JP2009539626A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 基板をローディングする方法において、
   上記基板に支持を与えるように構成されたベース部材を準備するステップと、
   上記ベース部材にマウントされる柔軟なメンブレンを準備し、この柔軟なメンブレンが上記ベース部材とで中央チャンバーを形成するようにするステップと、
   上記中央チャンバーの通気を助けるために上記基板を上記柔軟なメンブレンに対し押し付けるステップと、
   上記中央チャンバーからポンプ排出することにより上記基板を上記柔軟なメンブレンに真空チャックするステップと、
   を備えた方法。
2. 上記柔軟なメンブレンは、上記ベース部材の周りに縁チャンバーを形成する、請求項１に記載の方法。
3. 基板を真空チャックする前に、上記縁チャンバーを膨張させて、上記基板と上記柔軟なメンブレンとの間にシールを形成するステップを更に備えた、請求項２に記載の方法。
4. 基板を押し付ける前に、上記中央チャンバー及び上記縁チャンバーを通気するステップを更に備えた、請求項２に記載の方法。
5. 基板を押し付ける前に、上記中央チャンバーを通気するステップを更に備えた、請求項１に記載の方法。
6. 基板を押し付ける上記ステップは、制御された力を使用して実行される、請求項１に記載の方法。
7. 基板を柔軟なメンブレンに対し押し付ける上記ステップは、上記柔軟なメンブレンが上記ベース部材の底面に接触するまで基板を押し付けることを含む、請求項１に記載の方法。
8. 基板を上記柔軟なメンブレンに対して押し付けるように構成された基板支持体を準備するステップを更に備えた、請求項１に記載の方法。
9. 基板を真空チャックする方法において、
   上記基板をマウントするように構成された柔軟なメンブレンの中央チャンバーを通気させるステップと、
   上記基板の裏側が上記柔軟なメンブレンに完全に接触するように上記基板を移動するステップと、
   上記中央チャンバーを真空にして、上記基板の裏側を上記柔軟なメンブレンに真空チャックさせるステップと、
   を備えた方法。
10. 面を下に向けた位置において基板を基板支持体上に位置させるステップを更に備えた、請求項９に記載の方法。
11. 基板を移動する上記ステップは、
    上記基板を上記柔軟なメンブレンに向けて上昇させる段階と、
    上記基板を上記柔軟なメンブレンに対して押し付けて、上記中央チャンバーを強制通気させる段階と、
    を含む、請求項１０に記載の方法。
12. 基板を上昇させる上記段階及び押し付ける上記段階は、上記基板支持体により遂行される、請求項１１に記載の方法。
13. 上記中央チャンバーを通気しながら、上記柔軟なメンブレンの縁チャンバーを通気するステップを更に備えた、請求項９に記載の方法。
14. 上記中央チャンバーを真空にする前に、上記縁チャンバーを膨張させて上記基板と上記柔軟なメンブレンとの間にシールを形成するステップを更に備えた、請求項１３に記載の方法。
15. 上記柔軟なメンブレンにより上記基板に所定の力が付与されたときに上記基板を停止するステップを更に備えた、請求項９に記載の方法。