KR20160121752A

KR20160121752A - 멀티 암 반송 로봇

Info

Publication number: KR20160121752A
Application number: KR1020150051124A
Authority: KR
Inventors: 김태현; 김종욱
Original assignee: 현대중공업 주식회사
Priority date: 2015-04-10
Filing date: 2015-04-10
Publication date: 2016-10-20

Abstract

본 발명은 멀티 암 반송 로봇에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 복수개의 기판을 동시에 반송할 수 있는 멀티 암 반송 로봇에 관한 것이다.
이를 위해, 복수의 기판을 반송할 수 있도록 복수개의 암이 구비된 반송 로봇에 있어서, 지면에 설치되고 내부에 수평레일이 구비되는 레일부; 상기 레일부의 레일 상에서 수평으로 주행하는 주행부; 상기 주행부 상측에 설치되어 회전하는 선회부; 상기 선회부 일측에 설치되고 수직상으로 배치되는 수직레일이 설치된 승강부; 및 상기 승강부의 레일상에서 수직으로 승강하고, 기판을 지지하는 복수개의 포크가 설치된 암 유닛;을 포함하여 구성되되, 상기 선회부는 주행부 상측 중심에 배치되고, 승강부는 선회부 중심에서 편심 되도록 배치되며, 슬라이딩 암이 승강부의 일측으로 배치되는 멀티 암 반송 로봇을 제공한다.

Description

멀티 암 반송 로봇{Transfer robot with multi arm}

본 발명은 멀티 암 반송 로봇에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 복수개의 기판을 동시에 반송할 수 있는 멀티 암 반송 로봇에 관한 것이다.

일반적으로 로봇은 여러 산업 분야에서 다양한 목적으로 이용되고 있는데, 반도체 제조 분야에서 기판을 반송하기 위해 반송 로봇을 이용하는 것을 예로 들 수 있다.

이러한 반송 로봇은 반도체웨이퍼, 액정표시장치용기판, 플라즈마디스플레이(plasma display)용기판, FED(Field Emission Display)용기판, 광디스크용기판, 자기디스크용기판, 광자기디스크용기판, 포토마스크(photomask)용기판 등의 다양한 형태의 기판을 카세트(cassette)로 효율적으로 반송하기 위한 로봇 시스템이다.

이렇게 반송 로봇은 제품 제작에 사용되는 기판을 공정과 공정 사이에 설치되어 기판을 특정 카세트(cassette)에서 카세트(cassette)로 이송하고 상하로 이격되게 적재되도록 이송하여 다음 공정의 작업을 수행할 수 있도록 한다.

도 1은 종래의 반송 로봇의 사시도로서, 도시된 바와 같이, 종래의 반송 로봇은 크게, 레일부(10), 주행부(20), 선회부(30), 승강부(40), 암 유닛(50)으로 구성된다.

상기 종래의 반송 로봇의 암 유닛(50)은 승강부(40)를 기준으로 상, 하로 이동되고, 주행부(20)의 수평이동을 통해 특정 위치의 카세트(cassette)로 기판을 반송할 수 있도록 구성된다.

하지만 종래의 반송 로봇의 경우, 암 유닛(50)에 설치되어 기판을 지지하는 포크(52)가 한 개만 설치됨으로써, 한 개의 기판만을 반송할 수밖에 없어 생산성이 떨어지는 문제가 있다.

또한, 도 2, 3은 종래의 반송 로봇의 선회부 부분 평면도로서, 도시된 바와 같이, 종래의 반송 로봇은, 상기 선회부(30) 중심에 승강부(40)가 설치되거나, 포크(52)가 레일부(10)의 면적보다 크게 돌출됨으로써 암(51)과 포크(52)에 의해 로봇의 선회동작반경이 커지게 되고, 이로 인해, 기판 이송을 위한 동작에 필요한 충분한 공간 확보가 어려운 문제가 있다.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 복수개의 기판을 동시에 반송할 수 있고, 선회부에서 편심되도록 승강부를 설치하고 슬라이딩 암을 선회부 중심에 배치함으로써, 반송 로봇의 선회동작반경을 줄일 수 있는 멀티 암 반송 로봇을 제공하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기술적 사상으로는, 복수의 기판을 반송할 수 있도록 복수개의 암이 구비된 반송 로봇에 있어서, 지면에 설치되고 내부에 수평레일이 구비되는 레일부; 상기 레일부의 레일 상에서 수평으로 주행하는 주행부; 상기 주행부 상측에 설치되어 회전하는 선회부; 상기 선회부 일측에 설치되고 수직상으로 배치되는 수직레일이 설치된 승강부; 및 상기 승강부의 레일상에서 수직으로 승강하고, 기판을 지지하는 복수개의 포크가 설치된 암 유닛;을 포함하여 구성되되, 상기 선회부는 주행부 상측 중심에 배치되고, 승강부는 선회부 중심에서 편심 되도록 배치되며, 슬라이딩 암이 승강부의 일측으로 배치되는 것을 특징으로 한다.

이때, 상기 암 유닛은, 승강부 일측에 체결되고 승강하기 위해 수직 구동부를 포함하는 암베이스; 상기 암베이스의 체결부분과 직각을 이루도록 암베이스에 설치되는 암바디; 상기 암바디의 상측과 하측에 복수개가 설치되고, 암바디와 직각을 이루도록 설치되는 슬라이딩 암; 상기 슬라이딩 암의 상측면과 하측면에 설치되고 절곡된 형태로 형성되는 복수개의 핸드프레임; 및 상기 복수개의 핸드프레임 마다 각각 설치되고, 기판을 지지하는 포크;를 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 암 유닛은, 선회부 회전시 레일부의 면적을 벗어나지 않은 상태로 선회할 수 있도록 슬라이딩 암의 크기가 레일부의 면적 보다 작게 형성되는 것이 바람직하다.

한편, 상기 암 유닛의 슬라이딩 암은, 2개를 1개의 쌍으로 이루어지고, 암바디의 상측과 하측에 복수개의 쌍이 설치되는 것이 바람직하다.

상기와 같은 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇은 다음과 같은 효과가 있다.

복수개의 암을 소정의 간격으로 배치될 수 있도록 구성하고 복수개의 포크를 설치하여 한 번의 이송으로 복수개의 기판을 반송할 수 있게 된다.

또한, 선회부에서 편심되도록 승강부를 배치하여 반송 로봇의 선회동작반경을 줄일 수 있게 된다.

이에 따라, 복수개의 기판을 한 번에 반송함으로써 생산성을 높일 수 있고, 선회부의 회전동작에 의한 선회동작반경을 줄여 기판 이송을 위한 회전동작시 충분한 공간을 확보할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 종래의 반송 로봇의 사시도.
도 2는 종래의 반송 로봇의 선회부 부분 평면도.
도 3은 종래의 반송 로봇의 선회부 부분 평면도.
도 4는 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇의 사시도.
도 5는 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇의 평면도.
도 6은 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇의 측면도.
도 7은 선회부 부분의 회전 동작 전 상태를 나타낸 작동상태도.
도 8은 선회부 부분의 회전 동작 후 상태를 나타낸 작동상태도.

본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

이하에서는, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부한 도 4 내지 도 8을 참조하여 상세히 설명한다.

도 4는 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇의 사시도, 도 5는 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇의 평면도, 도 6은 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇의 측면도, 도 7은 선회부 부분의 회전 동작 전 상태를 나타낸 작동상태도, 도 8은 선회부 부분의 회전 동작 후 상태를 나타낸 작동상태도이다.

도면을 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇은 크게, 레일부(100), 주행부(200), 선회부(300), 승강부(400), 암 유닛(500)을 포함하여 구성된다.

또한, 상기 멀티 암 반송 로봇은 복수개의 기판을 동시에 반송할 수 있도록 복수개의 암이 구비된다.

도 4를 참조하여 설명하면, 레일부(100)는 지면에 설치되고, 후술하는 주행부(200)가 수평상에서 주행할 수 있도록 안내하는 수평레일(110)을 포함하여 구성된다.

상기 수평레일(110)은 주행부(200)와 접하는 면, 즉, 레일부(100)의 내측에 설치될 수 있다.

또한, 상기 수평레일(110)은 주행부(200)의 수평 이동이 가능하도록 안내하기 위한 역할을 하는 것으로, 수평상으로 레일부(100)의 길이만큼 연장될 수 있다.

한편, 주행부(200)의 수평 이동이 가능하도록 형성되는 수평레일(110)의 형태를 보면, 평기어 형태의 랙기어, LM가이드의 레일, 볼스크류 구동 방식의 스크류 등으로, 수평 이동이 가능한 구조이면 어느 하나로 한정하지 않는다.

또한, 상기 레일부(100)는 내부에 공간이 마련되도록 형성되고 'ㄷ'자 또는 'ㅁ'자 형태로 형성될 수 있다.

여기서 상기 레일부(100)의 내부 공간에는 수평 케이블베어(120)가 설치될 수 있고, 상기 수평 케이블베어(120)는 레일부(100)의 양측으로 나란히 배치될 수 있다.

즉, 상기 수평 케이블베어(120)는 레일부(100)의 양측으로 한 쌍으로 구성되어 배치될 수 있고, 이는, 수평 케이블베어(120)의 폭을 줄이기 위해 레일부(100)의 양측으로 한 쌍으로 나누어 배치시키기 위함이다.

이렇게 수평 케이블베어(120)의 폭을 줄임으로써 상기 레일부(100)의 설치 면적을 줄일 수 있음은 물론 로봇의 동작간섭영역을 줄일 수 있는 효과를 얻을 수 있게 된다.

한편, 상기 수평 케이블베어(120)의 폭을 줄이기 위함으로, 레일부(100) 양측에 설치되는 한 쌍의 수평 케이블베어(120) 중 어느 하나의 수평 케이블베어(120)는 후술하는 배선설치부(130)를 기준으로 일측으로 설치되는 제1 수평 케이블베어(121), 타측에 설치되는 제2 수평 케이블베어(122)를 포함한다.

상기 제1 수평 케이블베어(121)와 제2 수평 케이블베어(122) 레일부(100)의 양측에 설치된 배선설치부(130)를 기준으로 일측과 타측으로 각각 설치된다.

또한, 후술하는 주행부(200)의 수평 이동에 따라 제1 수평 케이블베어(121)와 제2 수평 케이블베어(122)가 수평상에서 좌, 우로 서로 반대되는 위치로 번갈아 가면서 이동하게 된다.

이와 같이, 수평 케이블베어(120)를 레일부(100) 양측으로 나누어 배치하고, 양측 중 한쪽에 설치되는 어느 하나의 수평 케이블베어(120)는 배선설치부(130)를 기준으로 일측과 타측으로 각각 나누어 설치함으로써, 수평 케이블베어(120)의 폭을 줄일 수 있게 되는 것이다.

즉, 상기 수평 케이블베어(120)를 레일부(100) 양측을 나누어 배치시킴으로써 그 폭을 1/2로 줄일 수 있고, 배선설치부(130)를 기준으로 일측과 타측으로 각각 나눔으로써 폭을 다시 1/2로 줄일 수 있게 된다.

이는, 한쪽 방향에 모든 케이블을 묶음으로 배치시킨 상태로 케이블베어를 설치할 때와 비교하여 그 폭을 1/4로 줄일 수 있고, 레일부(100)의 설치면적을 줄일 수 있게 된다.

또한, 반송 로봇 암의 수에 대응하여 수평 케이블베어(120)의 개수가 구성될 수 있도록 할 수도 있으며, 이에 따라, 암의 개수에 대응하여 수평 케이블베어(120)의 개수가 정해지면서 수평 케이블베어(120)를 가변적으로 설계할 수도 있다.

한편, 상기 레일부(100) 양측에는 전원 및 제어 신호를 외부로부터 인가받기 위한 배선설치부(130)가 설치되고, 그 위치는 레일부(100)의 중간 지점이 될 수 있다.

따라서, 상기에서 설명한 바와 같이, 제1 수평 케이블베어(121)와 제2 케이블베어(122)가 상기 배선설치부(130)를 기준으로 일측과 타측으로 각각 나누어 설치됨에 따라, 수평 케이블베어(120)의 원활한 이동을 위해서 상기 배선설치부(130)가 설치되는 위치는 레일부(100)의 중간 지점으로 설정하는 것이 바람직할 것이다.

한편, 상기 배선설치부(130)는 레일부(100)의 외부로 돌출되지 않도록 레일부(100) 내부로 내장되도록 복수개의 단자가 구비된 케이블 커넥터(미도시)가 설치된다.

상기 케이블 커넥터는 로봇의 전원 및 신호 제어를 위한 케이블을 접속하기 위한 단자로서, 그 위치가 레일부(100) 안쪽에 위치할 수 있도록 설치된다.

여기서 상기 케이블 커넥터에 접속되는 케이블 측 커넥터는 'ㄱ'가 형태로 꺾어진 구조의 커넥터일 수 있으며, 이로 인해, 외부로부터 케이블이 케이블 커넥터에 접속된 상태에서도 레일부(100) 외부로 돌출되지 않는 구조가 될 수 있다.

따라서, 반송 로봇의 설치 공간을 최소화시켜 로봇의 동작간섭영역을 줄일 수 있는 효과를 도모한다.

한편, 레일부(100)는 지면에 직접 설치되거나, 설치공간의 환경에 맞게 지면으로부터 일정 높이를 띄운 상태로 설치하기 위해 레일부(100) 외측으로 복수개의 서포트(140)가 설치될 수 있다.

상기 서포트(140) 일측에는 수직으로 타공된 장공이 형성되고, 레일부(100)에 대해 장공에 볼트가 결합되어 서포트(140)가 설치될 수 있는 구조로 이루어진다.

다음으로, 주행부(200)는 반송 로봇의 수평 이동을 위한 부분이다.

상기 주행부(200)는 상기 레일부(100)의 수평레일(110) 상에서 수평으로 주행한다.

이를 위해, 수평레일(110)의 구조에 대응하도록 수평 구동부(210)가 형성될 수 있는데, 그 예로, 수평레일(110)이 평기어 형태의 랙기어로 구성될 경우, 주행부(200)에는 수평 구동부(210)는 피니언기어를 포함하는 모터가 설치될 수 있다.

따라서, 랙기어의 수평레일(110) 상에서 피니언기어가 설치된 수평 구동부(210)에 의해 주행부(200)가 수평상에서 이동할 수 있게 된다.

상기에서 설명한 바와 같이, 다양한 형태로 수평레일(110)을 구성할 수 있고, 이와 대응되도록 수평 구동부(210)를 구성할 수 있다.

다음으로, 선회부(300)는 반송 로봇의 회전동작을 하기 위한 부분이다.

상기 선회부(300)는 상기 주행부(200) 상측에 설치되고, 360도 회전 가능하도록 구성된다.

다음으로, 승강부(400)는 후술하는 암 유닛(500)을 수직상에서 승강하기 위한 가이드 역할을 한다.

도 5를 참조하여 설명하면, 상기 승강부(400)는 선회부(300) 중심에서 편심되도록 배치된다.

즉, 상기 승강부(400)는 선회부(300)의 일측에 편심된 상태로 수직으로 설치되어, 암 유닛(500)의 승강을 위한 가이드 역할을 수행한다.

이렇게 상기 승강부(400)를 선회부(300)로부터 편심되도록 배치시키는 이유는 후술하는 암 유닛(500)의 슬라이딩 암(530)이 레일부(100)의 면적을 벗어나지 않은 상태로 선회부(300)의 회전 동작이 이루어질 수 있도록 하기 위함으로, 이에 대하여, 이하에서 승강부(400)와 암 유닛(500)을 통해 구체적으로 설명하도록 한다.

한편, 상기 승강부(400) 일측에는 수직으로 수직레일(410)이 설치된다.

상기 수직레일(410)은 수평레일(110)과 마찬가지로 다양한 형태로 이루어질 수 있으며, 수직으로 이동하도록 안내할 수 있는 구조이면 어느 한 가지 형태로 한정하지 않는다.

한편, 상기 승강부(400) 내부에는 암 유닛(500)의 작동을 위해 케이블을 보호하고 암 유닛(500)의 승강에 따라 이동하는 수직 케이블베어(420)가 설치된다.

이때, 상기 수직 케이블베어(420)는 승강부(400)의 양측으로 나누어 한 쌍으로 배치되도록 이루어질 수 있다.

이는, 수직 케이블베어(420)의 폭을 줄이기 위해 승강부(400) 양측으로 나누어 배치시키기 위함이다.

여기서, 상기 승강부(400)의 양측으로 나누어 설치되는 한 쌍의 수직 케이블베어(420) 중 승강부(400) 일측에 설치되는 수직 케이블베어(420)는 암 유닛(500)의 승강에 따라 각각 상측과 하측으로 이동하는 제1 수직 케이블베어(421)와 제2 수직 케이블베어(422)를 포함한다.

이에 따라, 후술하는 암 유닛(500)의 수직 이동에 따라 제1 수직 케이블베어(421)와 제2 수직 케이블베어(422)가 수직상에서 상, 하로 서로 반대되는 위치로 번갈아 가면서 이동하게 된다.

이와 같이, 수직 케이블베어(420)를 승강부(400) 양측으로 나누어 배치하고, 양측 중 한쪽에 설치되는 어느 하나의 수직 케이블베어(420)는 상, 하측으로 나누어 설치함으로써, 수직 케이블베어(420)의 폭을 줄일 수 있게 되는 것이다.

즉, 상기 수직 케이블베어(420)를 승강부(400) 양측을 나누어 배치시킴으로써 그 폭을 1/2로 줄일 수 있고, 상, 하측으로 각각 나눔으로써 폭을 다시 1/2로 줄일 수 있게 된다.

이는, 한쪽 방향에 모든 케이블을 묶음으로 배치시킨 상태로 케이블베어를 설치할 때와 비교하여 그 폭을 1/4로 줄일 수 있고, 승강부(400)의 부피를 줄일 수 있게 된다.

다음으로, 암 유닛(500)은 기판을 지지하는 복수개의 포크(550)가 설치되는 부분이다.

상기 암 유닛(500)은 크게, 암베이스(510), 암바디(520), 슬라이딩 암(530), 핸드프레임(540), 포크(550)를 포함하여 구성된다.

상기 암베이스(510)는 상기 승강부(400)에 결합되고 수직레일(410)에 상에서 수직으로 승강하는 부분이다.

상기 암베이스(510) 내부에는 수직레일(410)의 구조와 대응되도록 수직 구동부(511)가 설치된다.

수직 구동부(511)는 상기 주행부(200)의 수평 구동부(210)와 마찬가지로 수직레일(410)의 구조에 대응되도록 구성된다.

한편, 상기 암베이스(510)에는 승강부(400)에 대해 직각을 이루도록 배치되는 암바디(520)가 설치된다.

이때, 상기 암바디(520)는 암베이스(510)의 상측과 하측에 각각 설치되는 것이 바람직하다.

상기 슬라이딩 암(530)은 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 암바디(520)에 대해 윗면에서 봤을 때 직각을 이루는 구조로 설치된다.

여기서, 상기 슬라이딩 암(530)은 복수개로 구성될 수 있고, 2개를 1개 쌍을 이루도록 일정 간격을 두고 4개의 쌍으로 구성될 수 있다.

하지만, 이는, 도면을 참고하여 설명하기 위한 것으로, 슬라이딩 암(530)의 개수는 한정하지 않는다.

한편, 도 7 내지 도 8을 참고하여 설명하면, 상기 암 유닛(500)은 선회부(300) 회전시 레일부(100)의 면적을 벗어나지 않은 상태로 선회할 수 있도록 슬라이딩 암(530)의 크기가 레일부(100)의 면적 보다 작게 형성되는 것이 바람직하다.

즉, 선회부(300)의 일측으로 편심되도록 승강부(400)를 배치하고, 승강부(400) 일측, 선회부(300)의 중앙에 레일부(100)의 면적보다 작게 슬라이딩 암(530)이 배치되도록 함으로써, 선회부(300)의 회전시 슬라이딩 암(530)이 레일부(100)의 면적을 벗어나지 않고 회전할 수 있게 되는 것이다.

상기 슬라이딩 암(530)은 후술하는 핸드프레임(540)이 수평상으로 이동할 수 있도록 하기 위한 것으로, 모터(미도시)를 포함할 수 있다.

또한, 상기 슬라이딩 암(530)에는 하측면과 상측면으로 레일홈(531)이 길이방향으로 형성될 수 있다.

상기 레일홈(531)은 슬라이딩 암(530)에 홈 형태로 형성되거나, 돌출된 레일의 형태로도 이루어질 수 있으며, 핸드프레임(540)과 결합되어 슬라이딩될 수 있는 구성이면 이를 모두 포함한다.

따라서, 핸드프레임(540)이 레일홈(531)에 안착된 상태로 슬라이딩될 수 있게 되는 것이다.

또한, 복수개의 핸드프레임(540)이 각각 개별적으로 슬라이딩될 수도 있다.

한편, 도 6을 참고하여 설명하면, 상기 핸드프레임(540)은 후술하는 포크(550)를 설치하기 위한 부분이다.

상기 핸드프레임(540)은 상기 슬라이딩 암(530)에 설치된다.

즉, 복수개로 구성되는 슬라이딩 암(530)의 개수에 맞게 상측면과 하측면에 설치될 수 있다.

즉, 상측의 암바디(520)에 설치되는 슬라이딩 암(530)에 설치되는 핸드프레임(540)은 슬라이딩 암(530) 하측면에, 하측의 암바디(520)에 설치되는 슬라이딩 암(530)에 설치되는 핸드프레임(540)은 슬라이딩 암(530) 상측면에 설치될 수 있다.

또한, 슬라이딩 암(530)의 레일홈(531)에 체결될 수도 있다.

이때, 상기 핸드프레임(540)은 직각으로 절곡된 구조로 형성되되, 그 길이를 달리하여 상측의 슬라이딩 암(530)과 하측의 슬라이딩 암(530) 사이에 핸드프레임(540)이 일정 간격으로 배열될 수 있도록 구성된다.

이를 위해, 상측의 슬라이딩 암(530)에는 'ㄴ'자 형태로 절곡되도록 하고, 하측의 슬라이딩 암(530)에는 'ㄱ'자 형태로 절곡되도록 구성하는 것이 바람직하다.

상기 포크(550)는 기판을 지지하기 위한 역할을 하는 부분이다.

상기 포크(550)는 복수개가 설치되며, 상기 핸드프레임(540)의 개수에 대응하도록 구성된다.

즉, 상기 핸드프레임(540)의 끝단부에 막대 형태로 설치될 수 있다.

따라서, 기판은 복수개의 포크(550)에 얹어진 상태로 정렬된 상태로 반송될 수 있다.

그리고 상기 포크(550)는 슬라이딩 암(530)의 길이 보다 길지 않도록 형성되는 것이 바람직하다.

이하에서는 도 4 내지 도 8을 참조하여 상기 설명한 멀티 암 반송 로봇의 작용에 대하여 설명한다.

먼저, 작업공간의 지면에 레일부(100)가 설치되고, 레일부(100)에 설치된 수평레일(110) 상에서 주행부(200)의 수평 구동부(210)의 작동에 의해 주행부(200)는 수평 상에서 좌, 우로 주행하게 된다.

이때, 레일부(100)에 설치된 수평 케이블베어(120)는 주행부(200)의 양측, 즉, 레일부(100)의 양측 부분에 설치된 한 쌍의 수평 케이블베어(120)는 주행부(200)의 주행에 따라 수평상에서 좌, 우로 번갈아 가면서 이동하게 된다.

그 다음, 반송 로봇의 회전 동작을 요하는 경우, 선회부(300)의 작동에 의해 회전 동작을 구현한다.

이때, 승강부(400)가 선회부(300)로부터 편심되도록 배치되고, 슬라이딩 암(530)이 선회부(300) 중앙의 상측에 배치되어 선회부(300)의 회전 동작 시 암 유닛(500)이 레일부(100)의 면적을 벗어나지 않은 상태로 회전이 가능하게 된다.

그 다음, 수직으로 이동하는 동작이 필요한 경우, 승강부(400)의 수직레일(410) 상에서 암 유닛(500)의 암베이스(510)가 수직으로 승강되면서 수직 동작을 구현한다.

여기서, 상기 암베이스(510)의 수직 구동부(511)의 작동에 따라 암 유닛(500)이 승강부(400) 상에서 수직으로 주행이 가능해진다.

이때, 승강부(400)에 설치된 수직 케이블베어(420)는 승강부(400)의 양측에 설치된 한 쌍의 수직 케이블베어(420)는 암 유닛(500)의 주행에 따라 수직상에서 상, 하로 번갈아 가면서 이동하게 된다.

한편, 암 유닛(500)에 설치되는 포크(550)에 기판이 얹어지는데, 기판의 특성 및 크기에 따라 기판의 개수를 정하고, 이에 대하여 핸드프레임(540)의 배열을 달리하여 포크(550) 사이의 간격을 설정할 수 있다.

이와 같이, 상기 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇은 복수개의 기판을 탑재한 상태로 수평, 수직, 회전 동작을 구현하여 반송 작업을 수행할 수 있게 된다.

상기 설명한 바와 같이, 복수개의 슬라이딩 암(530)을 소정의 간격으로 배치될 수 있도록 구성하고 복수개의 포크(550)를 설치하여 한 번의 이송으로 복수개의 기판을 반송할 수 있게 된다.

또한, 선회부(300)에서 편심되도록 승강부(400)를 배치하여 반송 로봇의 선회동작반경을 줄일 수 있게 된다.

이에 따라, 복수개의 기판을 한 번에 반송함으로써 생산성을 높일 수 있고, 선회부(300)의 회전동작에 의한 선회동작반경을 줄여 기판 이송을 위한 회전동작시 충분한 공간을 확보할 수 있는 특징이 있는 것이다.

한편, 본 발명은 앞서 설명한 실시예로 한정되는 것이 아니라 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 수정 및 변형하여 실시할 수 있고, 그러한 수정 및 변형이 가해진 것도 본 발명의 기술적 사상에 속하는 것으로 보아야 한다.

100: 레일부 110: 수평레일
120: 수평 케이블베어 121: 제1 수평 케이블베어
122: 제2 수평 케이블베어 130: 배선설치부
140: 서포트 200: 주행부
210: 수평 구동부 300: 선회부
400: 승강부 410: 수직레일
420: 수직 케이블베어 421: 제1 수직 케이블베어
422: 제2 수직 케이블베어 500: 암 유닛
510: 암베이스 511: 수직 구동부
520: 암바디 530: 슬라이딩 암
531: 레일홈 540: 핸드프레임
550: 포크

Claims

복수의 기판을 반송할 수 있도록 복수개의 암이 구비된 반송 로봇에 있어서,
지면에 설치되고 내부에 수평레일이 구비되는 레일부;
상기 레일부의 레일 상에서 수평으로 주행하는 주행부;
상기 주행부 상측에 설치되어 회전하는 선회부;
상기 선회부 일측에 설치되고 수직상으로 배치되는 수직레일이 설치된 승강부; 및
상기 승강부의 레일상에서 수직으로 승강하고, 기판을 지지하는 복수개의 포크가 설치된 암 유닛;을 포함하여 구성되되,
상기 선회부는 주행부 상측 중심에 배치되고, 승강부는 선회부 중심에서 편심 되도록 배치되며, 슬라이딩 암이 승강부의 일측으로 배치되는 것을 특징으로 하는 멀티 암 반송 로봇.
제 1항에 있어서,
상기 암 유닛은,
승강부 일측에 체결되고 승강하기 위해 수직 구동부를 포함하는 암베이스;
상기 암베이스의 체결부분과 직각을 이루도록 암베이스에 설치되는 암바디;
상기 암바디의 상측과 하측에 복수개가 설치되고, 암바디와 직각을 이루도록 설치되는 슬라이딩 암;
상기 슬라이딩 암의 상측면과 하측면에 설치되고 절곡된 형태로 형성되는 복수개의 핸드프레임; 및
상기 복수개의 핸드프레임 마다 각각 설치되고, 기판을 지지하는 포크;를 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 암 반송 로봇.
제 2항에 있어서,
상기 암 유닛은, 선회부 회전시 레일부의 면적을 벗어나지 않은 상태로 선회할 수 있도록 슬라이딩 암의 크기가 레일부의 면적 보다 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 멀티 암 반송 로봇.
제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 암 유닛의 슬라이딩 암은, 2개를 1개의 쌍으로 이루어지고, 암바디의 상측과 하측에 복수개의 쌍이 설치되는 것을 특징으로 하는 하는 멀티 암 반송 로봇.