JP2010197088A - ２軸チルトステージ - Google Patents

Abstract

【課題】２軸チルトステージにおいて、良好な操作性を有するとともに省スペース化を図ることができるようにする。
【解決手段】２軸チルトステージ１は、基台１１、傾斜台１２、支点部２０と、および駆動部３０Ａ、３０Ｂを備え、駆動部３０Ａ、３０Ｂは、駆動子３３Ａ、３３Ｂをつまみ３２の単位回転量当たり異なる送りピッチで進退させる直動部と、駆動子３３Ａ、３３Ｂの進退移動量を、回動方向の移動量に所定の変換比ｔａｎφで変換して傾斜台１２に伝達する傾斜ブロック３４とを備え、各傾斜ブロック３４は、各基準位置作用点ｑ、ｐが、回動軸から互いに異なる距離だけ離間されるように設けられ、これらの距離の比に応じて、所定送りピッチを互いに異なる値に設定することで、傾斜台１２の２軸方向の傾斜角の調整感度が略同一とされた構成とする。
【選択図】図２

Description

本発明は、２軸チルトステージに関する。例えば、干渉計の光学素子の位置調整などに好適に用いることができる２軸チルトステージに関する。

従来、干渉計の被検体やレンズなどの位置調整や、露光装置のウエハ位置決めなどでは、２軸チルトステージが用いられている。
例えば、特許文献１には、被検体であるガラスディスクを載置する移動ステージをチルトさせるため、移動ステージを保持する正方形板状のチルト基板と、チルト基板に対向して配置された正方形板状のプレートとを備え、プレートの１角にチルト基板を支持するピボット部が形成され、ピボット部が設けられた１角と隣り合い、互いに対角位置をなす２箇所の角部に、それぞれ、プレートとの対向方向に進退可能に設けられた傾き調整つまみが取り付けられ、プレートとチルト基板との間に圧縮ばねが介装されてなるチルトステージが記載されている。
このチルトステージでは、２箇所の傾き調整つまみの進退量を調整することによって、プレートに対するチルト基板の２軸方向の傾斜角を微小変化させることができるようになっている。

特開２００１−９１２３３号公報

しかしながら、上記のような従来の２軸チルトステージには、以下のような問題があった。
干渉計の被検体やレンズなどの位置調整や、露光装置のウエハ位置決めなど用いる２軸チルトステージでは、ステージ面の２軸方向の傾斜角を高精度に調整する必要がある。このため、調整作業の作業効率を高めるために、良好な操作性を備える必要がある。
特許文献１に記載の技術では、ピボット部と、各傾き調整つまみとが、正方形板状のプレートの３つの角部にそれぞれ設けられ、かつ、傾き調整つまみは、互いに対角位置に設けられる。これにより、各傾き調整つまみの進退量と２軸方向のチルト量とが一致されている。したがって、２軸方向のチルト量の調整感度が一致する点では、良好な操作性を有している。
しかしながら、このような構成では、傾き調整つまみが対角位置に配置されているため、より操作性を向上するために各傾き調整つまみの大きさを大きくしようとすると、傾き調整つまみ同士の距離を離す必要がある。このため、プレートの外形が大きくなり、装置が大型化してしまうという問題がある。この場合、個々の傾き調整つまみの操作性は向上するが、互いのつまみの位置が離れてしまうため、作業効率は悪化してしまう。
特に、特許文献１の装置のように、中心に測定光の光路を有する場合には、傾き調整つまみが光路に干渉しないように、傾き調整つまみをさらに外周側に配置する必要があるため、装置は一層大型化し、作業効率も悪くなってしまう。
傾き調整つまみを対角位置からずらして配置することで、プレートの大きさを低減し、各傾き調整つまみの位置をずらすことも考えられるが、ピボット部に対する距離を変えると、各傾き調整つまみの調整感度が互いに異なるものとなるので、所望の角度にチルトさせる場合に、チルトさせる方向によって、傾斜調整つまみの調整量（回転量）が違ってくるため、操作性が悪化するという問題がある。

本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、良好な操作性を有するとともに省スペース化を図ることができる２軸チルトステージを提供することを目的とする。

上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明では、傾斜の基準面を有する基台と、該基台の前記基準面と反対側に対向して配置された傾斜台と、前記基台と前記傾斜台との間に設けられ前記傾斜台を前記基台に対して回動可能に支持する支点部と、前記傾斜台を前記支点部の中心を通る２つの回動軸回りにそれぞれ回動させて、前記基台に対する前記傾斜台の２軸方向の傾斜角を変化させる２つの傾斜駆動機構とを備える２軸チルトステージであって、前記傾斜駆動機構は、前記基台に設けられ、棒状の駆動子を該駆動子の軸方向に進退させる直動部と、該直動部の進退移動量を調整する調整部と、前記直動部の前記駆動子の先端の進退移動量を、前記回動軸回りの回動方向の移動量に所定の変換比で変換して前記傾斜台に伝達する回動力伝達部とを備え、前記２つの傾斜駆動機構の各回動力伝達部は、前記傾斜台の傾斜角変化の基準位置の状態における回動力の伝達位置である各基準位置作用点が、前記回動軸から互いに異なる距離だけ離間されるように設けられ、
前記２つの傾斜駆動機構は、前記各基準位置作用点の前記回動軸からの距離の比に応じて、前記各調整部の単位調整量当たりの前記各駆動子の進退移動量、および前記各回動力伝達部の前記各所定の変換比の少なくともいずれかを、互いに異なる値に設定して、前記各調整部による前記傾斜台の２軸方向の傾斜角の調整感度が略同一となるようにした構成とする。
ここで、「２軸方向の傾斜角の調整感度が略同一」とは、調整部の単位調整量に対する傾斜角の変化量の大きさが、２つの傾斜駆動機構の間で略同一であることを意味する。

請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の２軸チルトステージにおいて、前記２つの傾斜駆動機構の前記回動力伝達部は、前記駆動子の先端が摺接されるガイド溝を有し、該ガイド溝の延設方向が、前記駆動子の軸方向および前記傾斜台の被傾斜面に対して傾斜された傾斜ブロックからなる構成とする。

請求項３に記載の発明では、請求項２に記載の２軸チルトステージにおいて、前記各傾斜ブロックの前記ガイド溝の延設方向の勾配を互いに等しくすることで、前記各所定の変換比の大きさを一致させるともに、前記２つの傾斜駆動機構における前記調整部の単位調整量当たりの前記駆動子の進退移動量の比率を前記基準位置作用点の前記回動軸からの距離の比率に一致させた構成とする。

請求項４に記載の発明では、請求項２に記載の２軸チルトステージにおいて、前記各調整部の単位調整量当たりの前記駆動子の進退移動量を一致させるとともに、前記２つの傾斜駆動機構における前記傾斜ブロックの前記ガイド溝の延設方向の勾配の比率を前記基準位置作用点の前記回動軸からの距離の比率に一致させた構成とする。

請求項５に記載の発明では、請求項１〜４のいずれかに記載の２軸チルトステージにおいて、前記傾斜駆動機構の前記直動部は、前記駆動子が、前記基台および前記傾斜台に挟まれる位置に配置された構成とする。

請求項６に記載の発明では、請求項１〜５のいずれかに記載の２軸チルトステージにおいて、前記２つの傾斜駆動機構の前記各調整部は、回転操作によって前記直動部の進退量を調整する回転操作部材を備え、前記２つの傾斜駆動機構の前記各直動部は、前記回転操作部材の単位回転量に応じて、前記駆動子が一定の送りピッチでねじ送りされるねじ送り機構を備える構成とする。

請求項７に記載の発明では、請求項６に記載の２軸チルトステージにおいて、前記傾斜駆動機構の前記回転操作部材は、前記基台および前記傾斜台の側方に設けられた構成とする。

請求項８に記載の発明では、請求項７に記載の２軸チルトステージにおいて、前記基台および前記傾斜台は、略矩形板状の部材からなり、前記２つの傾斜駆動機構の前記直動変換機構の前記駆動子の進退方向が、それぞれ前記基台および前記傾斜台の短辺に略沿う方向に設けられ、前記２つの傾斜駆動機構の前記回転操作部材が、それぞれ前記基台および前記傾斜台の一方の長辺側の側方に設けられた構成とする。

本発明の２軸チルトステージによれば、回動軸からの距離が互いに異なる位置にそれぞれの回動力伝達部の基準位置作用点が位置するため、基台の形状、大きさや、２つの傾斜駆動機構の配置位置の設定が容易となるとともに、２つの傾斜駆動機構の傾斜角の調整感度が略同一であるため、良好な操作性を有するとともに省スペース化を図ることができるという効果を奏する。

本発明の第１の実施形態に係る２軸チルトステージの模式的な平面図である。 図１のＡ−Ａ断面図およびＢ−Ｂ断面図である。 本発明の第１の実施形態に係る２軸チルトステージの回動力伝達部の模式的な斜視図である。 本発明の第１の実施形態に係る２軸チルトステージの一方の傾斜駆動機構の回動軸に直交する断面における模式的な動作説明図である。 本発明の第１の実施形態に係る２軸チルトステージの他方の傾斜駆動機構の回動軸に沿う方向の断面、および回動軸に直交する方向の断面における模式的な動作説明図、である。 本発明の第２の実施形態に係る２軸チルトステージの模式的な平面図である。 図４のＣ−Ｃ断面図およびＤ−Ｄ断面図である。

以下では、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一の符号を付し、共通する説明は省略する。

［第１の実施形態］
本発明の第１の実施形態に係る２軸チルトステージについて説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態に係る２軸チルトステージの模式的な平面図である。図２（ａ）、（ｂ）は、それぞれ図１のＡ−Ａ断面図およびＢ−Ｂ断面図である。図３は、本発明の第１の実施形態に係る２軸チルトステージの回動力伝達部の模式的な斜視図である。

本実施形態の２軸チルトステージ１は、例えば、光学機器の光軸調整、干渉計の光学素子の位置調整や露光装置のウエハの位置決めなどのため、ステージの被傾斜面の２軸方向の傾斜角を高精度に調整する場合に好適となるものである。このような用途では、傾斜角の変化範囲は、例えば、±１°程度の範囲の微小角となっている。
２軸チルトステージ１の概略構成は、図１、図２（ａ）、（ｂ）に示すように、基台１１、支点部２０、傾斜台１２、駆動部３０Ａ、３０Ｂ（傾斜駆動機構）、およびコイルばね４０からなる。

基台１１は、２軸チルトステージ１の底部を構成するもので、本実施形態では、一例として、矩形の板状部材からなる。基台１１の下面である基準面１１ａは、２軸チルトステージ１の傾斜の基準面を構成するとともに、例えば干渉計等の他の装置への設置面を兼ねている。
基準面１１ａと反対側の上面１１ｂ上には、基台１１の１つの隅部において、傾斜台１２を回動可能に支持するための支点部２０が設けられている。

支点部２０は、図２（ａ）に示すように、良好な真球度を有する鋼球２３、および受け台２２ａ、２２ｂからなる。
受け台２２ａは、下面側が基台１１の上面１１ｂの隅部に固定されている。また、受け溝２２ａの上面側には鋼球２３を一定位置に固定するため、半球状あるいはすり鉢状などの凹部形状からなる受け溝２２ｃを備えている。本実施形態の鋼球２３は受け溝２２ｃに固着され、受け台２２ａと一体化されている。
受け台２２ｂは、例えば、すり鉢状あるいは半球状など、鋼球２３の表面に摺接して鋼球２３の中心Ｏ回りに回動可能とされた凹部形状からなる受け溝２２ｄを備える。
受け溝２２ｄの反対側の面は、後述する傾斜台１２の下面１２ｂに固定されている。そして、受け溝２２ｄは、受け台２２ａと一体化された鋼球２３の中心Ｏ回りに回動可能に係止されている。
以下では、このように受け台２２ａ、２２ｂで挟持された鋼球２３の中心Ｏを、支点部２０の中心Ｏと称する。

傾斜台１２は、基台１１と略同一の大きさを有する矩形の板状部材であり、基台１１の基準面１１ａと反対に対向して配置されている。傾斜台１２および基台１１の大きさは、必ずしも同じである必要はないが、以下では、簡単のため、傾斜台１２が基台１１と同一の大きさを有し、それぞれの平面視の外形が、互いに重なり合うように対向して配置されているものとして説明する。
傾斜台１２の上面は、基台１１の基準面１１ａに対して傾斜させる面である被傾斜面１２ａを構成している。被傾斜面１２ａは、例えば、ミラーなどの光学素子やウエハなどのチルト調整を要する被検体を直接載置できるようになっていてもよいし、例えば、被検体であるレンズなどの光学素子を保持する保持治具などを載置できるようになっていてもよい。このため、被傾斜面１２ａの形状は、平面のみには限定されず、例えば、保持治具などを位置決めしたり固定したりするための適宜の凹凸形状や、ねじ穴等が設けられていてもよい。
被傾斜面１２ａの裏面である下面１２ｂには、受け台２２ａに対向する位置に支点部２０の受け台２２ｂが固定されている。

駆動部３０Ａは、支点部２０の中心Ｏを通り、基台１１の基準面１１ａに平行で、基台１１および傾斜台１２の長辺に略平行な直線Ｌ_Ｙ回りに、基準面１１ａに対する傾斜台１２の傾斜角を変化させるための傾斜駆動機構である。直線Ｌ_Ｙは、駆動部３０Ａのみによって傾斜台１２の傾斜角を変化させる場合の回動軸である。
本実施形態の駆動部３０Ａは、図２（ａ）に示すように、駆動子３３Ａ、ナット板３１Ａ、つまみ３２（回転操作部材）、および傾斜ブロック３４（回動力伝達部）を備える。
以下では、基準面１１ａに対して被傾斜面１２ａが平行となる位置を中心として、微小な角度±θの範囲で傾斜角を変化させる場合の例で説明する。すなわち、図１、図２（ａ）、（ｂ）に示すような基準面１１ａに対して被傾斜面１２ａが平行となる位置（被傾斜面１２ａの傾斜角が０°）が、傾斜角変化の基準位置である場合の例で説明する。
ただし、これは一例であって、傾斜角変化の基準位置は、０°以外の傾斜角に設定してもよいし、傾斜角変化の基準位置からの傾斜角変化範囲は非対称であってもよい。

駆動子３３Ａは、先端側に半球状の先端突起３３ｃを有し、後端側の外周部にねじピッチがｄ_Ａの雄ねじ部３３ａが形成された棒状部材である。
ナット板３１Ａは、基台１１の支点部２０からより離れた側の長辺近傍の上面１１ｂ上に、支点部２０と対向する位置に立設された板状の支持部材であり、駆動子３３Ａの雄ねじ部３３ａと螺合する雌ねじ部３１ａが設けられている。
ナット板３１Ａの雌ねじ部３１ａは、基準面１１ａに平行な平面内において、支点部２０の中心Ｏを通り、直線Ｌ_Ｙと直交する直線Ｌ_Ａに、雌ねじ部３１ａの中心軸線が同軸となる位置に設けられている。
本実施形態では、直線Ｌ_Ａは、基台１１および傾斜台１２の短辺に略平行な直線となっている。

つまみ３２は、駆動子３３Ａをその中心軸回りに回転させる回転操作を行うため、駆動子３３Ａの先端突起３３ｃと反対側の端部において駆動子３３Ａと固定された円板状の部材である。円板の中心軸は、駆動子３３Ａの中心軸線と同軸に整列されている。

このような構成により、つまみ３２を回転させると、ナット板３１Ａに螺合された駆動子３３Ａが回転角に応じて軸方向に螺進される。このため、駆動子３３Ａおよびナット板３１Ａは、駆動子３３Ａを直線Ｌ_Ａ上で進退する直動運動を行うねじ送り機構を構成しており、つまみ３２は回転操作部材を構成している。
また、駆動子３３Ａ、およびナット板３１Ａは、基台１１に設けられ、棒状の駆動子３３Ａを駆動子３３Ａの軸方向に進退させる直動部を構成している。
本実施形態では、つまみ３２は駆動子３３Ａに直結されているため、つまみ３２を一回転させると、駆動子３３Ａが、雄ねじ部３３ａのねじピッチｄ_Ａだけ進退するようになっている。以下では、ねじピッチｄ_Ａを駆動部３０Ａの送りピッチｄ_Ａと称する場合がある。

傾斜ブロック３４は、図２（ａ）、図３に示すように、外形が直角三角形状の板部材の斜辺部に、ガイド溝として先端突起３３ｃが摺接可能なＶ溝３４ｂを備える部材であり、斜辺に隣接する一辺である固定部３４ａにおいて、傾斜台１２の下面１２ｂに傾斜台１２と一体に固定されている。
Ｖ溝３４ｂは、Ｖ字状の溝内面を構成する１対の摺動面３４ｃが、傾斜ブロック３４の板厚方向の中心面に対して面対称に形成されている。
ここで、１対の摺動面３４ｃの交線３４ｄはＶ溝３４ｂの延設方向を示している。固定部３４ａに対するＶ溝３４ｂの延設方向のなす角をＶ溝３４ｂの傾斜角と称すると、Ｖ溝３４ｂの傾斜角は、角度φとされている。

駆動部３０Ａにおける傾斜ブロック３４は、図２（ａ）に示すように、傾斜ブロック３４の板厚方向の中心面が、直線Ｌ_Ａを含み基準面１１ａに直交する平面上に整列され、Ｖ溝３４ｂが、ナット板３１が設けられた長辺側から支点部２０が設けられた長辺側に向うとともに傾斜台１２側から基台１１側に向かって、角度φだけ傾斜して延ばされている。
また、この傾斜ブロック３４の直線Ｌ_Ａに沿う方向の配置位置は、傾斜角の基準位置において、Ｖ溝３４ｂの延設方向の中央部で駆動子３３Ａの先端突起３３ｃがＶ溝３４ｂに当接されるように設定されている。この状態で、先端突起３３ｃが各摺動面３４ｃに接する２点を点ｑで表すと、２点ｑと、駆動部３０Ａによる回動軸である直線Ｌ_Ｙとの距離は、いずれも距離Ｄ_Ａに設定されている。
ここで、２点ｑは、傾斜角の基準位置の状態において、先端突起３３ｃの進退に伴って発生する傾斜台１２に対する直線Ｌ_Ｙ回りの回動力を、傾斜ブロック３４に伝達する伝達位置になっている。本実施形態では、傾斜ブロック３４は、固定部３４ａで傾斜台１２に一体に固定されているので、２点ｑは、直線Ｌ_Ｙ回りの回動力を傾斜台１２に伝達する伝達位置ともなっている。このため、以下では、２点ｑを基準位置作用点と称する。
ただし、図面では、基準位置作用点ｑを記載するとかえって紛らわしい場合（例えば、図１の場合）には省略し、基準位置作用点ｑに代えて、２点ｑの中点Ｑを図示している。直線Ｌ_Ｙと基準位置作用点ｑとの間の距離Ｄ_Ａは、距離ＯＱに等しい。
このような傾斜角の基準位置において、Ｖ溝３４ｂの延設方向は、駆動子３３Ａの進退方向、および被傾斜面１２ａに対して角度φだけ傾斜されている。

Ｖ溝３４ｂの長さ、および傾斜ブロック３４の下面１２ｂからの高さは、傾斜台１２の傾斜角を傾斜角の基準位置から±θの間で調整する際に駆動子３３Ａの先端突起３３ｃが進退する全範囲内で、先端突起３３ｃがＶ溝３４ｂと当接可能であり、かつ、傾斜ブロック３４の下端が、基台１１の上面１１ｂに干渉しない寸法に設定されている。

駆動部３０Ｂは、直線Ｌ_Ａ回りに、基準面１１ａに対する傾斜台１２の傾斜角を変化させるための傾斜駆動機構である。直線Ｌ_Ａは、駆動部３０Ｂのみによって傾斜角を変化させる場合の回動軸である。
本実施形態では、図２（ｂ）に示すように、駆動子３３Ｂ、ナット板３１Ｂ、つまみ３２、および傾斜ブロック３４からなる。

駆動子３３Ｂは、先端側に先端突起３３ｃを有し、後端側の外周部にねじピッチがｄ_Ｂの雄ねじ部３３ｂが形成された棒状部材である。
ナット板３１Ｂは、ナット板３１Ａの雌ねじ部３１ａをねじピッチが雄ねじ部３３ｂと螺合する雌ねじ部３１ｂに代えた他は、ナット板３１Ａと同様の形状を有する板状の支持部材である。このナット板３１Ｂは、ナット板３１Ａの立設位置を直線Ｌ_Ｙに沿う方向に距離Ｄ_Ｂ（ただし、Ｄ_Ｂ＞Ｄ_Ａ）だけ平行移動した位置の上面１１ｂ上に立設されている。
ナット板３１Ｂの雌ねじ部３１ｂは、図１、図２（ｂ）に示すように、雌ねじ部３１ｂに雄ねじ部３３ｂが螺合された駆動子３３Ｂの中心軸線が、直線Ｌ_Ａ、Ｌ_Ｙを含む平面上で、直線Ｌ_Ａと距離Ｄ_Ｂだけ離間された平行線である直線Ｌ_Ｂと同軸の位置関係に支持できる位置に設けられている。
なお、特に図示しないが、駆動子３３Ｂの先端側の中間部には、駆動子３３Ｂが、直線Ｌ_Ｂ上でより安定して進退できるように、駆動子３３Ｂの中心軸線を基台１１から一定の高さに保持するガイド部材を設けておいてもよい。

駆動部３０Ｂのつまみ３２は、駆動子３３Ｂをその中心軸回りに回転させるため、駆動子３３Ｂの先端突起３３ｃと反対側の端部において、駆動子３３Ｂと固定されている。つまみ３２の円板の中心軸は、駆動子３３Ｂの中心軸線と同軸に整列されている。

このような構成により、つまみ３２を回転させると、ナット板３１Ｂに螺合された駆動子３３Ｂが回転角に応じて軸方向に螺進される。このため、駆動子３３Ｂおよびナット板３１Ｂは、駆動子３３Ｂを直線Ｌ_Ｂ上で進退する直動運動を行うねじ送り機構を構成しており、つまみ３２は回転操作部材を構成している。
また、駆動子３３Ｂ、およびナット板３１Ｂは、基台１１に設けられ、棒状の駆動子３３Ｂを駆動子３３Ｂの軸方向に進退させる直動部を構成している。
本実施形態では、つまみ３２は駆動子３３Ｂに直結されているため、つまみ３２を一回転させると、駆動子３３Ｂが、雄ねじ部３３ｂのねじピッチｄ_Ｂだけ進退するようになっている。以下では、ねじピッチｄ_Ｂを駆動部３０Ａの送りピッチｄ_Ｂと称する場合がある。

駆動部３０Ｂの傾斜ブロック３４は、図２（ｂ）に示すように、傾斜ブロック３４の板厚方向の中心面が、直線Ｌ_Ｂを含み基準面１１ａに直交する平面上に整列され、Ｖ溝３４ｂが、ナット板３１が設けられた長辺側から支点部２０が設けられた長辺側に向うとともに傾斜台１２側から基台１１側に向かって、角度φだけ傾斜して延ばされている。
また、この傾斜ブロック３４の直線Ｌ_Ｂに沿う方向の配置位置は、傾斜角の基準位置において、Ｖ溝３４ｂの延設方向の中央部で駆動子３３Ｂの先端突起３３ｃがＶ溝３４ｂに当接されるように設定されている。この状態で、先端突起３３ｃが各摺動面３４ｃに接する２点を点ｐで表すと、２点ｐは、直線Ｌ_Ａ回りの回動力を傾斜台１２に伝達する伝達位置であり、２点ｑと同様に、基準位置作用点になっている。基準位置作用点ｐと、駆動部３０Ｂによる回動軸である直線Ｌ_Ａとの距離は、いずれも距離Ｄ_Ｂに設定されている。
ただし、図面では、基準位置作用点ｐを記載するとかえって紛らわしい場合（例えば、図１、図５（ｂ）の場合）には省略し基準位置作用点ｐに代えて、２点ｐの中点Ｐを図示している。直線Ｌ_Ａと基準位置作用点ｐとの間の距離Ｄ_Ｂは、距離ＯＰに等しい。
このような傾斜角の基準位置において、Ｖ溝３４ｂの延設方向は、駆動子３３Ｂの進退方向、および被傾斜面１２ａに対して角度φだけ傾斜されている。

Ｖ溝３４ｂの長さ、および傾斜ブロック３４の下面１２ｂからの高さは、傾斜台１２の傾斜角を傾斜角の基準位置から±θの間で調整する際に駆動子３３Ｂの先端突起３３ｃが進退する全範囲内で、先端突起３３ｃがＶ溝３４ｂと当接可能であり、かつ、傾斜ブロック３４の下端が、基台１１の上面１１ｂに干渉しない寸法に設定されている。

本実施形態では、駆動部３０Ａ、３０Ｂの送りピッチｄ_Ａ、ｄ_Ｂは、これら送りピッチのｄ_Ａ、ｄ_Ｂの比率が、距離Ｄ_Ａ、Ｄ_Ｂの比率と等しくなる関係、ずなわち、次式（１）を満足する関係に設定している。

ｄ_Ａ／ｄ_Ｂ＝Ｄ_Ａ／Ｄ_Ｂ ・・・（１）

コイルばね４０は、傾斜台１２を、基台１１との間の隙間が狭くなる方向に、基台１１側に付勢する付勢部材である。本実施形態では、図１、図２（ａ）、（ｂ）に示すように、基台１１と傾斜台１２との間の空間において、駆動部３０Ａの傾斜ブロック３４と支点部２０との間、および駆動部３０Ｂの傾斜ブロック３４と支点部２０との間に、それぞれ１つずつ配置された引っ張りのコイルばねからなる。
これにより、支点部２０の受け台２２ｂは、常に鋼球２３側に付勢され、各傾斜ブロック３４のＶ溝３４ｂは、駆動子３３Ａ、３３Ｂの先端突起３３ｃに付勢されている。

次に、２軸チルトステージ１の動作について説明する。
図４は、本発明の第１の実施形態に係る２軸チルトステージの一方の傾斜駆動機構の回動軸に直交する断面における模式的な動作説明図である。図５（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る２軸チルトステージの他方の傾斜駆動機構の回動軸に沿う方向の断面における模式的な動作説明図である。図５（ｂ）は、本発明の第１の実施形態に係る２軸チルトステージの他方の傾斜駆動機構の回動軸に直交する方向の断面における模式的な動作説明図である。

傾斜角変化の基準位置の状態から、駆動部３０Ａのつまみ３２を直線Ｌ_Ａ回りにΔα（ｒａｄ）だけ回転すると、回転方向に応じて、駆動子３３Ａが雌ねじ部３１ａに沿って螺進され、先端突起３３ｃが、距離ΔＤ_Ａだけ直線Ｌ_Ａに沿って進退移動される。ここで、距離ΔＤ_Ａは、次式で表される。

ΔＤ_Ａ＝ｄ_Ａ・Δα／２π ・・・（２）

例えば、図４に示すように、先端突起３３ｃが支点部２０の中心Ｏ側に、距離ΔＤ_Ａだけ螺進される場合、傾斜台１２は、コイルばね４０によって、基台１１側に付勢されているので、先端突起３３ｃは、Ｖ溝３４ｂの摺動面３４ｃと作用点ｑ_１で摺接しつつ、直線Ｌ_Ａに沿って進出される。このとき、先端突起３３ｃを介して駆動子３３Ａの軸方向に作用する付勢力の分力は、雄ねじ部３３ａを雌ねじ部３１ａ側に付勢するため、駆動子３３Ａの進退に伴って、雄ねじ部３３ａは、常に支点部２０と反対側に付勢され、雌ねじ部３１ａとの間のバックラッシを除去する作用を有している。
図４において、点Ｑ_１は、各作用点ｑ_１の中点を示す。２点鎖線で示す傾斜ブロック３４および駆動子３３Ａは、それぞれ基準位置における傾斜ブロック３４および駆動子３３Ａを示す。

このとき、作用点ｑ_１では、駆動子３３Ａから傾斜ブロック３４に駆動力が伝達され、直線Ｌ_Ｙ回りのモーメントを発生させる。このため、傾斜ブロック３４および傾斜ブロック３４と一体化された傾斜台１２は、図示上方に押し上げられて、直線Ｌ_Ｙ回りに角度Δθ_Ａだけ回動される。すなわち、傾斜台１２は角度Δθ_Ａだけ傾斜される。
傾斜ブロック３４は、傾斜角変化の基準位置の状態では、直線Ｌ_Ａに対して角度φだけ傾斜されているので、角度Δθ_Ａが微小角の場合には、距離ΔＤ_Ａと角度Δθ_Ａとは、次式の関係を満足する。

Δθ_Ａ＝（ΔＤ_Ａ・ｔａｎφ）／Ｄ_Ａ ・・・（３）

このように、駆動部３０Ａの傾斜ブロック３４は、駆動部３０Ａの駆動子３３Ａの先端突起３３ｃの進退移動量である距離ΔＤ_Ａを、回動軸である直線Ｌ_Ｙ回りの回動方向の移動量であるΔＤ_Ａ・ｔａｎφに変換して傾斜台１２に伝達する回動力伝達部を構成している。ここで、Ｖ溝３４ｂの延設方向の勾配であるｔａｎφは、進退移動量を回動方向の移動量に変換する所定の変換比を構成している。

一方、傾斜角変化の基準位置の状態から、駆動部３０Ｂのつまみ３２を直線Ｌ_Ｂ回りにΔα（ｒａｄ）だけ回転すると、回転方向に応じて、駆動子３３Ｂが雌ねじ部３１ｂに沿って螺進され、先端突起３３ｃが、距離ΔＤ_Ｂだけ直線Ｌ_Ｂに沿って進退移動される。ここで、距離ΔＤ_Ｂは、次式で表される。

ΔＤ_Ｂ＝ｄ_Ｂ・Δα／２π ・・・（４）

例えば、図５（ａ）に示すように、先端突起３３ｃが、直線Ｌ_Ｙ側に、距離ΔＤ_Ｂだけ螺進される場合、傾斜台１２は、コイルばね４０によって、基台１１側に付勢されているので、先端突起３３ｃは、Ｖ溝３４ｂの摺動面３４ｃと作用点ｐ_１で摺接しつつ、直線Ｌ_Ｂに沿って進出される。このとき、先端突起３３ｃを介して駆動子３３Ｂの軸方向に作用する付勢力の分力は、駆動部３０Ａの場合と同様に、雄ねじ部３３ａと雌ねじ部３１ａとの間のバックラッシを除去する作用を有している。
図５（ａ）、（ｂ）において、点Ｐ_１は、各作用点ｐ_１の中点を示す。２点鎖線で示す傾斜ブロック３４および駆動子３３Ｂは、それぞれ基準位置における傾斜ブロック３４および駆動子３３Ｂを示す。

このとき、作用点ｐ_１では、駆動子３３Ｂから傾斜ブロック３４に駆動力が伝達され、直線Ｌ_Ａ回りのモーメントを発生させる。このため、傾斜ブロック３４および傾斜ブロック３４と一体化された傾斜台１２は、図５（ｂ）に示すように、図示斜め上方に押し上げられて、直線Ｌ_Ａ回りに角度Δθ_Ｂだけ回動される。すなわち、傾斜台１２は角度Δθ_Ｂに傾斜される。
傾斜ブロック３４は、傾斜角変化の基準位置の状態では、直線Ｌ_Ｙに対して角度φだけ傾斜されているので、角度Δθ_Ｂが微小角の場合には、距離ΔＤ_Ｂと角度Δθ_Ｂとは、次式の関係を満足する。

Δθ_Ｂ＝（ΔＤ_Ｂ・ｔａｎφ）／Ｄ_Ｂ ・・・（５）

このように、駆動部３０Ｂの傾斜ブロック３４は、駆動部３０Ｂの駆動子３３Ｂの先端突起３３ｃの進退移動量である距離ΔＤ_Ｂを、回動軸である直線Ｌ_Ｙ回りの回動方向の移動量であるΔＤ_Ｙ・ｔａｎφに変換して傾斜台１２に伝達する回動力伝達部を構成している。ここで、ｔａｎφは、進退移動量を回動方向の移動量に変換する所定の変換比を構成している。

上記式（２）〜（５）を用いると、次式が成り立つ。
Δθ_Ａ＝（ｄ_Ａ／Ｄ_Ａ）・（Δα／２π）・ｔａｎφ ・・・（６）
Δθ_Ｂ＝（ｄ_Ｂ／Ｄ_Ｂ）・（Δα／２π）・ｔａｎφ ・・・（７）

本実施形態では、上記式（１）が成り立つので、上記式（６）、（７）で表される角度Δθ_Ａ、Δθ_Ｂは互いに等しくなる。すなわち、つまみ３２の回転量Δαに対する傾斜角変化は、駆動部３０Ａ、３０Ｂとの間で共通となり、単位調整量に対する傾斜角の変化量の大きさである調整感度が同一となる。
このため、操作者は、傾斜台１２の傾斜方向によって、つまみ３２の回転量の大きさを変えることなく傾斜角を変化させることができるので、傾斜方向によって、調整感度が異なる場合に比べて、操作性が向上する。
特に、高精度のチルト調整では、２軸回りの回動量、回動方向を頻繁に切り換えつつ、２軸方向の傾斜角を微動させて調整作業を行うため、各軸方向の調整感度が同一となることで、調整作業が格段に容易となる。

また、本実施形態では、２つの傾斜駆動機構の間で、それぞれの回動軸と基準位置作用点との間の距離Ｄ_Ａ、Ｄ_Ｂをどのように設定しても、これらの距離Ｄ_Ａ、Ｄ_Ｂに応じて、式（１）を満たすようにねじピッチｄ_Ａ、ｄ_Ｂを設定することで、調整感度を同一にできる。このため、駆動部３０Ａ、３０Ｂの配置位置や、基台１１および傾斜台１２の形状や大きさが異なる場合でも、容易に調整感度を同一にすることができる。この結果、チルト調整する被検体の大きさや、２軸チルトステージ１の配置スペースの制約などの用途に合った大きさ、形状の２軸チルトステージ１を構成することができる。

また、本実施形態では、駆動部３０Ａのつまみ３２と駆動部３０Ｂのつまみ３２とは、基台１１および傾斜台１２の一方の長辺側に配置されている。したがって、それぞれのつまみ３２を一方向側から操作することができるため、２つのつまみ３２を異なる方向から操作しなければならない場合に比べて、操作性が向上する。

また、本実施形態の２軸チルトステージ１の構成によれば、駆動子３３Ａ、３３Ｂは、いずれも基台１１と傾斜台１２との間に配置されている。このため、基台１１および傾斜台１２の対向方向の装置の厚さを薄くすることができ、対向方向に省スペースな装置とすることができる。
また、つまみ３２が、基台１１および傾斜台１２の側方に設けられているので、つまみ３２が基台１１および傾斜台１２の対向方向に沿って突出される場合に比べて、対向方向の省スペース化を図ることができる。
また、基台１１を、例えば干渉計などの他の装置に取り付ける場合に、取付面である基準面１１ａの裏面側の空間に駆動部３０Ａ、３０Ｂが進出しない構成となっている。したがって、相手装置の取付部との干渉を避けるために、基台１１の大きさを大きくする必要がない。このため、コンパクトで省スペースな装置とすることができる。
また、つまみ３２が相手装置の取付部と干渉しないため、取付状態でのつまみ３２の操作が容易となる。また、操作をより容易にするために、つまみ３２の外径を大きくすることが容易となる。
また、２つのつまみ３２が、基台１１および傾斜台１２の一方の長辺側の側方に設けられているので、同じ側の長辺側に配置されているため、２軸チルトステージ１の平面視の大きさをコンパクトにしつつ、つまみ３２の直径を増大させることができる。このため、省スペースと操作性を両立させることができる。

本実施形態の２軸チルトステージ１は、各傾斜ブロックのガイド溝の延設方向の勾配を互いに等しくすることで、各所定の変換比の大きさを一致させるともに、２つの傾斜駆動機構における調整部の単位調整量当たりの駆動子の進退移動量（送りピッチ）の比率を、基準位置作用点の前記回動軸からの距離の比率に一致させた場合の例となっている。
このため、駆動部３０Ａ、３０Ｂにおいて、傾斜ブロック３４を部品共通化することができる。

［第２の実施形態］
本発明の第２の実施形態に係る２軸チルトステージについて説明する。
図６は、本発明の第２の実施形態に係る２軸チルトステージの模式的な平面図である。図７（ａ）、（ｂ）は、それぞれ図２のＣ−Ｃ断面図およびＤ−Ｄ断面図である。

本実施形態の２軸チルトステージ２は、上記第１の実施形態の２軸チルトステージ１と同様に、例えば、光学機器の光軸調整、干渉計の光学素子の位置調整や露光装置のウエハの位置決めなどのため、ステージ面の２軸方向の傾斜角を高精度に調整する場合に好適となるものである。
２軸チルトステージ２の概略構成は、図６、図７（ａ）、（ｂ）に示すように、上記第１の実施形態の２軸チルトステージ１の駆動部３０Ａ、３０Ｂに代えて、駆動部３０Ｃ、３０Ｄ（傾斜駆動機構）を備える。以下、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。

駆動部３０Ｃは、上記第１の実施形態の駆動部３０Ａの駆動子３３Ａ、ナット板３１Ａ、および傾斜ブロック３４に代えて、それぞれ駆動子３３Ｃ、ナット板３１、および傾斜ブロック３４Ｃ（回動力伝達部）を備える。

駆動子３３Ｃは、先端側に先端突起３３ｃを有し、後端側の外周部にねじピッチがｄの雄ねじ部３３ｄが形成された棒状部材である。
ナット板３１は、ナット板３１Ａの雄ねじ部３３ａを、駆動子３３Ｃの雄ねじ部３３ｄと螺合する雌ねじ部３１ｄに代えたものである。
駆動部３０Ｃのナット板３１の雌ねじ部３１ｄは、基準面１１ａに平行な平面内において、支点部２０の中心Ｏを通り、直線Ｌ_Ｙと直交する直線Ｌ_Ａに、雌ねじ部３１ｄの中心軸線が同軸となる位置に設けられている。
つまみ３２は、駆動子３３Ｃをその中心軸回りに回転操作を行うため、円板の中心軸は、駆動子３３Ｃの中心軸線と同軸に整列されている。

このような構成により、つまみ３２を回転させると、ナット板３１Ｃに螺合された駆動子３３Ｃが回転角に応じて軸方向に螺進される。このため、駆動子３３Ｃおよびナット板３１は、駆動子３３Ｃを直線Ｌ_Ａ上で進退する直動運動を行うねじ送り機構を構成しており、つまみ３２は回転操作部材を構成している。
また、駆動子３３Ｃ、ナット板３１、およびつまみ３２は、基台１１に設けられ、棒状の駆動子３３Ｃを駆動子３３Ｃの軸方向に進退させる直動部を構成している。
本実施形態では、つまみ３２は駆動子３３Ｃ直結されているため、つまみ３２を一回転させると、駆動子３３Ｃが、雄ねじ部３３ｄのねじピッチｄだけ進退するようになっている。以下では、ねじピッチｄを駆動部３０Ｃの送りピッチｄと称する場合がある。

傾斜ブロック３４Ｃは、図７（ａ）に示すように、上記第１の実施形態の駆動部３０Ａの傾斜ブロック３４のＶ溝３４ｂの傾斜角を角度φ_Ｃに代えたものであり、駆動部３０Ａの傾斜ブロック３４と同様に、基準位置作用点ｑと、駆動部３０Ｃによる回動軸である直線Ｌ_Ｙとの距離が、距離Ｄ_Ａに設定されている。
このような傾斜角の基準位置において、Ｖ溝３４ｂの延設方向は、駆動子３３Ｃの進退方向、および被傾斜面１２ａに対して角度φ_Ｃだけ傾斜されている。
また、Ｖ溝３４ｂの長さ、および傾斜ブロック３４Ｃの下面１２ｂからの高さは、傾斜台１２の傾斜角を傾斜角の基準位置から±θの間で調整する際に駆動子３３Ｃの先端突起３３ｃが進退する全範囲内で、先端突起３３ｃがＶ溝３４ｂと当接可能であり、かつ、傾斜ブロック３４Ｃの下端が、基台１１の上面１１ｂに干渉しない寸法に設定されている。

駆動部３０Ｄは、上記第１の実施形態の駆動部３０Ｂの駆動子３３Ｂ、ナット板３１Ｂ、および傾斜ブロック３４に代えて、それぞれ駆動子３３Ｄ、ナット板３１、および傾斜ブロック３４Ｄ（回動力伝達部）を備える。

駆動子３３Ｄは、先端側に先端突起３３ｃを有し、後端側の外周部にねじピッチがｄの雄ねじ部３３ｄが形成された棒状部材であり、駆動子３３Ｃと長さのみが異なる部材である。
駆動部３０Ｄのナット板３１の雌ねじ部３１ｄは、図６、図７（ｂ）に示すように、雌ねじ部３１ｄに雄ねじ部３３ｄが螺合された駆動子３３Ｄの中心軸線が、直線Ｌ_Ａ、Ｌ_Ｙを含む平面上で、直線Ｌ_Ａと距離Ｄ_Ｂだけ離間された平行線である直線Ｌ_Ｂと同軸の位置関係に支持できる位置に設けられている。
駆動部３０Ｄのつまみ３２は、駆動子３３Ｄをその中心軸回りに回転させるため、円板の中心軸は、駆動子３３Ｄの中心軸線と同軸に整列されている。

このような構成により、つまみ３２を回転させると、ナット板３１に螺合された駆動子３３Ｄが回転角に応じて軸方向に螺進される。このため、駆動子３３Ｄおよびナット板３１は、駆動子３３Ｄを直線Ｌ_Ｂ上で進退する直動運動を行うねじ送り機構を構成しており、つまみ３２は回転操作部材を構成している。
また、駆動子３３Ｄ、ナット板３１、およびつまみ３２は、基台１１に設けられ、棒状の駆動子３３Ｄを駆動子３３Ｄの軸方向に進退させる直動部を構成している。また、駆動子３３Ｄの送りピッチは、駆動子３３Ｄの送りピッチｄに一致している。

傾斜ブロック３４Ｄは、図７（ｂ）に示すように、上記第１の実施形態の駆動部３０Ｂの傾斜ブロック３４のＶ溝３４ｂの傾斜角を角度φ_Ｄに代えたものであり、駆動部３０Ｂの傾斜ブロック３４と同様に、基準位置作用点ｐと、駆動部３０Ｄによる回動軸である直線Ｌ_Ａとの距離が、距離Ｄ_Ｂに設定されている。
このような傾斜角の基準位置において、Ｖ溝３４ｂの延設方向は、駆動子３３Ｄの進退方向、および被傾斜面１２ａに対して角度φ_Ｄだけ傾斜されている。
また、Ｖ溝３４ｂの長さ、および傾斜ブロック３４Ｄの下面１２ｂからの高さは、傾斜台１２の傾斜角を傾斜角の基準位置から±θの間で調整する際に駆動子３３Ｄの先端突起３３ｃが進退する全範囲内で、先端突起３３ｃがＶ溝３４ｂと当接可能であり、かつ、傾斜ブロック３４Ｄの下端が、基台１１の上面１１ｂに干渉しない寸法に設定されている。

本実施形態では、傾斜ブロック３４Ｃ、３４ＤのＶ溝３４ｂの傾斜角の角度φ_Ｃ、φ_Ｄは、Ｖ溝３４ｂの延設方向の勾配であるｔａｎφ_Ｃ、ｔａｎφ_Ｄの比率が、距離Ｄ_Ａ、Ｄ_Ｂの比率に等しくなる関係、ずなわち、次式（８）を満足する関係に設定している。
ここで、勾配ｔａｎφ_Ｃ、ｔａｎφ_Ｄは、進退移動量を回動方向の移動量に変換する所定の変換比を構成している。

ｔａｎφ_Ｃ／ｔａｎφ_Ｄ＝Ｄ_Ａ／Ｄ_Ｂ ・・・（８）

次に、２軸チルトステージ２の動作について説明する。
２軸チルトステージ２は、上記に説明したように、駆動部３０Ｃ、３０Ｄの送りピッチがそれぞれねじピッチｄであり、傾斜ブロック３４Ｃ、３４Ｄにおける傾斜ブロック３４の傾斜角が角度φ_Ｃ、φ_Ｄである点が上記第１の実施形態の２軸チルトステージ１と異なり、基準位置作用点と各回動軸との距離の関係は２軸チルトステージ１と同様である。
したがって、２軸チルトステージ２は、駆動部３０Ｃ、３０Ｄの各つまみ３２を回転させることで、２軸チルトステージ１と同様に、傾斜台１２の２軸方向の傾斜角を変化させることができる（図４、図５（ａ）、（ｂ）参照）。
ただし、各つまみ３２をΔαだけ回転したときの、駆動子３３Ｃ、３３Ｄの進退移動の距離ΔＤ_Ａ、ΔＤ_Ｂは、次式で表される。

ΔＤ_Ａ＝ΔＤ_Ｂ＝ｄ・Δα／２π ・・・（９）

また、角度Δθ_Ａ、Δθ_Ｂが微小角の場合には、距離ΔＤ_Ａ、ΔＤ_Ｂと角度Δθ_Ａ、Δθ_Ｂとは、それぞれ次式の関係を満足する。

Δθ_Ａ＝（ΔＤ_Ａ・ｔａｎφ_Ｃ）／Ｄ_Ａ ・・・（１０）
Δθ_Ｂ＝（ΔＤ_Ｂ・ｔａｎφ_Ｄ）／Ｄ_Ｂ ・・・（１１）

上記式（９）〜（１１）を用いると、次式が成り立つ。
Δθ_Ａ＝（ｄ／Ｄ_Ａ）・（Δα／２π）・ｔａｎφ_Ｃ ・・・（１２）
Δθ_Ｂ＝（ｄ／Ｄ_Ｂ）・（Δα／２π）・ｔａｎφ_Ｄ ・・・（１３）

本実施形態では、上記式（８）が成り立つので、上記式（１２）、（１３）で表される角度Δθ_ＡとΔθ_Ｂとは等しくなる。すなわち、つまみ３２の回転量Δαに対する傾斜角変化は、駆動部３０Ｃ、３０Ｄとの間で共通となり、単位調整量に対する傾斜角の変化量の大きさである調整感度が同一となる。
このため、操作者は、上記第１の実施形態と同様に、傾斜台１２の傾斜方向によって、つまみ３２の回転量の大きさを変えることなく傾斜角を変化させることができるので、傾斜方向によって、調整感度が異なる場合に比べて、操作性が向上する。
特に、高精度のチルト調整では、２軸回りの回動方向を頻繁に切り換えつつ、傾斜角の微動を試行錯誤しながら調整作業を行うため、調整作業が格段に容易となる。

また、本実施形態では、２つの傾斜駆動機構の間で、それぞれの回動軸と基準位置作用点との間の距離Ｄ_Ａ、Ｄ_Ｂをどのように設定しても、これらの距離Ｄ_Ａ、Ｄ_Ｂに応じて、式（８）を満たすように、回動力伝達部の変換比に相当するＶ溝３４ｂの勾配ｔａｎφ_Ｃ、ｔａｎφ_Ｄを設定することで、調整感度を同一にできる。このため、駆動部３０Ｃ、３０Ｃの配置位置や、基台１１および傾斜台１２の形状や大きさが異なる場合でも、容易に調整感度を同一にすることができる。この結果、チルト調整する被検体の大きさや、２軸チルトステージ２の配置スペースの制約などの用途に合った大きさ、形状の２軸チルトステージ２を構成することができる。

また、本実施形態では、基台１１および傾斜台１２に対する、駆動部３０Ｃ、３０Ｄ、およびつまみ３２の位置関係は、上記第１の実施形態とまったく同様なので、上記第１の実施形態とまったく同様に、操作性が向上し、しかも省スペースな装置とすることができる。

本実施形態の２軸チルトステージ２は、各調整部の単位調整量当たりの駆動子の進退量を一致させるとともに、２つの傾斜駆動機構における傾斜ブロックのガイド溝の延設方向の勾配の比率を、基準位置作用点の回動軸からの距離の比率に一致させた場合の例となっている。
このため、駆動部３０Ｃ、３０Ｄの直動部に用いるねじピッチが共通であるため、基準位置作用点の回動軸から距離の比率Ｄ_Ａ／Ｄ_Ｂが種々変化された場合でも、雄ねじ部３３ｄ、雌ねじ部３１のねじピッチとして、例えば、メートルねじなどの汎用的なねじピッチを採用することができるので、安価な構成とすることができる。

なお、上記の説明では、回動力伝達部が傾斜ブロックからなる場合の例で説明した。このような構成では、簡素な構成でありながら、所定の変換比や駆動子の進退方向などの設定が容易となる。
ただし、駆動子の進退移動量を、傾斜台を回動軸回りの回動方向の移動量に所定の変換比で変換し傾斜台に伝達することができれば、回動力伝達部は傾斜ブロックに限定されるものではない。
例えば、従節が傾斜台に連結または摺接されて作用点（基準位置作用点）を構成し、原節が駆動子の先端に連結されたリンク伝達機構などを基台に設けた構成としてもよい。

また、上記の説明では、２つの調整駆動機構の調整感度が同一である場合の例で説明したが、調整の操作性には大きな支障がない場合には、２つの傾斜駆動機構の間でわずかに調整感度が異なっていてもよい。このため、調整感度は略同一であればよい。

また、上記の説明では、直動部は、回転操作部材を手動で回転させる場合の例で説明したが、回転操作部材は、例えば、モータなどによって駆動される構成としてもよい。

また、上記の説明では、ねじ送り機構は、ナット板に設けられた雌ねじ部に駆動子の雄ねじ部が螺合された構成として説明したが、駆動子を螺進させるねじ機構が内蔵されたマイクロメータヘッドなどをナット板の位置に固定した構成としてもよい。

また、上記の説明では、傾斜角変化の基準位置の状態で、直動部の進退方向が、基台および傾斜台の対向方向と直交する方向とされた場合の例で説明したが、基台および傾斜台の対向方向側のスペースに余裕がある場合には、直動部の進退方向は、対向方向に沿う方向としてもよい。
例えば、上記第１の実施形態の構成において、傾斜ブロック３４の傾斜角φ＝０のＶ溝３４ｂを有する構成とし、駆動子３３Ａ、３３Ｂが、傾斜角の基準位置の状態において傾斜台１２と直交する方向に進退するように配置してもよい。この場合でも、上記式（１）を満足させることで、２つの傾斜駆動機構の調整感度を一致させることができる。この変形例の場合、傾斜ブロック３４は、所定の変換比が１である回動力伝達部を構成している。

また、上記の説明では、基台および傾斜台の形状は、一例として矩形板状として説明したが、基台および傾斜台は、これらの間に設けられる２つの傾斜駆動機構の各基準位置作用点が、各回動軸から異なる距離に設けることができる大きさや形状を有していれば、矩形板状には限定されない。例えば、正方形板、円板などであってもよい。

また、上記実施形態で説明したすべての構成要素は、本発明の技術的思想の範囲で適宜組み合わせて実施することができる。
例えば、上記第１および第２の実施形態を組み合わせて、２つの傾斜駆動機構が、各基準位置作用点の回動軸からの距離の比に応じて、各調整部の単位調整量当たりの駆動子の進退移動量、および各回動力伝達部の各所定の変換比を、それぞれ互いに異なる値に設定することで、傾斜台の２軸方向の傾斜角の調整感度が略同一となるようにした構成としてもよい。

１、２ ２軸チルトステージ
１１ 基台
１１ａ 基準面（傾斜の基準面）
１２ 傾斜台
２０ 支点部
３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｄ 駆動部（傾斜駆動機構）
３１、３１Ｃ、３１Ｄ ナット板（直動部）
３２ つまみ（回転操作部材）
３３Ａ、３３Ｂ、３３Ｃ、３３Ｄ 駆動子（直動部）
３４、３４Ｃ、３４Ｄ 傾斜ブロック（回動力伝達部）
３４ｂ Ｖ溝
ｄ、ｄ_Ａ、ｄ_Ｂ ねじピッチ
Ｄ_Ａ、Ｄ_Ｂ 距離（基準位置作用点の回動軸からの距離）
Ｌ_Ａ、Ｌ_Ｙ 直線（回動軸）
ｐ、ｑ 基準位置作用点
ｐ_１、ｑ_１ 作用点（回動力の伝達位置）
Ｏ 中心
４０ コイルばね

Claims (8)

1. 傾斜の基準面を有する基台と、該基台の前記基準面と反対側に対向して配置された傾斜台と、前記基台と前記傾斜台との間に設けられ前記傾斜台を前記基台に対して回動可能に支持する支点部と、前記傾斜台を前記支点部の中心を通る２つの回動軸回りにそれぞれ回動させて、前記基台に対する前記傾斜台の２軸方向の傾斜角を変化させる２つの傾斜駆動機構とを備える２軸チルトステージであって、
   前記傾斜駆動機構は、
   前記基台に設けられ、棒状の駆動子を該駆動子の軸方向に進退させる直動部と、
   該直動部の進退移動量を調整する調整部と、
   前記直動部の前記駆動子の先端の進退移動量を、前記回動軸回りの回動方向の移動量に所定の変換比で変換して前記傾斜台に伝達する回動力伝達部とを備え、
   前記２つの傾斜駆動機構の各回動力伝達部は、
   前記傾斜台の傾斜角変化の基準位置の状態における回動力の伝達位置である各基準位置作用点が、前記回動軸から互いに異なる距離だけ離間されるように設けられ、
   前記２つの傾斜駆動機構は、
   前記各基準位置作用点の前記回動軸からの距離の比に応じて、前記各調整部の単位調整量当たりの前記各駆動子の進退移動量、および前記各回動力伝達部の前記各所定の変換比の少なくともいずれかを、互いに異なる値に設定して、前記各調整部による前記傾斜台の２軸方向の傾斜角の調整感度が略同一となるようにしたことを特徴とする２軸チルトステージ。
2. 前記２つの傾斜駆動機構の前記回動力伝達部は、
   前記駆動子の先端が摺接されるガイド溝を有し、該ガイド溝の延設方向が、前記駆動子の軸方向および前記傾斜台の被傾斜面に対して傾斜された傾斜ブロックからなることを特徴とする請求項１に記載の２軸チルトステージ。
3. 前記各傾斜ブロックの前記ガイド溝の延設方向の勾配を互いに等しくすることで、前記各所定の変換比の大きさを一致させるともに、
   前記２つの傾斜駆動機構における前記調整部の単位調整量当たりの前記駆動子の進退移動量の比率を前記基準位置作用点の前記回動軸からの距離の比率に一致させたことを特徴とする請求項２に記載の２軸チルトステージ。
4. 前記各調整部の単位調整量当たりの前記駆動子の進退移動量を一致させるとともに、
   前記２つの傾斜駆動機構における前記傾斜ブロックの前記ガイド溝の延設方向の勾配の比率を前記基準位置作用点の前記回動軸からの距離の比率に一致させたことを特徴とする請求項２に記載の２軸チルトステージ。
5. 前記傾斜駆動機構の前記直動部は、
   前記駆動子が、前記基台および前記傾斜台に挟まれる位置に配置されたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の２軸チルトステージ。
6. 前記２つの傾斜駆動機構の前記各調整部は、
   回転操作によって前記直動部の進退量を調整する回転操作部材を備え、
   前記２つの傾斜駆動機構の前記各直動部は、
   前記回転操作部材の単位回転量に応じて、前記駆動子が一定の送りピッチでねじ送りされるねじ送り機構を備えることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の２軸チルトステージ。
7. 前記傾斜駆動機構の前記回転操作部材は、
   前記基台および前記傾斜台の側方に設けられたことを特徴とする請求項６に記載の２軸チルトステージ。
8. 前記基台および前記傾斜台は、略矩形板状の部材からなり、
   前記２つの傾斜駆動機構の前記直動変換機構の前記駆動子の進退方向が、それぞれ前記基台および前記傾斜台の短辺に略沿う方向に設けられ、
   前記２つの傾斜駆動機構の前記回転操作部材が、それぞれ前記基台および前記傾斜台の一方の長辺側の側方に設けられたことを特徴とする請求項７に記載の２軸チルトステージ。

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