JP2017127956A - 産業用ロボット - Google Patents

Abstract

【課題】搬送対象物が低い位置に収容されていても、搬送対象物を搬送することが可能な産業用ロボットを提供する。【解決手段】産業用ロボット１は、ハンド４、５と、ハンド４、５が先端側に回動可能に連結されるアーム６と、アーム６の基端側が回動可能に連結されるアーム支持部材７と、アーム支持部材７を昇降可能に保持する柱部８と、柱部８に対してアーム支持部材７を昇降させるアーム昇降機構と、アーム支持部材７と柱部８との間でアーム支持部材７の外部および柱部８の外部を通過するように引き回される配線２９とを備えており、アーム支持部材７は、柱部８の前側に配置されるとともに柱部８の前側面８ａに沿って昇降可能となっている。産業用ロボット１では、配線２９の一端側は、柱部８の前側から柱部８の内部に引き込まれ、配線２９の他端側は、アーム支持部材７の下面からアーム支持部材７の内部に引き込まれている。【選択図】図１

Description

本発明は、半導体ウエハ等の搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。

従来、半導体ウエハを搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、半導体製造システムに組み込まれて使用されている。この半導体製造システムは、たとえば、図７に示すように、半導体ウエハ処理装置１０１と、産業用ロボット１０２が収容される筐体１０３と、ＦＯＵＰ１０４を開閉する複数のロードポート１０５とを備えている。この半導体製造システムでは、産業用ロボット１０２の正面が半導体ウエハ処理装置１０１側を向き、産業用ロボット１０２の背面がロードポート１０５側を向くように産業用ロボット１０２が配置されている。

産業用ロボット１０２は、図８に示すように、半導体ウエハが搭載されるハンド１０６と、ハンド１０６が先端側に回動可能に連結されるアーム１０７と、アーム１０７の基端側が回動可能に連結される柱状部材１０８とを備えている。アーム１０７は、柱状部材１０８に基端側が回動可能に連結される第１アーム部１０９と、第１アーム部１０９の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部１１０と、第２アーム部１１０の先端側に基端側が回動可能に連結されるとともにハンド１０６が先端側に回動可能に連結される第３アーム部１１１とから構成されている。

第１アーム部１０９、第２アーム部１１０、第３アーム部１１１およびハンド１０６は、下側からこの順番で配置されている。柱状部材１０８は、上下方向に細長い柱状に形成されており、第１アーム部１０９の基端側は、柱状部材１０８の上端面に載置されている。すなわち、アーム１０７は、柱状部材１０８の上端面に載置され、柱状部材１０８よりも上側に配置されている。

また、産業用ロボット１０２は、柱状部材１０８と一緒にアーム１０７を昇降させるアーム昇降機構と、柱状部材１０８に対して第１アーム部１０９および第２アーム部１１０を回動させて第１アーム部１０９と第２アーム部１１０とからなるアーム１０７の一部を伸縮させるアーム部駆動機構と、第２アーム部１１０に対して第３アーム部１１１を回動させる第３アーム部回動機構と、第３アーム部１１１に対してハンド１０６を回動させるハンド回動機構とを備えている。アーム部駆動機構は、上下方向から見たときの形状が長方形状となる筐体１０３の長手方向に平行な仮想線Ｌ１０１上を第２アーム部１１０と第３アーム部１１１との連結部が直線的に移動するように、第１アーム部１０９および第２アーム部１１０を回動させる。

産業用ロボット１０２において、アーム１０７が縮んだ状態では、図７の破線で示すように、上下方向から見たときに、第１アーム部１０９と第２アーム部１１０との連結部側および第３アーム部１１１とハンド１０６の連結部側が柱状部材１０８から産業用ロボット１０２の正面側に突出している。また、産業用ロボット１０２では、アーム１０７が柱状部材１０８の上端面よりも上側に配置されているため、図７の二点鎖線で示すように、産業用ロボット１０２の背面のすぐ横に配置されるＦＯＵＰ１０４に対しても半導体ウエハの搬送を行うことが可能となっている。

特開２０１５−３６１８６号公報

特許文献１に記載の産業用ロボット１０２では、上下方向に細長い柱状部材１０８の上端面にアーム１０７が載置されているため、アーム１０７の先端側に連結されるハンド１０６を柱状部材１０８の上端面よりも下側に下げることができない。そのため、この産業用ロボット１０２は、柱状部材１０８の上端面よりも下側で半導体ウエハを搬送することができない。すなわち、産業用ロボット１０２は、低い位置に収容される半導体ウエハを搬送することができない。

そこで、本発明の課題は、搬送対象物が低い位置に収容されていても、搬送対象物を搬送することが可能な産業用ロボットを提供することにある。

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部材と、アーム支持部材を昇降可能に保持する柱状の柱部と、柱部に対してアーム支持部材を昇降させるアーム昇降機構と、アームおよびアーム支持部材のいずれか一方と柱部との間で、アームの外部、アーム支持部材の外部および柱部の外部を通過するように引き回される配線とを備え、柱部は、前後の側面を備える柱状に形成され、アーム支持部材は、柱部の前側に配置されるとともに柱部の前側面に沿って昇降可能となっており、配線の一端側は、柱部の前側から柱部の内部に引き込まれ、配線の他端側は、アームおよびアーム支持部材のいずれか一方の下面からアームおよびアーム支持部材のいずれか一方の内部に引き込まれていることを特徴とする。

本発明の産業用ロボットでは、アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部材が柱部の前側面に沿って昇降可能となっている。そのため、本発明では、柱部の前側面に沿って、アーム支持部材およびアームと一緒にハンドを柱部の下端側まで下げることが可能になる。したがって、本発明の産業用ロボットでは、搬送対象物が低い位置に収容されていても、搬送対象物を搬送することが可能になる。

また、本発明では、アームおよびアーム支持部材のいずれか一方と柱部との間で、アームの外部、アーム支持部材の外部および柱部の外部を通過するように引き回される配線の一端側は、柱部の前側から柱部の内部に引き込まれ、配線の他端側は、アームおよびアーム支持部材のいずれか一方の下面からアームおよびアーム支持部材のいずれか一方の内部に引き込まれている。すなわち、本発明では、柱部の前側で配線が引き回されており、柱部の右側または左側で配線が引き回されていない。そのため、本発明では、柱部の前側面に沿ってアーム支持部材が昇降可能となっていても、柱部の後側面（背面）のすぐ横に配置される搬送対象物の収容部に対して搬送対象物を搬送する際に、アームと配線との干渉を防止することが可能になり、その結果、柱部の背面のすぐ横に配置される搬送対象物の収容部に対して搬送対象物を搬送することが可能になる。

本発明において、配線の一端側は、柱部の前側面の上下方向の中心位置において柱部の内部に引き込まれていることが好ましい。このように構成すると、アームおよびアーム支持部材の上下方向の移動ストロークを確保しつつ、アームおよびアーム支持部材のいずれか一方と、柱部との間の配線の長さを短くすることが可能になる。

本発明において、産業用ロボットは、アームおよびアーム支持部材のいずれか一方と柱部との間で配線が内部に配置されるフレキシブルチューブを備え、フレキシブルチューブの一端は、柱部に固定され、フレキシブルチューブの他端は、アームおよびアーム支持部材のいずれか一方に固定されていることが好ましい。このように構成すると、フレキシブルチューブによって配線の損傷を防止することが可能になる。

本発明において、産業用ロボットは、アーム支持部材を上下方向へ案内するガイド機構を備え、柱部は、前後の側面と左右の側面とを備える略四角柱状に形成される柱状部材を備え、ガイド機構は、柱状部材の左右の側面のそれぞれに固定されるガイドレールと、アーム支持部材に固定されガイドレールに係合するガイドブロックとを備え、アーム昇降機構は、柱状部材の上端側および下端側のいずれか一方に固定されるモータと、モータの出力軸に連結される駆動側プーリと、柱状部材の上端側および下端側のいずれか他方に回転可能に取り付けられる従動側プーリと、駆動側プーリと従動側プーリとに架け渡されるベルトとを備え、ベルトの一部は、アーム支持部材に固定され、柱状部材の左右の側面の一方である一方面に沿って、駆動側プーリと従動側プーリとベルトとが配置されるとともにガイドレールとガイドブロックとが配置され、柱状部材の一方面側では、上下方向から見たときに、駆動側プーリおよび従動側プーリと、ガイドレールおよびガイドブロックとが重なるとともに、上下方向における駆動側プーリと従動側プーリとの間にガイドレールとガイドブロックとが配置されていることが好ましい。

このように構成すると、柱状部材の左右の側面の一方である一方面の側で、上下方向から見たときに駆動側プーリと従動側プーリとガイドレールとガイドブロックとが重なっているため、駆動側プーリおよび従動側プーリと、ガイドレールおよびガイドブロックとが左右方向でずれている場合と比較して、柱部の背面のすぐ横に配置される搬送対象物の収容部に対して搬送対象物を搬送する際に、ベルト、ガイドレールおよびガイドブロックとアームとが干渉しにくくなる。したがって、柱部の背面のすぐ横に配置される搬送対象物の収容部に対して搬送対象物を搬送することが可能になる。

本発明において、たとえば、アームは、アーム支持部材に基端側が回動可能に連結される第１アーム部と、第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部と、第２アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結されるとともにハンドが先端側に回動可能に連結される第３アーム部とから構成されている。すなわち、本発明の産業用ロボットは、たとえば、いわゆる３リンクアーム型の産業用ロボットである。

以上のように、本発明の産業用ロボットでは、搬送対象物が低い位置に収容されていても、搬送対象物を搬送することが可能になる。

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの側面図である。 図１に示す産業用ロボットの正面図である。 図１に示す産業用ロボットが使用される半導体製造システムの概略平面図である。 図１に示す産業用ロボットのガイド機構およびアーム昇降機構等の構成を側面から説明するための図である。 図４に示すガイド機構の構成を上面から説明するための図である。 図４に示すアーム昇降機構の構成を上面から説明するための図である。 従来技術にかかる産業用ロボットが使用される半導体製造システムの概略平面図である。 従来技術にかかる産業用ロボットの斜視図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

（産業用ロボットの全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の側面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の正面図である。図３は、図１に示す産業用ロボット１が使用される半導体製造システム９の概略平面図である。

本形態の産業用ロボット１は、搬送対象物である半導体ウエハ２を搬送するための水平多関節ロボットである。この産業用ロボット１は、半導体ウエハ２が搭載される２個のハンド４、５と、ハンド４、５が先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に動作するアーム６と、アーム６の基端側が回動可能に連結されるアーム支持部材７と、アーム支持部材７を昇降可能に保持する柱状の柱部８とを備えている。

以下の説明では、産業用ロボット１を「ロボット１」とし、半導体ウエハ２を「ウエハ２」とする。また、以下の説明では、上下方向に直交する図３等のＸ方向を「左右方向」とし、上下方向と左右方向とに直交する図３等のＹ方向を「前後方向」とする。また、左右方向のうちのＸ１方向側を「右」側とし、その反対側であるＸ２方向側を「左」側とするとともに、前後方向のうちのＹ１方向側を「前」側、その反対側であるＹ２方向側を「後（後ろ）」側とする。

図３に示すように、ロボット１は、半導体製造システム９に組み込まれて使用される。この半導体製造システム９は、ＥＦＥＭ１０と、ウエハ２に対して所定の処理を行う複数の半導体ウエハ処理装置１１とを備えている。ＥＦＥＭ１０は、複数の半導体ウエハ処理装置１１の前側に配置されている。ロボット１は、ＥＦＥＭ１０の一部を構成している。また、ＥＦＥＭ１０は、ＦＯＵＰ１２を開閉する複数のロードポート１３と、ロボット１が収容される筺体１４とを備えている。筺体１４は、左右方向に細長い直方体の箱状に形成されている。ＦＯＵＰ１２には、複数枚のウエハ２が収容可能となっている。ロードポート１３は、筺体１４の前側に配置されている。ロボット１は、ＦＯＵＰ１２と半導体ウエハ処理装置１１との間でウエハ２を搬送する。

アーム６は、アーム支持部材７に基端側が回動可能に連結される第１アーム部１６と、第１アーム部１６の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部１７と、第２アーム部１７の先端側に基端側が回動可能に連結される第３アーム部１８とから構成されている。第１アーム部１６、第２アーム部１７および第３アーム部１８は、中空状に形成されている。アーム支持部材７と第１アーム部１６と第２アーム部１７と第３アーム部１８とは、上下方向において、下側からこの順番で配置されている。

ハンド４、５は、第３アーム部１８の先端側に回動可能に連結されている。具体的には、ハンド４の基端側部分およびハンド５の基端側部分が第３アーム部１８の先端側に回動可能に連結されている。ハンド４の基端側部分とハンド５の基端側部分とは上下方向で重なっている。本形態では、ハンド４の基端側部分がハンド５の基端側部分の上側に配置されている。すなわち、ハンド４はハンド５の上側に配置されている。また、ハンド４、５は、第３アーム部１８よりも上側に配置されている。なお、図３では、ハンド５の図示を省略している。

柱部８は、上下方向に細長い柱状に形成されている。この柱部８は、前後の側面と左右の側面とを有する略四角柱状に形成されている。また、柱部８は、前後の側面と左右の側面とを有する略四角柱状に形成される柱状部材２０と、ロボット１を筺体１４に固定するための複数の固定板２１と、柱状部材２０の左右の両側に固定されるカバー部材２２とを備えている。

柱状部材２０は、柱状部材２０の上側部分を構成する上側柱部２３と、柱状部材２０の下側部分を構成する下側柱部２４とから構成されている。上側柱部２３と下側柱部２４とは、上側柱部２３の下端面と下側柱部２４の上端面とが当接した状態で互いに固定されている。上側柱部２３は、前後の側面と左右の側面とを有する略四角柱状に形成されている。下側柱部２４は、前後の側面と左右の側面とを有する略四角柱状に形成されている。なお、下側柱部２４の前面側には、後ろ側に向かって窪む凹部２４ａ（図２参照）が形成されている。凹部２４ａは、下側柱部２４の左右方向の中心に形成されるとともに、下側柱部２４の上端から下端までの全域に形成されている。

固定板２１は、平板状に形成されている。複数の固定板２１は、柱状部材２０の後側面に固定されている。ロボット１は、図３に示すように、筺体１４の内部の壁面のうちの後壁面に固定板２１の後面が接触するように筐体１４に固定されている。カバー部材２２は、平板状の部材を所定形状に折り曲げられることで形成されている。このカバー部材２２は、後述のガイド機構２７およびアーム昇降機構２８を左右方向の外側および前側から覆っている。

アーム支持部材７は、ブロック状に形成されている。アーム支持部材７の後面側には、前側に向かって窪む凹部７ａ（図５、図６参照）が形成されている。また、アーム支持部材７は、中空状に形成されている。このアーム支持部材７は、柱部８の前側に配置されており、柱部８の前側面８ａに沿って昇降可能となっている。第１アーム部１６の基端側は、アーム支持部材７の上面に載置されている。

また、ロボット１は、第１アーム部１６および第２アーム部１７を回動させて第１アーム部１６と第２アーム部１７とからなるアーム６の一部を伸縮させるアーム部駆動機構（図示省略）と、第２アーム部１７に対して第３アーム部１８を回動させる第３アーム部駆動機構（図示省略）と、第３アーム部１８に対してハンド４を回動させるハンド駆動機構（図示省略）と、第３アーム部１８に対してハンド５を回動させるハンド駆動機構（図示省略）とを備えている。

アーム部駆動機構、第３アーム部駆動機構およびハンド駆動機構は、モータと、モータの動力を伝達する動力伝達機構とを備えている。また、アーム部駆動機構、第３アーム部駆動機構およびハンド駆動機構は、中空状に形成されるアーム支持部材７、第１アーム部１６、第２アーム部１７および第３アーム部１８の内部に配置されている。なお、アーム部駆動機構は、左右方向に平行な仮想線Ｌ１（図３参照）上を第２アーム部１７と第３アーム部１８との連結部が直線的に移動するように、第１アーム部１６および第２アーム部１７を回動させる。

さらに、ロボット１は、アーム支持部材７を上下方向へ案内するガイド機構２７（図４等参照）と、柱部８に対してアーム支持部材７を昇降させるアーム昇降機構２８（図４等参照）と、アーム支持部材７と柱部８との間で、アーム支持部材７の外部および柱部８の外部を通過するように引き回される配線２９とを備えている。以下、ガイド機構２７、アーム昇降機構２８、配線２９の具体的な構成およびこれらの周辺部分の具体的な構成について説明する。

（アーム昇降機構およびガイド機構の構成）
図４は、図１に示すロボット１のガイド機構２７およびアーム昇降機構２８等の構成を側面から説明するための図である。図５は、図４に示すガイド機構２７の構成を上面から説明するための図である。図６は、図４に示すアーム昇降機構２８の構成を上面から説明するための図である。

ガイド機構２７は、柱状部材２０の左右の側面のそれぞれに固定されるガイドレール３１と、ガイドレール３１に係合するガイドブロック３２とを備えている。すなわち、ガイド機構２７は、柱状部材２０の左右の側面のそれぞれに沿って配置されるガイドレール３１およびガイドブロック３２を備えている。ガイドレール３１は、ガイドレール３１の長手方向と上下方向とが一致するように柱状部材２０の左右の側面のそれぞれに固定されている。ガイドブロック３２は、連結部材３３を介してアーム支持部材７に固定されている。すなわち、ガイドブロック３２は、連結部材３３に固定され、連結部材３３は、アーム支持部材７に固定されている。

上述のように、アーム支持部材７の後面側には凹部７ａが形成されている。凹部７ａは、左右方向におけるアーム支持部材７の中心位置に形成されており、左右方向における凹部７ａの両側は、後ろ側へ突出する凸部７ｂとなっている。左右方向における２個の凸部７ｂの間には、柱状部材２０の前端側部分が配置されている。連結部材３３は、２個の凸部７ｂのそれぞれの後端面に固定されており、柱状部材２０の左右の両外側に配置されている。ガイドブロック３２は、左右方向の外側からガイドレール３１に係合するように連結部材３３に固定されている。本形態では、上下方向で重なるように配置される２個のガイドブロック３２が１個の連結部材３３に固定されており、１本のガイドレール３１に２個のガイドブロック３２が係合している。

ガイド機構２７は、上述のようにカバー部材２２に覆われている。カバー部材２２の前面には、上下方向に細長いスリット状の貫通孔２２ａ（図２、図６参照）が形成されている。貫通孔２２ａは、連結部材３３の上下方向への移動が可能となるように、上下方向におけるカバー部材２２の略全域に形成されている。連結部材３３には、貫通孔２２ａに配置される貫通孔通過部３３ａ（図５参照）が形成されており、貫通孔通過部３３ａの前端面がアーム支持部材７の凸部７ｂの後端面に固定されている。なお、カバー部材２２の前端側の角部には、アーム６（より具体的には、第３アーム部１８）との干渉を防止するための面取り部２２ｂが形成されている。

また、連結部材３３には、貫通孔２２ａを塞ぐためのベルト３４の一部が固定されている。ベルト３４は、図４に示すように、柱状部材２０の左右の側面の上端側の２箇所に回転可能に取り付けられるプーリ３５と、柱状部材２０の左右の側面の下端側の２箇所に回転可能に取り付けられるプーリ３６とに架け渡されている。プーリ３５、３６は、左右方向を回転の軸方向とする回転が可能となるように柱状部材２０に保持されている。

アーム昇降機構２８は、図４、図６に示すように、柱状部材２０の上端側に固定されるモータ４０と、モータ４０の出力軸に連結される駆動側プーリとしてのプーリ４１と、柱状部材２０の下端側に回転可能に取り付けられる従動側プーリとしてのプーリ４２と、プーリ４１、４２に架け渡されるベルト４３とを備えている。モータ４０の出力軸には、減速機４４が連結されており、プーリ４１は、減速機４４の出力軸に固定されている。すなわち、プーリ４１は、減速機４４を介してモータ４０の出力軸に連結されている。なお、図４では、モータ４０および減速機４４の図示を省略している。

減速機４４は、減速機４４の出力軸が柱状部材２０から左側に向かって突出するように柱状部材２０の上端側に固定されており、プーリ４１は、柱状部材２０の左側に配置されている。また、プーリ４２は、柱状部材２０の左側面の下端側に回転可能に取り付けられている。具体的には、プーリ４２は、左右方向を回転の軸方向とする回転が可能となるように柱状部材２０の下端側に回転可能に取り付けられている。すなわち、プーリ４１、４２およびベルト４３は、柱状部材２０の左側面２０ｂ（図５参照）に沿って配置されている。

ベルト４３の一部は、柱状部材２０の左側に配置される連結部材３３に固定されている。すなわち、ベルト４３の一部は、連結部材３３を介してアーム支持部材７に固定されている。そのため、モータ４０が回転すると、ハンド４、５およびアーム６と一緒にアーム支持部材７が、ガイドレール３１に沿って上下動する。具体的には、図１の実線で示す位置と図１の二点鎖線で示す位置との間で、ハンド４、５およびアーム６と一緒にアーム支持部材７が上下動する。

上述のように、プーリ４１、４２およびベルト４３は、柱状部材２０の左側面２０ｂに沿って配置されている。また、ガイドレール３１およびガイドブロック３２も柱状部材２０の左側面２０ｂに沿って配置されている。柱状部材２０の左側では、上側から見たときに、ガイドレール３１およびガイドブロック３２と、プーリ４１、４２とが重なっている。また、図４に示すように、上下方向におけるプーリ４１とプーリ４２との間に、ガイドレール３１およびガイドブロック３２が配置されている。本形態の左側面２０ｂは、柱状部材２０の左右の一方の側面である一方面となっている。なお、柱状部材２０の左側では、ベルト３４は、ベルト４３の外周側を囲むように配置されており、上側から見たときに、ベルト３４とベルト４３とが重なっている。

（配線の引き回し）
上述のように、アーム支持部材７と柱部８との間では、アーム支持部材７の外部および柱部８の外部を通過するように（すなわち、アーム６の外部も通過するように）配線２９が引き回されている。配線２９には、アーム部駆動機構のモータ、第３アーム部駆動機構のモータおよびハンド駆動機構のモータに電力を供給するための配線、アーム６の内部に配置される各種のセンサ（図示省略）に電力を供給するための配線、および、センサの検出信号を伝達するための配線等が含まれている。

配線２９の一端側は、柱部８の前側から柱部８の内部に引き込まれている。具体的には、配線２９の一端側は、柱部８の前側面８ａの上下方向の中心位置において柱部８の内部に引き込まれている。前側面８ａの上下方向の中心位置には、配線２９の一端側を柱部８の内部へ引き込むための引込部材４５が取り付けられている。具体的には、下側柱部２４の前側面の上端側に引込部材４５が取り付けられている。また、引込部材４５は、左右方向における柱部８の中心位置に取り付けられている。本形態では、配線２９の一端側は、引込部材４５の下面から柱部８の内部へ引き込まれている。より具体的には、配線２９の一端側は、引込部材４５の下面の左右方向の中心位置から柱部８の内部へ引き込まれている。

配線２９の他端側は、アーム支持部材７の下面からアーム支持部材７の内部に引き込まれている。具体的には、アーム支持部材７には、配線２９の他端側をアーム支持部材７の内部へ引き込むための引込部７ｃが前側に突出するように形成されており、配線２９の他端側は、引込部７ｃの下面からアーム支持部材７の内部に引き込まれている。また、引込部７ｃは、アーム支持部材７の左右方向の中心位置に形成されており、配線２９の他端側は、引込部７ｃの下面の左右方向の中心位置からアーム支持部材７の内部に引き込まれている。また、配線２９は、下側で折り返されている。

アーム支持部材７と柱部８との間において、配線２９は、フレキシブルチューブ４６の内部に配置されている。フレキシブルチューブ４６の一端は、柱部８に固定されている。具体的には、フレキシブルチューブ４６の一端は、引込部材４５の下面に固定されている。フレキシブルチューブ４６の他端は、アーム支持部材７に固定されている。具体的には、フレキシブルチューブ４６の他端は、引込部７ｃの下面に固定されている。配線２９およびフレキシブルチューブ４６は、配線２９およびフレキシブルチューブ４６の一部が下側柱部２４の凹部２４ａの中に配置されるように引き回されている。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、アーム支持部材７が柱状に形成される柱部８の前側面８ａに沿って昇降可能となっている。そのため、本形態は、柱部８の前側面８ａに沿って、ハンド４、５およびアーム６をアーム支持部材７と一緒に柱部８の下端側まで下げることが可能になる。したがって、本形態のロボット１では、ウエハ２が低い位置に収容されていても、ウエハ２を搬送することが可能になる。

本形態では、配線２９の一端側は、柱部８の前側から柱部８の内部に引き込まれ、配線２９の他端側は、アーム支持部材７の下面からアーム支持部材７の内部に引き込まれている。すなわち、本形態では、柱部８の前側で配線２９が引き回されており、柱部８の右側または左側で配線が引き回されていない。また、本形態では、アーム６はアーム支持部材７よりも上側に配置されている。そのため、本形態では、柱部８の前側面８ａに沿ってアーム支持部材７が昇降可能となっていても、図３の実線で示すように、柱部８の後側面（背面）のすぐ横に配置される半導体ウエハ処理装置１１に対してウエハ２を搬送する際に、アーム６と配線２９との干渉を防止することが可能になる。

また、本形態では、柱状部材２０の左側において、上側から見たときに、ガイドレール３１およびガイドブロック３２と、プーリ４１、４２とが重なっており、上下方向におけるプーリ４１とプーリ４２との間に、ガイドレール３１およびガイドブロック３２が配置されている。そのため、本形態では、ガイドレール３１およびガイドブロック３２と、プーリ４１、４２とが左右方向でずれている場合と比較して、柱部８の左右方向の幅を狭めることが可能になり、その結果、柱部８の背面のすぐ横に配置される半導体ウエハ処理装置１１に対してウエハ２を搬送する際に、柱部８とアーム６との干渉を防止することが可能になる。

このように本形態では、柱部８の背面のすぐ横に配置される半導体ウエハ処理装置１１に対してウエハ２を搬送する際に、アーム６と配線２９との干渉を防止することが可能になるとともに、柱部８とアーム６との干渉を防止することが可能になるため、柱部８の背面のすぐ横に配置される半導体ウエハ処理装置１１に対してウエハ２を搬送することが可能になる。

本形態では、配線２９の一端側は、柱部８の前側面８ａの上下方向の中心位置において柱部８の内部に引き込まれている。そのため、本形態では、アーム支持部材７の上下方向の移動ストロークを確保しつつ、アーム支持部材７と柱部８との間の配線２９の長さを短くすることが可能になる。また、本形態では、フレキシブルチューブ４６の内部に配線２９が配置されているため、フレキシブルチューブ４６によって配線２９の損傷を防止することが可能になる。

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

上述した形態では、配線２９の他端側は、アーム支持部材７の下面からアーム支持部材７の内部に引き込まれているが、配線２９の他端側は、第１アーム部１６の基端側部分の下面から第１アーム部１６の内部に引き込まれても良い。すなわち、配線２９の他端側は、アーム６の下面からアーム６の内部に引き込まれても良い。また、上述した形態では、配線２９の一端側は、柱部８の前側面８ａの上下方向の中心位置において柱部８の内部に引き込まれているが、配線２９の一端側は、前側面８ａの上端側から柱部８の内部に引き込まれても良い。また、上述した形態では、配線２９は、フレキシブルチューブ４６の内部に配置されているが、配線２９は、ケーブルベヤ（登録商標）に保持されていても良い。

上述した形態では、柱状部材２０の左側において、上側から見たときに、ガイドレール３１およびガイドブロック３２と、プーリ４１、４２とが重なっているが、ガイドレール３１およびガイドブロック３２と、プーリ４１、４２とが左右方向でずれていても良い。また、上述した形態では、ベルト４３は、柱状部材２０の左側に配置されているが、ベルト４３は、左右方向における柱部８の中心位置に配置されても良い。この場合には、前後方向から見たときに、配線２９の一部とベルト４３の一部とが重なるようにベルト４３が配置される。

上述した形態では、アーム６は、第１アーム部１６、第２アーム部１７および第３アーム部１８の３個のアーム部によって構成されているが、アーム６は、２個のアーム部によって構成されても良いし、４個以上のアーム部によって構成されても良い。また、上述した形態では、第３アーム部１８の先端側に２個のハンド４、５が取り付けられているが、第３アーム部１８の先端側に１個のハンドが取り付けられても良い。

上述した形態では、モータ４０は柱状部材２０の上端側に固定され、プーリ４２は柱状部材２０の下端側に回転可能に取り付けられているが、モータ４０が柱状部材２０の下端側に固定され、プーリ４２が柱状部材２０の上端側に回転可能に取り付けられても良い。また、上述した形態では、アーム昇降機構２８は、プーリ４１、４２およびベルト４３を備えているが、アーム昇降機構２８は、プーリ４１、４２およびベルト４３に代えて、ボールネジとこのボールネジに係合するナット部材とを備えていても良い。

上述した形態では、ロボット１は、筺体１４の内部の壁面のうちの後壁面に固定板２１が接触するように筐体１４に固定されているが、ロボット１は、筺体１４の内部の壁面のうちの前壁面に固定板２１が接触するように筐体１４に固定されても良い。また、上述した形態では、ロボット１は、ウエハ２を搬送するためのロボットであるが、ロボット１は、液晶用のガラス基板等の他の搬送対象物を搬送するロボットであっても良い。

１ ロボット（産業用ロボット）
２ ウエハ（半導体ウエハ、搬送対象物）
４、５ ハンド
６ アーム
７ アーム支持部材
８ 柱部
８ａ 前側面
１６ 第１アーム部
１７ 第２アーム部
１８ 第３アーム部
２０ 柱状部材
２０ｂ 左側面（一方面）
２７ ガイド機構
２８ アーム昇降機構
２９ 配線
３１ ガイドレール
３２ ガイドブロック
４０ モータ
４１ プーリ（駆動側プーリ）
４２ プーリ（従動側プーリ）
４３ ベルト
４６ フレキシブルチューブ

Claims (5)

1. 搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部材と、前記アーム支持部材を昇降可能に保持する柱状の柱部と、前記柱部に対して前記アーム支持部材を昇降させるアーム昇降機構と、前記アームおよび前記アーム支持部材のいずれか一方と前記柱部との間で、前記アームの外部、前記アーム支持部材の外部および前記柱部の外部を通過するように引き回される配線とを備え、
   前記柱部は、前後の側面を備える柱状に形成され、
   前記アーム支持部材は、前記柱部の前側に配置されるとともに前記柱部の前側面に沿って昇降可能となっており、
   前記配線の一端側は、前記柱部の前側から前記柱部の内部に引き込まれ、前記配線の他端側は、前記アームおよび前記アーム支持部材のいずれか一方の下面から前記アームおよび前記アーム支持部材のいずれか一方の内部に引き込まれていることを特徴とする産業用ロボット。
2. 前記配線の一端側は、前記柱部の前記前側面の上下方向の中心位置において前記柱部の内部に引き込まれていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。
3. 前記アームおよび前記アーム支持部材のいずれか一方と前記柱部との間で前記配線が内部に配置されるフレキシブルチューブを備え、
   前記フレキシブルチューブの一端は、前記柱部に固定され、前記フレキシブルチューブの他端は、前記アームおよび前記アーム支持部材のいずれか一方に固定されていることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。
4. 前記アーム支持部材を上下方向へ案内するガイド機構を備え、
   前記柱部は、前後の側面と左右の側面とを備える略四角柱状に形成される柱状部材を備え、
   前記ガイド機構は、前記柱状部材の左右の側面のそれぞれに固定されるガイドレールと、前記アーム支持部材に固定され前記ガイドレールに係合するガイドブロックとを備え、
   前記アーム昇降機構は、前記柱状部材の上端側および下端側のいずれか一方に固定されるモータと、前記モータの出力軸に連結される駆動側プーリと、前記柱状部材の上端側および下端側のいずれか他方に回転可能に取り付けられる従動側プーリと、前記駆動側プーリと前記従動側プーリとに架け渡されるベルトとを備え、
   前記ベルトの一部は、前記アーム支持部材に固定され、
   前記柱状部材の左右の側面の一方である一方面に沿って、前記駆動側プーリと前記従動側プーリと前記ベルトとが配置されるとともに前記ガイドレールと前記ガイドブロックとが配置され、
   前記柱状部材の前記一方面側では、上下方向から見たときに、前記駆動側プーリおよび前記従動側プーリと、前記ガイドレールおよび前記ガイドブロックとが重なるとともに、上下方向における前記駆動側プーリと前記従動側プーリとの間に前記ガイドレールと前記ガイドブロックとが配置されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。
5. 前記アームは、前記アーム支持部材に基端側が回動可能に連結される第１アーム部と、前記第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部と、前記第２アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結されるとともに前記ハンドが先端側に回動可能に連結される第３アーム部とから構成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の産業用ロボット。

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