して処理を行う液処理装置において、
前記基板保持部を鉛直軸回りに回転させる回転機構と、
前記基板保持部に保持された基板を囲むカップと、
前記カップの下方側から当該カップ内の雰囲気を吸引排気するための吸引排気部と、
前記基板を回転させて処理液が当該基板から振り切られるときに、当該処理液のミストを捕捉するためのミスト捕捉液を、前記基板と同じ高さかそれよりも高い位置から前記カップの内周面に供給するために前記カップの周方向に沿って設けられたミスト捕捉液の供給口と、を備えたことを特徴とする液処理装置。 - 前記ミスト捕捉液の供給口は、ミスト捕捉液の吐出の向きが基板の回転と同じ向きとなるように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の液処理装置。
- 前記ミスト捕捉液の供給口からのミスト捕捉液の供給量を調整するための供給量調整部と、
前記基板の回転数に応じて捕捉液の供給量を設定したデータを記憶する記憶部と、
前記データから基板の回転数に応じた供給量を読み出し、この供給量となるように前記供給量調整部を制御する制御部と、を備えたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の液処理装置。 - 前記ミスト捕捉液は、基板を洗浄するための洗浄液であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一つに記載の液処理装置。
- 前記供給口よりも下方側に設けられ、前記前記ミスト捕捉液を回収するための回収部と、この回収部にて回収した前記ミスト捕捉液を前記供給口に循環させる循環部と、を備えたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一つに記載の液処理装置。
- 基板保持部に水平に保持された基板に処理液を供給して処理を行う液処理方法において、
基板を基板保持部に水平に保持させる工程と、
次に、基板保持部を鉛直軸回りに回転させると共に当該基板にノズルから処理液を供給する工程と、
前記基板保持部に保持された基板を囲むカップ内の雰囲気を吸引排気する工程と、
前記基板を回転させて処理液が当該基板から振り切られるときに、当該処理液のミストを捕捉するためのミスト捕捉液を、前記基板と同じ高さかそれよりも高い位置にてカップの周方向に沿って設けられた供給口から前記カップの内周面に供給し、処理液のミストを捕捉する工程と、を備えたことを特徴とする液処理方法。 - 基板保持部に水平に保持された基板にノズルから処理液を供給して処理を行う液処理装置に用いられるコンピュータプログラムを記憶する記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項6に記載の液処理方法を実施するようにステップ群が組まれていることを特徴とする記憶媒体。
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