JP2010217030A - アブソリュート型リニアエンコーダ、及び、その位置調整方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検出ヘッド120の位置補正のための検出ピッチPdで位置検出がなされて、その際に検出ヘッド120に対する上位トラック112の位置関係と下位トラック114の位置関係との違いで生じるトラック間誤差ΔTeから、検出ピッチPd以上の広い幅の補正ピッチPc毎に求められた補正値Cdと、上位トラック112の出力値と、下位トラック114の出力値と、上位トラック112に対する下位トラック114の周期比TRと、を用いて下位トラック114の周期の数番号Mを求めると共に、周期の数番号Mと下位トラック114の出力値とからスケール110に対する検出ヘッド120の位置を求める処理回路126を備える。
【選択図】図4
Description
…(1)
N =INT (P101×16 ) …(2)
110、111…スケール
112、112C…上位トラック
113C…中位トラック
114、114C…下位トラック
120、120A、120B、121…検出ヘッド
122、122A、122B、122C、123C、124、124A、124B、124C…センサ
125、125A、125B…A/D回路
126、126A、126B…処理回路
128、128A…記憶回路
130…外部通信回路
132、132A、132B…データ処理装置
Claims (13)
- 複数のトラックを有するスケールと、
該スケールに対する相対位置を検出する検出ヘッドと、を有して、
該スケール、及び、該検出ヘッドを適用対象となる機械装置に組付ける際の該スケールと該検出ヘッドの相対姿勢を調整可能とすると共に、該複数のトラックが上位トラックと該上位トラックに対して該スケールの全長に対して複数回の周期で該検出ヘッドに同一の出力をさせる下位トラックとから構成されるアブソリュート型リニアエンコーダにおいて、
前記検出ヘッドの位置補正のための検出ピッチで位置検出がなされて、その際に該検出ヘッドに対する前記上位トラックの位置関係と前記下位トラックの位置関係との違いで生じるトラック間誤差から、前記検出ピッチ以上の広い幅の補正ピッチ毎に求められた補正値と、前記上位トラックの出力値と、前記下位トラックの出力値と、該上位トラックに対する該下位トラックの周期比と、を用いて前記下位トラックの周期の数番号を求めると共に、該周期の数番号と該下位トラックの出力値とから前記スケールに対する前記検出ヘッドの位置を求める処理回路を備えることを特徴とするアブソリュート型リニアエンコーダ。 - 前記上位トラックの出力値と前記下位トラックの出力値とを共に、最大値を1として正規化された位相量とした時に、前記トラック間誤差は、該上位トラックに対する該下位トラックの周期比と該上位トラックの出力値とを掛け合わせた値より前記下位トラックの出力値を減じた際に得られる差分値から、該差分値を四捨五入して整数とした値を減じたときに得られる値であり、且つ、
前記補正値は、前記検出ピッチで得られる前記トラック間誤差を前記補正ピッチ内で平均した値であることを特徴とする請求項1に記載のアブソリュート型リニアエンコーダ。 - 前記検出ピッチと補正ピッチとは、前記上位トラックの出力値を基準として求められることを特徴とする請求項1又は2に記載のアブソリュート型リニアエンコーダ。
- 前記処理回路で、前記上位トラックの出力値と前記下位トラックの出力値とを共に、最大値を1として正規化された位相量とした時に、該下位トラックの周期の数番号が、該上位トラックに対する該下位トラックの周期比と該上位トラックの出力値とを掛け合わせた値より前記下位トラックの出力値と前記補正値とを減じた際に得られる値を四捨五入して整数とした値として求められることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のアブソリュート型リニアエンコーダ。
- 前記処理回路に接続されると共に、前記補正値が記憶される記憶回路を更に備えることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のアブソリュート型リニアエンコーダ。
- 自身の外部で求められた前記補正値を、前記処理回路に入力させる外部通信回路を更に備えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のアブソリュート型リニアエンコーダ。
- 前記トラック間誤差に対して閾値とオフセット値とが設けられて、前記トラック間誤差が該閾値を越える際には、前記補正ピッチ内で少なくとも前記位置補正のための検出ピッチで前回位置検出した際に得られたトラック間誤差の大きさに従って該オフセット値が変更されて、且つ、前記トラック間誤差に、該変更されたオフセット値が加算されて該トラック間誤差が変更されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載のアブソリュート型リニアエンコーダ。
- 複数のトラックを有するスケールと、
該スケールに対する相対位置を検出する検出ヘッドと、を有して、
該スケール、及び、該検出ヘッドを適用対象となる機械装置に組付ける際の該スケールと該検出ヘッドの相対姿勢を調整可能とすると共に、該複数のトラックが上位トラックと該上位トラックに対して該スケールの全長に対して複数回の周期で該検出ヘッドに同一の出力をさせる下位トラックとから構成されるアブソリュート型リニアエンコーダの位置調整方法において、
前記検出ヘッドの位置補正のための検出ピッチで位置検出を行う工程と、
その際に該検出ヘッドに対する前記上位トラックの位置と前記下位トラックの位置との違いで生じるトラック間誤差から、前記検出ピッチ以上の広い幅である補正ピッチ毎に補正値を求める工程と、
前記上位トラックの出力値と前記下位トラックの出力値と該上位トラックに対する該下位トラックの周期比と前記補正値とを用いて前記下位トラックの周期の数番号を求める工程と、
を含むことを特徴とするアブソリュート型リニアエンコーダの位置調整方法。 - 前記上位トラックの出力値と前記下位トラックの出力値とを共に、最大値を1として正規化された位相量とした時に、該上位トラックに対する該下位トラックの周期比と該上位トラックの出力値とを掛け合わせた値より前記下位トラックの出力値を減じた際に得られる差分値から、該差分値を四捨五入して整数とした値を減じたときに得られる値として前記トラック間誤差が求められて、且つ、
前記検出ピッチで得られた前記トラック間誤差を前記補正ピッチ内で平均した値として前記補正値が求められることを特徴とする請求項8に記載のアブソリュート型リニアエンコーダの位置調整方法。 - 前記検出ピッチと補正ピッチとは、前記上位トラックの出力値を基準として求められることを特徴とする請求項8又は9に記載のアブソリュート型リニアエンコーダの位置調整方法。
- 前記上位トラックの出力値と前記下位トラックの出力値とを共に、最大値を1として正規化された位相量とした時に、該上位トラックに対する該下位トラックの周期比と該上位トラックの出力値とを掛け合わせた値より前記下位トラックの出力値と前記補正値とを減じた際に得られる値を四捨五入して整数とした値として前記下位トラックの周期の数番号が求められることを特徴とする請求項8乃至10のいずれかに記載のアブソリュート型リニアエンコーダの位置調整方法。
- 前記トラック間誤差に対して閾値とオフセット値とが設けられて、前記トラック間誤差が該閾値を越える際には、前記補正ピッチ内で少なくとも前記位置補正のための検出ピッチで前回位置検出した際に得られたトラック間誤差の大きさに従って該オフセット値を変更する工程と、前記トラック間誤差に、該変更されたオフセット値が加算されて該トラック間誤差が変更される工程と、を更に含むことを特徴とする請求項8乃至11のいずれかに記載のアブソリュート型リニアエンコーダの位置調整方法。
- 前記前回位置検出した際に得られたトラック間誤差の大きさが、1つ以上のフラグで判別されることを特徴とする請求項12に記載のアブソリュート型リニアエンコーダの位置調整方法。
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