JP2010093028A - 基板搬送システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の基板搬送システムはロボット1を備え、その周囲に基板搬出入手段4及び基板処理装置5が配置される。ロボット1は、基板100が略水平に保持されるエンドエフェクタ22と、エンドエフェクタ22を垂直方向に駆動する垂直駆動手段18と、垂直駆動手段18を水平方向に駆動する水平駆動手段11と、水平駆動手段11を垂直軸線17周りに回転駆動する回転駆動手段と、を備える。垂直駆動手段18にエンドエフェクタ22の端部が接続され、水平駆動手段11に垂直駆動手段18の端部が接続される。
【選択図】図1
Description
2、3 暫定貯蔵装置
2A、3A、5A 開放空間
4 コンベヤ装置
5 基板処理装置
11 走行支持部材
18 昇降支持部材
14、15、16 回転駆動手段
19A、19B 水平搬送用プーリ
20 水平搬送ベルト
21 水平搬送用サーボモータ
22 エンドエフェクタ
23A、23B 垂直搬送用プーリ
24 垂直搬送ベルト
25 垂直搬送用サーボモータ
100 ガラス基板
Claims (8)
- 基板を搬送するためのロボットであって、前記ロボットに隣接して配置された、前記基板を処理するための基板処理装置に対して、前記基板を搬出入するためのロボットと、
前記ロボットに隣接して配置され、前記ロボットの近傍まで前記基板を搬入し、且つ、前記ロボットから受け取った前記基板を搬出するための基板搬出入手段と、を備え、
前記ロボットは、前記基板が略水平に保持されるエンドエフェクタと、前記エンドエフェクタを垂直方向に駆動する垂直駆動手段と、前記垂直駆動手段を水平方向に駆動する水平駆動手段と、前記水平駆動手段を垂直方向の回転軸線周りに回転駆動する回転駆動手段と、を備え、前記垂直駆動手段に前記エンドエフェクタの端部が接続され、前記水平駆動手段に前記垂直駆動手段の端部が接続されている、ことを特徴とする基板搬送システム。 - 前記ロボットに隣接して配置され、前記ロボットによって前記基板搬出入手段と前記基板処理装置との間で搬送される前記基板が暫定的に貯蔵される暫定貯蔵装置をさらに備えた請求項1記載の基板搬送システム。
- 前記エンドエフェクタは、水平方向に延在して基端部及び先端部を有し、前記基端部が前記垂直駆動手段に装着されており、
前記ロボットは、前記垂直駆動手段が前記水平駆動手段の後端部に位置しているとき、前記エンドエフェクタの前記先端部が前記水平駆動手段の前端よりも後端側に位置するように構成されており、
前記基板処理装置及び前記暫定貯蔵装置のうちの少なくとも1つの装置の下部には、少なくとも前記ロボットに面する側が開放された開放空間が形成されており、
前記ロボットは、前記回転軸線周りに前記水平駆動手段が回転する際に前記水平駆動手段の前端部が少なくとも1つの前記開放空間内を通過するように配置されていることを特徴とする請求項2記載の基板搬送システム。 - 前記基板処理装置と前記基板搬出入手段とが前記ロボットを間に挟んで対向して配置されており、
前記暫定貯蔵装置が、前記基板処理装置と前記基板搬出入手段とを結ぶ線に直交する線の上に配置されていることを特徴とする請求項2又は3に記載の基板搬送システム。 - 前記ロボットを間に挟んで対向して配置された一対の前記暫定貯蔵装置を備えたことを特徴とする請求項4記載の基板搬送システム。
- 前記回転軸線は、前記水平駆動手段の前後方向の中央位置よりも後端寄りの位置にあることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の基板搬送システム。
- 前記水平駆動手段は、水平方向に延在し、前端部及び後端部を含む走行支持部材であって、前記回転駆動手段によって前記回転軸線周りに回転駆動される走行支持部材と、前記垂直駆動手段を前記走行支持部材の前記前端部と前記後端部との間で走行駆動する走行駆動機構と、を有し、
前記走行駆動機構は、前記走行支持部材の前記前端部と前記後端部との間に掛け渡され、前記垂直駆動手段の下端部が固着された水平搬送ベルトと、前記水平搬送ベルトを駆動する水平搬送用モータと、を有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の基板搬送システム。 - 前記垂直駆動手段は、垂直方向に延在し、上端部及び下端部を含む昇降支持部材であって、前記下端部が前記水平駆動手段に装着された昇降支持部材と、前記エンドエフェクタを前記昇降支持部材の前記上端部と前記下端部との間で昇降駆動する昇降駆動機構と、を有し、
前記昇降駆動機構は、前記昇降支持部材の前記上端部と前記下端部との間に掛け渡され、前記エンドエフェクタの基端部が固着された垂直搬送ベルトと、前記垂直搬送ベルトを駆動する垂直搬送用モータと、を有することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の基板搬送システム。
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