JP2011049193A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 パッケージング基板を保持する保持テーブルを備えた切削装置であって、該保持テーブルは、該パッケージング基板を保持する保持面の該分割予定ラインに対応する位置に形成された複数の切削ブレード用逃げ溝と、該切削ブレード用逃げ溝で区画された各領域に形成された複数の吸引孔と、該パッケージング基板を吸着するための負圧を該保持テーブルに伝達する負圧伝達部とを備え、該負圧伝達部は、該パッケージ基板を大分割して反りを低減する際に該パッケージ基板を吸引保持する各吸引領域の中央部に連通する複数の中央領域負圧伝達部と、該中央領域負圧伝達部に対して独立して作用し、該パッケージ基板を個々のパッケージへと分割する際に該中央領域負圧伝達部とともに該パッケージ基板を吸引保持する各吸引領域の外周部に連通する複数の外周領域負圧伝達部とから構成される。
【選択図】図6
Description
6a,6b,6c デバイス領域
8a,8b 分割予定ライン
20 固定治具
22 逃げ溝
24 吸引孔
25a〜25c 吸引領域
30 切削装置
32 治具ベース
34,34A 保持テーブル
40 切削ブレード
50,50A 中央吸引領域
52,52A 外周吸引領域
54 中央領域負圧伝達部
60 外周領域負圧伝達部
Claims (2)
- 分割予定ラインによって区画された複数の領域にそれぞれデバイスが配設されるとともに樹脂で封止されたパッケージング基板を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該パッケージング基板を切削する切削ブレードを含む切削手段とを備えた切削装置であって、
該保持テーブルは、該パッケージング基板を保持する保持面の該分割予定ラインに対応する位置に形成された複数の切削ブレード用逃げ溝と、
該切削ブレード用逃げ溝で区画された各領域に形成された複数の吸引孔と、
該パッケージング基板を吸着するための負圧を該保持テーブルに伝達する負圧伝達部とを備え、
該パッケージ基板は、互いに離間した複数のデバイス領域と隣接するデバイス領域の間の非デバイス領域とを備え、該保持テーブルは各デバイス領域に対応する複数の吸引領域を備えており、
該負圧伝達部は、該パッケージ基板を大分割して反りを低減する際に該パッケージ基板を吸引保持する該各吸引領域の中央部に連通する複数の中央領域負圧伝達部と、
該中央領域負圧伝達部に対して独立して作用し、該パッケージ基板を個々のパッケージへと分割する際に該中央領域負圧伝達部とともに該パッケージ基板を吸引保持する該各吸引領域の外周部に連通する複数の外周領域負圧伝達部とから構成されることを特徴とする切削装置。 - 分割予定ラインによって区画された複数の領域にそれぞれデバイスが配設されるとともに樹脂で封止されたパッケージング基板を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該パッケージング基板を切削する切削ブレードを含む切削手段とを備えた切削装置であって、
該保持テーブルは、該パッケージング基板を保持する保持面の該分割予定ラインに対応する位置に形成された複数の切削ブレード用逃げ溝と、
該切削ブレード用逃げ溝で区画された各領域に形成された複数の吸引孔と、
該パッケージング基板を吸着するための負圧を該保持テーブルに伝達する負圧伝達部とを備え、
該パッケージ基板は、互いに離間した複数のデバイス領域と隣接するデバイス領域の間の非デバイス領域とを備え、該保持テーブルは該デバイス領域に対応する複数の吸引領域と隣接する吸引領域の間の非吸引領域とを備えており、
該負圧伝達部は、該パッケージ基板を大分割して反りを低減する際に該パッケージ基板を吸引保持する該複数の吸引領域及び非吸引領域に渡る領域の中央部分に連通する中央領域負圧伝達部と、
該中央領域負圧伝達部に対して独立して作用し、該パッケージ基板を個々のパッケージへと分割する際に該中央領域負圧伝達部とともに該パッケージ基板を吸引保持する該中央部分を囲繞する前記領域内の外周部に連通する外周領域負圧伝達部とから構成されることを特徴とする切削装置。
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