JP5352550B2 - ステージ装置 - Google Patents
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Description
回転ベース10に設けられた回転固定ネジ11がオペレータによって緩められ、回転ベース10がYベース20から開放された状態で、オペレータによる回転方向の調整操作が行われると、スタンドピン用穴102−1,102−2(後述する図2、図3(1)を参照)に挿入され突出した、Yベース20に設けられたスタンドピン29−1,29−2(後述する図2、図3(1)(2))を基点にして、回転ベース10が回転方向へ移動する。この場合、Yベース20、Xベース30、Z/チルトベース40及びユニットベース50が基台60に固定されているから、回転ベース10、支柱71、載置台70及びカメラ80は、回転方向へ移動する。これにより、カメラ80は、回転方向に位置決め調整される。
Xベース30に設けられたXカムフォロア(ナット)(Xガイド部材)34は、Xカムフォロアのスタッドに挿入されて溝35の底面にてXベース30に当接している。また、Xカムフォロア(ナット)34は、Xカムフォロア(Xガイド把持部材)42と一体になり、Xベース30を把持している。X固定ネジ36がオペレータによって緩められ、Xベース30がZ/チルトベース40から開放された状態で、オペレータによるX方向の調整操作が行われると、Xカムフォロア(ナット)34と一体になっているXカムフォロア42は、Z/チルトベース40に設けられたXガイド穴43に沿ってX方向へ移動する。この場合、Z/チルトベース40及びユニットベース50が基台60に固定されているから、Xベース30、Yベース20、回転ベース10、支柱71、載置台70及びカメラ80は、X方向へ移動する。これにより、カメラ80は、X方向に位置決め調整される。
Z/チルトベース40に設けられたZ/チルト固定ネジ44がオペレータによって緩められ、Z/チルトベース40がユニットベース50から開放された状態で、オペレータはZ方向及びチルトの調整操作を行う。すなわち、オペレータは工具等を用いてZ/チルト調整ネジ45を回して操作する。そうすると、Z/チルト調整ネジ45の先端面45aがユニットベース50の上面に接したまま、Z/チルトベース40は上方向または下方向(Z方向)へ移動する。この場合、ユニットベース50が基台60に固定されているから、Z/チルトベース40、Xベース30、Yベース20、回転ベース10、支柱71、載置台70及びカメラ80は、Z方向へ移動する。これにより、カメラ80は、Z方向に位置決め調整される。また、後述する図2に示すように、Z/チルト調整ネジ45は、Z/チルトベース40上の四隅(Z/チルトベース40は略四角形に形成されており、略四角形の頂点に近い箇所)に設けられている。これら4本のZ/チルト調整ネジ45を回す度合いを変えることにより、カメラ80のチルト(傾き)が調整される。
尚、図1には示してないが、後述する図2及び図3(2)(3)を参照して、Yベース20に設けられたYカムフォロア(ナット)(Yガイド部材)23は、Yカムフォロアのスタッドに挿入されて溝24の底面にてYベース20に当接している。また、Yカムフォロア(ナット)23は、Yカムフォロア(Yガイド把持部材)32と一体になり、Yベース20を把持している。Y固定ネジ21がオペレータによって緩められ、Yベース20がXベース30から開放された状態で、オペレータによるY方向の調整操作が行われると、Yカムフォロア(ナット)23と一体になっているYカムフォロア32は、Xベース30に設けられたYガイド穴33に沿ってY方向へ移動する。この場合、Xベース30、Z/チルトベース40及びユニットベース50が基台60に固定されているから、Yベース20、回転ベース10、支柱71、載置台70及びカメラ80は、Y方向へ移動する。これにより、カメラ80は、Y方向に位置決め調整される。
10 回転ベース
11 回転固定ネジ
12 ネジ穴
13 支柱固定ネジ
14 X固定ネジ用窓穴
15 カメラ用窓穴
16 溝
17 凹部
20 Yベース
21 Y固定ネジ
22 ネジ穴
23 Yカムフォロア(ナット)
24 溝
25 回転固定ネジ溝
26 支柱用穴
27 凸部
28 支柱用/カメラ用窓穴
29 スタンドピン
30 Xベース
31 Y固定ネジ溝
32 Yカムフォロア
33 Yガイド穴
34 Xカムフォロア(ナット)
35 溝
36 X固定ネジ
37 ネジ穴
38 支柱用穴
39 カメラ用窓穴
40 Z/チルトベース
41 X固定ネジ溝
42 Xカムフォロア
43 Xガイド穴
44 Z/チルト固定ネジ
45 Z/チルト調整ネジ
46 支柱用穴
47 カメラ用窓穴
50 ユニットベース
51 Z/チルト固定ネジ溝
52 基台固定ネジ
53 支柱用/カメラ用窓穴
60 基台
70 載置台
71 支柱
80 カメラ
100 回転用調整器具
101 調整つまみ
102 スタンドピン用穴
103 ブラケット
200 Y軸調整器具
201 調整つまみ
202 連結バー
203 固定器具
300 X軸調整器具
301 調整つまみ
302 連結バー
303 固定器具
310 Y軸固定器具
311 連結バー
312 取付バー
400 X軸固定器具
401 連結バー
402 取付バー
Claims (3)
- 載置台に設置された所定物について、X方向、Y方向、Z方向、チルト及び回転方向の位置決めを基台に対して行うユニットベース、Z/チルトベース、Xベース、Yベース及び回転ベースを備えたステージ装置において、
前記ユニットベースは、
前記載置台に取り付けられた支柱を通す貫通穴を備え、前記基台に固定設置され、
前記Z/チルトベースは、
前記ユニットベースに当接してZ方向の距離及びチルトを調整する複数本のZ/チルト調整部材、Xガイド部材が収容され当該Xガイド部材をX方向へ案内するXガイド穴、及び、前記支柱を通す貫通穴を備え、前記ユニットベースの平面に対向し前記調整によって所定距離離して設けられ、
前記Xベースは、
前記Xガイド部材と一体的に構成され前記Xガイド部材との間で当該Xベースを把持するXガイド把持部材、前記Xガイド把持部材を収容する溝、Yガイド部材が収容され当該Yガイド部材をY方向へ案内するYガイド穴、及び、前記支柱を通す貫通穴を備え、前記Z/チルトベースの平面に対向して設けられ、
前記Yベースは、
前記Yガイド部材と一体的に構成され前記Yガイド部材との間で当該Yベースを把持するYガイド把持部材、前記Yガイド把持部材を収容する溝、前記回転ベースを回転させる基点となる凸部、及び、前記支柱を通す貫通穴を備え、前記Xベースの平面に対向して設けられ、
前記回転ベースは、
前記Yベースの凸部に嵌合して当該回転ベースを回転させる凹部、及び、前記支柱を取り付ける取り付け部材を備え、前記Yベースの平面に対向して設けられたことを特徴とするステージ装置。 - 請求項1に記載のステージ装置において、
前記Z/チルトベースは、
前記ユニットベースの平面に対向した状態で前記所定距離離して固定する固定部材を備え、
前記Xベースは、
前記Z/チルトベースの平面に対向した状態で重ねて固定する固定部材、及び、前記Xガイド把持部材と一体的に構成されたXガイド部材を、当該Xガイド部材が収容されている前記Xガイド穴に沿って移動させることにより、当該Xベース、Yベース及び回転ベースをX方向へ移動させるX軸調整器具を備え、
前記Yベースは、
前記Xベースの平面に対向した状態で重ねて固定する固定部材、前記Yガイド把持部材と一体的に構成されたYガイド部材を、当該Yガイド部材が収容されている前記Yガイド穴に沿って移動させることにより、当該Yベース及び回転ベースをY方向へ移動させるY軸調整器具、及び、当該Yベースに固定設置されたスタンドピンを備え、
前記回転ベースは、
前記Yベースの平面に対向した状態で重ねて固定する固定部材、及び、前記スタンドピンにおける第1の側面を押圧し、または前記第1の側面に対して反対側の側面を押圧し、前記凸部を基点にして前記凹部を回転させることにより、当該回転ベースを回転方向へ移動させる回転用調整器具を備えたことを特徴とするステージ装置。 - 請求項1または2に記載のステージ装置において、
前記所定物はカメラであり、前記回転ベース、Yベース、Xベース、Z/チルトベース及びユニットベースは貫通穴を備え、当該貫通穴に前記カメラを収容するか、または当該貫通穴に前記カメラの光軸を通すことを特徴とするステージ装置。
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JP2010195033A JP5352550B2 (ja) | 2010-08-31 | 2010-08-31 | ステージ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2010195033A JP5352550B2 (ja) | 2010-08-31 | 2010-08-31 | ステージ装置 |
Publications (2)
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JP2010195033A Active JP5352550B2 (ja) | 2010-08-31 | 2010-08-31 | ステージ装置 |
Country Status (1)
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2010
- 2010-08-31 JP JP2010195033A patent/JP5352550B2/ja active Active
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