JP7237470B2 - プローブ組立体 - Google Patents

Description

本発明は、プローブ組立体に関し、例えば、フラットパネルディスプレイ等の平板状被検査体の電気的試験に用いられるプローブ組立体に適用し得るものである。

例えば、液晶パネルディスプレイ装置の製造工程では、液晶パネルディスプレイ装置に用いられる液晶パネルのガラス基板上のＴＦＴアレイ回路の機能検査及び配線の断線、ショート検出を目的とした検査（以下では、「アレイ検査」と呼ぶ。）が行なわれる。一般に、アレイ検査は、液晶パネルの縁部に設けられている回路の複数の検査用テストパッドに、検査装置を用いて電気信号を印加して、ガラス基板上の各ＴＦＴが正しく機能するか否かを検査する。

検査装置は、プローブユニットを備えており、プローブユニットは、液晶パネルの回路の電極と電気的に接続する複数のプローブを有するプローブ組立体を備えている（特許文献１参照）。

従来、液晶パネルの各ＯＬＢに、プローブ組立体の各プローブを電気的に接続させる方法には様々な方法があるが、その１つとして図１２に例示するような方法がある。なお、図１２は、説明を容易にするために、２個の電極端子７０－１、７０－２のみを示しているが、実際の構成はこれに限定されない。

図１２の例は、液晶パネルの各ＯＬＢ７０－１、７０－２に検査用テストパッド８０－１～８０－４を接続させて、検査用テストパッド８０－１～８０－４を介してプローブ組立体９０－１～９０－４の各プローブ９１と液晶パネルの各ＯＬＢ７０－１～７０－２の電極とを電気的に接続させる方法である。

具体的には、例えば、１個のＯＬＢ７０－１を２分割して、１個のＯＬＢ７０－１の各電極端子に、２個の検査用テストパッド８０－１及び８０－２を接続させて、更に、各検査用テストパッド８０－１及び８０－２の各電極に、プローブ組立体９０－１及び９０－２の各プローブ９１を電気的に接続させている。つまり、１個のＯＬＢ７０に対して、２個の検査用テストパッド８０と、２個のプローブ組立体９０とを対応させている。

また、従来のプローブ組立体は、複数の板状のプローブと、各プローブの位置を決めるための位置決め部材（位置決めピン）とを有している。板状の各プローブの中央領域付近には、位置決め部材を挿通するためのガイド穴が設けられており、複数のプローブを配列させた状態で、位置決め部材を各プローブのガイド穴に挿通させて、各プローブの位置を固定している。

特開平１０－１３２８５３号公報

液晶パネルの１個のＯＬＢに接続させた２個の検査用テストパッドの間隔は非常に狭い。そのため、各検査用テストパッドと接触させている２個のプローブ組立体の間隔も非常に狭くなる。従って、プローブ組立体の間のクリアランスを確保することが難しく、プローブ組立体を交換するときの作業性が良好でないという課題がある。そのため、プローブ組立体の長手方向（複数のプローブの配列方向）の長さを長くして、２個の検査用テストパッドに対して１個のプローブ組立体を対応させることが望まれている。

しかしながら、プローブ組立体の長手方向の長さを長くすることに伴い、位置決め部材の長さも長くなり、かつ、位置決め部材が支持するプローブ数も増加するため、図１３に示すように、位置決めピンの剛性が不足する。そうすると、検査用テストパッドの各電極に対して各プローブが接触したときに、コンタクト荷重により位置決め部材が撓み、検査用テストパッドの各電極に対する各プローブの接触性が不安定になるおそれがある。

そのため、位置決め部材の剛性を補強して、複数の検査用テストパッドの各電極に対する各プローブの接触性を良好とすることができ、交換時の作業性を良好とすることができるプローブ組立体が求められている。

かかる課題を解決するために、本発明に係るプローブ組立体は、（１）支持部材と、（２）第１の接触対象と接触する第１の接触部と、第２の接触対象と接触する第２の接触部とを有する複数の帯状のプローブを備え、複数のプローブのそれぞれを支持部材の長手方向に配列させた複数のプローブ群と、（３）各プローブ群の各プローブの中央領域を貫通させて、各プローブ群の各プローブを支持する複数の位置決め部材と、（４）支持部材において配列されるプローブ群の間に配置され、各プローブを支持する各位置決め部材の中央部付近を支持する位置決め部材中央部支持部材と、を備え、支持部材は、各プローブ群を支持する部材であって、支持部材の上面にはＬ字状の凹部が設けられ、Ｌ字状の凹部は、支持部材の長手方向に対して垂直方向に支持部材を貫通する貫通孔と、支持部材の上面において窪んだ凹部とを有し、位置決め部材中央部支持部材はＬ字形状の板状部材であり、Ｌ字形状の板状部材における一方の板状部材は、各位置決め部材がそれぞれ貫通する複数のガイド穴が設けられており、各位置決め部材の撓みを防止するとともに、各位置決め部材を支持する位置決め部材支持部であり、Ｌ字形状の板状部材における他方の板状部材は、位置決め部材支持部を支持する固定部であり、位置決め部材中央部支持部材の位置決め部材支持部は、支持部材の貫通孔に挿通され、位置決め部材中央部支持部材の固定部は、支持部材の上記窪んだ凹部の底面と接触するよう収まって上記支持部材に固定されている、ことを特徴とする。

本発明によれば、位置決め部材の剛性を補強して、複数のテストパッドの各電極に対する各プローブの接触性を良好とすることができ、交換時の作業性を良好とすることができる。

図３のＡ－Ａ線矢視断面図である。 第１の実施形態に係るプローブ組立体の正面図である。 第１の実施形態に係るプローブ組立体の平面図である。 第１の実施形態に係るプローブ組立体の底面図である。 第１の実施形態に係るプローブ組立体の右側面図である。 図２のＢ－Ｂ線矢視断面図である。 図１のＣ－Ｃ線矢視断面図である。 第１の実施形態に係るプローブ組立体の分解図である。 第１の実施形態に係る検査装置の測定部におけるプローブユニットの構成を示す斜視図である 第１の実施形態に係るプローブユニットの主な構成を示す構成図である。 第１の実施形態に係るプローブユニットのプローブ機構を示す側面断面図である。 従来の液晶パネルの各電極とプローブ組立体の各プローブとを電気的に接触させる方法を説明する説明図である。 従来のプローブ組立体における位置決め部材の変形を説明する説明図である。 変形実施形態に係る補強部材の構成を示す構成図である。 第１の実施形態に係るサイドカバーの構成を示す構成図である。

（Ａ）第１の実施形態
以下では、本発明に係るプローブ組立体の第１の実施形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。

第１の実施形態では、本発明を利用して、液晶（ＬＣＤ）パネルの検査を行なう検査装置に適用する場合を例示する。なお、被検査体は、液晶パネルに限定されるものではなく、有機ＥＬ等の平板状パネルにも適用できる。

（Ａ－１）第１の実施形態の構成
［検査装置及びプローブユニット］
まず、図９～図１１を参照して、第１の実施形態に係る検査装置及びプローブユニットの構成を説明する。

液晶パネルのアレイ検査を行なう検査装置は、主として、パネルセット部（図示しない）と、測定部１００とを有する。

パネルセット部は、外部からのＬＣＤパネル５を測定部１００に搬送し、測定部１００における検査終了後に、ＬＣＤパネル５を外部へ搬送する装置である。

測定部１００は、パネルセット部から搬送されてきたＬＣＤパネル５を支持して、ＬＣＤパネル５の検査を行なう装置である。測定部１００は、図９に示すように、プローブユニット２と、ＬＣＤパネル５を支持するワークテーブル５０とを有する。また、プローブユニット２は、プローブベース３、複数のプローブ組立体１、複数の支持部４、複数の接続ケーブル６を有して構成される。

プローブベース３は、プローブ組立体１を支持している複数の支持部４を支持する部材である。プローブベース３は板状の部材である。プローブベース３の一端部に複数の支持部４を配列させるようにして支持しており、複数の支持部４を、ワークテーブル５０上のＬＣＤパネル５と対向する状態とする。

各支持部４は、プローブベース３に支持された状態で、プローブ組立体１を支持する部材である。各支持部４の基端側はプローブベース３に支持され部分であり、各支持部４の先端側はプローブ組立体１を支持する部分である。図１０に示すように、支持部４は、プローブベース３に直接取り付けられて全体を支持するサスペンションブロック７と、このサスペンションブロック７の先端部に支持されるスライドブロック８と、このスライドブロック８の内側面（図１０中の下側面）に一体的に取り付けられたプローブプレート９とを備えて構成されている。

プローブ組立体１は、ＬＣＤパネル５の回路の電極と接続している検査用テストパッド８０の電極に接触して、検査用テストパッド８０を介してＬＣＤパネル５の回路に検査信号を伝えるための部材である。プローブ組立体１は、プローブプレート９の下面に取り付けられている。

プローブ組立体１の詳細な説明については後述するが、プローブ組立体１は、少なくとも、支持部材１０と、複数のプローブ１１を有して構成されている。支持部材１０は、プローブプレート９の下面に位置しており、複数のプローブ１１は、支持部材１０の下側に位置している。各プローブ１１は、板状の部材であり、図１３に示すように、ＬＣＤパネル５の回路の電極に接続している検査用テストパッド８０の各電極（以下、「第１の接触対象」とも呼ぶ。）と電気的に接触する第１の先端部（以下、「第１の接触部」とも呼ぶ。）１１３と、接続ケーブル部６の各端子（以下、「第２の接触対象」とも呼ぶ。）と電気的に接触する第２の先端部（以下、「第２の接触部」とも呼ぶ。）１１４とを有している。

接続ケーブル部６は、プローブ１１と外部装置（図示しない）とを電気的に接続するための部材である。具体的に、接続ケーブル部６は、プローブ１１の第２の先端部１１４とプローブベース３側の回路とに直接的に接続されており、このプローブベース３側の回路を介して外部装置と電気的に接続されている。すなわち、接続ケーブル部６は、プローブ組立体１のプローブ１１と外部装置とを、プローブベース３のプリント基板を介して電気的に接続している。

図１１に示すように、接続ケーブル部６は、ＦＰＣプレート５１と、駆動用集積回路５２と、ＦＰＣケーブル５３とを有して構成されている。

ＦＰＣプレート５１は、接続ケーブル部６をプローブ組立体１側に固定するための部材であり、プローブプレート９の下側に取り付けられている。

駆動用集積回路５２は、ＬＣＤパネル５の検査に係る処理を行なう装置である。駆動用集積回路５２は、ＦＰＣプレート５１の下側に位置している。駆動用集積回路５２の一端はＦＰＣケーブル５３に接続されており、駆動用集積回路５２の他端は、図示しない各配線を介して各端子に接続されている。駆動用集積回路５２の他端が接続する各端子が、各プローブ１１の第２の先端部１１４と電気的に接触するものである。

ＦＰＣケーブル５３は、外部装置からの電気信号を駆動用集積回路５２に伝えるケーブルである。ＦＰＣケーブル５３の一方は、ＦＰＣプレート５１に固定されて駆動用集積回路５２に電気的に接続され、ＦＰＣケーブル５３の他方は、プローブベース３の下側に設けられたプリント基板(図示せず)に接続されている。これにより、ＦＰＣケーブル５３は、このプリント基板を介して外部装置と電気的に接続されている。

［プローブ組立体］
次に、図１～図８を参照して、第１の実施形態に係るプローブ組立体１の構成を、詳細に説明する。

以下では、図１の上下方向に従って「上」、「下」を言及し、図１の左右方向に従って「左」、「右」、図１の手前側、奥側に従って「前方」、「後方」を言及する。

プローブ組立体１は、主に、支持部材１０、複数のプローブ１１、サイドカバー１２及び１３、２個の位置決め部材１４（１４－１、１４－２）、補強部材１５を有する。

１個のプローブ組立体１は、２個の検査用テストパッド８０－１及び８０－２に対して同時に接触可能なものである。

図２に示すように、プローブ組立体１の長手方向の長さは、検査用テストパッド８０－１及び８０－２の２個分の長さに、２個の検査用テストパッド８０－１及び８０－２の間の間隔長を加えた長さを有する。また、１個のプローブ組立体１は、２個の検査用テストパッド８０－１及び８０－２と同時に接触させるだけの数のプローブ１１を有する。これにより、１個のプローブ組立体１の各プローブ１１が、２個の検査用テストパッド８０－１及び８０－２の各電極に対して同時に接触させることができるので、プローブ組立体１の交換時の作業性を良好とすることができる。

例えば、１個の検査用テストパッド８０と接触する従来のプローブ組立体の長手方向の長さが、例えばＸｍｍ程度であったとすると、第１の実施形態のプローブ組立体１の長手方向の長さは、従来の２倍の長さ（すなわち、２Ｘｍｍ程度）に、２個の検査用テストパッド８０－１及び８０－２の間の間隔長（例えば、１．５～２．５ｍｍ程度）を加えた長さとすることができる。また例えば、１個の検査用テストパッド８０の電極に接触させる従来のプローブ組立体が例えばＹ個のプローブ１１を有しているとすると、第１の実施形態のプローブ組立体１は例えば２Ｙ個のプローブ１１を有するものとすることができる。

なお、１個の検査用テストパッド８０の長さや電極の数は検査方法の運用により変更されるため、これに応じて、プローブ組立体１の長さやプローブ１１の数も変更可能である。いずれにしても、第１の実施形態のプローブ組立体１の各プローブ１１は、２個の検査用テストパッド８０－１及び８０－２の各電極に対して同時に接触させることができる。

［支持部材］
支持部材１０は、複数のプローブ１１を支持する部材である。図４に示すように、支持部材１０の下面の長手方向に伸びる端部には、複数のスリット部３５を有するプローブ支持部１０１及び１０２が設けられている。プローブ支持部１０１及び１０２に設けられている各スリット部３５は、プローブ支持部１０１とプローブ１０２との間で対応する位置関係にあり、各プローブ１１の両端部が各スリット部３５に嵌め込まれることで、各プローブ１１を支持することができる。

プローブ支持部１０１及び１０２の各スリット部３５に各プローブ１１の両端部が嵌られた状態で、各プローブ１１のガイド穴１１１及び１１２に、位置決め部材１４が挿通される。これにより、複数のプローブ１１の位置を固定することができる。

支持部材１０は、非導電性を有する部材であり、例えば、絶縁部材により形成されたものとしてもよいし、支持部材１０の全部若しくはプローブ１１と接触する一部分の表面に絶縁層を被膜したりしてもよい。

［プローブ］
各プローブ１１は、検査用テストパッド８０の各電極と、接続ケーブル部６側の各端子との間で電気信号を伝える部材である。検査用テストパッド８０は、液晶パネルの回路の各電極と接続しているので、各プローブ１１は、検査用テストパッド８０の各電極を介して液晶パネルの各電極と電気的に接続する。

図６に示すように、各プローブ１１の中央領域から前方（検査用テストパッド８０側）に向けて伸びた部分の先端には、検査用テストパッド８０の各電極と電気的に接触する第１の先端部１１３を有し、中央領域から後方（検査装置側）に向けて伸びた部分の先端には、検査装置と電気的に接続する各配線と電気的に接触する第２の先端部１１４を有する。

第１の先端部１１３が検査用テストパッド８０の電極に電気的に接触し、また第２の先端部１１４が接続ケーブル部６の端子と電気的に接触して、液晶パネルのアレイ検査に必要な電気信号が導通される。なお、各プローブ１１は、導電性を有する金属板にエッチング加工を施して形成することができる。

図６に示すように、各プローブ１１は板状の導電性を有する帯状（帯状とは、板状、ブレード状の概念も含む。）の部材である。帯状の各プローブ１１の中央領域には、２個位置決め部材１４のそれぞれが貫通する２個のガイド穴１１１及び１１２が設けられている。

各ガイド穴１１１及び１１２の形状は、各位置決め部材１４の断面形状に応じた形状とすることができる。この実施形態では、位置決め部材１４の断面形状が円形である場合を例示するため、各ガイド穴１１１及び１１２も円形としている。また、各ガイド穴１１１及び１１２の径は、位置決め部材１４の貫通を許容するため、位置決め部材１４の断面形状の径よりもわずかに大きくすることができる。なお、ガイド穴１１１及び１１２のいずれか一方の形状を、中央領域の長手方向に伸びる長穴としてもよい。

複数のプローブ１１のそれぞれは、検査用テストパッド８０－１及び８０－２の各電極と対応する位置に配置される。そのため、検査用テストパッド８０－１の各電極と電気的に接触する複数のプローブを第１のプローブ群、検査用テストパッド８０－２の各電極と電気的に接触する複数のプローブを第２のプローブ群とも呼ぶ。

従って、検査用テストパッド８０－１及び８０－２との間は所定の間隔長（例えば、１．５～２．５ｍｍ程度）だけ離れているので、検査用テストパッド８０－１の各電極と接触する第１のプローブ群と、検査用テストパッド８０－２の各電極と接触する第２のプローブ群との間も離れて配置される。

なお、この実施形態では、プローブ１１の接触対象とする検査用テストパッド８０の各電極が一列に配列されており、各電極の配列に従って、各プローブ１１の第１の先端部１１３の位置も一列となっている場合を例示した。しかし、プローブ１１の接触対象である各電極が千鳥状に配列されている場合には、千鳥状に配列された各電極の並びに応じて、各プローブ１１の第１の先端部１１３の位置が異なるものとしてもよい。換言すると、複数のプローブ１１のうち、それぞれ形状が異なるプローブ１１を含むようにしてもよい。

［位置決め部材］
位置決め部材１４（１４－１、１４－２）は、支持部材１０のプローブ支持部１０１及び１０２の各スリット部３５に各プローブ１１が嵌合された状態で、各プローブ１１の各ガイド穴１１１及び１１２を貫通させて、複数のプローブ１１の位置決めをするものである。各位置決め部材１４－１及び１４－２は、絶縁部材で形成したり、又は絶縁層を被膜することにより形成したりすることができる。

図４及び図６に示すように、プローブ組立体１の長手方向に沿って、中心の位置を同じにした２個の位置決め部材１４－１及び１４－２を配列している。これにより、各プローブ１１の第１の先端部１１３及び第２の先端部１１４の位置を安定させることができるので、検査用テストパッド８０の各電極及び検査装置と接続する各配線との電気的接触を確実にすることができる。

また、各位置決め部材１４－１及び１４－２は、長手方向に沿って長い丸棒状の部材を用いることができる。各位置決め部材１４－１及び１４－２の断面形状の径は、特に限定されるものではないが数ｍｍ程度とすることができ、各位置決め部材１４－１及び１４－２が挿通される各プローブ１１のガイド穴１１１及び１１２の径も、各位置決め部材１４－１及び１４－２の断面形状の径よりもわずかに大きくすることができる。

［サイドカバー］
サイドカバー１２及び１３は、複数のプローブ１１のガイド穴１１１及び１１２に位置決め部材１４－１及び１４－２が挿通された状態で、位置決め部材１４－１及び１４－２の抜けを防止するため、各位置決め部材１４－１及び１４－２の両端部を固定するものである。

図５は、プローブ組立体１の右側に設けられたサイドカバー１２の構成であり、図１及び図５を用いて、右側のサイドカバー１２の構成を説明するが、左側のサイドカバー１３も同様の構成である。

サイドカバー１２は略矩形の板状部材である。サイドカバー１２は、各位置決め部材１４－１及び１４－２の端部を支持するため、各位置決め部材１４－１及び１４－２と対応する位置に２個の支持穴１２３を有する。２個の支持穴１２３はそれぞれ、図１５に示すようにザグリ加工が施されている。すなわち、２個の支持穴１２３の外側面１２３ａの開口部の径は、位置決め部材１４－１及び１４－２の径よりも小さくなっており、位置決め部材１４－１及び１４－２の抜け落ちを防止している。また、サイドカバー１２の両端部付近には、支持部材１０に固定するための固定部１２２が設けられている。このように、複数のプローブ１１のガイド穴１１１及び１１２に位置決め部材１４－１及び１４－２が挿通された状態で、サイドカバー１２を支持部材１０に対して固定することで、固定する位置決め部材１４－１及び１４－２の抜けを防止することができる。

［補強部材］
プローブ組立体１が２個の検査用テストパッド８０－１及び８０－２に対応可能であるため、各位置決め部材１４－１及び１４－２の長手方向の長さも従来の位置決め部材よりも長くなる。

そうすると、各位置決め部材１４－１及び１４－２が支持するプローブ１１の数が増えるので、検査用テストパッド８０－１及び８０－２の電極に対するコンタクトの際に、各位置決め部材１４－１及び１４－２に大きな荷重が生じ得、各位置決め部材１４－１及び１４－２の剛性不足のため、各位置決め部材１４－１及び１４－２の中央部付近で撓みが生じ得る。その結果、検査用テストパッド８０－１及び８０－２の各電極に対する各プローブ１１の接触性が確実にならないことが生じ得る。

そこで、この実施形態のプローブ組立体１は、その中央部付近で、各位置決め部材１４－１及び１４－２を支持するための補強部材１５を備える。

図８に示すように、補強部材１５は、略Ｌ字形状であり、上面支持部２１と、２個の位置決め部材１４－１及び１４－２の撓みを防止する位置決め部材支持部２２とを有する。

補強部材１５は、非導電性を有する金属部材で形成することができる。非導電性の金属部材で補強部材１５を形成することにより、補強部材１５の厚さを比較的薄く形成することができると共に、各位置決め部材１４を支持するための強度を保つことができる。

図１に示すように、支持部材１０の上面には、Ｌ字状の凹部３１が設けられている。Ｌ字状の凹部３１は、支持部材１０の長手方向に対して垂直方向に支持部材１０を貫通する貫通孔３１１と、支持部材１０の上面において窪んだ凹部３１２とを有する。Ｌ字状の凹部３１のうち、下向きの貫通孔３１１には、位置決め部材支持部２２が挿通され、支持部材１０の上面の凹部３１２には、当該凹部３１２の底面と接触するように上面支持部２１が収まる。

支持部材１０において上記貫通孔３１１は、支持部材１０の長手方向の略中央部に位置しているため、上記貫通孔３１１に位置決め部材支持部２２が挿通されることにより、位置決め部材支持部２２は位置決め部材１４の略中央部を支持することができる。

ここで、図７及び図８に示すように、位置決め部材支持部２２には、各位置決め部材１４－１及び１４－２を貫通するためのガイド穴２２１及び２２２が設けられている。プローブ組立体１を組み立てる際、位置決め部材１４－１及び１４－２を複数のプローブ１１のガイド穴１１１及び１１２に貫通させるときに、補強部材１５が支持部材１０に取り付けられる。そのため、位置決め部材１４－１及び１４－２は、複数のプローブ１１を貫通させると共に、補強部材１５の位置決め部材支持部２２も貫通させることができる。

これにより、プローブ組立体１の略中央部付近、すなわち各位置決め部材１４－１及び１４－２の略中央部付近で、補強部材１５の位置決め部材支持部２２が位置決め部材１４－１及び１４－２を支持することができる。その結果、剛性不足のために撓みが生じ得る位置決め部材１４－１及び１４－２を支持することができ、各プローブ１１の検査用テストパッド８０－１及び８０－２の各電極の接触性を確実にすることができる。

また、支持部材１０において上記貫通孔３１１は、検査用テストパッド８０－１の各電極と接触するプローブ群と、検査用テストパッド８０－２の各電極と接触するプローブ群との間に位置している。従って、上記貫通孔３１１に、補強部材１５の位置決め部材支持部２２が挿通されると、検査用テストパッド８０－１の各電極と接触するプローブ群と、検査用テストパッド８０－２の各電極と接触するプローブ群との間、すなわち検査用テストパッド８０－１及び８０－２の間に、位置決め部材支持部２２が配置されることになる。したがって、上記貫通孔３１１から位置決め部材支持部２２が挿通されても、位置決め部材支持部２２は検査に支障がない位置に配置される（すなわち邪魔とならず）。

また、位置決め部材支持部２２の長手方向の厚さ（長さ）を、検査用テストパッド８０－１及び８０－２の間隔長と同程度の厚さ、若しくは、検査用テストパッド８０－１及び８０－２の間隔長より短い厚さ、とすることができるので、各位置決め部材１４－１及び１４－２をしっかりと支持することができる。

上面支持部２１は、支持部材２０の上面の凹部３１２の底面と接触するように設けられており、各位置決め部材１４－１及び１４－２を支持する位置決め部材支持部２２を支持する部分である。

上面支持部２１には、補強部材１５が支持部材１０の凹部３２に装着した場合における上面支持部２１の長手方向に沿って、２個の位置決めピン用穴部２３１及び２３２がある。一方、支持部材１０の上面の凹部３１２には、支持部材２０の長手方向に沿って、円柱形状の２個の位置決めピン３３及び３４が設けられている。そのため、補強部材１５を凹部３２に装着する際に、凹部３１２の２個の位置決めピン３３及び３４が、上面支持部２１の２個の位置決めピン用穴部２３１及び２３２に嵌められるようになっている。これにより、支持部材１０における補強部材１５の位置を確実にすると共に、補強部材１５を固定することができる。

ここで、図３に示すように、支持部材１０上面の凹部３１２の２個の位置決めピン３３及び３４（上面支持部２１の２個の位置決めピン用穴部２３１及び２３２）の中心は、支持部材１０の長手方向に沿った同軸上に設けるようにしている。より具体的には、支持部材１０の幅の中点を通り長手方向に伸びる軸上に、２個の位置決めピン３３及び３４がある。

これは、各プローブ１１が検査用テストパッド８０－１及び８０－２の各電極に対して接触（コンタクト）する際に、荷重を受けた位置決め部材１４－１及び１４－２を支持する位置決め部材支持部２２にも、上向きの荷重（検査用テストパッドの電極とは反対側の方向）が作用し、これにより補強部材１５自体にモーメント（回転力）が生じ得る。このモーメントが、位置決め部材１４－１及び１４－２を支持する補強部材１５に影響を与えて、各プローブ１１の接触性にも影響が生じ得る。

そこで、支持部材１０の長手方向に沿った同軸上に、位置決めピン３３及び３４を設け、補強部材１５の装着の際に、補強部材１５の位置決めピン用穴部２３１及び２３２を、位置決めピン３３及び３４に差し込むことにより、上記のような補強部材１５の回転を防ぐことができる。

また、上面支持部２１には、上面支持部２１の長手方向に対して垂直な方向に、２個の貫通孔２１１及び２１２が設けられており、各貫通孔２１１及び２１２に、固定ビス等の各固定部１５１が挿通されて固定される。これにより、支持部材１０に装着する補強部材１５をしっかりと固定することができる。

（Ａ－２）第１の実施形態の効果
以上のように、第１の実施形態によれば、２個の検査用テストパッドの各電極に対応可能なプローブ組立体とすることにより、プローブ組立体を交換する時の作業性を良好とすることができる。

また、第１の実施形態のプローブ組立体は長手方向に長さが長くなるので、これに伴い複数のプローブの位置決めをする各位置決め部材の長さもなくなり、各位置決め部材の剛性不足のため、各位置決め部材が撓み、各プローブの接触性が悪化し得る。しかし、第１の実施形態のように、各位置決め部材を支持する補強部材１５を備えることにより、各位置決め部材の撓みを防止でき、検査用テストパッドに対する各プローブの接触性を良好とすることができる。

（Ｂ）他の実施形態
（Ｂ－１）上述した第１の実施形態では、補強部材がＬ字状の部材である場合を例示したが、補強部材はこれに限定されない。例えば、図１４（Ａ）及び１４（Ｂ）に例示するように、補強部材１５Ａ及び１５ＢがＴ字状の部材であってもよい。なお、この場合、図示しないが、補強部材１５Ａ及び１５Ｂを設ける支持部材１０の上面の凹部３１も、補強部材１５Ａ及び１５Ｂの形状に合わせた形状とする。このようにＴ字状の補強部材１５Ａ及び１５Ｂとすることにより、位置決め部材１４－１及び１４－２をより安定して支持することができる。

図１４（Ａ）の補強部材１５Ａは、４個の位置決めピン用穴部２３１～２３４を有しており、図１４（Ｂ）の補強部材１５Ｂは、２個の位置決めピン用穴部２３１５～２３６を有している場合を示している。Ｔ字状の補強部材１５Ａ及び１５Ｂとすることにより、安定して位置決め部材１４－１及び１４－２を支持できるので、図１４（Ｂ）に示すように、２個の位置決めピンとしてもよい。

また、上述した実施形態では、補強部材が支持部材とは異なる別部材である場合を例示したが、補強部材が支持部材と物理的に一体として形成されたものであってもよい。

（Ｂ－２）補強部材の位置決め部材支持部に設けられている各ガイド穴部は、位置決め部材を支持するために、円形の穴部である場合を例示したが、各ガイド穴部は、位置決め部材を支持することができるのであれば、円形の穴部の下部が開口していてもよい。つまり、各ガイド穴部が円弧形状の部材であってもよい。

（Ｂ－３）上述した第１の実施形態は、１個のプローブ組立体が、２個の検査用テストパッドに対応させるようにするため、１個のプローブ組立体が２個のプローブ群を有する場合を例示した。

しかし、１個のプローブ組立体が４個以上の検査用テストパッドに対応させるために、１個のプローブ組立体が、４個以上のプローブ群を備えるようにし、３個以上の補強部材をプローブ群の間にも設けるようにしてもよい。

（Ｂ－４）上述した第１の実施形態では、複数のプローブの位置を固定するために２個の位置決め部材を設ける場合を示した。安定して各プローブを固定するためには、２個の位置決め部材が望ましいが、１個の位置決め部材、若しくは、３個以上の位置決め部材とするようにしてもよい。

１…プローブ組立体、２…プローブユニット、３…プローブベース、４…支持部、５…液晶パネル、６…接続ケーブル、７…サスペンションブロック、８…スライドブロック、９…プローブプレート、
１０…支持部材、１０１及び１０２…プローブ支持部、３５…スリット部、
１１…プローブ、１１１及び１１２…ガイド穴、１１３…第１の先端部、１１４…第２の先端部、
１２及び１３…サイドカバー、１２２…固定部、１２３…支持穴、１４（１４－１、１４－２）…位置決め部材、
１５、１５Ａ及び１５Ｂ…補強部材、１５１…固定部、２１…上面支持部、２１１～２１４…貫通孔、２２…位置決め部材支持部、２２１及び２２２…ガイド穴、２３１～２３６…位置決めピン用穴部、
３１…凹部、３１１…貫通孔、３１２…凹部、３３及び３４…位置決めピン、
１００…検査装置の測定部、５０…ワークテーブル、８０（８０－１、８０－２）…検査用テストパッド、７０（７０－１、７０－２）…電極端子（ＯＬＢ）
５１…ＦＰＣプレート、５２…駆動用集積回路、５３…ＦＰＣケーブル。

Claims (4)

1. 支持部材と、
   第１の接触対象と接触する第１の接触部と、第２の接触対象と接触する第２の接触部とを有する複数の帯状のプローブを備え、上記複数のプローブのそれぞれを上記支持部材の長手方向に配列させた複数のプローブ群と、
   上記各プローブ群の上記各プローブの中央領域を貫通させて、上記各プローブ群の上記各プローブを支持する複数の位置決め部材と、
   上記支持部材において配列される上記プローブ群の間に配置され、上記各プローブを支持する上記各位置決め部材の中央部付近を支持する位置決め部材中央部支持部材と、
   を備え、
   上記支持部材は、上記各プローブ群を支持する部材であって、上記支持部材の上面にはＬ字状の凹部が設けられ、上記Ｌ字状の凹部は、上記支持部材の長手方向に対して垂直方向に上記支持部材を貫通する貫通孔と、上記支持部材の上面において窪んだ凹部とを有し、
   上記位置決め部材中央部支持部材はＬ字形状の板状部材であり、上記Ｌ字形状の板状部材における一方の板状部材は、上記各位置決め部材がそれぞれ貫通する複数のガイド穴が設けられており、上記各位置決め部材の撓みを防止するとともに、上記各位置決め部材を支持する位置決め部材支持部であり、上記Ｌ字形状の板状部材における他方の板状部材は、上記位置決め部材支持部を支持する固定部であり、
   上記位置決め部材中央部支持部材の上記位置決め部材支持部は、上記支持部材の上記貫通孔に挿通され、上記位置決め部材中央部支持部材の上記固定部は、上記支持部材の上記窪んだ凹部の底面と接触するよう収まって上記支持部材に固定されている、
   ことを特徴とするプローブ組立体。
2. 上記位置決め部材中央部支持部材の上記位置決め部材支持部の中央領域には、上記各プローブ群を支持する上記各位置決め部材を支持する複数のガイド穴を有することを特徴とする請求項１に記載のプローブ組立体。
3. 上記支持部材の上記窪んだ凹部の底面は、上記位置決め部材中央部支持部材の上記固定部の位置を決める位置決め部を有し、
   上記位置決め部材中央部支持部材の上記固定部は、上記支持部材の上記窪んだ凹部の底面にある上記位置決め部と嵌合する嵌合部を有する
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載のプローブ組立体。
4. 上記位置決め部材中央部支持部材の上記固定部が有する嵌合部が複数あり、
   上記支持部材の上記窪んだ凹部の底面の上記位置決め部が複数あり、
   上記複数の位置決め部が、上記支持部材の長手方向の同軸上に設けられている
   ことを特徴とする請求項３に記載のプローブ組立体。

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