JP2010541275A - ウエハーテスト方法及びこのためのプローブカード - Google Patents
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Abstract
【課題】プローブカードを利用したウエハーテストの際にプローブカードの非対称的な熱変形を最小化すると共に、テストの回数を最小化することにより大面積のウエハーを効果よくテストすることのできるウエハーテスト方法及びこのためのプローブカードを提供する。
【解決手段】プローブカードを利用してウエハー状態で半導体チップをテストするウエハーテスト方法において、半導体チップN個(但し、Nは、2以上の自然数)に相当する仮想の繰り返しユニットを設定し、上記繰り返しユニットを上記ウエハー上に複数個配置し、上記繰り返しユニット内の半導体チップが、1回のタッチダウン毎に1個ずつ順次テストされるように上記プローブカードあるいはウエハーをN回移動しながらテストすることを特徴とする。
【選択図】 図4
【解決手段】プローブカードを利用してウエハー状態で半導体チップをテストするウエハーテスト方法において、半導体チップN個(但し、Nは、2以上の自然数)に相当する仮想の繰り返しユニットを設定し、上記繰り返しユニットを上記ウエハー上に複数個配置し、上記繰り返しユニット内の半導体チップが、1回のタッチダウン毎に1個ずつ順次テストされるように上記プローブカードあるいはウエハーをN回移動しながらテストすることを特徴とする。
【選択図】 図4
Description
本発明は、ウエハーテスト方法及びこのためのプローブカードに係り、より詳しくは、プローブカードを利用したウエハーテストの際にプローブカードの非対称的な熱変形を最小化すると共に、テストの回数を最小化することにより大面積のウエハーを効率よくテストすることのできるウエハーテスト方法及びこのためのプローブカードに関する。
一般に、半導体製造工程は、前工程であるファブリケーション(fabrication)工程と後工程である組み立て(assembly)工程とに大別される。ファブリケーション工程は、ウエハー上に集積回路パターンを形成する工程であり、組み立て工程は、ウエハーを複数のチップに分離させ、外部装置との電気的信号の連結が可能になるように各々のチップに導電性のリード(lead)やボールを接続させてから、チップをエポキシなどでモールドすることにより集積回路パッケージを形成する工程である。
組み立て工程を施す前に各々のチップの電気的特性を検査するEDS(Electrical Die Sorting)工程が施される。EDS工程は、ウエハーを構成するチップから不良チップを判別して、再生(repair)可能なチップは再生させ再生不能なチップは除去させることにより、後続の組み立て工程などにおいて所要される時間及びコストを節減する役割を果たす。
このようなEDS工程はプローバ(Prober)にて実施されており、プローバ100は、通常、図1に示すようにテスト対象物であるウエハー102が載置されるウエハーチャック101と、プローブカードが備えられるテストヘッド103と、を含んで構成される。プローブカード上には多数の微細探針が備えられ、該微細探針は、ウエハーの各チップに備えられたパッドに電気的に接触し、究極的に当該チップの良否を判別するようになる。
一方、半導体技術の発展に伴い、コストの節減及び生産性の向上のためにより多くのチップが単一ウエハーに形成されることとなり、近年、300mmウエハー工程の実現により、ウエハー当たりの半導体チップの数量が約500個を上回っている。
このようなウエハーの大面積化は、ウエハー単位でテストを施すEDS工程の実施面からみるとき、1回のテストにてテストできる半導体チップの数が増大することを意味し、このためには、プローブカード上に備えられる微細探針の数も併せて増大されなければならない。
しかしながら、大面積のウエハーに対応すべくそれに相当する大きさを有し、且つ当該プローブカード上にウエハーのすべての半導体チップに対するテストを1回で済ませることが可能な程度に微細探針を備えるプローブカードを製作することは、製造上困難であり、さらには、プローブカードを介してウエハー上の半導体チップとやり取りする電気的信号を処理するテスターの処理容量を超えてしまうという問題点が生じる。
このような問題点を考慮し、従来は、大面積のウエハーに対してテストを施す領域を複数の単位領域として定義し、各々の領域に対して順次テストを施す方法を採択している。例えば、図2及び図3に示すように、ウエハーを6つの領域(TD1〜TD6)、4つの領域(TD1〜TD4)に区画し、TD1領域からTD4またはTD6まで順次タッチダウン(TD:Touch Down)してテストを施していき、このとき、プローブカード上には1つの単位領域に相当する面積に微細探針が形成されている。ここで、上記タッチダウン(TD)とは、プローブカードとウエハーとが密着してプローブカード上の微細探針とウエハー上の半導体チップのパッドとが接触することをいう。
上述したような従来のウエハーテスト方法では、相対的に小型のプローブカードを利用して大面積のウエハーに対してテストを施すことができるという長所はあるものの、通常のウエハーのテスト温度が85度であり、この温度にて複数回にわたってテストが実施されることによってプローブカードが熱変形に露出するという問題点がある。図2及び図3に示すように、TD1領域とTD2領域上に存在する半導体チップ領域が互いに異なることによって、TD1領域とTD2領域に対して順次テストを施す際に、プローブカードの熱接触部分が異なることで当該プローブカードが非対称的に熱変形することがある。かかる熱変形は、プローブカードの平坦度及びアライン精度に良くない影響を及ぼす。また、各領域のテストの際にテストに供されない微細探針が多いため効率が落ちるという短所がある。
本発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであって、プローブカードを利用したウエハーテストの際にプローブカードの非対称的な熱変形を最小化すると共に、テストの回数を最小化することにより大面積のウエハーを効果よくテストすることのできるウエハーテスト方法及びこのためのプローブカードを提供することにその目的がある。
上記目的を達成するための本発明によるウエハーテスト方法は、プローブカードを利用してウエハー状態で半導体チップをテストするウエハーテスト方法において、半導体チップN個(但し、Nは2以上の自然数)に相当する仮想の繰り返しユニットを設定し、上記繰り返しユニットを上記ウエハー上に複数個配置し、上記繰り返しユニット内の半導体チップが、1回のタッチダウン毎に1個ずつ順次テストされるように、上記プローブカードあるいはウエハーをN回移動しながらテストすることを特徴とする。
上記プローブカード上には、上記繰り返しユニットを構成するN個の半導体チップのうち1個のチップに対応する領域だけに微細探針が形成されていてよい。また、上記繰り返しユニット内の半導体チップが1回ずつテストされるように上記プローブカードあるいはウエハーをN回移動するとき、移動距離は上記半導体チップ1個の大きさに相当すればよく、上記プローブカードをN回タッチダウンして上記ウエハー上のすべてのチップをテストすることができる。
一方、上記Nが素数である場合、上記繰り返しユニットを構成するN個の半導体チップは一つの行または列に配置され、上記Nが合成数である場合、上記繰り返しユニットを構成するN個の半導体チップは行(a)と列(b)を有する(a X b)行列形態で配置され、上記aとbは1とNを含むNの約数(divisor)である。
本発明によるプローブカードは、ウエハー状態で半導体チップをテストするプローブカードにおいて、上記ウエハー上に互いに隣り合いN個(但し、Nは1ないし20の自然数)の半導体チップから構成される繰り返しユニットを設定し、上記繰り返しユニットをウエハー上に分散配置するとき、上記プローブカードは、上記繰り返しユニットを構成するN個の半導体チップのうち1個のチップに対応する領域だけに微細探針が形成されることを特徴とする。このとき、上記プローブカードにおいて微細探針が形成される領域と対応する半導体チップは、すべての繰り返しユニット内において同じ位置であればよい。
本発明の他の目的によるプローブカードは、順次積層された回路基板及びプローブヘッド胴体と、上記プローブヘッド胴体上に離間して配置された複数の単位プローブモジュール、及び上記プローブヘッド胴体上に備えられ、上記単位プローブモジュールに隣り合って配置されて上記単位プローブモジュールと電気的に連結されるサブボードと、を含んでなることを特徴とする。
上記単位プローブモジュールは、半導体チップに相当する大きさを有し、または半導体チップの20〜500%の大きさを有すればよい。このとき、上記単位プローブモジュールは、上記プローブヘッド胴体の上面の上に載置されるプローブモジュール胴体と、上記プローブモジュール胴体の上面の上に備えられる微細探針と、上記プローブモジュール胴体の上面に備えられ、上記微細探針と電気的に連結される導線及び上記導線の一端に備えられるパッドと、を含んでなるものであればよい。
また、半導体チップN個(但し、Nは2以上の自然数)に相当する仮想の繰り返しユニットを設定し、上記繰り返しユニットをテストしたいウエハー上に複数個配置するとき、上記プローブカードは、上記繰り返しユニットを構成するN個の半導体チップのうち1個のチップに対応する領域だけに上記単位プローブモジュールが形成されていてよい。
上記サブボードが備えられた領域のプローブヘッド胴体に貫通部が設けられ、該貫通部内に相互接続体が備えられ、該相互接続体を介して上記サブボードと上記回路基板とが電気的に連結されていてよい。ここで、上記単位プローブモジュールと上記サブボードとは、ワイヤボンディングまたは軟性印刷回路基板を介して電気的に連結されていてよく、上記サブボードの一方側に連結される単位プローブモジュールは、1個または複数個であればよい。
上記プローブモジュールと上記サブボードが配置される上記プローブヘッド胴体の上面にあって、上記プローブモジュールが載置される領域と上記サブボードが載置される領域の高さが異なっていてよい。
一方、上記回路基板の裏面上に補強板がさらに備えられていてよい。このとき、上記補強板及び回路基板をいずれも貫通し、さらに上記プローブヘッド胴体の一部の厚さまで延びる複数の開孔が設けられ、上記プローブヘッド胴体、回路基板、及び補強板の各々に形成された開孔は、互いに対応する位置に設けられていてよい。また、上記各々の開孔内に平坦調整ねじが設けられていてよく、上記平坦調整ねじにはスプリング弾性体が備えられ、該スプリング弾性体は、上記回路基板とプローブヘッド胴体との間に備えられていてよい。
さらには、上記サブボード、相互接続体、回路基板、及び補強板の互いに対応する位置に複数の開孔が設けられ、上記開孔内に止めねじが設けられていてよい。上記サブボードの下面に雌ねじが設けられ、上記相互接続体、回路基板、補強板に貫通開孔が設けられ、上記貫通開孔内に雄ねじが設けられて、上記雄ねじと雌ねじとがねじ止められていてよい。
上記サブボードの面積は、上記プローブヘッド胴体の面積に相当すればよく、また、上記プローブヘッド胴体上に複数のサブボードが配置されていてよい。
このとき、上記自然数Nは、2ないし50であることを実施形態とする。
本発明によるウエハーテスト方法及びこのためのプローブカードでは、次のような効果がある。
プローブカードの全面に比較的均一に配置された微細探針を利用して、複数回のテストによるプローブカードの非対称的な熱変形を防止することができ、また、既存のテスト方法に比べ、タッチダウン毎にテストに供されないプローブの数が相対的に少ないため、テスト回数を低減することができることでテスト工程の生産性を向上させることができ、大面積のウエハーを効率よくテストすることができるようになる。
以下、図面を参照して本発明の一実施形態によるウエハーテスト方法及びこのためのプローブカードについて詳しく説明することにする。
本発明によるウエハーテスト方法を実現するために、先ず、テスト対象であるウエハーの半導体チップに繰り返しユニットという概念が定義される。ウエハーには複数の半導体チップが備えられ、これらの半導体チップを繰り返しユニットの集合体と定義し、上記繰り返しユニットは隣り合う複数のN個の半導体チップと定義される。Nは、2以上の自然数を意味し、例えば、2ないし50の自然数であればよい。例えば、図4におけるウエハー600の半導体チップCは、隣り合う4個の半導体チップCから構成される繰り返しユニット610の集合体と定義することができる。このとき、上記繰り返しユニットは、隣り合う繰り返しユニットと共有する半導体チップが存在することもある。例えば、ウエハー上に第1の繰り返しユニットと第2の繰り返しユニットを定義するにあたって、上記第1の繰り返しユニットに属する半導体チップと第2の繰り返しユニットに属する半導体チップとは、互いに異なるものである、または1個以上の特定の半導体チップが上記第1の繰り返しユニット及び第2の繰り返しユニットの両方に含まれていてよい。
このように繰り返しユニットが定義された状態で、本発明によるウエハーテスト方法は上記繰り返しユニット内の半導体チップを順次タッチダウン(TD)してテストを施すことにより、ウエハー上のすべての半導体チップをテストすることができることを特徴とする。
先に述べたように、ウエハー上の半導体チップは繰り返しユニットの集合体であることから、一つの繰り返しユニットを基準に当該繰り返しユニット内の半導体チップを順次すべてテストしていくと、ウエハー上のすべての半導体チップに対するテストが進められることが分かる。このとき、繰り返しユニットはウエハー上だけに配置されるものではなく、ウエハー全体をカバーするように配置すればよい。すなわち、繰り返しユニットの一部がウエハーを離脱して位置することもできる。
一方、ウエハーの半導体チップを実質的にテストする手段はプローブカードであり、ウエハーの半導体チップが繰り返しユニットの集合体と定義され、繰り返しユニット内の半導体チップに対して順次テストが進められることから、ウエハーの繰り返しユニットに対応してプローブカードには単位テストユニットの概念が定義される。すなわち、プローブカードは単位テストユニットの集合体と定義でき、一例として、図4は4個の単位セル501から構成される単位テストユニット510を示している。
上記各々の単位テストユニットは、上記ウエハーの繰り返しユニットに対応する位置に備えられ、各々の単位テストユニットは、隣り合う2〜50個の単位セルから構成され、上記単位セルはウエハーの半導体チップの大きさに相当する。また、単位テストユニットを構成する複数の単位セルのいずれか一つのセルだけに微細探針が形成される。
このようにウエハーの繰り返しユニットとプローブカードの単位テストユニットが定義された状態で、微細探針が形成された単位セルを繰り返しユニット内の半導体チップに対応する箇所に順次位置させることで繰り返しユニット内のすべての半導体チップをテストすることができるようになり、これにより、究極的にウエハーのすべての半導体チップをテストすることができるようになる。このとき、微細探針が形成された単位セルを繰り返しユニット内の半導体チップに対応するように順次位置させることは、ウエハーまたはプローブカードを移動させることで可能になる。
なお、上記繰り返しユニットは、図5に示すように様々な形態で実現することができ、具体的に、図5の(a)ないし(h)に示すように、繰り返しユニットを2〜9の半導体チップから構成することができる。このとき、半導体チップの個数が2、3、5、7の場合には、複数の半導体チップが一つの行または一つの列に配置されるが、半導体チップの個数Nが4、6、8、9の場合には、複数の半導体チップが行(a)及び列(b)を有する行列(a x b、aとbは1とNを含む半導体チップ個数の約数)の形態で配置される。すなわち、半導体チップの個数が素数(prime number)の場合には、半導体チップが一つの行に配置され、半導体チップの個数が合成数(composite number)の場合には、複数の行を有する行列の形態で配置される。このように行及び列を有する繰り返しユニットの場合には、ウエハーテストの際に行の方向だけではなく列の方向へもウエハーを移動させなければならない。参考として、図5において*表示は、プローブカードの微細探針が形成された単位セルを示すものであり、図5の(a)ないし(h)に示した繰り返しユニットは、プローブカードの単位テストユニットに相当することを示す。
図5にて2〜9個の半導体チップから構成される繰り返しユニットの実施形態を提示したが、10個以上の半導体チップから繰り返しユニットを構成することも可能である。なお、ウエハーテストの効率を考慮して半導体チップの個数を適宜決めることが好ましい。
以上、本発明によるウエハーテスト方法の概念について説明したが、以下、一実施形態に基づき、本発明によるウエハーテスト方法について説明することにする。図4は、繰り返しユニットが4個の半導体チップから構成される場合、すなわち、単位テストユニットが4個の単位セルから構成される場合を示している。
先ず、単位テストユニット510を構成する4個の単位セル501のうち、微細探針(*)が形成された単位セル501が繰り返しユニット610の1番目の半導体チップ611に対応するようにウエハー600を整列させる。しかる後、プローブカード500をタッチダウン(TD)して当該単位セル501の微細探針を1番目の半導体チップ611のパッドに接触させることでテストを施す(図4の(a)参照)。
次いで、2回目のテストのために上記ウエハー600を単位セル501の大きさ分、すなわち、1個の半導体チップの大きさ分右側に移動させる。これによって、微細探針が形成された単位セル501を繰り返しユニット610の2番目の半導体チップ612に対応するように整列させる。このような状態で、プローブカードをタッチダウンして単位セル501の微細探針を2番目の半導体チップ612のパッドに接触させることで2回目のテストが完了する(図4の(b)参照)。このとき、上記単位セルの大きさ分の移動の際、上記ウエハー600を移動させる代わりにプローブカード500を移動させることもできる。
次いで、上記ウエハー600を単位セル501の大きさ分下方に移動させて、上記2番目の半導体チップ612に対して下方に隣り合う3番目の半導体チップ613に整列させ、当該単位セル501の微細探針を繰り返しユニット610の3番目の半導体チップ613のパッドに接触させることで3回目のテストが完了する(図4の(c)参照)。
最後に、上記ウエハー600を単位セル501の大きさ分左側に移動させて、上記3番目の半導体チップ613に隣り合う繰り返しユニット610の4番目の半導体チップ614に整列させ、タッチダウン(TD)して当該単位セル501の微細探針を4番目の半導体チップ614のパッドに接触させることで4回目のテストが完了する(図4の(d)参照)。
ウエハー600には複数個の繰り返しユニット610が設定され、プローブカード上には上記ウエハー600の各々の繰り返しユニット610に対応する位置に複数個の単位テストユニット510が備えられることによって、上記4回にわたるテストを通じてウエハー600上に備えられるすべての半導体チップCに対するテストを完了することができる。
以上、繰り返しユニットが隣り合う4個の半導体チップから構成される場合、すなわち、単位テストユニットが隣り合う4個の単位セルから構成される場合を例に挙げてウエハーテスト方法を説明したが、繰り返しユニットの半導体チップの個数が2〜50の自然数である場合のすべてに対して、上述したようなウエハーテスト方法が同様に適用される。
一方、繰り返しユニットを構成する半導体チップの個数が合成数である場合には、当該繰り返しユニットが行及び列を有する行列の形態で構成されることから、ウエハーのすべての半導体チップをテストするためには繰り返しユニットが4個の半導体チップから構成される場合と同様に行の方向及び列の方向にウエハーを移動させる必要がある。すなわち、繰り返しユニットを構成する半導体チップの個数が6である場合には、(2×3)または(3×2)、半導体チップの個数が8である場合には、(2×4)または(4×2)、半導体チップの個数が9である場合には、(3×3)行列の形態を有するようになり、このように半導体チップの個数が合成数からなる場合には、ウエハーが列の方向だけでなく行の方向へも移動してテストが施されていくことでウエハー上のすべての半導体チップに対するテストが完了できる。
一方、繰り返しユニットを構成する半導体チップの個数が素数である場合には、1回目のタッチダウンによるテスト以降、テストの回数に応じてウエハーを一方の方向、例えば、行または列の方向だけに半導体チップの大きさ分移動させてテストを施していく。
以上、本発明の一実施形態によるウエハーテスト方法について説明した。以下、本発明によるウエハーテスト方法を実現するためのプローブカードについて説明することにする。図6は、本発明の一実施形態によるプローブカードの斜視図である。
先ず、図6に示すように、本発明の一実施形態によるプローブカード500は、複数の単位テストユニット510が配列されることを特徴とする。上記複数の単位テストユニット510は、繰り返し配列されることが好ましいが、ウエハー上に形成された半導体チップの配列によっては不規則に配列されていてもよい。
上記単位テストユニット510は、同一大きさを有する複数の単位セル501から構成され、各単位セル501は、ウエハー上に備えられる半導体チップの大きさに相当する空間のことをいい、各々の単位テストユニット510は、ウエハーに定義されている各々の繰り返しユニットに対応する位置に備えられることが好ましい。
また、単位テストユニット510において、単位テストユニット510を構成する複数の単位セル501のうち一つの単位セルだけに微細探針が形成され、上記微細探針が形成される単位セルは、すべての単位テストユニット内において同じ位置に備えられる。図6の場合、*表示の付いた単位セルが微細探針が形成された単位セル501である。参考として、実際のプローブカードでは単位セル領域を表示する実線が存在しないが、図4では説明の便宜上、単位セル領域を定義するために実線を表示した。
一方、上記微細探針540は、図6に示すようにプローブヘッド胴体550上に備えられ、上記プローブヘッド胴体550は印刷回路基板560上に備えられる。上記微細探針540と印刷回路基板560とは電気的に連結され、図6において上記プローブヘッド胴体550が一体型で実現されることを示したが、複数のブロックから構成されるプローブヘッド胴体550として実現することも可能である。プローブヘッド胴体550が複数のブロックから構成される場合、各ブロック上には、上記一体型のプローブヘッド胴体上でのそれと同様に複数の単位テストユニットが定義されればよい。
以上、本発明の一実施形態によるウエハーテスト方法及びこれを実現するためのプローブカードを説明した。先に、図5を通じて2〜9個の半導体チップから構成される繰り返しユニットの実施形態を提示したが、図7ないし図14は、図5の(a)ないし(h)の繰り返しユニットに対応するプローブカード(正しくは、プローブヘッドの平面)をそれぞれ示した図であり、図7ないし図14において灰色にて示された部分は、ウエハー上への半導体チップの位置する領域を意味し、実際のプローブカードにおいて上記灰色部分及び上記単位セル領域を示す実線は存在しない。
一方、本発明によれば、プローブカードの全面に微細探針が均一に配置されることにより、プローブカードが非対称的に熱変形することを防止することができるようになる。さらには、タッチダウン(TD)の回数を従来技術に比べて最小化することができるようになる。例えば、図18と図8において灰色部分は同じ半導体ウエハーを示すが、図18は、従来の方式にてウエハーを4つの領域に区画し、4回のタッチダウンを行う場合を示しており、本発明による図8は、繰り返しユニットが3個の半導体チップから構成されると設定し、3回のタッチダウン(TD)によってウエハーテストを完了することを示している。結果的に、本発明によるテスト方法が、従来の方式に比べて、タッチダウンの回数を1回低減させる効果があり、これは、主に半導体ウエハーをテストするテスト装備の容量が制限されているためである。例えば、テスト装備の容量が上記テストしたいウエハーに実現された半導体チップを300個までいっぺんにテストできる場合を例に挙げると、従来の方式の場合、図18に示すようにウエハーを4つの領域に区画し、273個のチップ(13×21)をテストできるプローブカードを作製して、4回のタッチダウンにて1枚のウエハーをテストする。これに対し、本発明では、3個の半導体チップから構成される繰り返しユニット288個を、図8に示すように半導体ウエハー上に分散配置し、3回のタッチダウンだけでウエハー全体をテストできる。これは、従来の方式では1回のタッチダウン過程においてプローブカードの微細探針領域のうち実際にウエハーと接触しない領域の割合が本発明に比べて相対的に高いためである。通常、1回のタッチダウン(TD)にて半導体チップをテストする時間は一定であるため、そのようにタッチダウン(TD)の回数が低減すると、例えば、1回のタッチダウン(TD)にて半導体チップをテストする時間が10分であるとすれば、1枚のウエハーをテストするのにかかる時間が40分から30分に短縮し、半導体ウエハーのテストに係る生産性が30%以上増大する効果を奏する。
この他にも、例えば、6つの領域、8つの領域、12つの領域などとウエハーを区画してテストする場合についても、本発明では、繰り返しユニットを各々5個、7個、10個などの半導体チップから構成することによりタッチダウン(TD)の回数を容易に低減することができ、これにより、ウエハーテストの効率を向上させることができるようになる。
以上、本発明の一実施形態によるプローブカードについて説明したが、上記プローブヘッド胴体及びそれに関連した構成を具体化した本発明の他の実施形態によるプローブカードについて説明すれば、次のとおりである。図15は、本発明の一実施形態によるプローブカードの平面図であり、図16は、図15のA−A’線に沿う断面図である。
図15及び図16に示すように、本発明の他の実施形態によるプローブカードは、大きく回路基板310、プローブヘッド胴体320、複数の単位プローブモジュール330、及びサブボード340の組み合わせからなり、上記回路基板310上にプローブヘッド胴体320が積層され、上記プローブヘッド胴体320上に上記単位プローブモジュール330が積層された構造を有する。また、上記サブボード340は、上記単位プローブモジュール330の間に備えられ、上記単位プローブモジュール330と回路基板310との電気的連結を媒介する構造をなす。
このような構造を有する本発明の他の実施形態によるプローブカードをなす各構成要素について具体的に説明すれば、次のとおりである。
先ず、上記単位プローブモジュール330は、検査対象物である半導体チップと電気的に接触することで発生された電気的信号を上記回路基板310へ伝える役割を果たすものであって、プローブカードの製造収率を向上させるために半導体チップの大きさに相当する大きさ、または半導体チップの大きさの20〜500%を有するようにすることが好ましい。このとき、上記単位プローブモジュール330が半導体チップの大きさに相当する大きさを有する場合、当該単位プローブモジュールは、上記単位テストユニット510を構成するセルに該当するといえる。
このような上記複数の単位プローブモジュール330は、上記プローブヘッド胴体320上に所定の間隔離間して配置され、単位プローブモジュール330の間にサブボード340が配置されることにより、上記単位プローブモジュール330と単位プローブモジュール330との間の間隔は上記サブボード340の幅に相当する。
上記回路基板310は、上記単位プローブモジュール330と半導体チップとの接触によって発生された電気的信号を上記サブボード340を介して印加され、外部のテスト装置へ伝えると共に、外部のテスト装置から印加される電気的信号を上記単位プローブモジュール330へ伝える役割を果たす。
上記プローブヘッド胴体320は、上記回路基板310上に装着され且つテスト対象であるウエハーの大きさに相当する面積を有し、ステンレススチール、アルミニウム、アンバー、コバール、ノビナイト、SKD11、アルミナ、ガラス、加工性セラミックスのいずれか1つの材質からなるものであればよい。また、上記プローブヘッド胴体320は、上記複数の単位プローブモジュール330及びサブボード340の載置空間を提供し、上述したように複数の単位プローブモジュール330は、上記プローブヘッド胴体320上に所定の間隔離間して配置され、上記単位プローブモジュール330と単位プローブモジュール330との間には上記サブボード340が備えられる。上記サブボード340と上記単位プローブモジュール330とは、ワイヤボンディング(wire bonding)または軟性印刷回路基板310(flexible printed circuit board)を介して互いに電気的に連結される。ここで、上記プローブヘッド胴体320と上記サブボード340とは、エポキシなどの接着剤にて結合されていてよい。
上記サブボード340を備えるにあたって、上記サブボード340の下方には相互接続体350が備えられ、具体的に、上記サブボード340が備えられる位置に相当するプローブヘッド胴体320には貫通部321が設けられ、上記貫通部321に上記相互接続体350が備えられ、上記相互接続体350は上記回路基板310と電気的に連結される。これにより、上記回路基板310上に相互接続体350が備えられ、上記相互接続体350上に上記サブボード340が積層された構造をなし、究極的に上記単位プローブモジュール330は、上記サブボード340及び相互接続体350を介して上記回路基板310に連結される構造をなす。ここで、上記相互接続体350は、ポゴピンまたは圧力伝導性ゴム(PCR:Pressure Conductive Rubber)から構成されていてよい。
一方、上記サブボード340が載置される領域の高さと上記プローブモジュール330が載置される領域の高さとが異なっていてよいが、これは、上記サブボード340の高さが上記単位プローブモジュール330の高さよりも大きい場合、これを補償すると共に上記サブボード340と上記単位プローブモジュール330との相対的な高さを調節するためのものであって、サブボード載置部322に上記サブボード340を装着する。ここで、上記貫通部321は、上記プローブヘッド胴体320が金属材質からなる場合、ドリル加工またはワイヤ放電加工などによって形成することができ、上記プローブヘッド胴体320がセラミック材質からなる場合、ドリル加工、レーザー加工またはマイクロサンドブラスト加工などにより形成することができる。
以上、本発明の他の実施形態によるプローブカードの各構成要素について説明した。以下、上記単位プローブモジュール330の構造及び上記単位プローブモジュール330と上記サブボード340との電気的連結構造について説明することにする。
先ず、上記単位プローブモジュール330の構造について説明すると、図17に示すように、絶縁性のプローブ胴体331と上記プローブ胴体331上に備えられる微細探針(probe)332から構成される。上記微細探針332は、細別して柱部332a、梁部(beam)332b及びチップ(tip)332cからなり、上記チップ332cが検査対象物である半導体チップのパッドと実質的に接触する役割をする。上記プローブ胴体331の上面の上には、上記微細探針332の他、上記微細探針332と半導体チップとの接触時に発生される電気的信号を上記回路基板310へ伝えるための導線333及びパッド334が備えられる。
次いで、上記単位プローブモジュール330と上記サブボード340との電気的連結構造について説明すると、上記サブボード340上にボンディングパッド341が備えられ、上記サブボード340のボンディングパッド341と上記単位プローブモジュール330のパッド334とはワイヤボンディングを介して電気的に連結される。このとき、図17においては、一つのサブボード340の両側に各々1個ずつの単位プローブモジュール330が電気的に連結されることを示したが、サブボード340の一方側に連結される単位プローブモジュール330は、1個または複数個であってもよい。参考として、上記単位プローブモジュール330と上記サブボード340との電気的連結は、上述したようなワイヤボンディングの他、軟性印刷回路基板310(FPCB)を介しての連結も可能である。
上記サブボード340は、一実施形態として多層のセラミック回路基板からなる多層セラミック回路基板310から構成されていてよく、テスト装置とテスト対象であるウエハー間での信号保存性(signal integrity)を高めるためにインピーダンス整合された印刷回路基板310を使用することができる。また、上記サブボード340は、上記単位プローブモジュール330と単位プローブモジュール330との間の形態に応じて選択的に加工された複数のサブボードをプローブヘッド胴体の上に配置し、または上記プローブヘッド胴体320に相当する面積を有する一体型のサブボード340を対象に上記単位プローブモジュール330が形成される領域のみを除去する形態で加工することもできる。
一方、本発明の他の実施形態によるプローブカードの構成において、上述したような回路基板310、プローブヘッド胴体320、複数の単位プローブモジュール330、サブボード340及び相互接続体350の他、これらの結合体を物理的に支持する補強板360がさらに備えられる。
上記補強板360は、上記回路基板310の裏面上に備えられ、上記プローブヘッド胴体320、サブボード340、相互接続体350及び回路基板310を物理的に結合し、支持する役割をする。このような上記補強板360は、ステンレス鋼、アルミニウム、アンバー、コバール、ノビナイト、SKD11のいずれか一つ、またはこれらのうちの少なくとも二つ以上が結合し、積層された構造からなるものであればよい。
また、上記補強板360、回路基板310及びプローブヘッド胴体320の各々には、開孔が複数設けられ、上記補強板360、回路基板310及びプローブヘッド胴体320の各々に形成された開孔361は、互いに対応する位置に設けられる。このとき、上記開孔361は、上記補強板360及び回路基板310の両方を貫通し、さらに上記プローブヘッド胴体320の一部の厚さまで延びており、上記開孔361内には、後述する平坦調整ねじ371のためのねじ山が形成される。
上記開孔361内には平坦調整ねじ371が設けられ、上記平坦調整ねじ371は、上記プローブヘッド胴体320を補強板360の方へ引っ張る役割を果たす。一方、各々の平坦調整ねじ371にはスプリング弾性体372が備えられ、当該スプリング弾性体372は、上記回路基板310とプローブヘッド胴体320との間に備えられることが好ましい。上記スプリング弾性体372は、プローブヘッド胴体320を補強板360から押し出す役割を果たし、このようなスプリング弾性体372と上記平坦調整ねじ371によって上記補強板360を基準に上記プローブヘッドの平坦を選択的及び局所的に調節することができるようになる。
以上、補強板360による物理的結合について説明した。一方、上記補強板360による物理的結合の他、上記相互接続体350、サブボード340及び回路基板310間の安定した物理的結合も要求される。上記相互接続体350を介して上記サブボード340と回路基板310とを電気的に安定して連結するためには、上記相互接続体350に上記サブボード340及び回路基板310が密着する必要があるためである。このために、一実施形態において、上記サブボード340、相互接続体350、回路基板310及び補強板360に複数の開孔362を互いに対応する位置に形成し、上記開孔362内に止めねじ373を設けることができる。
このとき、上記開孔は、上記サブボード340、相互接続体350及び回路基板310をすべて貫通し、さらに上記補強板360の一部の厚さまで延びており、補強板360の開孔内には、上記止めねじのためのねじ山が形成される。このような方法以外の他の実施形態として、上記サブボード340の下面に雌ねじを堅固に取り付け、上記プローブヘッド胴体320、相互接続体350、回路基板310、補強板360に貫通開孔を形成した後、上記補強板360の方から雄ねじを利用して上記サブボード340の下面の雌ねじにねじ止めする方式を採択することもできる。
以上で説明したように、本発明は、
第一に、プローブカードの全面に比較的均一に配置された微細探針を利用して、複数回のテストによるプローブカードの非対称的な熱変形を防止することができ、
第二、既存のテスト方法に比べ、タッチダウン毎にテストに供されないプローブの数が相対的に少ないため、テスト回数を低減することができることでテスト工程の生産性を向上させることができ、大面積のウエハーを効率よくテストすることができるようになる。
第一に、プローブカードの全面に比較的均一に配置された微細探針を利用して、複数回のテストによるプローブカードの非対称的な熱変形を防止することができ、
第二、既存のテスト方法に比べ、タッチダウン毎にテストに供されないプローブの数が相対的に少ないため、テスト回数を低減することができることでテスト工程の生産性を向上させることができ、大面積のウエハーを効率よくテストすることができるようになる。
310:回路基板
320:プローブヘッド胴体
330:単位プローブモジュール
340:サブボード
500:プローブカード
501:単位セル
510:単位テストユニット
540:微細探針
550:プローブヘッド胴体
560:印刷回路基板
600:ウエハー
610:繰り返しユニット
611、612、613、614:半導体チップ
320:プローブヘッド胴体
330:単位プローブモジュール
340:サブボード
500:プローブカード
501:単位セル
510:単位テストユニット
540:微細探針
550:プローブヘッド胴体
560:印刷回路基板
600:ウエハー
610:繰り返しユニット
611、612、613、614:半導体チップ
Claims (34)
- プローブカードを利用してウエハー上の半導体チップをテストするウエハーテスト方法において、
半導体チップN個(Nは、2以上の自然数)に相当する仮想の繰り返しユニットを設定し、
前記繰り返しユニットを前記ウエハー上に複数個配置し、
前記繰り返しユニット内の半導体チップが、1回のタッチダウン毎に1個ずつ順次テストされるように、前記プローブカードあるいはウエハーをN回移動しながらテストすることを特徴とするウエハーテスト方法。 - 前記プローブカード上には、前記繰り返しユニットを構成するN個の半導体チップのうち1個のチップに対応する領域だけに微細探針が形成されることを特徴とする請求項1に記載のウエハーテスト方法。
- 前記繰り返しユニット内の半導体チップが1回ずつテストされるように前記プローブカードあるいはウエハーをN回移動するとき、移動距離は前記半導体チップ1個の大きさに相当することを特徴とする請求項1に記載のウエハーテスト方法。
- 前記プローブカードをN回タッチダウンして前記ウエハー上のすべてのチップをテストすることを特徴とする請求項1に記載のウエハーテスト方法。
- 前記Nが素数である場合、前記繰り返しユニットを構成するN個の半導体チップは一つの行または列に配置されることを特徴とする請求項1に記載のウエハーテスト方法。
- 前記Nが合成数である場合、前記繰り返しユニットを構成するN個の半導体チップは行(a)と列(b)を有する(a X b)行列形態で配置され、前記aとbは1とNを含むNの約数であることを特徴とする請求項1に記載のウエハーテスト方法。
- 前記Nは、2ないし50の自然数であることを特徴とする請求項1に記載のウエハーテスト方法。
- ウエハー上の半導体チップをテストするプローブカードにおいて、
前記半導体チップと接触する微細探針と、
前記微細探針が配置されるプローブヘッドと、を含み、
前記半導体チップN個(Nは、2以上の自然数)に相当する仮想の繰り返しユニットを設定し、前記繰り返しユニットを前記ウエハー上に複数個配置するとき、前記繰り返しユニットを構成するN個の半導体チップのうち1個のチップに対応する領域だけに前記微細探針が形成されることを特徴とするプローブカード。 - 前記プローブカードにおいて微細探針が形成される領域と対応する半導体チップは、すべての繰り返しユニット内において同じ位置であることを特徴とする請求項8に記載のプローブカード。
- 前記プローブカードをN回タッチダウンして前記ウエハー上のすべてのチップをテストすることを特徴とする請求項8に記載のプローブカード。
- 前記Nが素数である場合、前記繰り返しユニットを構成するN個の半導体チップは一つの行または列に配置されることを特徴とする請求項8に記載のプローブカード。
- 前記Nが合成数である場合、前記繰り返しユニットを構成するN個の半導体チップは行(a)と列(b)を有する(a X b)行列形態で配置され、前記aとbは1とNを含むNの約数であることを特徴とする請求項8に記載のプローブカード。
- 前記Nは、2ないし50の自然数であることを特徴とする請求項8に記載のプローブカード。
- 順次積層された回路基板及びプローブヘッド胴体と、
前記プローブヘッド胴体上に離間して配置された複数の単位プローブモジュール、及び
前記プローブヘッド胴体上に備えられ、前記単位プローブモジュールに隣り合って配置されて前記単位プローブモジュールと電気的に連結されるサブボードと、
を含んでなることを特徴とするプローブカード。 - 前記単位プローブモジュールは、半導体チップに相当する大きさを有することを特徴とする請求項14に記載のプローブカード。
- 前記単位プローブモジュールは、半導体チップの20〜500%の大きさを有することを特徴とする請求項14に記載のプローブカード。
- 前記単位プローブモジュールは、
前記プローブヘッド胴体の上面の上に載置されるプローブモジュール胴体と、
前記プローブモジュール胴体の上面の上に備えられる微細探針と、
前記プローブモジュール胴体の上面に備えられ、前記微細探針と電気的に連結される導線及び前記導線の一端に備えられるパッドと、を含んでなることを特徴とする請求項14に記載のプローブカード。 - 半導体チップN個(但し、Nは、2以上の自然数)に相当する仮想の繰り返しユニットを設定し、前記繰り返しユニットをテストしたいウエハー上に複数個配置するとき、
前記プローブカードは、前記繰り返しユニットを構成するN個の半導体チップのうち1個のチップに対応する領域だけに前記単位プローブモジュールが形成されたことを特徴とする請求項14に記載のプローブカード。 - 前記プローブカードにおいて前記単位プローブモジュールが形成された領域と対応する半導体チップは、すべての繰り返しユニット内において同じ位置であることを特徴とする請求項18に記載のプローブカード。
- 前記プローブカードをN回タッチダウンして前記ウエハー上のすべての半導体チップをテストすることを特徴とする請求項18に記載のプローブカード。
- 前記サブボードが備えられた領域のプローブヘッド胴体に貫通部が設けられ、該貫通部内に相互接続体が備えられ、該相互接続体を介して前記サブボードと前記回路基板とが電気的に連結されることを特徴とする請求項14に記載のプローブカード。
- 前記単位プローブモジュールと前記サブボードとは、ワイヤボンディングまたは軟性印刷回路基板を介して電気的に連結されることを特徴とする請求項14に記載のプローブカード。
- 前記サブボードの一方側に連結される単位プローブモジュールは、1個または複数個であることを特徴とする請求項14に記載のプローブカード。
- 前記プローブモジュールと前記サブボードが配置される前記プローブヘッド胴体の上面にあって、前記プローブモジュールが載置される領域の高さと前記サブボードが載置される領域の高さとが異なることを特徴とする請求項14に記載のプローブカード。
- 前記回路基板の裏面上に補強板がさらに備えられることを特徴とする請求項14に記載のプローブカード。
- 前記補強板及び回路基板をいずれも貫通し、さらに前記プローブヘッド胴体の一部の厚さまで延びる複数の開孔が設けられ、
前記プローブヘッド胴体、回路基板、及び補強板の各々に形成された開孔は、互いに対応する位置に設けられることを特徴とする請求項25に記載のプローブカード。 - 前記各々の開孔内に平坦調整ねじが設けられることを特徴とする請求項26に記載のプローブカード。
- 前記平坦調整ねじにはスプリング弾性体が備えられ、該スプリング弾性体は、前記回路基板とプローブヘッド胴体との間に備えられることを特徴とする請求項27に記載のプローブカード。
- 前記回路基板の裏面上に補強板がさらに備えられ、
前記サブボード、相互接続体、回路基板、及び補強板の互いに対応する位置に複数の開孔が設けられ、前記開孔内に止めねじが設けられることを特徴とする請求項21に記載のプローブカード。 - 前記回路基板の裏面上に補強板がさらに備えられ、
前記サブボードの下面に雌ねじが設けられ、前記相互接続体、回路基板、補強板に貫通開孔が設けられ、前記貫通開孔内に雄ねじが設けられて、前記雄ねじと雌ねじとがねじ止められることを特徴とする請求項21に記載のプローブカード。 - 前記サブボードは、印刷回路基板または多層セラミック回路基板からなることを特徴とする請求項14に記載のプローブカード。
- 前記サブボードの面積は、前記プローブヘッド胴体の面積に相当することを特徴とする請求項14に記載のプローブカード。
- 前記プローブヘッド胴体上に複数のサブボードが配置されることを特徴とする請求項14に記載のプローブカード。
- 前記Nは、2ないし50の自然数であることを特徴とする請求項18に記載のプローブカード。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120529 |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120531 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20121023 |