JP2010125581A - ゴニオステージ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一部に球面部分112を有するテーブル部110と、前記球面部分112に当接して、前記テーブル部110を3点支持する支持部材211a〜211cと、前記テーブル部110に連結されて、前記テーブル部100のテーブル面111の向きを操作する面方向操作部220と、前記面方向操作部220の位置を変化させる面方向操作駆動部240と、前記テーブル部110と一体をなし、前記テーブル部110を、テーブル面111に垂直な軸を中心に回転させる回転操作部230と、前記回転操作部230の位置を変化させる回転操作駆動部250とを備える。
【選択図】図2
Description
110 テーブル部
111 テーブル面
112 球面部分
120 本体部
130 ケーブル
140 コネクタ
211 支持部
211a〜211c 3点支持部材
212 トップベース
213 ボトムベース
214 側壁部
220 面方向操作部
221 大径部
222 小径部
223 球面部
230 回転操作部
231 連結部
232 球面部
240 面方向操作駆動部
241 第1直動ステージ
242 第2直動ステージ
243 平板部材
244 柱状部材
245,246 モータ
247 引張コイルばね
250 回転操作駆動部
251 第3直動ステージ
252 平板部材
253 平行板
254 モータ
290 回転中心点
1000 ゴニオステージ装置
1020 面方向操作部
1021 円柱部
1022 円柱面部
1023 ばね取付部
1040 面方向操作駆動部
1044 柱状部材
Claims (14)
- 一部に球面部分を有するテーブル部と、
前記球面部分に当接して、前記テーブル部を支持する支持部と、
前記テーブル部に連結されて、前記テーブル部のテーブル面の向きを操作する面方向操作部と、
前記面方向操作部の位置を変化させる面方向操作駆動部と
を備えたことを特徴とするゴニオステージ装置。 - 前記テーブル部の前記球面部分が、前記支持部に常に当接しているように、前記テーブル部を付勢する付勢手段を更に備える
ことを特徴とする請求項1に記載のゴニオステージ装置。 - 前記面方向操作駆動部は、
前記面方向操作部の一部に当接する第一当接部を備え、
当該第一当接部を移動させることで、前記面方向操作部の位置を変化させる
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のゴニオステージ装置。 - 前記第一当接部は、前記面方向操作部の前記一部を収容可能な収容部を有し、当該収容部に、前記面方向操作部の前記一部を収容した状態で移動することで、前記面方向操作部の位置を変化させる
ことを特徴とする請求項3に記載のゴニオステージ装置。 - 前記面方向操作部は、前記第一当接部が当接する部分に球面部を備える
ことを特徴とする請求項3又は4に記載のゴニオステージ装置。 - 前記テーブル部と一体をなし、前記テーブル部を、前記テーブル面に垂直な軸を中心に回転させる回転操作部と、
前記回転操作部の位置を変化させる回転操作駆動部と
を更に備える
ことを特徴とする請求項5に記載のゴニオステージ装置。 - 前記回転操作駆動部は、
前記回転操作部の一部に当接する第二当接部を備え、
当該第二当接部を移動させることで、前記回転操作部の位置を変化させる
ことを特徴とする請求項6に記載のゴニオステージ装置。 - 前記第二当接部は、一組の平行板によって構成される
ことを特徴とする請求項7に記載のゴニオステージ装置。 - 前記回転操作部は、前記第二当接部が当接する部分に球面部を備える
ことを特徴とする請求項7又は8に記載のゴニオステージ装置。 - 前記回転操作部が備える前記球面部の中心と、前記面方向操作部が備える前記球面部の中心とを結ぶ線が、前記テーブル部のテーブル面と平行になるように、配置されている
ことを特徴とする請求項9に記載のゴニオステージ装置。 - 前記回転操作駆動部は、前記第二当接部を移動させる直動ステージを備える
ことを特徴とする請求項6〜10のいずれか一項に記載のゴニオステージ装置。 - 前記面方向操作部は、前記第一当接部が当接する部分に円柱面部を備える
ことを特徴とする請求項4に記載のゴニオステージ装置。 - 前記第一当接部の前記収容部は、矩形状の孔で構成され、
前記円柱面部の側面と、前記収容部の側面とが線接触する
ことを特徴とする請求項12に記載のゴニオステージ装置。 - 前記面方向操作駆動部は、前記第一当接部を移動させるXYステージを備える
ことを特徴とする請求項3〜13のいずれか一項に記載のゴニオステージ装置。
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JP2008305924A JP5325551B2 (ja) | 2008-12-01 | 2008-12-01 | ゴニオステージ装置 |
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JP5325551B2 JP5325551B2 (ja) | 2013-10-23 |
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101233077B1 (ko) | 2012-08-10 | 2013-02-14 | 김일남 | 고니오미터 |
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KR101474696B1 (ko) | 2014-09-18 | 2014-12-18 | (주)삼정오토메이션 | XY Theta 스테이지 |
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-
2008
- 2008-12-01 JP JP2008305924A patent/JP5325551B2/ja not_active Expired - Fee Related
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