JPH05341007A - プリント配線板の検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 個別対応型でありながら、テスターの検査回
路に対する電気的な接続を高い効率で容易に達成するこ
とができ、十分に高い信頼性で高密度化されたプリント
配線板の検査を行うことのできる検査装置を提供するこ
と。 【構成】 被検査プリント配線板１上に配置されるオフ
グリッドアダプター１０と検査ヘッド２０とを有し、検
査ヘッドは格子状配列の検査電極２１を有する検査電極
板装置２２を有し、検査電極板装置は、複数の機能領域
の各々における互いに対応する位置の検査電極が互いに
電気的に接続されて共通化電極が形成されている。プリ
ント配線板の両面にオフグリッドアダプターおよび検査
ヘッドが設けられ、検査電極板装置の一方および他方に
おける互いに上下に重ならない区画領域に位置されてい
る検査電極による共通化電極が互いに電気的に接続され
る。検査ヘッドは押圧機構に着脱自在に設けられてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プリント配線板の性能
を検査するためのプリント配線板の検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に集積回路などを搭載するプリント
配線板については、集積回路などを搭載する以前に、当
該プリント配線板の配線パターンが所期の性能を有する
ことを確認するためにその電気的特性を検査することが
必要である。従来、このプリント配線板の検査を実行す
る方法としては、基本的に、被検査プリント配線板の被
検査電極の配置パターンに応じて配置された検査電極を
有し、この検査電極がワイア配線によりテスターの検査
回路に電気的に接続される個別対応型の検査電極装置を
用いる方法、並びにユニバーサル型と称される縦横に並
ぶ標準格子点位置に検査電極が形成されてなる検査電極
装置を、被検査プリント配線板の被検査電極とこの検査
電極装置の検査電極とを接続するコネクタと組合せて用
いる方法などが知られている。

【０００３】現在、プリント配線板の分野においては、
素子の集積度およびパターンの高密度化が一層推進され
る傾向にあり、これに伴って検査電極装置においても検
査電極の高密度化が必要とされている。しかしながら、
個別対応型の検査電極装置においては、被検査プリント
配線板の被検査電極に対応するパターンの検査電極が必
要であるため、検査回路をユニバーサル型に比較して効
率的に利用することができる利点がある反面、結局、ス
プリングプローブなどを用いて被検査電極と同様に高密
度化された検査電極を形成しなければならず、従って当
該検査電極装置の製作が困難であり、コストが非常に高
いものとなる問題点がある。

【０００４】また、ユニバーサル型検査電極装置におい
ては、テスターの検査回路と対をなす検査電極の隣接す
るもの相互間における距離が一定とされており、高密度
化された被検査電極を有する被検査プリント配線板の検
査のためには、一部の被検査電極については検査電極装
置における最も接近した位置の検査電極に対して電気的
な接続を達成すればよい。しかしながら、他の一部の被
検査電極については、検査電極装置における相当に離隔
した位置の検査電極に電気的に接続させることが必要と
なる場合が多い。これは、被検査電極の密度が検査電極
の密度より相当に高いからである。そして、その結果、
コネクタにおける配線密度を高くする必要があるが、そ
の高密度化にも限度がある。また、実際上、有効に使用
に供することができない検査電極が多く残り、効率的に
も装置としても無駄が多いという問題点がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
プリント配線板の検査装置においては、望まれている被
検査電極の高密度化に十分に対応することが困難であ
り、その結果、検査電極装置の構成が複雑となり、電気
的な接続を達成するためのコネクタにおける配線パター
ンの高密度化を十分に達成することが困難で信頼性の高
い検査を行うことができない。

【０００６】本発明の目的は、基本的に個別対応型の検
査装置でありながら、テスターの検査回路に対する電気
的な接続を高い効率で容易に達成することができ、十分
に高い信頼性をもって高密度化されたプリント配線板の
検査を行うことのできるプリント配線板の検査装置を提
供することにある。

【０００７】本発明の他の目的は、プリント配線板がそ
の両面に被検査電極を有する場合にも、テスターの検査
回路に対する電気的な接続を高い効率で容易に達成する
ことができ、十分に高い信頼性をもって高密度化された
プリント配線板の検査を行うことのできるプリント配線
板の検査装置を提供することにある。

【０００８】本発明の更に他の目的は、被検査プリント
配線板の被検査電極に対する電気的接続システムの異な
る検査機構を容易に代替して利用することができるプリ
ント配線板の検査装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明のプリント配線の
板検査装置は、検査すべき被検査プリント配線板上に配
置されるオフグリッドアダプターと、このオフグリッド
アダプター上に配置される検査ヘッドとを有してなり、
前記オフグリッドアダプターは、表面に、被検査プリン
ト配線板の被検査電極に対応するパターンの表面電極を
有すると共に、裏面に、当該表面電極と電気的に接続さ
れた格子点位置に配列された裏面電極を有するピッチ変
換ボードと、このピッチ変換ボードの表面と被検査プリ
ント配線板との間に配置される第１の異方導電性シート
とよりなり、前記検査ヘッドは、第２の異方導電性シー
トと、この第２の異方導電性シートを介して前記ピッチ
変換ボードの裏面電極に電気的に接続される格子状配列
の検査電極を有する検査電極板装置とを有してなり、当
該検査電極板装置は、互いに同一の検査電極配置を有す
る複数の機能領域を有すると共に、機能領域の各々にお
ける互いに対応する位置に配置された検査電極が互いに
電気的に接続されて共通化電極が形成されている、こと
を特徴とする。

【００１０】また、本発明のプリント配線板の検査装置
は、被検査プリント配線板の両面にそれぞれ上記のオフ
グリッドアダプターおよび検査ヘッドが設けられてお
り、被検査プリント配線板の一面側の一方の検査ヘッド
に係る一方の検査電極板装置における共通化電極が、被
検査プリント配線板の他面側の他方の検査ヘッドに係る
他方の検査電極板装置における共通化電極と電気的に接
続されており、互いに電気的に接続されている２つの共
通化電極に係る検査電極は、一方の検査電極板装置と他
方の検査電極板装置における互いに上下に重ならない区
画領域に位置されているものであることを特徴とする。

【００１１】更に、本発明のプリント配線板の検査装置
は、オフグリッドアダプターおよび検査ヘッドを被検査
プリント配線板に対して押圧する押圧板を含む押圧機構
を有してなり、前記検査ヘッドは押圧機構に着脱自在に
設けられていることを特徴とする。

【００１２】

【作用】以上のような構成によれば、被検査プリント配
線板の或る被検査電極と導通する検査電極が検査電極板
装置の複数の機能領域のいずれにも存在し、従って当該
被検査電極とテスターの検査回路との電気的な接続を大
きな自由度で行うことができると共に、テスターの検査
回路に接続すべき端子数が大幅に減少し、しかも各機能
領域における検査電極を共通化電極とすることにより全
体の検査電極の利用効率が高くなる。

【００１３】また、被検査プリント配線板の両面に設け
られた検査電極板装置の各々における上下に重ならない
区画領域の共通化電極に係る検査電極同士を電気的に接
続することにより、一の検査電極とテスターの検査回路
との電気的な接続に更に大きな自由度が得られると共
に、検査回路への接続数を減少させることができる。

【００１４】更に、検査ヘッドに係る検査電極板装置を
押圧するための押圧機構に前記検査ヘッドを着脱自在に
設けておくことにより、検査ヘッドおよびオフグリッド
アダプターを取外すことが可能となるので、被検査プリ
ント配線板の被検査電極に対する電気的接続システムの
異なる検査機構を容易に代替して利用することが可能と
なる。

【００１５】

【実施例】図１は、本発明に係るプリント配線板の検査
装置の一例における要部の構成を示す説明用断面図であ
る。図１において、１は検査すべき被検査プリント配線
板であって、その両面に被検査電極２が形成されてい
る。そして、この被検査プリント配線板１の上面側およ
び下面側に、それぞれ、オフグリッドアダプター１０を
介して検査ヘッド２０が配置されている。

【００１６】オフグリッドアダプター１０は、ピッチ変
換ボード１３と、このピッチ変換ボード１３と被検査プ
リント配線板１との間に配設される第１の異方導電性シ
ート１４とによって構成されており、ピッチ変換ボード
１３の被検査プリント配線板１側の表面には、被検査プ
リント配線板１の被検査電極２に相対するパターンの表
面電極１１が形成されており、ピッチ変換ボード１３の
反対の裏面には、当該表面電極１１と電気的に接続され
た裏面電極１２が格子点位置に配列された状態で形成さ
れている。

【００１７】検査ヘッド２０は、検査電極板装置２２
と、この検査電極板装置２２と前記ピッチ変換ボード１
３との間に配設される第２の異方導電性シート２３とに
よって構成されており、検査電極板装置２２の表面に
は、ピッチ変換ボード１３の裏面電極１２に適合する格
子状配列、すなわち格子点位置のすべてに配列された状
態で形成された検査電極２１が形成されている。この検
査電極板装置２２においては、後述するように、テスタ
ーの検査回路３０の電極数に対応するよう検査点数を減
少させるために、各検査電極２１を共通化電極とするた
めの配線回路２８が多層構成で形成されると共に、この
配線回路２８の一部により、検査電極板装置２２の一端
部に外部引出し端子部２９が形成され、この外部引出し
端子部２９の各端子は、着脱自在に接続されたコネクタ
２５により、テスターの検査回路３０に接続されてい
る。

【００１８】３１は上面側の検査ヘッド２０に係る検査
電極板装置２２を下方に押圧するための押圧板であり、
図示しない押圧機構に着脱自在に設けられている。ま
た、この押圧板３１は、その押圧方向（図において下
方）における基準レベル、すなわち押圧操作が開始され
ていない基準のレベルが調整可能に設けられている。そ
して、下面側の検査電極板装置２２の下面には弾性緩衝
材よりなる受け板３２が配置されている。

【００１９】検査ヘッド２０における検査電極板装置２
２について具体的に説明すると、図２は、検査電極板装
置２２として用いられる検査電極エレメント２６を示
す。この検査電極エレメント２６は、矩形の板状絶縁性
基体の一面に、いわゆるユニバーサル配列に従い、縦横
に並ぶ標準格子点位置に検査電極ｐが形成されて構成さ
れている。この検査電極エレメント２６は、その一面の
領域が鎖線で示すように縦方向および横方向において各
々２分割されて互いに等しい矩形の合計４つの機能領域
Ａ，Ｂ，ＣおよびＤ（図２で左上、右上、左下および右
下の順）が形成されており、また機能領域Ａ〜Ｄの各々
においては、互いに同一の配置で縦横に並ぶ検査電極ｐ
を有する。

【００２０】今、機能領域Ａ〜Ｄの各々において、縦ｍ
行、横ｎ列で並ぶ検査電極ｐの特定の位置にあるものを
特定するために、第ｍ行第ｎ列の位置にある検査電極ｐ
の番地表示を（ｍ，ｎ）とし、さらに機能領域までを特
定する場合には、当該番地表示の先頭に機能領域を示す
記号Ａ〜Ｄを付して表わすこととする。例えば、機能領
域Ａにおける第１行第１列にある検査電極はＡ（１，
１）で表わされる。

【００２１】検査電極エレメント２６の機能領域Ａ〜Ｄ
の各々における対応位置にある検査電極ｐは、接続部材
によって互いに電気的に接続されている。すなわち、同
一の番地表示（ｍ，ｎ）を有する検査電極ｐは各機能領
域Ａ〜Ｄの各々にあって合計４つ存在するが、これら同
一の番地表示を有する４つの検査電極ｐを互いに電気的
に接続させるのである。この互いに電気的に接続された
検査電極をこの明細書において「共通化電極」といい、
Ｐ（ｍ，ｎ）で表わすこととする。従って、或る共通化
電極Ｐ（ｍ，ｎ）は、電気的に接続されている４つの分
岐された端子としての検査電極Ａ（ｍ，ｎ）、Ｂ（ｍ，
ｎ），Ｃ（ｍ，ｎ）およびＤ（ｍ，ｎ）よりなるものと
なる。

【００２２】以上の同一の番地表示（ｍ，ｎ）を有する
検査電極の電気的な接続は、適宜の接続部材によって達
成されればよく、その具体的な構成乃至手段は限定され
るものではない。図１の実施例における検査電極板装置
２２においては、上記のような検査電極エレメント２６
の絶縁性基体に配線回路２８が多層に形成されることに
より、接続部材が構成されているが、適宜のリードワイ
アにより接続部材を構成することも可能である。そし
て、検査電極エレメント２６の検査電極ｐが、この検査
電極板装置２２の検査電極２１を形成する。

【００２３】図示の例における第１の異方導電性シート
１４および第２の異方導電性シート２３は、いずれもシ
ートの厚み方向に導電性を有している。そして、第２の
異方導電性シート２３は、検査ヘッド２０の検査電極２
１に対応した位置に配列された多数の導電路形成部２４
が少なくとも一面において厚み方向に突起状に形成され
ており、電気的な接触安定性を向上させる機能を有して
いる。

【００２４】以上のような構成のプリント配線板の検査
装置においては、押圧機構の押圧板３１と受け板３２と
の間に、オフグリッドアダプター１０および検査ヘッド
２０を介して被検査プリント配線板１を押圧することに
より、被検査プリント配線板１の被検査電極２の各々が
検査ヘッド２０の検査電極２１の何れかと電気的に接続
され、これにより、テスターの検査回路３０に電気的に
接続された状態となって所期の検査が行われる。この押
圧状態においては、下面側の受け板３２が弾性緩衝材よ
りなるため、押圧板３１により検査ヘッド２０およびオ
フグリッドアダプター１０に作用される押圧力は全体に
均一な圧力分布のものとなる。

【００２５】而して、検査ヘッド２０の検査電極板装置
２２においては、その複数の機能領域において同一の配
置状態で検査電極２１が形成されていると共に、各機能
領域における対応する位置にある検査電極２１が配線回
路２８によって互いに電気的に接続されて共通化電極と
されているため、或る被検査電極２と導通する検査電極
２１が各機能領域のいずれにも存在し、従って当該被検
査電極２とテスターの検査回路３０との電気的な接続を
大きな自由度で行うことができると共に、テスターの検
査回路３０に接続すべき端子数は、共通化電極の数でよ
いから、検査電極２１の総数に比して大幅に減少する。
その結果、被検査プリント配線板１上の被検査電極２が
特定の個所に非常に高密度化された状態に形成されたも
のであっても、当該個所とは離隔した機能領域の共通化
電極を利用して、すなわち、いわば当該共通化電極によ
って分散された位置の検査電極を利用することにより、
所要の電気的な接続を容易に達成することができると共
に、高い信頼性の検査を実行することができる。

【００２６】また、検査電極板装置２２において、検査
電極エレメント２６の各機能領域における検査電極ｐを
共通化電極とすることにより、検査電極エレメント２６
の全体の検査電極ｐの利用効率が高くなるため、無駄な
検査電極が大幅に減少し、極めて高い効率で検査を実施
することができる。

【００２７】図３は、本発明の他の実施例を示す。この
図においては、被検査プリント配線板１の上面側に配置
される一方の検査電極板装置５０、被検査プリント配線
板１の下面側に配置される他方の検査電極板装置６０お
よびその関連部分のみが示されている。この例において
は、一方の検査電極板装置５０は、一方向（図における
Ｘ方向）に並ぶ２つの機能領域５０Ａ，５０Ｂが形成さ
れており、各機能領域５０Ａ，５０Ｂにおいては同一の
配置状態で検査電極ｐが形成されており、各機能領域５
０Ａ，５０Ｂにおいて同一の位置にある検査電極ｐ同
士、例えば機能領域５０Ａの検査電極５０Ａ（１，１）
と機能領域５０Ｂの検査電極５０Ｂ（１，１）とが接続
部材５１によって電気的に接続されている。この図３に
おいて、接続部材５１はワイアより成るもののように示
してあるが、実際には既述のように多層配線回路による
ことが好ましい。

【００２８】また、他方の検査電極板装置６０において
も、一方の検査電極板装置５０におけると全く同様に、
Ｘ方向に並ぶ２つの機能領域６０Ａ，６０Ｂが形成され
ており、各機能領域６０Ａ，６０Ｂにおいて同一の位置
にある検査電極ｐ同士が接続部材６１によって電気的に
接続されている。

【００２９】そして、一方の検査電極板装置５０の共通
化電極は、各々、他方の検査電極板装置６０における共
通化電極と、第２の接続部材７０により、更に互いに電
気的に接続される。このように第２の接続部材７０によ
って互いに電気的に接続される２つの共通化電極に係る
検査電極は、一方の検査電極板装置５０と他方の検査電
極板装置６０における互いに上下に重ならない区画領域
に位置されているものである。

【００３０】例えば、図３において、一方の検査電極板
装置５０を、区画線Ｄによって示すように、前記のＸ方
向に対して直角のＹ方向に並ぶ２つの互いに同様の区画
領域５０ａ，５０ｂに区画すると共に、他方の検査電極
板装置６０をも同様にしてＹ方向に並ぶ２つの互いに同
様の区画領域６０ａ，６０ｂに区画する。ここで、図の
例においては、説明のために、各区画領域には、いずれ
も１１個の検査電極ｐが存在する状態とされている。

【００３１】そして、一方の検査電極板装置５０の区画
領域５０ａと上下に重ならない他方の検査電極板装置６
０の区画領域６０ｂとにおいて、並びに区画領域５０ｂ
と区画領域６０ａとにおいて、対応する順序の共通化電
極に係る検査電極ｐ同士を電気的に接続する。図におい
ては、機能領域５０Ｂに属し区画領域５０ａに属する検
査電極５０Ｂ（１，１）と、機能領域６０Ｂに属し区画
領域６０ｂに属する検査電極６０Ｂ（１，11）とが接続
部材７０Ａによって電気的に接続され、また、機能領域
５０Ａに属し区画領域５０ｂに属する検査電極５０Ａ
（１，11）と、機能領域６０Ａに属し区画領域６０ａに
属する検査電極６０Ａ（１，１）とが接続部材７０Ｂに
よって電気的に接続されている。そして、他の検査電極
ｐについても同様にして第２の接続部材７０によって電
気的な接続がなされる。

【００３２】この実施例においては、各検査電極板装置
５０および６０の各々における機能領域が２つであって
各機能領域間における対応する検査電極同士が電気的に
接続されており、更に一方の検査電極板装置５０と他方
の検査電極板装置６０との間において、上下に重ならな
い区画領域における共通化電極に係る検査電極同士が電
気的に接続されているため、この点においても既述の共
通化電極の場合と同様の原理により、一の検査電極ｐと
テスターの検査回路３０との電気的な接続に大きな自由
度が得られると共に、当該検査回路３０への接続数を減
少させることができる。

【００３３】そして、この例においては、各検査電極板
装置５０および６０の各々における機能領域が２つであ
るために、各機能領域間における対応する検査電極同士
の電気的な接続のための接続部材５１，６１の配置が容
易であり、多層配線回路として容易に実現することがで
きる。

【００３４】以上において、実際の第２の接続部材７０
による電気的な接続は、例えばテスターの検査回路３０
に至る電気通路の配線において実施することもできる。
すなわち、一方の検査電極板装置５０からテスターの検
査回路３０に至る配線と、他方の検査電極板装置６０か
らテスターの検査回路３０に至る配線とが、適宜の位置
で接続されればよい。更に、この電気的な接続は、テス
ターの検査回路３０において実現することもできる。こ
のように、配線上で第２の接続部材による電気的な接続
を達成する場合には、実際には当該第２の接続部材を各
検査電極板装置間に設ける必要がないので、上下の検査
ヘッド２０間の空間における構成を複雑化することが回
避される。

【００３５】また、既述のように、検査装置を構成する
上面側の検査ヘッド２０に係る検査電極板装置２２を下
方に押圧するための押圧板を押圧機構に着脱自在に設け
ておくことにより、検査ヘッド２０およびオフグリッド
アダプター１０を取外すことが可能となるので、被検査
プリント配線板の被検査電極に対する電気的接続システ
ムの異なる検査機構を容易に代替して利用することがで
き、そのような検査機構の利点を有効に活用することが
できる。

【００３６】例えば、図４に示すように、端子保持板４
２においてスプリングプローブ４１が被検査プリント配
線板１の被検査電極２の配置パターンに対応して配置さ
れ、ワイア配線４３によってスプリングプローブ４１が
テスターの検査回路３０に電気的に接続されて使用され
る個別対応型検査機構８０が広く使用されているが、こ
のような個別対応型検査機構８０を、検査ヘッド２０お
よびオフグリッドアダプター１０の代わりに交換して用
いることが容易にであり、これにより、既存の設備の無
用化乃至荒廃が回避される。

【００３７】このように、電気的接続システムの異なる
他の検査機構を代替して利用する場合においては、押圧
板３１を、その押圧方向（図において下方）における基
準レベルが調整可能に設けておくことにより、当該他の
検査機構の全体の厚みが異なる場合にも十分に確実に押
圧機構を使用することができる。更に、コネクタ２５を
も着脱自在としておくことにより、テスターの検査回路
への接続機構をも共通に使用することが可能となる。

【００３８】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、基本的に個別
対応型の検査装置でありながら、被検査プリント配線板
の被検査電極とテスターの検査回路との電気的な接続を
高い効率で、かつ大きな自由度で容易に達成することが
でき、十分に高い信頼性をもって高密度化されたプリン
ト配線板の検査を行うことのできるプリント配線板の検
査装置を提供することができる。

【００３９】しかも、検査ヘッドは、ユニバーサル配置
で検査電極が配列されている検査電極板装置を利用する
にも拘わらず、当該検査電極が共通化電極を形成してい
ることにより、有効に使用することのできない検査電極
の数が減少するので、同一の検査電極密度の被検査領域
に対しては、より大きい面積の被検査領域における被検
査電極について検査することができ、かつ、異方導電性
シートを使用するオフグリッドアダプターにより高い信
頼性をもってプリント配線板の検査を行うことができ
る。

【００４０】請求項２の発明によれば、プリント配線板
がその両面に被検査電極を有する場合にも、被検査プリ
ント配線板の両面に設けられた検査電極板装置の各々に
おける上下に重ならない区画領域の共通化電極に係る検
査電極同士を電気的に接続することにより、被検査電極
とテスターの検査回路との電気的な接続に更に大きな自
由度が得られると共に、当該検査回路に対する接続端子
数を減少させることができる。

【００４１】請求項３の発明によれば、検査ヘッドに係
る検査電極板装置を押圧するための押圧機構に検査ヘッ
ドを着脱自在に設けておくことにより、検査ヘッドおよ
びオフグリッドアダプターを取外すことが可能となるの
で、被検査プリント配線板の被検査電極に対する電気的
接続システムの異なる検査機構を容易に代替して利用す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のプリント配線板の検査装置の一実施例
における要部の構成を示す説明用断面図である。

【図２】図１における検査電極板装置として用いられる
検査電極エレメントの説明図である。

【図３】本発明の他の実施例における２つの検査電極板
装置における構成を示す説明図である。

【図４】個別対応型検査機構の一例の構成を示す説明図
である。

【符号の説明】

１ 被検査プリント配線板 ２ 被検査電極 １０ オフグリッドアダプター １１ 表面電極 １２ 裏面電極 １３ ピッチ変
換ボード １４ 第１の異方導電性シート ２０ 検査ヘッ
ド ２１ 検査電極 ２２ 検査電極
板装置 ２３ 第２の異方導電性シート ２４ 導電路形
成部 ２５ コネクタ ２６ 検査電極
エレメント ２８ 配線回路 ２９ 外部引出
し端子部 ３０ 検査回路 ３１ 押圧板 ３２ 弾性緩衝材 ４１ スプリン
グプローブ ４２ 端子保持板 ４３ ワイア配
線 ５０ 一方の検査電極板装置 ５０Ａ，５０Ｂ
機能領域 ５０ａ，５０ｂ 区画領域 ６０Ａ，６０Ｂ
機能領域 ６０ａ，６０ｂ 区画領域 ５１ 接続部材 ６０ 他方の検査電極板装置 ６１ 接続部材 ７０，７０Ａ，７０Ｂ 第２の接続部材 ８０ 個別対応型検査機構 ｐ 検査電極 Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ 機能領域

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査すべき被検査プリント配線板上に配
   置されるオフグリッドアダプターと、このオフグリッド
   アダプター上に配置される検査ヘッドとを有してなり、 前記オフグリッドアダプターは、表面に、被検査プリン
   ト配線板の被検査電極に対応するパターンの表面電極を
   有すると共に、裏面に、当該表面電極と電気的に接続さ
   れた格子点位置に配列された裏面電極を有するピッチ変
   換ボードと、このピッチ変換ボードの表面と被検査プリ
   ント配線板との間に配置される第１の異方導電性シート
   とよりなり、 前記検査ヘッドは、第２の異方導電性シートと、この第
   ２の異方導電性シートを介して前記ピッチ変換ボードの
   裏面電極に電気的に接続される格子状配列の検査電極を
   有する検査電極板装置とを有してなり、当該検査電極板
   装置は、互いに同一の検査電極配置を有する複数の機能
   領域を有すると共に、機能領域の各々における互いに対
   応する位置に配置された検査電極が互いに電気的に接続
   されて共通化電極が形成されている、ことを特徴とする
   プリント配線板の検査装置。
2. 【請求項２】 被検査プリント配線板の両面にそれぞれ
   請求項１に記載のオフグリッドアダプターおよび検査ヘ
   ッドが設けられており、被検査プリント配線板の一面側
   の一方の検査ヘッドに係る一方の検査電極板装置におけ
   る共通化電極が、被検査プリント配線板の他面側の他方
   の検査ヘッドに係る他方の検査電極板装置における共通
   化電極と電気的に接続されており、互いに電気的に接続
   されている２つの共通化電極に係る検査電極は、一方の
   検査電極板装置と他方の検査電極板装置における互いに
   上下に重ならない区画領域に位置されているものである
   ことを特徴とするプリント配線板の検査装置。
3. 【請求項３】 オフグリッドアダプターおよび検査ヘッ
   ドを被検査プリント配線板に対して押圧する押圧板を含
   む押圧機構を有してなり、前記検査ヘッドは押圧機構に
   着脱自在に設けられていることを特徴とする請求項１に
   記載のプリント配線板の検査装置。