JP2011077451A - ヒータユニット反射板および該反射板を備えたヒータユニット - Google Patents
ヒータユニット反射板および該反射板を備えたヒータユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011077451A JP2011077451A JP2009229811A JP2009229811A JP2011077451A JP 2011077451 A JP2011077451 A JP 2011077451A JP 2009229811 A JP2009229811 A JP 2009229811A JP 2009229811 A JP2009229811 A JP 2009229811A JP 2011077451 A JP2011077451 A JP 2011077451A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater unit
- heater
- layer
- reflecting plate
- reflector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Control Of Resistance Heating (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明に係るヒータユニット1は、通電によって加熱されるヒータ2と、該ヒータ2の下側に配設される反射板と、を備え、半導体基板を加熱処理するヒータユニット1であって、前記反射板は、炭化ケイ素からなる第1層7とステンレスからなる第2層8とを積層したヒータユニット反射板4とから構成される。
【選択図】図2
Description
本発明の実施形態による作用効果を説明する。
以上より、本発明例による反射板およびこれを用いたヒータユニットが最も性能が高いことが判明した。
Claims (2)
- 半導体基板を加熱処理するヒータユニットに用いられるヒータユニット反射板であって、
炭化ケイ素からなる第1層と、
ステンレスからなる第2層と
を積層したヒータユニット反射板。 - 通電によって加熱されるヒータと該ヒータの下側に配設される反射板とを備え、半導体基板を加熱処理するヒータユニットであって、
前記反射板は、
炭化ケイ素からなる第1層と、
ステンレスからなる第2層とを積層したヒータユニット反射板であるヒータユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009229811A JP5524560B2 (ja) | 2009-10-01 | 2009-10-01 | ヒータユニット反射板および該反射板を備えたヒータユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009229811A JP5524560B2 (ja) | 2009-10-01 | 2009-10-01 | ヒータユニット反射板および該反射板を備えたヒータユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011077451A true JP2011077451A (ja) | 2011-04-14 |
JP5524560B2 JP5524560B2 (ja) | 2014-06-18 |
Family
ID=44021077
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009229811A Active JP5524560B2 (ja) | 2009-10-01 | 2009-10-01 | ヒータユニット反射板および該反射板を備えたヒータユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5524560B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013168555A (ja) * | 2012-02-16 | 2013-08-29 | Bridgestone Corp | 加熱装置 |
WO2014129331A1 (ja) * | 2013-02-20 | 2014-08-28 | 株式会社美鈴工業 | ヒータ装置 |
RU2805459C1 (ru) * | 2023-06-20 | 2023-10-17 | Акционерное общество "ВЗПП-Микрон" | Нагревательное устройство для термомиграции жидких зон в пластине кремния |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001201062A (ja) * | 2000-01-14 | 2001-07-27 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 熱線反射板 |
WO2001095379A1 (fr) * | 2000-06-02 | 2001-12-13 | Ibiden Co., Ltd. | Plaque de cuisson |
-
2009
- 2009-10-01 JP JP2009229811A patent/JP5524560B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001201062A (ja) * | 2000-01-14 | 2001-07-27 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 熱線反射板 |
WO2001095379A1 (fr) * | 2000-06-02 | 2001-12-13 | Ibiden Co., Ltd. | Plaque de cuisson |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013168555A (ja) * | 2012-02-16 | 2013-08-29 | Bridgestone Corp | 加熱装置 |
WO2014129331A1 (ja) * | 2013-02-20 | 2014-08-28 | 株式会社美鈴工業 | ヒータ装置 |
JPWO2014129331A1 (ja) * | 2013-02-20 | 2017-02-02 | 株式会社美鈴工業 | ヒータ装置 |
RU2805459C1 (ru) * | 2023-06-20 | 2023-10-17 | Акционерное общество "ВЗПП-Микрон" | Нагревательное устройство для термомиграции жидких зон в пластине кремния |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5524560B2 (ja) | 2014-06-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20100046909A (ko) | 정전 흡착 장치와 그의 제조방법 | |
JP2011009706A (ja) | ヒータユニット及びそれを備えた装置 | |
JP2011040729A5 (ja) | 半導体基板の作製方法 | |
JP2009545863A5 (ja) | ||
JP2009302508A5 (ja) | ||
JP5399791B2 (ja) | 静電チャック | |
JP5524560B2 (ja) | ヒータユニット反射板および該反射板を備えたヒータユニット | |
JP2009135469A5 (ja) | ||
JP2008138283A5 (ja) | ||
JP2017096516A (ja) | 冷暖房用パネル、及び冷暖房システム | |
JP2008252068A5 (ja) | ||
JP2018139221A (ja) | 電気ヒーター並びにこれを備えた加熱装置及び半導体製造装置 | |
JP2009526387A5 (ja) | ||
JP2011165701A5 (ja) | ||
DE602005020453D1 (de) | Inline-heizelement zur verwendung bei der chemischen halbleiter-nassbearbeitung und herstellungsverfahren dafür | |
JP4852852B2 (ja) | 加熱ユニット | |
JP6303346B2 (ja) | 反射型マスクブランクおよび反射型マスク | |
JP5981402B2 (ja) | サセプタ | |
JP4467730B2 (ja) | 基板加熱装置 | |
WO2012043104A1 (ja) | 面状発熱体及び加熱装置 | |
JP2013110161A5 (ja) | ||
JP2011070964A (ja) | 面状発熱体及びこれを用いた暖房パネル | |
JP2819018B2 (ja) | 抵抗発熱ヒータ | |
JP2008000361A (ja) | 誘導加熱調理用容器 | |
TWI424541B (zh) | 溫度變更系統 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120703 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131220 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140107 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140305 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140408 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140410 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5524560 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |