JP6388704B2 - ガラス基板のピック・アンド・プレース装置 - Google Patents
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Description
マシンフレームと、
前記マシンフレームに設けられた載置部材と、
を備え、
前記載置部材は、
載置サポートと、
前記載置サポートに固定的に設けられた第1のストップブロックと、
前記載置サポートに可動的に設けられた第2のストップブロックと、
を有し、
前記第2のストップブロックには、伸縮可能機構が設けられ、
ここで、前記第1のストップブロックと前記第2のストップブロックの総数は、少なくとも4個であり、
前記載置サポートは、ガラス基板を載置するためのものであり、
前記第1のストップブロックは、前記載置サポート上に載置されたガラス基板に対して基準位置決めを行うためのものであり、
前記第2のストップブロックは、前記伸縮可能機構による前記載置サポートにおける伸縮移動によって、前記載置サポート上に載置されたガラス基板を固定するためのものである。
マシンフレームと、
前記マシンフレームに設けられた載置部材と、
を備え、
前記載置部材は、
載置サポートと、
前記載置サポートに固定的に設けられた第1のストップブロックと、
前記載置サポートに可動的に設けられた第2のストップブロックと、
を有し、
ここで、前記第1のストップブロックと前記第2のストップブロックの総数は、少なくとも4個であり、
前記載置サポートは、ガラス基板を載置するためのものであり、
前記第1のストップブロックは、前記載置サポート上に載置されたガラス基板に対して基準位置決めを行うためのものであり、
前記第2のストップブロックは、前記載置サポートにおける移動によって、前記載置サポート上に載置されたガラス基板を固定するためのものである。
マシンフレーム10と、前記マシンフレーム10に設けられた載置部材11とを備え、
前記載置部材11は、載置サポート110と、前記載置サポート110に固定的に設けられた第1のストップブロック111と、前記載置サポート110に可動的に設けられた第2のストップブロック112とを有し、前記第1のストップブロック111と前記第2のストップブロック112の総数は、少なくとも4個であり、
ここで、前記載置サポート110は、ガラス基板12を載置するためのものであり、
前記第1のストップブロック111は、前記載置サポート110上に載置されたガラス基板12に対して基準位置決めを行うためのものであり、
前記第2のストップブロック112は、前記載置サポート110における移動によって、前記載置サポート110上に載置されたガラス基板12を固定するためのものである。
載置アームの作動中、ガラス基板の滑りが防止されるように、エアクッション114のVacuum(真空)の機能をオンにし、ガラス基板を固定する。
Claims (16)
- ガラス基板のピック・アンド・プレース装置において、
マシンフレームと、
前記マシンフレームに設けられた載置部材と、
を備え、
前記載置部材は、
載置サポートと、
前記載置サポートに固定的に設けられた第1のストップブロックと、
前記載置サポートに可動的に設けられた第2のストップブロックと、
を有し、
前記第2のストップブロックには、伸縮可能機構が設けられ、
ここで、前記第1のストップブロックと前記第2のストップブロックの総数は少なくとも4個であり、
前記載置サポートは、ガラス基板を載置するためのものであり、2つの載置アームとして設けられ、2つの前記載置アームの前記マシンフレームに近接する一方端には、いずれも前記第1のストップブロックが設けられ、他方端には、いずれも前記第2のストップブロックが対応して設けられ、
前記第1のストップブロックは、前記載置サポート上に載置されたガラス基板に対して基準位置決めを行うためのものであり、
前記第2のストップブロックは、前記伸縮可能機構による前記載置サポートにおける伸縮移動によって、前記載置サポート上に載置されたガラス基板を固定するためのものであり、
前記2つの載置アームには、いずれも前記ガラス基板をピック・アンド・プレースする時に、前記ガラス基板を吸着して固定するためのエアクッションが設けられ、
前記載置アームがガラス基板を取出し、前記載置アームの作動中、当該ガラス基板の滑りが防止されるように、前記エアクッションの機能をオンにし、ガラス基板を固定し、
前記載置アームが位置決めに到達した後、前記エアクッションの機能をオフにし、さらに前記第1のストップブロックと前記第2のストップブロックを利用してガラス基板を調整して位置決めし、
調整終了後、前記エアクッションの機能をオンにし、ガラス基板を吸い込んで位置を固定して、前記第2のストップブロックを緩め、元の位置に戻すことを特徴とするガラス基板のピック・アンド・プレース装置。 - 前記エアクッションは、前記第2のストップブロックが前記載置サポート上を移動する時に、前記ガラス基板と前記載置サポートとの間の隙間に空気浮上を形成するためにも用いられる請求項1に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。
- 前記第1のストップブロックの対向端に設けられた第2のストップブロックは、前記載置アームの水平方向の移動によって、前記載置アーム上に載置されたガラス基板を固定するためのものである請求項1に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。
- 前記エアクッションは、前記第1のストップブロックと、前記第1のストップブロックの対向端に設けられた第2のストップブロックとの間に均一に設けられている請求項1に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。
- 2つの前記載置アームの前記ガラス基板の左右周辺に近接する側辺には、前記第2のストップブロックが対応して設けられている請求項1に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。
- 前記載置アームの前記側辺に設けられた第2のストップブロックは、前記載置アームの垂直方向の移動によって、前記載置サポート上に載置されたガラス基板を固定するためのものである請求項5に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。
- 2つの載置アームの側辺にいずれも1つの前記第2のストップブロックが設けられる場合、前記第2のストップブロックは、前記第1のストップブロックと、前記第1のストップブロックの対向端に設けられた第2のストップブロックとの中間に設けられている請求項3に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。
- 2つの載置アームの側辺にいずれも少なくとも2つの前記第2のストップブロックが設けられる場合、前記第2のストップブロックは、前記第1のストップブロックと、前記第1のストップブロックの対向端に設けられた第2のストップブロックとの間に均一に設けられている請求項3に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。
- ガラス基板のピック・アンド・プレース装置において、
マシンフレームと、
前記マシンフレームに設けられた載置部材と、
を備え、
前記載置部材は、
載置サポートと、
前記載置サポートに固定的に設けられた第1のストップブロックと、
前記載置サポートに可動的に設けられた第2のストップブロックと、
を有し、
ここで、前記第1のストップブロックと前記第2のストップブロックの総数は少なくとも4個であり、
前記載置サポートは、ガラス基板を載置するためのものであり、2つの載置アームとして設けられ、2つの前記載置アームの前記マシンフレームに近接する一方端には、いずれも前記第1のストップブロックが設けられ、他方端には、いずれも前記第2のストップブロックが対応して設けられ、
前記第1のストップブロックは、前記載置サポート上に載置されたガラス基板に対して基準位置決めを行うためのものであり、
前記第2のストップブロックは、前記載置サポートにおける移動によって、前記載置サポート上に載置されたガラス基板を固定するためのものであり、
前記2つの載置アームには、いずれも前記ガラス基板をピック・アンド・プレースする時に、前記ガラス基板を吸着して固定するためのエアクッションが設けられ、
前記載置アームがガラス基板を取出し、前記載置アームの作動中、当該ガラス基板の滑りが防止されるように、前記エアクッションの機能をオンにし、ガラス基板を固定し、
前記載置アームが位置決めに到達した後、前記エアクッションの機能をオフにし、さらに前記第1のストップブロックと前記第2のストップブロックを利用してガラス基板を調整して位置決めし、
調整終了後、前記エアクッションの機能をオンにし、ガラス基板を吸い込んで位置を固定して、前記第2のストップブロックを緩め、元の位置に戻すことを特徴とするガラス基板のピック・アンド・プレース装置。 - 前記エアクッションは、前記第2のストップブロックが前記載置サポート上を移動する時に、前記ガラス基板と前記載置サポートとの間の隙間に空気浮上を形成するためにも用いられる請求項9に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。
- 前記第1のストップブロックの対向端に設けられた第2のストップブロックは、前記載置アームの水平方向の移動によって、前記載置アーム上に載置されたガラス基板を固定するためのものである請求項9に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。
- 前記エアクッションは、前記第1のストップブロックと、前記第1のストップブロックの対向端に設けられた第2のストップブロックとの間に均一に設けられている請求項9に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。
- 2つの前記載置アームの前記ガラス基板の左右周辺に近接する側辺には、前記第2のストップブロックが対応して設けられている請求項9に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。
- 前記載置アームの前記側辺に設けられた第2のストップブロックは、前記載置アームの垂直方向の移動によって、前記載置サポート上に載置されたガラス基板を固定するためのものである請求項13に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。
- 2つの載置アームの側辺にいずれも1つの前記第2のストップブロックが設けられる場合、前記第2のストップブロックは、前記第1のストップブロックと、前記第1のストップブロックの対向端に設けられた第2のストップブロックとの中間に設けられている請求項11に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。
- 2つの載置アームの側辺にいずれも少なくとも2つの前記第2のストップブロックが設けられる場合、前記第2のストップブロックは、前記第1のストップブロックと、前記第1のストップブロックの対向端に設けられた第2のストップブロックとの間に均一に設けられている請求項11に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。
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Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2843695B9 (de) * | 2013-08-28 | 2021-04-14 | Mechatronic Systemtechnik GmbH | Vorrichtung, insbesondere Endeffektor |
CN104891083B (zh) * | 2015-05-19 | 2017-07-21 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种用于自动化仓库的货架 |
CN107984485B (zh) * | 2017-12-01 | 2021-04-02 | 吉林大学 | 一种镀膜玻璃夹取机械手的夹具装置 |
CN108016878A (zh) * | 2018-01-11 | 2018-05-11 | 广东科达洁能股份有限公司 | 一种具有视觉***的瓷砖桁架机械装置 |
CN108706343B (zh) * | 2018-08-03 | 2024-06-04 | 北京昌益和自动化设备制造有限公司 | 中空玻璃生产线自动下片机 |
CN109573613A (zh) * | 2018-10-24 | 2019-04-05 | 芜湖中义玻璃有限公司 | 一种玻璃运输架 |
CN110294321A (zh) * | 2019-06-27 | 2019-10-01 | 苏州精濑光电有限公司 | 一种基板固定装置 |
CN110294325B (zh) * | 2019-06-28 | 2022-04-12 | 苏州精濑光电有限公司 | 一种基板移载装置 |
CN113548473B (zh) * | 2021-07-21 | 2022-09-30 | 彩虹(合肥)液晶玻璃有限公司 | 一种玻璃基板生产用牵引机构 |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4832558A (en) * | 1988-01-15 | 1989-05-23 | Tauscheck Russell W | Glass handling apparatus |
US5085329A (en) * | 1990-12-07 | 1992-02-04 | Crowell John W | Sheeting support |
JPH10264071A (ja) * | 1997-03-24 | 1998-10-06 | Hitachi Ltd | 基板搬送装置 |
JPH1159895A (ja) * | 1997-08-27 | 1999-03-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板取り離し装置およびそれを用いた基板取り離し方法 |
DE19755694C2 (de) * | 1997-12-16 | 2000-05-31 | Sez Semiconduct Equip Zubehoer | Handhabungsvorrichtung für dünne, scheibenförmige Gegenstände |
US6167322A (en) * | 1998-07-10 | 2000-12-26 | Holbrooks; Orville Ray | Intelligent wafer handling system and method |
US6256555B1 (en) * | 1998-12-02 | 2001-07-03 | Newport Corporation | Robot arm with specimen edge gripping end effector |
JP4297305B2 (ja) * | 1999-11-29 | 2009-07-15 | 大日本印刷株式会社 | 基板位置決め装置 |
US6860531B2 (en) * | 2001-12-20 | 2005-03-01 | Abb Inc. | Gripping and vacuum end effector for transferring articles |
JP2003321117A (ja) * | 2002-05-07 | 2003-11-11 | Mineya Mori | フラットパネルと保持機器との間の圧力域によってフラットパネルを保持する機器及びロボットハンド |
JP4495509B2 (ja) * | 2004-04-30 | 2010-07-07 | 株式会社ダイヘン | トランスファロボット |
CN1997575B (zh) * | 2004-06-03 | 2012-06-20 | 欧瑞康太阳能股份公司(特吕巴赫) | 一种用于接受工件的平台以及在这种平台上加工工件的方法 |
JP2007176638A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Harmotec Corp | 非接触搬送装置 |
CN201109667Y (zh) * | 2007-08-10 | 2008-09-03 | 中国洛阳浮法玻璃集团有限责任公司 | 超薄玻璃在线自动取片的玻璃对中定位装置 |
DE102008026506A1 (de) * | 2008-05-26 | 2009-12-03 | J. Schmalz Gmbh | Greif- und Transportvorrichtung |
WO2010109923A1 (ja) * | 2009-03-27 | 2010-09-30 | シャープ株式会社 | 移載装置、移載ハンド、および、移載方法 |
JP5449856B2 (ja) * | 2009-05-15 | 2014-03-19 | リンテック株式会社 | 半導体ウエハの搬送方法 |
EP2279959A1 (en) * | 2009-07-01 | 2011-02-02 | Vitro Cristalglass, S.L. | Support for laminar elements |
WO2012056985A1 (ja) * | 2010-10-27 | 2012-05-03 | シャープ株式会社 | 基板移載装置およびこれを備えた基板処理システム |
US8702142B2 (en) * | 2011-01-05 | 2014-04-22 | Electro Scientific Industries, Inc. | Apparatus and method for handling a substrate |
CN202487550U (zh) * | 2012-02-24 | 2012-10-10 | 胜佳精密有限公司 | 玻璃基板搬运装置 |
RU2585000C1 (ru) * | 2012-04-06 | 2016-05-27 | Фудзи Сейко Ко., Лтд. | Захватывающее устройство для бортового кольца |
CN102897507B (zh) * | 2012-11-13 | 2015-01-07 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种玻璃基板位置校正装置及方法 |
US8757357B2 (en) | 2012-11-13 | 2014-06-24 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd | Aligning apparatus and method for glass substrate |
CN202952273U (zh) * | 2012-11-26 | 2013-05-29 | 京东方科技集团股份有限公司 | 用于基板搬运的机械手臂及其定位停止梢 |
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