JP2011044538A - ウェーハフレームの搬送装置および搬送方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】倒立部4は、ウェーハフレームWをその平面を鉛直方向に沿わせた状態に倒立させる。移動部5は、ウェーハフレームWをその状態で搬送する。これにより、ウェーハフレームWの平面を水平方向に沿わせた状態で搬送する場合に比べて、ウェーハフレームWの搬送経路に要する面積が小さくなるので、結果として、小型化を実現することができる。すなわち、本実施の形態では、ウェーハフレームWの平面を鉛直方向に沿わせた状態に倒立させて搬送するので、搬送経路は、少なくとも、ウェーハフレームWの移動距離とウェーハフレームWの厚さとを乗じた面積だけで済むので、従来よりも搬送経路に要する面積を小さくすることができる。
【選択図】 図1
Description
図1,図2に示すように、本実施の形態に係る搬送システム1は、ウェーハシートを保持したウェーハフレームWを水平な状態で積層して格納するとともにウェーハフレームWを1枚ずつ所定の方向(以下、搬送方向という)に供給する格納部2と、搬送方向に沿って格納部2に並設され、格納部2から供給されるウェーハフレームWを水平面内で所定の角度回転させ、ウェーハシートに貼り付けられた電子部品の向きを調節する回転部3と、この回転部3に横設され、回転部3により回転させられたウェーハフレームWを保持してその平面が鉛直方向に沿うように立て起こす倒立部4と、搬送方向に沿って移動可能とされており、この倒立部4により立て起こされたウェーハフレームWを搬送方向に沿って平行移動させる移動部5と、搬送方向に沿って倒立部4に並設され、移動部5により移動させられたウェーハフレームWから電子部品をピックアップするピックアップ部6と、システム全体の動作を制御する制御装置7とを備えている。ピックアップ部6によりピックアップされた電子部品に対しては、その後段に設けられる処理部61によって、検査、マーキング、収納などの各種処理が行われる。
次に、図6を参照して、本実施の形態に係る搬送システムの動作について説明する。
Claims (4)
- 電子部品が貼り付けられたシートを保持する平面状のフレームを搬送する搬送装置であって、
前記フレームを保持する保持部と、
この保持部を移動させて少なくとも主表面が鉛直方向に沿った状態とする倒立部と、
この倒立部により平面が前記鉛直方向に沿った状態とされた前記フレームを水平方向に移動させる移動部と
を備えることを特徴とする搬送装置。 - 前記フレームをその平面に対して直交する軸回りに所定の角度回転させる回転部
をさらに備え、
前記搬送部は、前記回転部により回転された前記フレームを搬送する
ことを特徴とする請求項1記載の搬送装置。 - 前記回転部は、前記フレームを水平面内または鉛直面内で回転させる
ことを特徴とする請求項2記載の搬送装置。 - 電子部品が貼り付けられたシートを保持する平面状のフレームを搬送する搬送方法であって、
前記フレームの平面を鉛直方向に沿わせた状態にする倒立ステップと、
この倒立ステップにより前記平面が前記鉛直方向に沿った状態とされた前記フレームを移動させる移動ステップと
を有することを特徴とする搬送方法。
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