DE112007003710T5

DE112007003710T5 - Polierkopf und Poliervorrichtung

Info

Publication number: DE112007003710T5
Application number: DE112007003710T
Authority: DE
Inventors: Hisashi Masumura; Koji Kitagawa; Kouji Morita; Hiromi Kishida; Satoru Arakawa
Original assignee: Fujikoshi Machinery Corp; Shin Etsu Handotai Co Ltd
Current assignee: Fujikoshi Machinery Corp; Shin Etsu Handotai Co Ltd
Priority date: 2007-11-20
Filing date: 2007-11-20
Publication date: 2010-12-02
Also published as: US20100210192A1; KR20100094466A; CN101827685A; WO2009066351A1

Abstract

Polierkopf, mindestens umfassend: eine in etwa scheibenförmige Mittelplatte; einen Kunststofffilm, der mindestens den unteren Flächenabschnitt und einen Seitenflächenabschnitt der Mittelplatte abdeckt; und einen Raumabschnitt, der von der Mittelplatte und dem Kunststofffilm umgeben ist; wobei der Druck des Raumabschnitts durch eine Druckeinstelleinrichtung geändert werden kann, eine Rückseite eines Werkstücks an einem unteren Flächenabschnitt des Kunststofffilms gehalten wird und eine Vorderseite des Werkstücks in Gleitkontakt mit einem Polierkissen gebracht wird, das zum Durchführen des Poliervorgangs an einem Drehteller angebracht ist; wobei die Mittelplatte und der Kunststofffilm sich nicht berühren, so dass ein Spalt zumindest über den ganzen unteren Flächenabschnitt der Mittelplatte besteht.

Description

TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Polierkopf zum Halten eines Werkstücks, wenn eine Oberfläche des Werkstücks poliert wird, und eine diesen aufweisende Poliervorrichtung, und insbesondere einen Polierkopf zum Halten des Werkstücks an einem Kunststoffilm und eine diesen aufweisende Poliervorrichtung.
STAND DER TECHNIK
Als Vorrichtung zum Polieren einer Oberfläche eines Werkstücks, wie beispielsweise eines Siliziumwafers, gibt es eine Einseitenpoliervorrichtung, bei der das Werkstück jeweils auf einer Seite poliert wird, und eine Doppelseitenpoliervorrichtung, bei der beide Seiten des Werkstücks zur selben Zeit poliert werden.
Wie beispielsweise in der 9 gezeigt ist, umfasst eine übliche Einseitenpoliervorrichtung einen Drehteller 93, an dem ein Polierkissen 94 befestigt ist, eine Poliermittel-Zuführeinrichtung 96, einen Polierkopf 92 und dergleichen. Die Poliervorrichtung 91 poliert ein Werkstück W dadurch, dass das Werkstück W mit dem Polierkopf 92 gehalten wird, dem Polierkissen 94 durch die Poliermittel-Zuführeinrichtung 96 das Poliermittel 95 zugeführt wird, der Drehteller 93 bzw. der Polierkopf 92 in Drehung versetzt wird und die Oberfläche des Werkstücks W mit dem Polierkissen 94 in Gleitkontakt gebracht wird.
Als Verfahren zum Halten des Werkstücks im Polierkopf gibt es beispielsweise ein Verfahren zum Befestigen des Werkstücks an einer flachen scheibenartigen Platte mit einem Haftmittel, wie beispielsweise Wachs. Außerdem gibt es als Verfahren zum Verbessern der Flachheit des Werkstücks ein so genanntes Gummispannverfahren, bei dem ein Werkstückhalteabschnitt aus einem Kunststofffilm besteht, ein Druckfluid, wie beispielsweise Luft, in eine Rückseite des Kunststofffilms eingeleitet wird und der Kunststofffilm mittels eines gleichmäßigen Drucks aufgeblasen wird, wodurch das Werkstück gegen das Polierkissen gedrückt wird (siehe japanische Patentanmeldung mit der Offenlegungsnummer (kokai) H05-69310 , japanische Patentanmeldung mit der Offenlegungsnummer (kokai) 2005-313313 usw.).
Ein Beispiel für den Aufbau eines herkömmlichen Polierkopfs durch ein Gummispannverfahren ist schematisch in der 8(a) gezeigt und eine vergrößerte Darstellung eines Umfangsabschnitts des Polierkopfs ist in der 8(b) gezeigt. Ein wesentlicher Teil des Polierkopfs 71 besteht aus einer in etwa scheibenförmigen Mittelplatte 72 und einem Kunststofffilm 73, der durch Anpassen desselben an die Mittelplatte 72 angebracht ist. Der Kunststofffilm 73 wird durch einen Umfangsabschnitt 72c einer oberen Fläche, einen Seitenflächenabschnitt 72b und einen Umfangsabschnitt eines unteren Flächenabschnitts 72a der Mittelplatte gestützt. Ein vorstehender Abschnitt 72d wird im Umfangsabschnitt des unteren Flächenabschnitts 72a der Mittelplatte ausgebildet, um einen Raumabschnitt 74 zwischen dem Kunststofffilm 73 und der Mittelplatte zu bilden. Eine Durchgangsöffnung 76 zur Druckeinstellung in Verbindung mit einer Druckeinstelleinrichtung 75 ist im Mittelpunkt der Mittelplatte 72 vorgesehen und der Druck des Raumabschnitts 74 wird zum Beispiel durch Zuführen eines Druckfluids mit der Druckeinstelleinrichtung 75 eingestellt. Darüber hinaus umfasst der Polierkopf ein Druckmittel (nicht gezeigt), um die Mittelplatte 72 in Richtung auf das Polierkissen 94 zu drücken.
Außerdem gibt es den Fall, in dem ein Polierkopf mit dem wie in der japanischen Patentanmeldung mit der Offenlegungsnummer (kokai) 2005-313313 beschriebenen Aufbau verwendet wird, der mit einer Einrichtung zum Beaufschlagen der Mittelplatte mit einem gleichmäßigen Druck, einer Einrichtung zum Beaufschlagen eines Halterings, der in einem Umfangsbereich eines Werkstückhalteabschnitts angeordnet ist, mit einem Druck und dergleichen ausgestattet ist, und zwar zusätzlich zu einer Einrichtung zum Beaufschlagen eines Kunststofffilms mit einem Druck.
Das Werkstück W wird am unteren Flächenabschnitt des Kunststofffilms 73 über ein Zusatzkissen 77 gehalten und mit dem an einer oberen Fläche des Drehtellers 93 angebrachten Polierkissen 94 in Gleitkontakt gebracht, indem die Mittelplatte zum Durchführen des Poliervorgangs mittels des wie oben beschrieben konfigurierten Polierkopfs angedrückt wird.
Es wird beschrieben, dass das Polieren des Werkstücks mittels des Polierkopfs durch ein Gummispannverfahren, wie oben beschrieben, es ermöglicht, ein Werkstück mit einer relativ guten Gleichmäßigkeit des Poliermaterialabtrags zu erhalten. Allerdings gibt es das Problem, dass eine Poliersenke oder dergleichen insbesondere an einem äußeren Umfangsabschnitt auftritt. Daher ist es notwendig, die Gleichmäßigkeit des Poliermaterialabtrags weiter zu verbessern.
OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
Im Hinblick auf die oben erläuterten Probleme ist es eine Hauptaufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Polierkopf mittels eines Gummispannverfahrens zur Verfügung zu stellen, bei dem das Werkstück mit einer gleichmäßigen Polierlast bzw. -kraft beaufschlagt werden kann, ohne dass die Steifigkeit oder Flachheit der Mittelplatte beeinflusst wird.
Um die obige Aufgabe zu lösen, stellt die vorliegende Erfindung einen Polierkopf zur Verfügung, mindestens umfassend: eine in etwa scheibenförmige Mittelplatte; einen Kunststofffilm, der mindestens einen unteren Flächenabschnitt und einen Seitenflächenabschnitt der Mittelplatte abdeckt; und einen Raumabschnitt, der von der Mittelplatte und dem Kunststofffilm umgeben ist; wobei der Druck des Raumabschnitts durch eine Druckeinstelleinrichtung geändert werden kann, eine Rückseite eines Werkstücks an einem unteren Flächenabschnitt des Kunststofffilms gehalten wird und eine Vorderseite des Werkstücks in Gleitkontakt mit einem Polierkissen gebracht wird, das zum Durchführen des Polierens an einem Drehteller angebracht ist; wobei die Mittelplatte und der Kunststofffilm sich nicht berühren, so dass ein Spalt zumindest über den ganzen unteren Flächenabschnitt der Mittelplatte besteht.
Wenn das Werkstück mittels des Polierkopfs poliert wird, wobei die Mittelplatte und der Kunststofffilm sich nicht berühren, so dass ein Spalt zumindest über den ganzen unteren Flächenabschnitt der Mittelplatte besteht, wie oben beschrieben, da der Spalt zwischen dem unteren Flächenabschnitt der Mittelplatte und dem Kunststofffilm besteht, kann das Werkstück poliert werden, während das Werkstück mit einer gleichmäßigen Polierkraft beaufschlagt wird, ohne dass die Steifigkeit oder Flachheit der Mittelplatte beeinflusst wird. Daher kann das Werkstück unter Beibehaltung einer hohen Flachheit über das gesamte Werkstück, insbesondere im äußeren Umfangsabschnitt, poliert werden.
In diesem Fall beträgt der Spalt zwischen der Mittelplatte und dem Kunststofffilm vorzugsweise weniger als 1 mm.
Wenn der Spalt zwischen der Mittelplatte und dem Kunststofffilm weniger als 1 mm beträgt, kann das Werkstück auf diese Weise bei einem stabileren Druck des Raumabschnitts poliert werden.
Darüber hinaus ist es bevorzugt, dass die Mittelplatte und der Kunststofffilm sich weiterhin nicht berühren, so dass ein Spalt über den gesamten Seitenflächenabschnitt der Mittelplatte besteht.
Wenn die Mittelplatte und der Kunststofffilm sich weiterhin nicht berühren, so dass ein Spalt über den gesamten Seitenflächenabschnitt der Mittelplatte besteht, da die Seitenfläche der Mittelplatte auch nicht den Kunststofffilm berührt, kann auf diese Weise der Einfluss der Steifigkeit oder der Form des Seitenflächenabschnitts der Mittelplatte auf den Kunststofffilm weiter verringert werden, und das Werkstück kann so poliert werden, während die Rückseite des Werkstücks mit einer gleichmäßigen Polierkraft wirksamer angedrückt wird. Als Ergebnis kann das Werkstück poliert werden, während eine große Flachheit der Vorderseite des Werkstücks wirksamer aufrechterhalten wird.
Darüber hinaus ist es bevorzugt, dass ein Innendurchmesser des den Seitenflächenabschnitt der Mittelplatte abdeckenden Abschnitts im Kunststofffilm größer als der Flachheitsgütebereich des Werkstücks ist.
Wenn ein Innendurchmesser des den Seitenflächenabschnitt der Mittelplatte abdeckenden Abschnitts im Kunststofffilm größer als ein Flachheitsgütebereich des Werkstücks ist, kann auf diese Weise der Einfluss der Steifigkeit des den Seitenflächenabschnitt der Mittelplatte abdeckenden Abschnitts im Kunststofffilm auf eine Werkstückshaltefläche des Kunststofffilms verringert werden und die Gleichmäßigkeit des Poliermaterialabtrags kann wirksamer verbessert werden, während das Werkstück poliert wird.
Darüber hinaus kann der Polierkopf ein Zusatzkissen auf der Fläche des Kunststofffilms haben, wobei die Fläche das Werkstück hält. In diesem Fall ist es bevorzugt, dass der Durchmesser des Zusatzkissens größer als der des Werkstücks ist.
Auf diese Weise kann, selbst wenn der Polierkopf ein Zusatzkissen hat, um das Werkstück sicher im Polierkopf zu halten und das Auftreten eines Kratzers und dergleichen auf der Rückseite zu verhindern, wenn der Durchmesser des Zusatzkissens größer als der des Werkstücks ist, der Einfluss einer Aufblasbegrenzung des Kunststofffilms aufgrund des Zusatzkissens auf das Werkstück verringert werden. Als Ergebnis kann das Werkstück mit einer gleichmäßigeren Polierkraft angedrückt werden.
Weiterhin stellt die vorliegende Erfindung eine Poliervorrichtung zur Verfügung, die zum Polieren einer Oberfläche eines Werkstücks zur Verfügung gestellt wird, mindestens umfassend: ein Polierkissen, das an einem Drehteller angebracht ist; eine Poliermittel-Zuführeinrichtung zum Zuführen eines Poliermittels zum Polierkissen; und einen Polierkopf zum Halten des Werk stücks, bei dem es sich um den Polierkopf gemäß der vorliegenden Erfindung handelt.
Wenn das Werkstück mittels der Poliervorrichtung, einschließlich dem Polierkopf gemäß der vorliegenden Erfindung, poliert wird, kann auf diese Weise das Werkstück poliert werden, während das Werkstück mit einer gleichmäßigen Polierkraft beaufschlagt wird. Als Ergebnis kann das Werkstück unter Beibehaltung einer großen Flachheit über die ganze Oberfläche des Werkstücks, insbesondere im äußeren Umfangsbereich, poliert werden.
Wenn das Werkstück mittels des Polierkopfs gemäß der vorliegenden Erfindung poliert wird, kann das Werkstück poliert werden, während die ganze Vorderseite des Werkstücks mit einer gleichmäßigen Druckkraft beaufschlagt wird. Als Ergebnis kann die Gleichmäßigkeit des Poliermaterialabtrags über die ganze Oberfläche des Werkstücks verbessert werden und es kann für das polierte Werkstück eine gute Oberflächenflachheit erzielt werden.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 sind schematische Schnittansichten, die eine erste Ausführungsform des Polierkopfs gemäß der vorliegenden Erfindung zeigen, wobei (a) eine schematische Schnittansicht ist, die den ganzen Polierkopf zeigt, und (b) eine vergrößerte Ansicht ist, die den dessen Umfangsabschnitt zeigt.
2 sind schematische Schnittansichten, die eine zweite Ausführungsform des Polierkopfs gemäß der vorliegenden Erfindung zeigen, wobei (a) eine schematische Schnittansicht ist, die den ganzen Polierkopf zeigt, und (b) eine vergrößerte Ansicht ist, die den Umfangsabschnitt zeigt.
3 ist eine schematische grundlegende Ansicht, die ein Beispiel für eine Poliervorrichtung zeigt, die den Polierkopf gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst.
4 sind erläuternde Ansichten, die eine positionelle Beziehung zwischen dem den Seitenflächenabschnitt der Mittelplatte abdeckenden Abschnitt im Kunststofffilm (einen Kunststofffilmseitenabschnitt) und dem äußersten Umfangsabschnitt des Werkstücks zeigen.
5 ist ein Diagramm, das die Gleichmäßigkeiten des Poliermaterialabtrags des Werkstücks zeigt, das im Beispiel 1, Beispiel 2 und Verleichsbeispiel poliert wurde.
6 ist ein Diagramm, das die Gleichmäßigkeiten des Poliermaterialabtrags des Werkstücks in dem Fall zeigt, in dem ein Innendurchmesser des den Seitenflächenabschnitt der Mittelplatte abdeckenden Abschnitts im Kunststofffilm (einen Kunststofffilmseitenabschnitt) geändert wird.
7 ist ein Diagramm, das die Gleichmäßigkeiten des Poliermaterialabtrags des Werkstücks in dem Fall zeigt, in dem ein Außendurchmesser des Zusatzkissens geändert wird.
8 sind schematische Schnittansichten, die ein Beispiel für den Aufbau eines herkömmlichen Polierkopfs mittels eines Gummispannverfahrens zeigen, wobei (a) eine schematische Schnittansicht ist, die den ganzen Polierkopf zeigt, und (b) eine vergrößerte Ansicht ist, die den Umfangsabschnitt zeigt.
9 ist eine schematische grundlegende Ansicht, die ein Beispiel für eine Einseitenpoliervorrichtung zeigt.
10 ist eine schematische Schnittansicht, die ein Beispiel für den Fall zeigt, in dem der Polierkopf gemäß der vorliegenden Erfindung einen Haltering umfasst.
11 sind erläuternde Ansichten, die eine positionelle Beziehung zwischen dem Werkstück, dem Zusatzkissen und dem Kunststofffilm im Polierkopf gemäß der vorliegenden Erfindung zeigen.
BESTES VERFAHREN ZUM DURCHFÜHREN DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung wird nachfolgend ausführlicher erläutert.
Wie oben beschrieben ist, muss, wenn ein Werkstück mit dem Polierkopf mittels eines Gummispannverfahrens gehalten wird und die Oberfläche des Werkstücks poliert wird, die Flachheit der Oberfläche des polierten Werkstücks auf einem noch höheren Niveau liegen. Allerdings gibt es üblicherweise das Problem, dass eine Poliersenke und dergleichen insbesondere im Umfangsabschnitt auftritt.
Um das Problem zu lösen, haben die vorliegenden Erfinder Versuche und Untersuchungen durchgeführt.
Die vorliegenden Erfinder haben dadurch folgendes festgestellt. Wie in den 8 gezeigt ist, gibt es herkömmlicherweise den Fall, dass ein Teil (ein vorstehender Abschnitt) 72d vorgesehen ist, an dem sich ein unterer Flächenabschnitt 72a einer Mittelplatte 72 und ein Kunststofffilm 73 berühren. In diesem Fall wird, selbst wenn der vorstehende Abschnitt 72d nicht am Kunststofffilm 73 anhaftet und beide aufgrund eines Druckfluids während des Polierens des Werkstücks frei sind, die Mittelplatte in Richtung auf das Polierkissen 94 gedrückt, wenn der ganze Polierkopf 71 angedrückt wird, und dann wird während des Polierens ein Werkstückhalteabschnitt des Kunststofffilms 73 durch die Steifigkeit der Mittelplatte 72, die Flachheit des unteren Flächenabschnitts 72a (einer unteren Fläche des vorstehenden Abschnitts 72d) oder dergleichen beeinflusst. Als Ergebnis wird die Form oder die Druckkraft ungleichmäßig und dadurch die Form des Werkstücks W, das an der Werkstückhaltefläche des Kunststofffilms 73 gehalten und poliert wird, schlechter.
Insbesondere wird in dem Fall, in dem der Polierkopf so konfiguriert ist, dass ein Haltering außerhalb der Werkstückhaltefläche des Kunststofffilms 73 angeordnet ist und ein Randabschnitt des Werkstücks W vom Haltering gehalten wird, das Werkstück W bis fast zum äußersten Umfangsabschnitt des unteren Flächenabschnitts des Kunststofffilms 73 gehalten. Es gibt demgemäß einen großen Einfluss eines Kontaktabschnitts zwischen dem Kunststofffilm 73 und dem vorstehenden Abschnitt 72d, der im Umfangsabschnitt des unteren Flächenabschnitts 72a der Mittelplatte ausgebildet ist. Darüber hinaus wird in dem Fall, in dem das Werkstück W nicht direkt unter dem Kontaktabschnitt zwischen dem Kunststofffilm 73 und dem vorstehenden Abschnitt 72d der Mittelplatte gehalten wird, anders als oben beschrieben, sondern mehr im Inneren gehalten wird, die Werkstückhaltefläche des Kunststofffilms 73 nicht durch das Bestehen des Kontaktabschnitts zwischen dem Kunststofffilm 73 und dem vorstehenden Abschnitt 72d der Mittelplatte, wie beispielsweise dem Auftreten einer Druckverteilung, beeinflusst.
Die vorliegenden Erfinder haben Maßnahmen untersucht, um die oben erwähnten Probleme zu lösen. Als Ergebnis haben die vorliegenden Erfinder folgendes festgestellt. Es wurde üblicherweise davon ausgegangen, dass der Aufbau, bei dem der vorstehende Abschnitt 72d so vorgesehen war, dass der Kunststofffilm 73 im Umfangsabschnitt der Mittelplatte 72 gestützt wurde, wesentlich war. Allerdings haben die vorliegenden Erfinder festgestellt, dass der Aufbau nicht wesentlich war. Das bedeutet, dass die vorliegenden Erfinder festgestellt haben, dass die Probleme durch das Konfigurieren derart gelöst werden können, dass die Mittelplatte und der Kunststofffilm sich nicht berühren, so dass zwischen ihnen ein Spalt über die ganze Oberfläche des unteren Flächenabschnitts der Mittelplatte vorgesehen war und dass die Form des Kunststofffilms stabil gehalten werden kann und dadurch die vorliegende Erfindung abgeschlossen ist.
Nachfolgend werden ein Polierkopf und eine Poliervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung ausführlicher mit Bezug auf die beigefügten Figuren erläutert. Allerdings ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt.
Die 1 zeigen ein Beispiel für den Polierkopf gemäß der vorliegenden Erfindung (eine erste Ausführungsform). Der Polierkopf 11 umfasst eine in etwa scheibenförmige Mittelplatte 12 und einen Kunststofffilm (einen elastischen Film) 13, der zumindest einen unteren Flächenabschnitt 12a und einen Seitenflächenabschnitt 12b der Mittelplatte 12 abdeckt. Der Kunststofffilm 13 ist an der Mittelplatte 12 am Umfangsabschnitt 12c der oberen Fläche der Mittelplatte angebracht. Der Kunststofffilm kann an einem Umfangsabschnitt 12c der oberen Fläche der Mittelplatte zum Beispiel derart angebracht werden, dass der Kunststofffilm mittels eines Haftmittels befestigt wird, mit einer rückwärtigen Platte 18 ergriffen wird und mittels einer Schraube und dergleichen befestigt wird. In diesem Fall berührren sich die Mittelplatte 12 und der Kunststofffilm 13 nicht, so dass ein Spalt 14a zumindest über den ganzen unteren Flächenabschnitt 12a besteht. Der Kunststofffilm kann durch ein herkömmlich bekanntes Verfahren ausgebildet sein, das zur Herstellung des Kunststofffilms 13 mit der Form, wie oben beschrieben ist, verwendet wird. Die Dicke des Kunststofffilms ist nicht besonders beschränkt, und eine geeignete Dicke kann in passender Weise ausgewählt werden. Zum Beispiel kann die Dicke etwa 1 mm betragen.
Ein Raumabschnitt 14 ist daher zwischen der Mittelplatte 12 und dem Kunststofffilm 13, zumindest zwischen dem unteren Flächenabschnitt 12a der Mittelplatte und dem Kunststofffilm 13, begrenzt. Es wird weiter eine Druckeinstelleinrichtung 15 vorgesehen, um den Druck des Raumabschnitts 14 einzustellen. Der Druck des Raumabschnitts 14 wird zum Beispiel eingestellt, indem ein Druckfluid durch eine in der Mittelplatte 12 vorgesehene Durchgangsöffnung 16 zugeführt wird.
Es ist bevorzugt, den Polierkopf 31 so zu konfigurieren, dass die Mittelplatte und der Kunststofffilm 13 sich auch nicht berühren, so dass ein Spalt 14b über die ganze Oberfläche des Seitenflächenabschnitts 12b der Mittelplatte besteht, wie bei einer zweiten Ausführungsform des Polierkopfs gemäß der vorliegenden Erfindung, bei der eine schematische Schnittansicht des ganzen Polierkopfs in der 2(a) gezeigt ist und eine vergrößerte Ansicht in der 2(b) gezeigt ist. In diesem Fall kontaktiert der Kunststofffilm 13 nur den Umfangsabschntt 12c der oberen Fläche der Mittelplatte und ist dort befestigt. In diesem Fall kann der Kunststofffilm auch durch ein herkömmlich bekanntes Verfahren ausgebildet sein.
Es ist zu beachten, dass es wünschenswert ist, dass beide nicht durch Anhaften und dergleichen angebracht sind, wie in dem Fall, in dem es keinen Spalt zwischen dem Seitenflächenabschnitt 12b der Mittelplatte und dem Kunststofffilm 13 gibt und sie sich berühren, im Gegensatz zu dem Polierkopf, bei dem die Mittelplatte und der Kunststofffilm 13 einander nicht kontaktieren, so dass der Spalt 14b über die ganze Oberfläche des Seitenflächenabschnitts 12b der Mittelplatte besteht, wie in den 2 gezeigt ist.
Außerdem kann ein Zusatzkissen 17 so angebracht sein, dass es an der Werkstückhaltefläche des Kunststofffilms 13 vorgesehen ist, um das Werkstück W sicherer zu halten. Das Zusatzkissen 17 ist so ausgebildet, dass es Wasser enthält, um so das Werkstück W an der Werkstückhaltefläche des Kunststofffilms 13 anzubringen und zu halten. Das Zusatzkissen 17 kann zum Beispiel aus geschäumtem Polyurethan hergestellt sein. Dadurch dass ein solches Zusatzkissen 17 vorgesehen und mit Wasser vollsaugen gelassen wird, kann das Werkstück W durch die Oberflächenspannung des im Zusatzkissen 17 enthaltenen Wassers sicher gehalten werden.
Darüber hinaus umfasst der Polierkopf 11, 31 ein Mittel zum Andrücken der Mittelplatte 12 (oder des ganzen Polierkopfs 11, 31) (nicht gezeigt).
Mit dem Polierkopf 11, 31, der wie oben beschrieben konfiguriert ist, wird die Mittelplatte 12 durch die Mittel zum Andrücken der Mittelplatte (nicht gezeigt) in Richtung auf das Polierkissen 22 gedrückt, das am Drehteller 21 angebracht ist, und das Werkstück W wird mit dem Polierkissen 22 zum Polieren der Werkstückoberfläche in Gleitkontakt gebracht. Das Mittel zum Andrücken der Mittelplatte ist vorzugsweise in der Lage, die Mittelplatte über die ganze Fläche mit einem gleichmäßigen Druck anzudrücken.
Wie als Beispiel in der 10 im Hinblick auf den Fall der ersten Ausführungsform (der Koplierkopf 11) gezeigt ist, kann der Polierkopf 11, 31 einen Haltering 19 umfassen, der entlang dem Umfangsabschnitt des unteren Flächenabschnitts des Kunststofffilms 13 angeordnet ist und der in der Lage ist, das Polierkissen 22, das mit der Werkstückhaltefläche des Kunststofffilms 13 zusammenarbeitet oder davon unabhängig ist, anzudrücken. Der Haltering 19 kann zum Beispiel so konfiguriert sein, dass er einen Führungsring 19a, der den Randabschnitt des Werkstücks W hält, und einen Abrichtring 19b, der außerhalb des Führungsrings 19a angeordnet ist und das Abrichten des Polierkissens 22 durchführt, umfasst.
Es ist wünschenswert, dass der Abstand des Spalts 14a zwischen dem unteren Flächenabschnitt 12a der Mittelplatte und dem Kunststofffilm 13 so groß ist, dass der untere Flächenabschnitt 12a der Mittelplatte und der Kunststofffilm 13 sich während des Polierens nicht berühren. Sein Grenzwert beträgt wünschenswerterweise weniger als 1 mm. Wenn der Abstand weniger als 1 mm ist, kann der Druck des Raumabschnitts 14 leicht so gesteuert werden, dass er über die ganze Oberfläche hinweg dauerhaft gleichmäßig ist. Außerdem werden im Fall der zweiten Ausführungsform, die in den 2 gezeigt ist, dieselben Einstellungen in Bezug auf den Abstand des Spalts 14a zwischen dem unteren Flächenabschnitt 12a der Mittelplatte und dem Kunststofffilm 13 gelten, aber der Abstand des Spalts 14b zwischen dem Seitenflächenabschnitt 12b der Mittelplatte und dem Kunststofffilm 13 ist nicht besonders beschränkt. Allerdings ist es wünschenswert, dass der Abstand, bei dem die Form des Kunststofffilms 13 instabil wird, vermieden wird. Zum Beispiel beträgt er günstigerweise 2 mm oder weniger.
Der oben beschriebene Aufbau des Polierkopfs 11, 31 ermöglicht das Einstellen der Form und der Druckverteilung des Kunststofffilms 13 durch den Druck des Raumabschnitts 14. Da sich der untere Flächenabschnitt 12a der Mittelplatte und der Kunststofffilm 13 nicht berühren, hat darüber hinaus die Steifigkeit der Mittelplatte, die Form der Mittelplatte oder dergleichen keinen Einfluss auf den Kunststofffilm 13, so dass das Werkstück W demgemäß mit einem gleichmäßigen Polierdruck poliert werden kann.
Der Aufbau des Polierkopfs 31, bei dem der Seitenflächenabschnitt 12a der Mittelplatte und der Kunststofffilm 13 sich nicht berühren, als zweite oben beschriebene Ausführungsform ermöglicht es, nicht nur den Einfluss des unteren Flächenabschnitts 12a der Mittelplatte auf den Kunststofffilm 13, sondern auch den Einfluss des Seitenflächenabschnitts 12c auf den Kunststofffilm 13 zu verhindern.
In der vorliegenden Erfindung wird in dem Fall, in dem das Werkstück W über in etwa den ganzen unteren Flächenabschnitt des Kunststofffilms 13 hinweg gehalten wird, zum Beispiel der Haltering 19, der den Randabschnitt des Werkstücks W hält, außerhalb der Werkstückhaltefläche des Kunststofffilms 13 angeordnet und das Werkstück W wird über in etwa den ganzen unteren Flächenabschnitt des Kunststofffilms 13 hinweg gehalten, und es wird eine besonders gute Wirkung in Bezug auf die Verbesserung der Gleichmäßigkeit des Poliermaterialabtrags durch den Aufbau erzielt, so dass es zwischen dem unteren Flächenabschnitt 12a der Mittelplatte und dem Kunststofffilm 13 sowie einem herkömmlichen Polierkopf keinen Kontaktabschnitt gibt. Allerdings ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt. Wenn das Werkstück in dem Zustand gehalten wird, in dem ein Außendurchmesser des Werkstücks im Umfangsabschnitt des Kunststofffilms 13 gehalten wird, kann die vorliegende Erfindung den Einfluss der Druckverteilung auch vollständig ausschalten, die herkömmlicherweise an der Werkstückhaltefläche des Kunststofffilms 13 aufgrund des Vorhandenseins des Kontaktabschnitts zwischen dem unteren Flächenabschnitt 12a der Mittelplatte und dem Kunst stofffilm 13 auftritt und kann demgemäß die Gleichmäßigkeit des Poliermaterialabtrags im Vergleich zu einem herkömmlichen Polierkopf verbessern.
Die vorliegende Erfindung kann den Einfluss der Steifigkeit und Form des unteren Flächenabschnitts 12a der Mittelplatte auf den Werkstückhalteabschnitt des Kunststofffilms 13 vollständig ausschalten. Wenn im Gegensatz dazu das Werkstück über den ganzen unteren Flächenbereich des Kunststofffilms 13 gehalten wird, zum Beispiel in dem Fall, in dem der Haltering 19, der den Randabschnitt des Werkstücks W hält, außerhalb des Werkstückhalteabschnitts des Kunststofffilms 13 angeordnet ist und das Werkstück W an in etwa dem ganzen unteren Flächenabschnitt des Kunststofffilms 13 gehalten wird, beschränkt sich der Einfluss der Steifigkeit des den Seitenflächenabschnitt 12b der Mittelplatte abdeckenden Abschnitts (nachfolgend auch als Kunststofffilmseitenabschnitt bezeichnet) im Kunststofffilm 13 auf den Kunststofffilm 13. Der Einfluss der Steifigkeit des Kunststofffilmseitenabschnitts ist geringer als der Einfluss der Mittelplatte 12. Allerdings wird der Einfluss vorzugsweise so weit wie möglich unterdrückt, um die Gleichmäßigkeit des Poliermaterialabtrags des Werkstücks W weiter zu verbessern.
Die 4 zeigen vergrößerte Ansichten des Umfangsabschnitts des Polierkopfs zum Reduzieren des Einflussess des Kunststofffilmseitenabschnitts. Die 4(a) zeigt den Fall der ersten Ausführungsform und die 4(b) zeigt den Fall der zweiten Ausführungsform. Wie in den 4(a) und (b) gezeigt, ist es bevorzugt, dass ein Außendurchmesser des den Seitenflächenabschnitt 12b der Mittelplatte abdeckenden Abschnitts (des Kunststofffilmseitenabschnitts) 13b im Kunststofffilm 13 größer als der des Werkstücks W ist. Allerdings kann zum Beispiel in dem Fall, in dem der Haltering, der den Randabschnitt des Werkstücks W hält, außerhalb der Werkstückhaltefläche des Kunststofffilms 13 angeordnet ist und das Werkstück W an in etwa dem ganzen unteren Flächenabschnitt des Kunststofffilms 13 gehalten wird, aufgrund dessen, dass die Größe des Halterings vorher eingestellt wird usw., eine Konfi guration, bei der ein Innendurchmesser des Kunststofffilmseitenabschnitts 13b größer als ein Außendurchmesser des Werkstücks W ist, schwierig sein. In diesem Fall kann der Innendurchmesser des Kunststofffilmseitenabschnitts 13b größer als zumindest ein Flachheitsgütebereich des Werkstücks W sein.
Der Flachheitsgütebereich des Werkstücks ist ein Bereich, in dem eine vorgeschriebene Flachheit über die ganze Werkstücksoberfläche garantiert ist. Er wird durch Spezifikationen festgelegt. Zum Beispiel handelt es sich im Fall eines Silzium-Einkristallwafers mit einem Durchmesser von 300 mm normalerweise um den Bereich bis auf etwa 1 bis 2 mm des äußersten Umfangs.
Der Aufbau und die Anordnung der Mittelplatte 12 und des Kunststofffilms 13 für das Werkstück W ermöglichen die Reduzierung des Einflusses der Steifigkeit des Kunststofffilmseitenabschnitts 13b auf die Werkstückhaltefläche des Kunststofffilms 13 und verbessern weiter die Gleichmäßigkeit des Poliermaterialabtrags, während der Poliervorgang durchgeführt wird.
Wie oben beschrieben ist, kann das Zusatzkissen 17 so angebracht sein, dass es an der unteren Fläche des Kunststofffilms 13 vorgesehen ist, um das Werkstück W an der Werkstückhaltefläche des Kunststofffilms 13 zu halten. In diesem Fall ist es, wie in den 11 gezeigt, bevorzugt, dass ein Durchmesser des Zusatzkissens 17 größer als ein Durchmesser des Werkstücks W ist. Es ist zu beachten, dass die 11(a) den Fall der ersten Ausführungsform zeigt und die 11(b) den Fall der zweiten Ausführungsform zeigt. Diese Aufbauten bringen eine Reduzierung des Einflusses auf den Polierdruck oder die Polierform zustande, die aufgrundessen auftritt, dass das Aufblasen des Kunststofffilms 13 als solches durch das Zusatzkissen 17 im anhaftenden Grenzbereich zwischen dem Zusatzkissen 17 und dem Kunststofffilm 13 beschränkt ist.
Allerdings muss natürlich der Durchmesser des Zusatzkissens 17 gleich dem des unteren Flächenabschnitts des Kunststofffilms 13 sein, an dem das vorzusehende Zusatzkissen 17 angebracht ist, oder er muss geringer sein. Insbesondere kann in dem Fall, in dem der Haltering, der den Randabschnitt des Werkstücks W hält, außerhalb der Werkstückhaltefläche des Kunststofffilms 13 angeordnet ist und das Werkstück W an in etwa dem ganzen unteren Flächenabschnitt des Kunststofffilms 13 gehalten wird, das Zusatzkissen nicht auf diese Größe ausgelegt werden. Wenn zum Beispiel ein Siliiziumwafer mit einem Durchmesser von 300 mm als Werkstück poliert wird, ist der Innendurchmesser des Halterings etwa 302 mm. Wenn der Durchmesser des unteren Flächenabschnitts des Kunststofffilms 13 301,5 mm oder weniger ist, ist in diesem Fall der Durchmesser des Zusatzkissens auch 301,5 mm oder weniger.
Wenn allerdings der Durchmesser des Zusatzkissens 17 sogar etwas größer als der des Werkstücks W ist, wie oben beschrieben ist, kann die Gleichmäßigkeit des Poliermaterialabtrags des Werkstücks W wirksamer verbessert werden.
Die 3 zeigt eine grobe Zeichnung einer Poliervorrichtung 61, die mit dem vorstehend beschriebenen Polierkopf 11 versehen ist. Die Poliervorrichtung 61 umfasst das am Drehteller 21 befestigte Polierkissen 22 und zusätzlich zum Polierkopf 11 eine Poliermittel-Zuführeinrichtung 66, um dem Polierkissen 22 ein Poliermittel 65 zuzuführen.
Wenn das Werkstück W mittels der Poliervorrichtung 61 poliert wird, wird zuerst das Werkstück W am Kunststofffilm 13 gehalten. In dem Fall, in dem das Zusatzkissen 17 so angebracht ist, dass es am Kunststofffilm 13 vorgesehen ist, kann die Rückseite des Werkstücks W am Kunststofffilm 13 gehalten werden, indem das Werkstück W am Zusatzkissen 17, das Wasser enthält, angebracht ist. In dem Fall, in dem der Haltering im Umfangsbereich des Kunststofffilms 13 angeordnet ist, wird der Rand des Werkstücks W durch den Haltering gehalten.
Dann wird das Poliermittel 65 dem Polierkissen 22 über die Poliermittel-Zuführeinrichtung 66 zugeführt, und während der Po lierkopf 11 und der Drehteller 21 jeweils in vorbestimmte Richtungen gedreht werden, wird das Werkstück W mit dem Polierkopf 22 in Gleitkontakt gebracht. Die Vorderseite des Werkstücks W kann poliert werden, indem das Werkstück W, das von dem Kunststofffilm 13 gehalten wird, in Richtung auf das Polierkissen 22 am Drehteller 21 mit einer vorbestimmten Druckkraft während des Drehens angedrückt wird.
Wenn das Werkstück W mittels der Poliervorrichtung 61 poliert wird, die, wie oben beschrieben, mit dem Polierkopf 11 ausgestattet ist, können die Form und die Druckverteilung des Kunststofffilms 13 durch den Druck des Raumabschnitts 14 eingestellt werden. Zusätzlich dazu hat, da der untere Flächenabschnitt 12a der Mittelplatte und der Kunststofffilm 13 einander nicht kontaktieren, die Steifigkeit, die Form der Mittelplatte oder dergleichen keinen Einfluss auf den Kunststofffilm 13 und demgemäß kann das Werkstück W mit einem gleichmäßigen Polierdruck poliert werden.
Die Poliervorrichtung, bei der der Polierkopf 11, der in der 3 gezeigt ist, durch den Polierkopf 31, der in der 2 gezeigt ist, ersetzt werden, kann dieselbe Wirkungen erzielen.
Nachfolgend werden Beispiele und ein Vergleichsbeispiel der vorliegenden Erfindung erläutert.
(Beispiel 1)
Der wie in den 1 gezeigt konfigurierte Polierkopf 11 wurde wie folgt hergestellt.
Der Kunststofffilm 13 mit einer Dicke von 1 mm, bei dem ein Durchmesser des unteren Flächenabschnitts 300 mm beträgt, wurde mit der Mittelplatte 12 mit einem Außendurchmesser von 298 mm eingepasst und wurde mit der Rückplatte 18 ergriffen und unter Verwendung einer Schraube so befestigt, dass der Spalt 14a zwischen dem unteren Flächenabschnitt 12a der Mittelplatte und dem Kunststofffilm 13 0,5 mm betrug. Das Zusatzkissen 17 mit einem Durchmesser von 298 mm wurde so angebracht, dass es am unteren Flächenabschnitt des Kunststofffilms 13 vorgesehen war. Der Haltering mit einem Innendurchmesser von 302 mm wurde am Rand des Kunststofffilms 13 angeordnet.
Ein Silizium-Einkristallwafer mit einem Durchmesser von 300 mm und einer Dicke von 775 μm wurde als Werkstück W mittels der Poliervorrichtung, die mit dem oben beschriebenen Polierkopf 11 ausgerüstet war, wie folgt poliert. Der verwendete Silizium-Einkristallwafer wurde zuerst einem ersten Poliervorgang an seinen beiden Oberflächen unterworfen und sein Randabschnitt wurde auch poliert. Es wurden der Drehteller 21 mit einem Durchmesser von 800 mm und ein übliches Polierkissen 22 verwendet.
Beim Polieren wurde als Poliermittel eine alkalische Lösung verwendet, die kolloidales Siliziumoxid enthielt, und der Polierkopf 11 und der Drehteller 21 wurden mit 42 UpM bzw. 44 UpM gedreht. Ein Polierdruck (eine Andruckkraft) für das Werkstück W wurde als Druck des Raumabschnitts 14 auf 28, 29 und 30 kPa eingestellt und die beiden Werkstücke wurden jeweils mit jeder Polierkraft poliert. Die Polierdauer lag bei 80 Sekunden.
Die Gleichmäßigkeit des Poliermittelabtrags des Werkstücks W, das wie oben beschrieben poliert wurde, wurde bewertet. Es ist zu beachten, dass die Gleichmäßigkeit des Poliermaterialabtrags durch Messen der Dicke des Werkstücks vor und nach dem Polieren in einem Bereich, der einen äußersten Umfangsabschnitt mit einer Breite von 2 mm ausschließt, als Flachheitsgütebereich in einer Ebene durch ein Flachheitsmessinstrument und durch Feststellen eines Unterschieds im Poliermaterialabtrag erhalten wird und durch eine Formel der Gleichmäßigkeit des Poliermaterialabtrags dargestellt ist (%) = (maximaler Poliermaterialabtrag in der Ebene – minimaler Poliermaterialabtrag in der Ebene)/durchschnittlicher Poliermaterialabtrag in der Ebene.
Die aus dem Ergebnis erhaltene Gleichmäßigkeit des Poliermaterialabtrags des Werkstücks ist in der 5 gezeigt. Die erhaltene Gleichmäßigkeit des Poliermaterialabtrags lag bei etwa 25 bis 30% und war gut.
(Beispiel 2)
Der Polierkopf 31, wie er in den 2 gezeigt ist, wurde wie im Beispiel 1 hergestellt, mit der Ausnahme, dass die Mittelplatte 12 mit einem Außendurchmesser von 296 mm verwendet wurde und der Spalt 14b zwischen dem unteren Flächenabschnitt 12b der Mittelplatte und dem Kunststofffilm 13 1 mm betrug.
Silizium-Einkristallwafer wurden mittels des Polierkopfs 31 wie im Beispiel 1 poliert.
Die aus diesem Ergebnis erhaltene Gleichmäßigkeit des Poliermaterialabtrags des Werkstücks ist in der 5 gezeigt. Die erhaltene Gleichmäßigkeit des Poliermaterialabtrags betrug etwa 15 bis 25% und wurde im Vergleich zum Beispiel 1 weiter verbessert.
(Vergleichsbeispiel)
Wie im Beispiel 1 wurden Silizium-Einkristallwafer mittels des herkömmlichen Polierkopfs 71 poliert, wie in den 8 gezeigt ist.
Die aus dem Resultat erhaltene Gleichmäßigkeit des Poliermaterialabtrags des Werkstücks ist in der 5 gezeigt. Die erhaltene Gleichmäßigkeit des Poliermaterialabtrags lag trotz Variation bei etwa 50 bis 80% und wurde schlechter als im Beispiel 1 und 2.
Aus den oben beschriebenen Ergebnissen wird im Beispiel 1 und 2 mit dem Aufbau des Polierkopfs gemäß der vorliegenden Erfindung die Gleichmäßigkeit des Poliermaterialabtrags des Werkstücks im Vergleich zum herkömmlichen Polierkopf verbessert und es wird klar die Wirkung der vorliegenden Erfindung erzielt.
(Beispiel 3)
Wie im oben beschriebenen Beispiel 2 mit der Ausnahme, dass der Polierkopf 31 verwendet wird, der derart hergestellt ist, dass der Innendurchmesser des Kunststofffilmseitenabschnitts 13b im Bereich von 296,9 bis 299,5 mm variiert wurde, wurde ein Silizium-Einkristallwafer mit einem Durchmesser von 300 mm als Werkstück W verwendet und das eine Werkstück wurde jeweils mit der Polierkraft von 30 kPa poliert. Der Außendurchmesser des Kunststofffilmseitenabschnitts und des unteren Abschnitts des Kunststofffilms waren 298,9 bis 301,5 mm, da die Dicke des Kunststofffilms 1 mm betrug. Der Flachheitsgütebereich des Werkstücks W betrug 298 mm in dem Fall, in dem eine Breite des äußersten Umfangsabschnitts des Werkstücks 1 mm ausgenommen war, und er lag bei 296 mm in dem Fall, in dem eine Breite des äußersten Umfangsabschnitts des Werkstücks von 2 mm ausgenommen war.
Die aus dem Ergebnis erhaltene Gleichmäßigkeit des Poliermaterialabtrags des Werkstücks ist in der 6 gezeigt. Es gibt eine Tendenz, dass je größer der Innendurchmesser des Kunststofffilmseitenabschnitts 13b ist, desto mehr verbessert sich die Gleichmäßigkeit des Poliermaterialabtrags.
(Beispiel 4)
Wie im oben beschriebenen Beispiel 2 mit Ausnahme, dass der Innendurchmesser des Kunststofffilmseitenabschnitts 13b 299,5 mm betrug, war die Polierkraft 30 kPa und der Durchmesser des Zusatzkissens 17 wurde im Bereich von 298 bis 300,4 mm variiert, wurde ein Silizium-Einkristallwafer mit einem Durchmesser von 300 mm als Werkstück W verwendet und das eine Werkstück wurde jeweils poliert.
Die aus dem Resultat erhaltene Gleichmäßigkeit des Poliermaterialabtrags des Werkstücks ist in der 7 gezeigt. Die Gleichmäßigkeit des Poliermaterialabtrags wurde weiter in dem Fall verbessert, in dem der Durchmesser des Zusatzkissens 17 größer als 300 mm war, was in diesem Fall dem Durchmesser des Werkstücks W entspricht.
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die vorstehende Ausführungsform beschränkt. Die Ausführungsform ist nur eine Veranschaulichung, und alle Beispiele, die im Wesentlichen dasselbe Merkmal besitzen und dieselben Funktionen und Einflüsse wie die im technischen, in den Ansprüchen der vorliegenden Erfindung beschriebenen Konzept zeigen, sind vom technischen Umfang der vorliegenden Erfindung erfasst.
Zum Beispiel ist der Polierkopf gemäß der vorliegenden Erfindung nicht auf die in den 1 und 2 gezeigten Ausführungsformen beschränkt. Die Form und dergleichen des Polierkopfs kann frei gestaltet werden, solange der ganze untere Flächenabschnitt der Mittelplatte und der Kunststofffilm sich nicht berühren.
Das Merkmal der Poliervorrichtung ist auch nicht auf eine in der 3 gezeigte beschränkt. Die Poliervorrichtung kann mehrere Polierköpfe gemäß der vorliegenden Erfindung umfassen.
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Polierkopf, mindestens umfassend: eine in etwa scheibenförmige Mittelplatte; einen Kunststofffilm, der mindestens einen unteren Flächenabschnitt und einen Seitenflächenabschnitt der Mittelplatte abdeckt; und einen Raumabschnitt, der von der Mittelplatte und dem Kunststofffilm umgeben ist; wobei der Druck des Raumabschnitts durch eine Druckeinstelleinrichtung geändert werden kann, eine Rückseite eines Werkstücks an einem unteren Flächenabschnitt des Kunststofffilms gehalten wird und eine Vorderseite des Werkstücks in Gleitkonakt mit einem Polierkissen gebracht wird, das zum Durchführen des Poliervorgangs an einem Drehteller angebracht ist; wobei die Mittelplatte und der Kunststofffilm sich nicht berühren, so dass ein Spalt zumindest über den ganzen unteren Flächenabschnitt der Mittelplatte besteht. Als Ergebnis wird ein Polierkopf usw. durch ein Gummispannverfahren zur Verfügung gestellt, bei dem das Werkstück mit einer gleichmäßigen Polierkraft beaufschlagt wird, ohne dass die Steifigkeit oder Flachheit der Mittelplatte beeinflusst wird.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

- JP 05-69310 [0004]
- JP 2005-313313 [0004, 0006]

Claims

Polierkopf, mindestens umfassend: eine in etwa scheibenförmige Mittelplatte; einen Kunststofffilm, der mindestens den unteren Flächenabschnitt und einen Seitenflächenabschnitt der Mittelplatte abdeckt; und einen Raumabschnitt, der von der Mittelplatte und dem Kunststofffilm umgeben ist; wobei der Druck des Raumabschnitts durch eine Druckeinstelleinrichtung geändert werden kann, eine Rückseite eines Werkstücks an einem unteren Flächenabschnitt des Kunststofffilms gehalten wird und eine Vorderseite des Werkstücks in Gleitkontakt mit einem Polierkissen gebracht wird, das zum Durchführen des Poliervorgangs an einem Drehteller angebracht ist; wobei die Mittelplatte und der Kunststofffilm sich nicht berühren, so dass ein Spalt zumindest über den ganzen unteren Flächenabschnitt der Mittelplatte besteht.
Polierkopf nach Anspruch 1, wobei der Spalt zwischen der Mittelplatte und dem Kunststofffilm unter 1 mm beträgt.
Polierkopf nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, wobei die Mittelplatte und der Kunststofffilm sich weiterhin nicht berühren, so dass ein Spalt über den ganzen Seitenflächenabschnitt der Mittelplatte besteht.
Polierkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei ein Innendurchmesser des den Seitenflächenabschnitt der Mittelplatte abdeckenden Abschnitts im Kunststofffilm größer ein Flachheitsgütebereich des Werkstücks ist.
Polierkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei der Polierkopf ein Stützkissen auf der Kunststofffilmfläche hat, wobei die Fläche das Werkstück hält.
Polierkopf nach Anspruch 5, wobei ein Durchmesser des Zusatzkissens größer als der des Werkstücks ist.
Poliervorrichtung, die zum Polieren einer Werkstücksoberfläche verwendet wird, mindestens umfassend: ein Polierkissen, das an einem Drehteller angebracht ist; eine Poliermittel-Zuführeinrichtung zum Zuführen eines Poliermittels zum Polierkissen; und einen Polierkopf zum Halten des Werkstücks, bei dem es sich um den Polierkopf gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6 handelt.