JP2010062281A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 被照明面を照明する照明光学系であって、
   光源からの光で複数の光源を形成する第１の反射型インテグレータと、
   母線方向が揃った複数の円筒反射面を有し、前記第１の反射型インテグレータからの光で複数の線状光源を形成する第２の反射型インテグレータと、
   前記複数の線状光源を挟むように、前記円筒反射面の母線方向に沿って対向して配置された一対の平面ミラーと、
   前記被照明面に対して光学的にフーリエ変換の関係を有し、前記円筒反射面の母線方向に垂直な方向に前記第２の反射型インテグレータの射出側に配置され、開口形状が切り替え可能な開口絞りと、
   前記開口絞りの前記開口形状の切り替えに応じて前記一対の平面ミラーの間隔を調整する調整手段と、
   を有することを特徴とする照明光学系。
2. 被照明面を照明する照明光学系であって、
   光源からの光で複数の光源を形成し、発散角が異なる複数の第１の反射型インテグレータと、
   前記複数の第１の反射型インテグレータのうちの一つを光路に選択的に配置する第１選択部と、
   母線方向が揃った複数の円筒反射面を有し、前記第１の反射型インテグレータからの光で複数の線状光源を形成する第２の反射型インテグレータと、
   前記複数の線状光源を挟むように、前記円筒反射面の母線方向に沿って対向して配置された一対の平面ミラーと、
   前記被照明面と光学的にフーリエ変換の関係を有する位置に配置されると共に、前記円筒反射面の母線方向に垂直な方向に前記第２の反射型インテグレータの射出側に配置され、開口パターンが異なる複数の開口絞りと、
   前記複数の開口絞りのうちの一つを光路に選択的に配置する第２選択部と、
   前記一対の平面ミラーの間隔を調整する調整手段と、
   を有し、
   前記第２選択部による選択に応じて前記第１選択部による選択と前記調整手段による調整の少なくとも一方を行うことを特徴とする照明光学系。
3. 前記開口絞りの前記開口形状の切り替えに応じて前記円筒反射面の母線方向に垂直な前記方向に前記第２の反射型インテグレータを移動する移動手段を更に有することを特徴とする請求項１に記載の照明光学系。
4. 前記複数の第１の反射型インテグレータの少なくとも一つは、互いに異なる偏向作用を有する複数の素子を有することを特徴とする請求項２に記載の照明光学系。
5. 光路に沿って前記第１の反射型インテグレータと前記第２の反射型インテグレータとの間に前記第１の反射型インテグレータからの発散光を集光する光学ユニットを更に有することを特徴とする請求項１〜４のうちいずれか一項に記載の照明光学系。
6. 前記開口絞りは、変形照明を形成する形状を有することを特徴とする請求項１〜５のうちいずれか一項に記載の照明光学系。
7. 原版を照明する請求項１〜６のうちいずれか一項に記載の照明光学系と、
   原版のパターンを基板に投影する投影光学系と、
   を有することを特徴とする露光装置。
8. 請求項７に記載された露光装置を用いて基板を露光するステップと、
   露光された基板を現像するステップと、
   を有することを特徴とするデバイスの製造方法。