JPS62249446A - 保持装置およびその使用方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、保持技術、およびそれを直接的に使用する技
術、特に、保持物を真空吸着により保持する技術、並び
に被保持物を保持した状態で小片に分離する技術に関し
、例えば、半導体装置の製造において、ウェハをペレッ
トに分断するグイシング工程に利用して有効なものに関
する。

〔従来の技術〕

半導体装置の製造において、ウェハをペレットにダイシ
ングする方法として、ウェハを粘着テープに貼り付け、
このウェハにスクライブラインに沿ってダイヤモンド砥
石により切断線を入れた後、ウェハに曲げ荷重をかける
ことにより、各ペレットにそれぞれ完全分割（プレイキ
ング）する方法がある。

なお、ダイシング技術を述べである例としては、株式会
社工業調査会発行「電子材料１９８２年１１月号別冊」
昭和５７年１１月１８日発行　Ｐ６７〜Ｐ６８、がある
。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、このようなダイシング方法においては、ブレー
キングが自然現象に依存するため、ペレットへの分断が
不通正になり、不測のかけらやＦＭ傷が発生し、断線や
短絡等のような製品不良が発生するという問題点がある
ことが、本発明者によって明らかにされた。

本発明の目的は、被保持物を保持したままでの完全分割
作業を可能にする保持装置を提供することにある。

本発明の他の目的は、前記保持装置を使用することによ
り、ウェハをペレットに完全に分断することができるダ
イシング方法を提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

〔問題点を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を説明すれば、次の通りである。

すなわち、被保持物を吸着する保持面を存する本体と、
本体の保持面に刻設されている溝と、溝に取り囲まれた
分割片保持部にそれぞれ開設されている吸引口と、各吸
引口にそれぞれ連通されている吸引炉と、吸引炉を開閉
する弁体とを設けたものである。

〔作用〕

前記手段によれば、保持装置には溝が切設されているた
め、本体に被保持物を保持したまま被保持物を完全に分
断することができる。また、各分割片保持部毎に吸引口
がそれぞれ開設されているため、完全分断された各分割
片は各別に保持されることになる。しかも、弁を閉じる
ことにより、各分割片の吸着保持状態は固定的に維持さ
れるため、分割片群は本体と共に一体的に取り扱うこと
ができ、後工程における取り扱いの容易性を確保するこ
とができる。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例であるウェハ保持装置を示す
斜視図、第２図はその使用方法の一実施例であるダイシ
ング方法の一工程を示す拡大部分縦断面図、第３図は同
じく他の工程を示す拡大部分縦断面図、第４図はその方
法で使用される治具を示す斜視図である。

本実施例において、このウェハ保持装置はウェハ１を保
持するように構成されている。このウェハ１には集積回
路をそれぞれ作り込まれた複数個のペレット部２が第１
主面１ａに設けられており、各ペレット部２はスクライ
ブライン３によりそれぞれ画成されている。

保持装置４は略円盤状に形成されている本体５を備えて
おり、本体５には保持面６がウェハ１と略等しい平面形
状に形成されている。保持面６には複数条の溝７がウェ
ハ１のスクライブライン３に対応するように碁盤目形状
に配されて切設されており、保持面６における互いに交
差する溝７によって取り囲まれた小面ｆ！！部により、
分割片としての後記ペレット２人を保持するペレット保
持部それぞれ配されて略正方形の枠形状に開設されてお
り、各吸引口９には吸引路１０がそれぞれ流体連結され
ている。各吸引路１０は主通路としての吸引管１１にそ
れぞれ接続されており、吸引管１１は真空ポンプ等から
なる負圧源（図示せず）に接続自在に構成されていると
ともに、コック等のような開閉弁１２により流路を開閉
させるように構成されている。

本体５には複数本の挿通孔１３が各ペレット保持部８の
略中央部にそれぞれ対応するように配されて、厚さ方向
に貫通するように穿設されており、各挿通孔１３は後述
するエジェクタピンを挿通し得るように構成されている
。

また、本体５における保持面６の外部には雄嵌合部１４
が同心的かつ一定深さに切設されており、本体５におけ
る保持面６とは反対側の端面には雌嵌合部１５が同心的
かつ一定深さに切設されている０両嵌合部１４と１５と
は互いに嵌合し得るように設定されており、これにより
、複数体の保持れるように構成されている。

次に前記構成にかかるウェハ保持装置を使用したダイシ
ング方法の一実施例を説明することにより、本発明にか
かる使用方法の一実施例を説明する。

保持装置４がその吸引管１１を負圧源に接続されると、
ウェハ１は第２主面１ｂが保持面６に当接するように、
かつスクライブライン３が？ａ　７に整合するように配
されて保持装置４上に載せられる。開閉弁１２が開けら
れて負圧が供給されると、各吸引口９は第２主面ｌｂを
保持面６に真空吸着しウェハ１を本体５に保持させる。

本体５に保持された状態で、ウェハ１はダイヤモンド砥
石１６によりスクライブライン３に沿って切断される。

このとき、本体５の保持面６には？Ｒ７が切設されてい
るため、ウェハｌを完全に分断することができる。そし
て、この分断により、ベレ・／ト２Ａがそれぞれ切り出
されることになる。

それぞれ切り離された各ペレッ１−２Ａは各ペレット１
寺部８のそれぞれに吸引口９が配設されているため、各
保持部８にそれぞれ独立して保持されるが、本体５は一
体であるため、それらの一体性は維持することになる。

このとき、吸引口９が外縁辺部に環状に配設されている
と、ペレット２Ａに対する吸着化が大きくなるため、ペ
レット２Ａは強力に保持されることになる。

ペレッｌ−２Ａが保持部８に吸着保持された状態で開閉
弁１２が閉じられると、負圧状態が維持されるため、ペ
レフ）２Ａに対する前記吸着保持状態は固定化されるこ
とになる。このようにしてペレッｌ−２Ａ群が保持装置
４に一括して保持された状態で、洗浄、乾燥作業等が実
施される。

その後、第４図に示されているように、本体５の下方か
らエジェクタピン１７が各挿通孔１３にそれぞれ挿通さ
れることにより、各ペレット２Ａは各保持部８から一度
に差し上げられる。差し上げられたベレット２Ａ群は、
第４図に示されているようなすくい取り治具１８によっ
てすくい取られ、ペレットを各別に収容するトレー等に
移載される。この治具１８はウェハ１のスクライブライ
ン３および保持装置４のｄｓ７に対応するピッチのくし
歯形状のすくい取り部材１９を備えており、隣り合うす
くい取り部材１９．１９間にエジェクタピン１７を挿通
させることにより、ペレット２Ａを隣り合うす（り取り
部材１９．１９間に架橋させた状態です（い取るように
構成されている。

前記実施例によれば次の効果が得られる。

＋１１　　保持装置に溝と、各ペレット保持部と、各保
持部毎の吸引口とを設けることにより、グイシング工程
においてウェハを吸着保持したまま各ペレットに完全分
断することができるため、その後のプレイキング作業を
省略化することができ、その結果、作業性を高めること
ができるとともに、プレイキング作業に伴う障害の派生
を未然に回避することができる。

（２）分断されたペレットを各吸引口によって独立させ
て吸着保持するように構成するとともに、開閉弁を設け
て吸着保持状態を固定的に維持することができるように
構成することにより、分断された後もペレット群を保持
装置によってウェハ形態のままの一体性を維持して保持
することができるため、その後の作業に際してペレット
群を一括して取り扱うことができ、完全分断に伴う作業
性の低下を防止することができる。

（３）各保持部毎にエジェクタピン挿通孔を開設してお
くことにより、ペレットを保持装置から取り外す際にペ
レットをその第１主面に接触することなく、すくい取る
ことができるため、第１主面を吸着保持する場合等に比
べて、ペレットのｔｉ傷等のような障害の発生を抑制す
ることができる。

（４）吸引口をペレット保持部において外縁辺部に環状
に配設することにより、吸引化が大きくなるため、ペレ
ットを強固に保持することができるとともに、エジェク
タピン挿通孔をペレット保持部に開設可能にすることが
できる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

例えば、保持装置からペレットを取り外す手段としては
、第４図に示されているような治具を使用してペレット
をすくい上げるに限らず、真空吸着コレットによって吸
着保持して持ち上げるようにしてもよい。したがって、
エジェクタピン挿通孔は省略することができる。

吸着口は環状に配設するに限らず、中央部に大きく開設
してもよい。

ウェハを各ペレットに分断させる手段は、ダイヤモンド
砥石を用いて切断する方法を使用するに限らず、レーザ
を用いて溶断する方法等を使用してもよい。

本発明にかかる保持装置はダイシング工程においてウェ
ハを保持するのに使用するに限らず、他の工程や他の分
野においても使用することができる。

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるウェハの保持技術に
通用した場合について説明したが、それに限定されるも
のではなく、物品の保持装置全般に通用することができ
る０本発明は、板状物を小片に分割する際に板状物を保
持するのに使用して顕著な効果を発揮する。

〔発明の効果〕

本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、次の通りである。

保持装置に溝と、各ベレット保持部と、各保持部毎の吸
引口とを設けることにより、被保持物を吸着保持したま
ま複数個の小片に完全分断することができるため、その
後のプレイキング作業を省略化することができ、その結
果、作業性を高めることができるとともに、プレイキン
グ作業に伴う障害の派生を未然に回避することができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例であるウェハ保持装置を示す
斜視図、 第２図はその使用方法の一実施例であるダイシング方法
の一工程を示す拡大部分縦断面図、第３図は同じく他の
工程を示す拡大部分縦断面図＼ 第４図はその方法で使用される治具を示す斜視図である
。 １・・・ウェハ（被保持物）、１ａ・・・第１主面、１
ｂ・・・第２主面、２・・・ペレット部、２人・・・ペ
レット（分割片）、３・・・スクライプライン、４・・
・ウェハ保持装置、５・・・本体、６・・・保持面、７
・・・溝、８・・・ベレット保持部、９・・・吸引口、
１０・・・吸引路、１１・・・吸引管、１２・・・開閉
弁、１３・・・エジェクタピン挿通孔、１４・・・雄嵌
合部、１５・・・雌嵌合部、１６・・・ダイヤモンド敵
方、１７・・・エジェクタビン、１８・・・ペレットす
くい取り治具、１９・・・すくい取り部材。 メア゛・ 代理人　弁理士　小川謄男′Ｅ■ 第　　１　　　図 第　　２　　図 第　　３　　図 第　　４　　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被保持物を吸着する保持面を有する本体と、本体の
   保持面に刻設されている溝と、溝に取り囲まれた分割片
   保持部にそれぞれ開設されている吸引口と、各吸引口に
   それぞれ連通されている吸引路と、吸引路を開閉する弁
   とを備えている保持装置。 ２、本体が、相手方の保持面に平行になる状態で積み重
   ねられるように構成されていることを特徴とする特許請
   求の範囲第１項記載の保持装置。 ３、溝が、碁盤目形状に複数本配設されていることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の保持装置。 ４、吸引口が、分割片保持部の外周辺部に環状に配設さ
   れていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   保持装置。 ５、本体が、各分割片保持部にピン挿通孔をそれぞれ介
   設されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
   載の保持装置。 ６、被保持物を吸着する保持面を有する本体と、本体の
   保持面に刻設されている溝と、溝に取り囲まれた分割片
   保持部にそれぞれ介設されている吸引口と、各吸引口に
   それぞれ連通されている吸引路と、吸引路を開閉する弁
   とを備えている保持装置の使用方法であって、前記本体
   の保持面に被保持物を当接するとともに、前記吸引路に
   負圧を供給して前記各吸引口により被保持物を真空吸着
   保持する工程と、前記溝に沿って被保持物を各分割片に
   それぞれ分割させる工程と、前記弁を閉じて真空吸着保
   持状態を固定化する工程とを備えていることを特徴とす
   る保持装置の使用方法。 ７、保持面に吸着保持された分割片が、分割片保持部に
   開設されている挿通孔を通してピンにより突き上げられ
   た状態ですくい取られることを特徴とする特許請求の範
   囲第６項記載の保持装置の使用方法。