WO2023145801A1

WO2023145801A1 - 磁気センサシステム、磁気センサシステムの距離計測方法

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Publication number: WO2023145801A1
Application number: PCT/JP2023/002377
Authority: WO
Inventors: 秀之谷川
Original assignee: パナソニックＩｐマネジメント株式会社
Priority date: 2022-01-28
Filing date: 2023-01-26
Publication date: 2023-08-03

Abstract

磁気センサの磁気スケールに対する相対移動の折り返し直後の領域における位置情報が安定する磁気センサシステムを提供することを目的とする。磁気スケール（３）は、第１方向において磁気センサ（２）と並んでおり、磁気センサ（２）に対して第１方向と交差する第２方向に相対的に移動する。移動距離変換部（８）は、磁気センサ（２）の出力信号が入力されるとともに、出力信号を移動距離情報に変換する。制御部（６）は、変換部（８）からの移動距離が入力されるとともに、磁気センサ（２）又は磁気スケール（３）に移動指示を行う。移動距離変換部（８）は、ヒステリシス補正部（９）を含んでいる。制御部（６）は、ヒステリシス補正部（９）に対して、磁気センサ（２）の移動方向情報を出力する。ヒステリシス補正部（９）は、移動方向情報に基づいて、出力信号をヒステリシス補正することで移動距離情報に変換する。

Description

磁気センサシステム、磁気センサシステムの距離計測方法

　本開示は、一般に磁気センサシステム及びその距離計測方法に関し、より詳細には、相対移動可能な磁気センサと磁気スケールを有する磁気センサシステム及びその距離計測方法に関する。

　特許文献１には、フラットパネルディスプレイを検査するための磁気センサが開示されている。特許文献１には、磁気センサの説明として、外部磁気場を印加したり除去したりすると、外部磁気場の有無により抵抗検出回路によって検出される抵抗が異なるように現れる現象（磁気ヒステリシス）が記載されている（特許文献１の段落００６３～００６４を参照）。

特開２００４－３３３４６９号公報

　一般的な磁気エンコーダは、永久磁石を備えた磁気スケールと、この磁気スケールからの磁界を検出する磁気抵抗素子を備えた磁気センサとを有している。磁気スケールの永久磁石には、磁気センサの相対移動方向に沿ってＮ極とＳ極が交互に並ぶトラックが形成されている。磁気センサは、磁気スケールの着磁パターンを読み出して、距離や角度を検出する。

　磁気エンコーダでは、例えば磁気センサの往復運動で得られる測定値（磁界に対する磁気抵抗変化率）は、磁気抵抗素子の図５に示すようなヒステリシス特性に起因して行きと帰りで異なる。この場合、行きと帰りの合計誤差をｃ１とする（以下、同じ）と、測定値と真値との差は±ｃ１／２になるように設定することが想定される。この結果、行きのときに＋ｃ１／２、帰りのときに－ｃ１／２の補正によって、測定値から真値が得られる。

　しかし、磁気センサの往復運動において移動向きが変わる折返し後の領域では、±ｃ／２の補正を行うと誤差が拡大する場合がある。例えば、図３に示す磁気センサの位置に対する測定値を表すグラフでは、磁気センサのヒステリシス特性に起因して、折り返し後領域である遷移領域Ａ１において誤差は一定ではなく変化している。そのため、動作方向に基づいて遷移領域Ａ１で－ｃ１／２の補正を行うと、補正後に図６の誤差発生領域のような誤差が生じてしまう。

　この結果、磁気センサが目標位置に近づいて次にわずかな距離の折返し動作に移行すると、位置情報が不安定となり、その結果、磁気センサを正確に位置決めすることが困難になる。

　本開示の目的は、磁気センサの磁気スケールに対する相対移動の折り返し直後の領域における位置情報が安定する磁気センサシステム及び磁気センサシステムの距離計測方法を提供することにある。

　本開示の一態様に係る磁気センサシステムは、磁気センサと、磁気スケールと、変換部と、制御部とを備えている。前記磁気スケールは、第１方向において前記磁気センサと並んでおり、前記磁気センサに対して前記第１方向と交差する第２方向に相対的に移動する。前記変換部は、前記磁気センサの出力信号が入力されるとともに、前記出力信号を移動距離情報に変換する。前記制御部は、前記変換部からの前記移動距離情報が入力されるとともに、前記磁気センサ又は前記磁気スケールに移動指示を行う。前記変換部は、ヒステリシス補正部を含む。前記制御部は、前記ヒステリシス補正部に対して、前記磁気センサ又は前記磁気スケールの移動方向情報を出力する。前記ヒステリシス補正部は、前記移動方向情報に基づいて、前記出力信号をヒステリシス補正することで前記移動距離情報に変換する。

　本開示の一態様に係る磁気センサシステムの距離計測方法は、磁気センサシステムに用いられる距離計測方法である。前記磁気センサシステムは、磁気センサと、第１方向において前記磁気センサと並んでおり、前記磁気センサに対して前記第１方向と交差する第２方向に相対的に移動する磁気スケールとを有する。前記距離計測方法は、前記磁気センサの出力信号を前記磁気センサ又は前記磁気スケールの移動距離情報に変換する変換ステップを備えている。前記変換ステップは、前記磁気センサ又は前記磁気スケールの移動方向情報に基づいて、前記出力信号をヒステリシス補正することで前記移動距離情報に変換する補正ステップを含んでいる。

　本開示の一態様に係る磁気センサシステム及び磁気センサシステムの距離計測方法によれば、磁気センサの磁気スケールに対する相対移動の折り返し直後の領域における位置情報が安定する。

図１は、一実施形態に係る磁気センサシステムの概略構成図である。図２は、同上の磁気センサシステムの移動距離変換部による移動距離変換・ヒステリシス補正制御動作を示すフローチャートである。図３は、同上の磁気センサの位置に対する測定値を表すグラフにおいて、「行き」から「帰り」の遷移領域の測定値の補正を示すグラフである。図４は、同上の磁気センサの位置に対する測定値を表すグラフにおいて、「帰り」から「行き」の遷移領域の測定値の補正を示すグラフである。図５は、磁界に対する磁気抵抗変化率を表すグラフにおいて、磁気ヒステリシスを示すグラフである。図６は、磁気センサの位置に対する測定値を表すグラフにおいて、「行き」から「帰り」の遷移領域の測定値の一補正例を示すグラフである。

　（実施形態）
　以下、実施形態に係る磁気センサシステムについて、図面を参照して説明する。下記の実施形態において説明する各図は模式的な図であり、各構成要素の大きさや厚さそれぞれの比が必ずしも実際の寸法比を反映しているとは限らない。また、下記の実施形態で説明する構成は本開示の一例にすぎない。本開示は、下記の実施形態に限定されず、本開示の効果を奏することができれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。

　（１）磁気センサシステム
　図１を用いて、本実施形態に係る磁気センサシステム１を説明する。磁気センサシステム１は、移動体としてのリニアステージ４（後述）の移動情報（位置及び移動距離）を微小単位（例えば、μｍ）で測定可能なシステムである。磁気センサシステム１は、磁気センサ２と、磁気スケール３と、リニアステージ４と、制御システム５とを備えている。

　磁気センサ２は、例えば、磁気抵抗素子等が樹脂モールドされた略直方体のパッケージで構成されている。

　磁気スケール３は、一方向に直線的に延在している。磁気スケール３は、長手方向に沿ってＮ極とＳ極とが交互に配列されたトラックを有している。

　磁気センサ２は、磁気スケール３の近傍に配置されており、具体的には、図１の上下方向（第１方向の一例）において磁気スケール３と間隔をあけて並んでいる。磁気センサ２は、リニアステージ４によって、磁気スケール３の長手方向（第１方向に交差している第２方向の一例）に移動できる。磁気センサ２は、磁気スケール３の表面に形成された磁界変化の方向を検出することにより、磁気センサ２が磁気スケール３の長手方向に移動した際の位置を検出する。

　なお、以下の説明では、リニアステージ４及び磁気センサ２が磁気スケール３に対して図１右側に移動することを「第１の向きに移動する」として、図１左側に移動する動作を「第２の向きに移動する」とする。

　（２）制御システム
　制御システム５は、磁気センサ２の位置及び移動距離を検出するとともに、磁気センサ２の移動を制御するシステムである。

　制御システム５は、コンピュータシステムを含んでいる。コンピュータシステムは、ハードウェアとしてのプロセッサ及びメモリを主構成とする。コンピュータシステムのメモリに記録されたプログラムをプロセッサが実行することによって、本実施形態における制御システム５または距離計測方法の実行主体としての機能が実現される。プログラムは、コンピュータシステムのメモリに予め記録されていてもよいが、電気通信回線を通じて提供されてもよいし、コンピュータシステムで読み取り可能なメモリカード、光学ディスク、ハードディスクドライブ等の非一時的記録媒体に記録されて提供されてもよい。コンピュータシステムのプロセッサは、半導体集積回路（ＩＣ）又は大規模集積回路（ＬＳＩ）を含む１乃至複数の電子回路で構成される。複数の電子回路は、１つのチップに集約されていてもよいし、複数のチップに分散して設けられていてもよい。複数のチップは、１つの装置に集約されていてもよいし、複数の装置に分散して設けられていてもよい。

　制御システム５は、制御部６と、Ａ／Ｄコンバータ７と、移動距離変換部８（以後、「変換部８」という）とを有している。

　制御部６は、磁気センサ２及びリニアステージ４の移動距離に基づいて、リニアステージ４の移動制御を行う。具体的には、制御部６には変換部８からの移動距離情報が入力され、制御部６は、移動距離情報に基づいてリニアステージ４に移動指示信号を送信して目的の位置に移動させる。

　磁気センサ２は、リニアステージ４の移動に伴い、出力信号として、正弦波と余弦波の信号を生成する。

　Ａ／Ｄコンバータ７は、磁気センサ２からの出力信号をＡＤ変換して、変換後の出力信号を変換部８に出力する。

　変換部８は、磁気センサ２の出力信号が入力されるとともに、出力信号を移動距離信号に変換する。具体的には、変換部８は、ヒステリシス補正部９（以下、「補正部９」という）を有している。制御部６は、補正部９に対して、磁気センサ２及びリニアステージ４の移動方向情報（どちらの向きに移動しているか）を出力する。補正部９は、移動方向情報に基づいて、出力信号をヒステリシス補正することで移動距離信号に変換する。

　（３）距離計測方法
　（３．１）距離計測方法の概要
　図３及び図４において、補正部９に入力される測定値は、出力信号を意味している。出力信号は、定常領域における出力信号である第１出力信号と、磁気センサ２の移動方向転換直後の領域である遷移領域における出力信号である第２出力信号とを含んでいる。したがって、図３では「行き（磁気センサ２の第１の向きへの移動）」から「帰り（磁気センサ２の第２の向きへの移動）」への折り返し領域である遷移領域Ａ１が示されており、図４では「帰り」から「行き」への折り返し領域である遷移領域Ａ２が示されている。

　ヒステリシス補正部９は、移動方向情報に基づいて、定常領域（遷移領域Ａ１、Ａ２以外の領域であって、誤差が一定の領域）と遷移領域Ａ１、Ａ２とで異なるヒステリシス補正を行う。このように遷移領域Ａ１、Ａ２に対して定常領域と異なるヒステリシス補正を行うことで、遷移領域Ａ１、Ａ２における往復誤差の補正を最適化できる。その結果、磁気センサ２の磁気スケール３に対する相対移動の折り返し直後の領域における位置情報が安定する。

　より具体的には、ヒステリシス補正部９は、第２出力信号を、定常領域と同じ大きさの誤差が得られるように変換し、変換後の第２出力信号に対して定常領域に関して行う誤差補正を行う。このように遷移領域Ａ１、Ａ２のヒステリシス補正が定常領域に関して行う誤差補正を含んでいるので、補正計算を簡単にできる。

　（３．２）距離計測方法の詳細
　図２～図４を用いて、磁気センサシステム１を用いた距離計測方法、具体的には、移動距離変換ステップ（以後、「変換ステップ」という）を詳細に説明する。変換ステップは、磁気センサ２の出力信号を移動距離信号に変換するステップである。変換ステップは、移動方向情報に基づいて、出力信号をヒステリシス補正することで移動距離信号に変換する補正ステップ（ステップＳ３、Ｓ５）を含んでいる。

　図２は、変換部８の補正部９による移動距離変換・ヒステリシス補正制御を示している。

　以下に説明する制御フローチャートは例示であって、各ステップは必要に応じて省略及び入れ替え可能である。また、複数のステップが同時に実行されたり、一部又は全てが重なって実行されたりしてもよい。

　さらに、制御フローチャートの各ブロックは、単一の制御動作とは限らず、複数のブロックで表現される複数の制御動作に置き換えることができる。

　ステップＳ１では、補正部９は、出力信号が入力されるのを待つ。

　出力信号が入力されると、補正部９は、制御部６からの移動方向信号に基づいて、定常領域であるか否かを判断する（Ｓ２）。

　定常領域であれば、補正部９は、第１出力信号に対して誤差補正を行う（Ｓ３）。図３及び図４に示すように、補正部９は、定常領域において磁気センサ２が「行き」の向きに移動する場合の補正値をＰ１として、測定値をＦＰ１として、定常領域において磁気センサ２が「行き」の向きに移動する場合と磁気センサ２が「帰り」の向きに移動する場合の合計誤差をｃ１とした場合に、補正値Ｐ１をＰ１＝ＦＰ１＋ｃ１／２で求める。さらに、図３及び図４に示すように、補正部９は、定常領域において磁気センサが「帰り」の向きに移動する場合の補正値をＰ２として、測定値をＲＰ１とした場合に、補正値Ｐ２をＰ２＝ＲＰ１－ｃ１／２で求める。

　補正部９は、誤差補正後の移動距離信号を制御部６に対して出力する（Ｓ４）。

　ステップＳ４の終了後にプロセスはステップＳ１に戻る。

　定常領域でなければ、補正部９は、遷移領域Ａ１、Ａ２であるとして、定常領域と同じ誤差を有するように第２出力信号を変換する（Ｓ５）。

　遷移領域Ａ１に関する移動距離変換を説明する。補正部９は、磁気センサが「行き」の向きから「帰り」の向きに方向変換した直後の遷移領域Ａ１の補正値をＰ３として、変換値をＰ３Ａとして、測定値をＲＰ２とした場合に、ステップＳ５では変換値Ｐ３ＡをＰ３Ａ＝Ｒ０－（Ｒ０－ＲＰ２）×ａ１／ｂ１で求める。なお、Ｒ０は補正前の「行き」から「帰り」の折り返し位置の測定値であり、ａ１は遷移領域Ａ１全体に対応する定常領域の測定値幅であり、ｂ１は遷移領域Ａ１全体の測定値幅である。上記は、遷移領域Ａ１の測定値ＲＰ２を定常領域の測定値ＦＰ１に変換したことを意味する。続いて、ステップＳ３では補正値Ｐ３をＰ３＝Ｐ３Ａ＋ｃ１／２で求める。

　遷移領域Ａ２に関する移動距離変換を説明する。補正部９は、磁気センサ２が「帰り」の向きから「行き」の向きに方向変換した直後の遷移領域Ａ２の補正値をＰ４として、変換値をＰ４Ａとして、測定値をＦＰ２とした場合に、ステップＳ５では変換値Ｐ４ＡをＰ４Ａ＝Ｒ１＋（ＦＰ２－Ｒ１）×ａ２／ｂ２で求める。なお、Ｒ１は補正前の「行き」から「帰り」の折り返し位置の測定値であり、ａ２は遷移領域Ａ２全体に対応する定常領域の測定値幅であり、ｂ２は遷移領域Ａ２全体の測定値幅である。上記は、遷移領域Ａ２の測定値ＦＰ２を定常領域の測定値ＲＰ１に変換したことを意味する。続いて、ステップＳ３では補正値Ｐ４＝Ｐ４Ａ－ｃ１／２で求める。

　（４）変形例
　上述の実施形態は、本開示の様々な実施形態の一つに過ぎない。上述の実施形態は、本開示の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。以下、上述の実施形態の変形例を列挙する。以下に説明する変形例は、適宜組み合わせて適用可能である。

　磁気センサ２が静止して、磁気スケール３が移動するようにしてもよい。

　磁気スケール３のトラック数は２以上でもよい。

　磁気センサ２の数は２以上でもよい。

　定常領域及び遷移領域における出力信号の値は上述の実施形態に限定されず、したがって誤差補正及びヒステリシス補正も上述の実施形態に限定されない。

　（態様）
　本明細書には、以下の態様が開示されている。

　第１の態様に係る磁気センサシステム（１）は、磁気センサ（２）と、磁気スケール（３）と、変換部（８）と、制御部（６）とを備えている。

　磁気スケール（３）は、第１方向において磁気センサ（２）と並んでおり、磁気センサ（２）に対して第１方向と交差する第２方向に相対的に移動する。

　変換部（８）は、磁気センサ（２）の出力信号が入力されるとともに、出力信号を移動距離情報に変換する。

　制御部（６）は、変換部（８）からの移動距離情報が入力されるとともに、磁気センサ（２）又は磁気スケール（３）に移動指示を行う。

　変換部（８）は、ヒステリシス補正部（９）を含んでいる。

　制御部（６）は、ヒステリシス補正部（９）に対して、磁気センサ（２）又は磁気スケール（３）の移動方向情報を出力する。

　ヒステリシス補正部（９）は、移動方向情報に基づいて、出力信号をヒステリシス補正することで移動距離情報に変換する。

　この態様によれば、移動方向情報に基づいてヒステリシス補正を行うことで、磁気センサ（２）の磁気スケール（３）に対する相対移動の折り返し直後の領域における位置情報が安定する。

　第２の態様に係る磁気センサシステム（１）では、第１の態様において、出力信号は、定常領域における出力信号である第１出力信号と、磁気センサ（２）又は磁気スケール（３）の移動方向転換直後の領域である遷移領域（Ａ１、Ａ２）における出力信号である第２出力信号とを含んでいる。ヒステリシス補正部（９）は、移動方向情報に基づいて、定常領域と遷移領域（Ａ１、Ａ２）とで異なるヒステリシス補正を行う。

　この態様によれば、遷移領域（Ａ１、Ａ２）に対して定常領域と異なるヒステリシス補正を行うことで、遷移領域（Ａ１、Ａ２）における往復誤差の補正を最適化できる。その結果、磁気センサ（２）の磁気スケール（３）に対する相対移動の折り返し直後の領域における位置情報が安定する。

　第３の態様に係る磁気センサシステム（１）では、第２の態様において、ヒステリシス補正部（９）は、第２出力信号を、定常領域と同じ大きさの誤差が得られるように変換し、変換後の第２出力信号に対して定常領域に関して行う誤差補正を行う。

　この態様によれば、遷移領域のヒステリシス補正において、定常領域に関して行う誤差補正を行うので、補正計算を簡単にできる。

　第４の態様に係る磁気センサシステム（１）では、第３の態様において、ヒステリシス補正部（９）は、下記の動作を実行する。

　ヒステリシス補正部（９）は、定常領域において磁気センサ（２）が第１の向きに移動する場合の補正値をＰ１として、測定値をＦＰ１として、定常領域において磁気センサ（２）が第１の向きに移動する場合と第１の向きとは逆の向きである第２の向きに移動する場合の合計誤差をｃ１とした場合に、補正値Ｐ１をＰ１＝ＦＰ１＋ｃ１／２で求める。

　ヒステリシス補正部（９）は、定常領域において磁気センサ（２）が第２の向きに移動する場合の補正値をＰ２として、測定値をＲＰ１とした場合に、補正値Ｐ２をＰ２＝ＲＰ１－ｃ１／２で求める。

　ヒステリシス補正部（９）は、磁気センサ（２）が第１の向きから第２の向きに方向変換した直後の遷移領域（Ａ１）の補正値をＰ３として、測定値をＲＰ２として、磁気センサ（２）が第１の向きから第２の向きに方向変換するときの折り返し測定値をＲ０として、遷移領域（Ａ１）全体に対応する定常領域の測定値幅をａ１として、遷移領域（Ａ１）全体の測定値幅をｂ１とした場合に、補正値Ｐ３をＰ３＝Ｒ０－（Ｒ０－ＲＰ２）×ａ１／ｂ１＋ｃ１／２で求める。

　ヒステリシス補正部（９）は、磁気センサ（２）が第２の向きから第１の向きに方向変換した直後の遷移領域（Ａ２）の補正値をＰ４として、測定値をＦＰ２として、磁気センサが第２の向きから第１の向きに方向変換するときの折り返し測定値をＲ１として、遷移領域（Ａ２）全体に対応する定常領域の測定値幅をａ２として、遷移領域（Ａ２）全体の測定値幅をｂ２とした場合に、補正値Ｐ４をＰ４＝Ｒ１＋（ＦＰ２－Ｒ１）×ａ２／ｂ２－ｃ１／２で求める。

　この態様によれば、遷移領域のヒステリシス補正において、定常領域に関して行う誤差補正を行うので、計算量を低減できる。

　第５の態様に係る磁気センサシステム（１）の距離計測方法は、磁気センサ（２）と、第１方向において磁気センサ（２）と並んでおり、磁気センサ（２）に対して第１方向と交差する第２方向に相対的に移動する磁気スケール（３）とを有する磁気センサシステム（１）に用いられる。この距離計測方法は、磁気センサ（２）の出力信号を磁気センサ（２）又は磁気スケール（３）の移動距離情報に変換する変換ステップ（Ｓ３、Ｓ５）を備えている。変換ステップ（Ｓ３、Ｓ５）は、磁気センサ（２）又は磁気スケール（３）の移動方向情報に基づいて、出力信号をヒステリシス補正することで移動距離情報に変換する補正ステップ（Ｓ３、Ｓ５）を含んでいる。

　第６の態様に係る磁気センサシステム（１）の距離計測方法では、第５の態様において、出力信号は、定常領域における出力信号である第１出力信号と、磁気センサ（２）又は磁気スケール（３）の移動方向転換直後の領域である遷移領域（Ａ１、Ａ２）における出力信号である第２出力信号とを含んでいる。補正ステップ（Ｓ３、Ｓ５）は、移動方向情報に基づいて、定常領域と遷移領域（Ａ１、Ａ２）とで異なるヒステリシス補正を行う。

　この態様によれば、遷移領域（Ａ１、Ａ２）に対して定常領域と異なるヒステリシス補正を行うことで、磁気センサ（２）の磁気スケール（３）に対する相対移動の折り返し直後の領域における位置情報が安定する。

　第７の態様に係る磁気センサシステム（１）の距離計測方法では、補正ステップ（Ｓ３、Ｓ５）は、第２出力信号を定常領域と同じ大きさの誤差が得られるように変換し（Ｓ３）、変換後の第２出力信号に対して定常領域に関して行う誤差補正を行う（Ｓ５）。

　第２～第４の態様に係る構成については、磁気センサシステム（１）に必須の構成ではなく、適宜省略可能である。

　第６～第７の態様に係る構成については、磁気センサシステム（１）の距離計測方法に必須の構成ではなく、適宜省略可能である。

１　　：磁気センサシステム
２　　：磁気センサ
３　　：磁気スケール
４　　：リニアステージ
５　　：制御システム
６　　：制御部
７　　：Ａ／Ｄコンバータ
８　　：移動距離変換部
９　　：ヒステリシス補正部
Ａ１　：遷移領域
Ａ２　：遷移領域
Ｓ３，Ｓ５　変換ステップ（補正ステップ）

Claims

　磁気センサと、
　第１方向において前記磁気センサと並んでおり、前記磁気センサに対して前記第１方向と交差する第２方向に相対的に移動する磁気スケールと、
　前記磁気センサの出力信号が入力されるとともに、前記出力信号を移動距離情報に変換する変換部と、
　前記変換部からの前記移動距離情報が入力されるとともに、前記磁気センサ又は前記磁気スケールに移動指示を行う制御部と、を備え、
　前記変換部は、ヒステリシス補正部を含み、
　前記制御部は、前記ヒステリシス補正部に対して、前記磁気センサ又は前記磁気スケールの移動方向情報を出力し、
　前記ヒステリシス補正部は、前記移動方向情報に基づいて、前記出力信号をヒステリシス補正することで前記移動距離情報に変換する、
　磁気センサシステム。
　前記出力信号は、定常領域における出力信号である第１出力信号と、前記磁気センサ又は前記磁気スケールの移動方向転換直後の領域である遷移領域における出力信号である第２出力信号とを含んでおり、
　前記ヒステリシス補正部は、前記移動方向情報に基づいて、前記定常領域と前記遷移領域とで異なるヒステリシス補正を行う、
　請求項１に記載の磁気センサシステム。
　前記ヒステリシス補正部は、前記第２出力信号を、前記定常領域と同じ大きさの誤差が得られるように変換し、変換後の前記第２出力信号に対して前記定常領域に関して行う誤差補正を行う、
　請求項２に記載の磁気センサシステム。
　前記ヒステリシス補正部は、
　前記定常領域において前記磁気センサが第１の向きに移動する場合の補正値をＰ１として、測定値をＦＰ１として、前記定常領域において前記磁気センサが前記第１の向きに移動する場合と前記第１の向きとは逆の向きである第２の向きに移動する場合の合計誤差をｃ１とした場合に、補正値Ｐ１をＰ１＝ＦＰ１＋ｃ１／２で求め、
　前記定常領域において前記磁気センサが前記第２の向きに移動する場合の補正値をＰ２として、測定値をＲＰ１とした場合に、補正値Ｐ２をＰ２＝ＲＰ１－ｃ１／２で求め、
　前記磁気センサが前記第１の向きから前記第２の向きに方向変換した直後の前記遷移領域の補正値をＰ３として、測定値をＲＰ２として、前記磁気センサが前記第１の向きから前記第２の向きに方向変換するときの折り返し測定値をＲ０として、前記遷移領域全体に対応する前記定常領域の測定値幅をａ１として、前記遷移領域全体の測定値幅をｂ１とした場合に、補正値Ｐ３をＰ３＝Ｒ０－（Ｒ０－ＲＰ２）×ａ１／ｂ１＋ｃ１／２で求め、
　前記磁気センサが前記第２の向きから前記第１の向きに方向変換した直後の前記遷移領域の補正値をＰ４として、測定値をＦＰ２して、前記磁気センサが前記第２の向きから前記第１の向きに方向変換するときの折り返し測定値をＲ１として、前記遷移領域全体に対応する前記定常領域の測定値幅をａ２として、前記遷移領域全体の測定値幅をｂ２としとした場合に、補正値Ｐ４をＰ４＝Ｒ１＋（ＦＰ２－Ｒ１）×ａ２／ｂ２－ｃ１／２で求める、
　請求項３に記載の磁気センサシステム。
　磁気センサと、第１方向において前記磁気センサと並んでおり、前記磁気センサに対して前記第１方向と交差する第２方向に相対的に移動する磁気スケールとを有する磁気センサの距離計測方法であって、
　前記磁気センサの出力信号を前記磁気センサ又は前記磁気スケールの移動距離情報に変換する変換ステップを備え、
　前記変換ステップは、前記磁気センサ又は前記磁気スケールの移動方向情報に基づいて、前記出力信号をヒステリシス補正することで前記移動距離情報に変換する補正ステップを含んでいる、
磁気センサシステムの距離計測方法。