JP2010091823A - 光学ユニットの製造方法、撮像ユニットの製造方法、光学ユニット、撮像ユニット - Google Patents
光学ユニットの製造方法、撮像ユニットの製造方法、光学ユニット、撮像ユニット Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】光学部品が形成されたレンズウエハ12a〜12eを複数枚貼り合わせて、レンズユニットが複数構成されたレンズユニットウエハ12を形成する工程と、レンズユニットウエハ12の一面12fに対し、複数の折り曲げ光学素子3が構成された折り曲げ光学素子ウエハ13を、複数の折り曲げ光学素子3が複数のレンズユニットにそれぞれ対向するよう貼り合わせ、光学ユニットウエハ10を形成する工程と、光学ユニットウエハ10を、レンズユニット及び折り曲げ光学素子3毎に分断して個別化し、複数の光学ユニットを製造する工程と、を具備することを特徴とする。
【選択図】図7
Description
(第1実施の形態)
図1は、本実施の形態を示す光学ユニットの上面図、図2は、図1中のII-II線に沿う光学ユニットの断面図、図3は、図2の光学ユニットの変形例の構成を示す断面図、図4は、本実施の形態を示す撮像ユニットの上面図、図5は、図4中のV-V線に沿う撮像ユニットの断面図である。
図11は、本実施の形態を示す光学ユニットの上面図、図12は、図11中のXI-XI線に沿う光学ユニットの断面図、図13は、本実施の形態を示す撮像ユニットの上面図、図14は、図13中のXIV-XIV線に沿う撮像ユニットの断面図である。
2…レンズユニット
2a…平板(光学部品)
2b…スペーサ(光学部品)
2c…レンズ部品(光学部品)
2cl…凸凸レンズ
2cl’…平凸レンズ
2d…絞り(光学部品)
2e…平板(光学部品)
3…折り曲げ光学素子
3a…折り曲げ光学素子の入射面
3b…折り曲げ光学素子の傾斜面
3b’…折り曲げ光学素子の曲面
3c…折り曲げ光学素子の出射面
4…固体撮像素子
4a…受光部
5…撮像ユニット
10…光学ユニットウエハ
10’…光学ユニットウエハ
12…レンズユニットウエハ
12’…レンズユニットウエハ
12a…レンズウエハ
12b…レンズウエハ
12c…レンズウエハ
12d…レンズウエハ
12e…レンズウエハ
12f…レンズユニットウエハの一面(入射面)
12g…レンズユニットウエハの他面(出射面)
12a’…レンズウエハ
12b’…レンズウエハ
12c’…レンズウエハ
12d’…レンズウエハ
12e’…レンズウエハ
12f’…レンズユニットウエハの一面(出射面)
12g’…レンズユニットウエハの他面
13…折り曲げ光学素子ウエハ
13’…折り曲げ光学素子ウエハ
14…センサウエハ
15…撮像ユニットウエハ
41…光学ユニット
42…レンズユニット
42a…平板(光学部品)
42b…スペーサ(光学部品)
42c…レンズ部品(光学部品)
42cl…凸凸レンズ
42d…絞り(光学部品)
42e…平板(光学部品)
43…折り曲げ光学素子
43a…折り曲げ光学素子の出射面
43b…折り曲げ光学素子の傾斜面
43c…折り曲げ光学素子の入射面
43d…凹部
43dt…光学面
44…固体撮像素子
44a…受光部
45…撮像ユニット
Claims (8)
- 光学部品が形成されたレンズウエハを複数枚貼り合わせて、レンズユニットが複数構成されたレンズユニットウエハを形成する工程と、
前記レンズユニットウエハの一面に対し、複数の折り曲げ光学素子が構成された折り曲げ光学素子ウエハを、前記複数の折り曲げ光学素子が前記複数のレンズユニットにそれぞれ対向するよう貼り合わせ、光学ユニットウエハを形成する工程と、
前記光学ユニットウエハを、前記レンズユニット及び前記折り曲げ光学素子毎に分断して個別化し、複数の光学ユニットを製造する工程と、
を具備することを特徴とする光学ユニットの製造方法。 - 光学部品が形成されたレンズウエハを複数枚貼り合わせて、レンズユニットが複数構成されたレンズユニットウエハを形成する工程と、
前記レンズユニットウエハの一面に対し、複数の折り曲げ光学素子が構成された折り曲げ光学素子ウエハを、前記複数の折り曲げ光学素子が前記複数のレンズユニットにそれぞれ対向するよう貼り合わせ、光学ユニットウエハを形成する工程と、
前記光学ユニットウエハにおける前記レンズユニットウエハの前記一面に対向する他面に対し、複数の固体撮像素子が構成されたセンサウエハを、前記複数の固体撮像素子が前記複数のレンズユニットにそれぞれ対向するよう貼り合わせ、撮像ユニットウエハを形成する工程と、
前記撮像ユニットウエハを、前記レンズユニット、前記折り曲げ光学素子及び前記固体撮像素子毎に分断して個別化し、複数の撮像ユニットを製造する工程と、
を具備することを特徴とする撮像ユニットの製造方法。 - 前記レンズユニットウエハの前記一面は、前記各レンズユニットへの光の入射面を構成しており、
撮像ユニットウエハを形成する工程は、前記センサウエハを、前記レンズユニットウエハの前記各レンズユニットからの光の出射面を構成する前記他面に対し、前記各固体撮像素子の受光部が前記各レンズユニットから出射された各光を受光する位置に貼り合わせることを特徴とする請求項2に記載の撮像ユニットの製造方法。 - 光学部品が形成されたレンズウエハを複数枚貼り合わせて、レンズユニットが複数構成されたレンズユニットウエハを形成する工程と、
前記レンズユニットウエハの一面に対し、複数の折り曲げ光学素子が構成された折り曲げ光学素子ウエハを、前記複数の折り曲げ光学素子が前記複数のレンズユニットにそれぞれ対向するよう貼り合わせ、光学ユニットウエハを形成する工程と、
前記光学ユニットウエハを、前記レンズユニット及び前記折り曲げ光学素子毎に分断して個別化し、複数の光学ユニットを製造する工程と、
前記各光学ユニットの前記折り曲げ光学素子の光の出射面に対し、固体撮像素子をそれぞれ貼着する工程と、
を具備することを特徴とする撮像ユニットの製造方法。 - 前記各折り曲げ光学素子の前記出射面にそれぞれ凹部が形成され、該凹部の底面に光学面がそれぞれ形成されており、
前記固体撮像素子を貼着する工程は、前記各固体撮像素子の受光部と、前記各折り曲げ光学素子の前記光学面との間に空間が形成されるとともに、前記各受光部が前記各光学面から出射された各光を受光する位置に、前記固体撮像素子を貼り合わせることを特徴とする請求項4に記載の撮像ユニットの製造方法。 - 前記レンズユニットウエハの前記一面は、前記各レンズユニットからの光の出射面を構成しており、
前記光学ユニットウエハを形成する工程は、前記レンズユニットウエハの前記出射面に、前記折り曲げ光学素子ウエハを貼り合わせる工程であることを特徴とする請求項4または5に記載の撮像ユニットの製造方法。 - 請求項1に記載の光学ユニットの製造方法によって製造されたことを特徴とする光学ユニット。
- 請求項2〜6のいずれか1項に記載の撮像ユニットの製造方法によって製造されたことを特徴とする撮像ユニット。
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