JP2011007526A - 検査パラメータ設定方法、検査性評価方法および検査システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査システムにおいて、検査対象のプリント配線基板を構成する各層のCADデータとその層構成情報を元に検査面より透視した輝度成分マップを生成する。そして検査面を構成する輝度成分の組を求め、全組を網羅する1つ以上の輝度評価領域を決定した後、検査装置にて領域を撮像、各輝度成分に対応する統計輝度値を求め輝度成分マップに代入し、検査閾値を決定するための最適キャリブレーション位置を求め検査を行う。
【選択図】図2
Description
ベリファイ作業時間=誤報告密度×配線パターン面積×ベリファイ時間
以上のように、本実施の形態では、様々な輝度成分を呈する高多層プリント配線基板を検査する際に誤報告の少ない検査閾値を決定するための最適キャリブレーション位置を求めかつ、ベリファイ作業時間を予測することにより検査性を向上すると共に検査工程のリードタイムを最適化することが可能である。
Claims (9)
- 複数の層を有するプリント配線基板に設けられた配線パターンの欠陥を画像処理にて検査する検査システムにおける検査パラメータ設定方法であって、
前記検査システムにより、前記プリント配線基板を構成する各層のCADデータおよびその層構成情報に基づいて、前記CADデータを合成し、合成したCADデータをエッチングファクタに基づいて補正して検査面より透視した輝度成分マップを生成し、前記輝度成分マップに基づいて前記検査面を構成する輝度成分の組を求め、全組を網羅する1つ以上の輝度評価領域を決定することを特徴とする検査パラメータ設定方法。 - 請求項1に記載の検査パラメータ設定方法において、
前記検査システムにより、前記輝度評価領域を撮像し、各輝度成分に対応する輝度データを取得解析して各統計輝度値を求めることを特徴とする検査パラメータ設定方法。 - 請求項2に記載の検査パラメータ設定方法において、
前記検査システムにより、前記各統計輝度値を前記輝度成分マップに代入し、検査閾値を決定するための最適キャリブレーション位置を求めることを特徴とする検査パラメータ設定方法。 - 複数の層を有するプリント配線基板に設けられた配線パターンの欠陥を画像処理にて検査する検査システムにおける検査性評価方法であって、
前記検査システムにより、前記プリント配線基板を構成する各層のCADデータとその層構成情報に基づいて、前記CADデータを合成し、合成したCADデータをエッチングファクタに基づいて補正して検査面より透視した輝度成分マップを生成し、前記輝度成分マップに基づいて前記検査面を構成する輝度成分の組を求め、全組を網羅する1つ以上の輝度評価領域を決定し、前記輝度評価領域を撮像し、各輝度成分に対応する輝度データを取得解析して各統計輝度値を求め、前記輝度成分マップおよび前記統計輝度値に基づいて、前記各輝度成分の確率密度分布を計算し、高輝度側の輝度成分と隣接する輝度成分の前記確率密度分布の干渉具合に基づいて検査尤度を求めることを特徴とする検査性評価方法。 - 請求項4に記載の検査性評価方法において、
前記検査システムにより、前記輝度評価領域を撮像し、前記各輝度成分に対応する前記輝度データを取得解析して前記各統計輝度値を求め、前記各統計輝度値を前記輝度成分マップに代入し、検査閾値を決定するための最適キャリブレーション位置を求め、前記最適キャリブレーション位置にて前記検査面を検査し、その結果をベリファイした際の誤報告数および配線パターン面積に基づいて、誤報告密度を求め、前記検査尤度と対でライブラリに登録することを特徴とする検査性評価方法。 - 請求項5に記載の検査性評価方法において、
前記検査システムにより、前記ライブラリに登録された前記検査尤度および前記誤報告密度に基づいて、前記検査尤度と前記誤報告密度との関係を示す近似式を算出し、前記近似式に、実際の検査対象の前記プリント配線基板の前記検査尤度を代入して、前記誤報告密度を求め、求めた誤報告密度および前記プリント配線基板の前記配線パターン面積に基づいて、ベリファイ作業時間を求めることを特徴とする検査性評価方法。 - 複数の層を有するプリント配線基板に設けられた配線パターンの欠陥を画像処理にて検査する検査システムであって、
前記プリント配線基板を検査する検査装置と、
前記プリント配線基板を構成する各層のCADデータとその層構成情報を読み出し記憶すると共に、輝度成分マップ、エッチングファクタ、各輝度成分、前記各輝度成分に対応する輝度データと統計輝度値、前記各輝度成分に対応する検査尤度と誤報告密度を記憶する記憶装置と、
前記記憶装置に記憶された情報に基づいて、前記輝度成分マップ、輝度成分の組、前記統計輝度値、前記検査尤度、前記誤報告密度、輝度評価領域、最適キャリブレーション位置を演算する演算装置と、
前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを備え、
前記演算装置は、前記プリント配線基板を構成する各層の前記CADデータおよびその層構成情報に基づいて、前記CADデータを合成し、合成したCADデータを前記エッチングファクタを元に補正して検査面より透視した前記輝度成分マップを生成し、前記輝度成分マップに基づいて前記検査面を構成する前記輝度成分の組を求め、全組を網羅する1つ以上の前記輝度評価領域を決定することを特徴とする検査システム。 - 請求項7に記載の検査システムにおいて、
前記演算装置は、前記輝度評価領域を撮像し、各輝度成分に対応する輝度データを取得解析して各統計輝度値を求めることを特徴とする検査システム。 - 請求項8に記載の検査システムにおいて、
前記演算装置は、前記各統計輝度値を前記輝度成分マップに代入し、検査閾値を決定するための最適キャリブレーション位置を求めることを特徴とする検査システム。
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