JP2009501321A - 座標測定機を用いてワークピースを精査する方法及び座標測定機 - Google Patents
座標測定機を用いてワークピースを精査する方法及び座標測定機 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009501321A JP2009501321A JP2008520749A JP2008520749A JP2009501321A JP 2009501321 A JP2009501321 A JP 2009501321A JP 2008520749 A JP2008520749 A JP 2008520749A JP 2008520749 A JP2008520749 A JP 2008520749A JP 2009501321 A JP2009501321 A JP 2009501321A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- length
- stylus
- workpiece
- stylus tip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/045—Correction of measurements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
【選択図】 図2
Description
図1は、本発明における座標測定機の実施の形態を示し、
図2は、測定すべきワークピースの表面を精査するための本発明における方法の実施の形態の説明図を示し、
図3は、図2による方法において使用されるスタイラスの剛性の補正因子の相関関係を示し、
図4は、図2による方法において使用されるスタイラスの質量の補正因子の相関関係を示し、
図5は、円筒内面の閉じたスキャニング・パスに沿ったスキャニングの方法の実施の形態の説明図を示し、
図6は、円筒外面の閉じたスキャニング・パスに沿ったスキャニングの方法の実施の形態の説明図を示す。
Claims (17)
- 座標測定機(23)を用いて測定すべきワークピース(71)の表面(70)を精査する方法であって、
前記表面(70)上のプリスキャン・パス開始点(81)において前記座標測定機のスタイラスのスタイラス・チップ(64)を前記ワークピース(71)の前記表面(70)に接触させる工程と、
前記スタイラス・チップ(64)と前記表面(70)との接触を維持しながら、前記表面(70)上の前記プリスキャン・パス開始点(81)とスキャニング開始点(75)との間で延びるプリスキャン・パス(83)に沿って前記スタイラス・チップ(64)を移動させる工程であって、前記スタイラス・チップ(64)は前記スキャニング開始点(75)において実質的に前記表面(70)に対する予め決定されたスキャニング速度を有する工程と、
前記スキャニング開始点(75)と前記スキャニング終了点(77)との間で延びるスキャニング・パス(73)に沿って前記スキャニング速度をもって前記表面(70)を前記スタイラス・チップ(64)によりスキャンする工程と、
前記スタイラス・チップ(64)と前記表面(70)との接触を維持しながら、前記スキャニング終了点(77)とポストスキャン・パス終了点(87)との間で延びるポストスキャン・パス(85)に沿って前記スタイラス・チップ(64)を移動させる工程とを含み、
前記プリスキャン・パス(83)の長さ(Lv)及び前記ポストスキャン・パス(85)の長さ(Ln)のうちの少なくとも1つが前記予め決定されたスキャニング速度、前記スタイラスの剛性及び前記スタイラスの質量のうちの少なくとも1つに応じて決定されることを特徴とする方法。 - 第1のワークピースは第1のスタイラス・チップを用いて第1のスキャニングにおいてスキャンされ、前記第1のワークピース及び前記第1のワークピースとは異なる第2のワークピースのうちの1つが前記第1のスタイラス・チップとは異なる第2のスタイラス・チップを用いて第2のスキャニングにおいてスキャンされ、前記第1のスタイラス・チップに関する前記スタイラスの剛性は前記第2のスタイラス・チップに関する前記スタイラスの剛性よりも大きく、前記第1のスキャニングの前及び後の前記プリスキャン・パスの長さ及び前記ポストスキャン・パスの長さのうちの少なくとも1つは前記第2のスキャニングの前及び後の前記プリスキャン・パスの長さ及び前記ポストスキャン・パスの長さのうちの少なくとも1つよりも短い、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のスタイラス・チップに関する前記スタイラスの剛性と前記第2のスタイラス・チップに関する前記スタイラスの剛性との相対差は0.1よりも大きく、
前記第1のスキャニング前の前記プリスキャン・パスの長さと前記第2のスキャニング前の前記プリスキャン・パスの長さとの相対差は0.1よりも大きいこと、及び
前記第1のスキャニング後の前記ポストスキャン・パスの長さと前記第2のスキャニング後の前記ポストスキャン・パスの長さとの相対差は0.1よりも大きいことのうちの少なくとも1つが成り立つ、請求項2に記載の方法。 - 第1のワークピースは第1のスタイラス・チップを用いて第1のスキャニングにおいてスキャンされ、前記第1のワークピース及び前記第1のワークピースとは異なる第2のワークピースのうちの1つが前記第1のスタイラス・チップとは異なる第2のスタイラス・チップを用いて第2のスキャニングにおいてスキャンされ、前記第1のスタイラス・チップの前記スタイラスの質量は前記第2のスタイラス・チップの前記スタイラスの質量よりも大きく、
前記第1のスキャニングの前及び後の前記プリスキャン・パスの長さ及び前記ポストスキャン・パスの長さのうちの少なくとも1つは前記第2のスキャニングの前及び後の前記プリスキャン・パスの長さ及び前記ポストスキャン・パスの長さのうちの少なくとも1つよりも大きい、請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。 - 前記第1のスタイラス・チップの前記スタイラスの質量と前記第2のスタイラス・チップの前記スタイラスの質量との相対差は0.1よりも大きく、
前記第1のスキャニング前の前記プリスキャン・パスの長さと前記第2のスキャニング前の前記プリスキャン・パスの長さとの相対差は0.1よりも大きいこと、及び
前記第1のスキャニング後の前記ポストスキャン・パスの長さと前記第2のスキャニング後の前記ポストスキャン・パスの長さとの相対差は0.1よりも大きいことのうちの少なくとも1つが成り立つ、請求項4に記載の方法。 - 第1のワークピースは第1のスキャニング速度をもって第1のスキャニングにおいてスキャンされ、前記第1のワークピース及び前記第1のワークピースとは異なる第2のワークピースのうちの1つは前記第1のスキャニング速度とは異なる第2のスキャニング速度をもって第2のスキャニングにおいてスキャンされ、前記第1のスキャニング速度は前記第2のスキャニング速度よりも大きく、
前記第1のスキャニングの前及び後の前記プリスキャン・パスの長さ及び前記ポストスキャン・パスの長さのうちの少なくとも1つは前記第2のスキャニングの前及び後の前記プリスキャン・パスの長さ及び前記ポストスキャン・パスの長さのうちの少なくとも1つよりも大きい、請求項1〜5のいずれか1項に記載の方法。 - 前記第1のスキャニング速度と前記第2のスキャニング速度との相対差は0.1よりも大きく、
前記第1のスキャニング前の前記プリスキャン・パスの長さと前記第2のスキャニング前の前記プリスキャン・パスの長さとの相対差は0.1よりも大きいこと、及び
前記第1のスキャニング後の前記ポストスキャン・パスの長さと前記第2のスキャニング後の前記ポストスキャン・パスの長さとの相対差は0.1よりも大きいことのうちの少なくとも1つが成り立つ、請求項6に記載の方法。 - 前記プリスキャン・パス(83)の長さ(Lv)は前記ポストスキャン・パス(85)の長さ(Ln)よりも大きい、請求項1〜7のいずれか1項に記載の方法。
- 前記プリスキャン・パス(83)に沿って前記スタイラス・チップ(64)を移動させる工程は、前記表面(70)に対する前記スタイラス・チップ(64)の速度を実質的に予め決定されたスキャニング速度まで増大させる工程を含む、請求項1〜8のいずれか1項に記載の方法。
- 前記ポストスキャン・パス(85)に沿って前記スタイラス・チップ(64)を移動させる工程は、前記表面(70)に対する前記スタイラス・チップ(64)の速度を実質的にゼロまで低減させる工程を含む、請求項1〜9のいずれか1項に記載の方法。
- 前記スキャニング速度は前記スキャニング・パス(73)に沿ったスキャニング中に実質的に一定である、請求項1〜10のいずれか1項に記載の方法。
- 前記表面は円筒体(71)の外側面(70)である、請求項1〜11のいずれか1項に記載の方法。
- 前記スキャニング・パス(73)は前記円筒体(71)の周方向において前記外側面(70)と少なくとも一回係合する、請求項12に記載の方法。
- 前記スキャニング・パス(73)の高さzは前記円筒体(71)の軸方向に連続的に増大する、請求項13に記載の方法。
- 前記スキャニング・パス(73)は前記円筒体(71)の周方向において前記外側面(70)と一回係合する閉じたパスである、請求項13に記載の方法。
- 測定すべきワークピース(71)の表面(70)を精査する座標測定機(23)であって、
前記測定すべきワークピース(71)を保持するためのワークピース・ホルダ(29)と、
前記ワークピース(71)の前記表面(70)を精査するためのスタイラスを備えた測定システム(63)と、
互いに移動可能な複数の構成要素(36、37、55)であって、それらのうちの1つ(36)は前記ワークピース・ホルダ(29)に固定連結されており、別の1つ(55)は前記測定システム(63)が前記ワークピース・ホルダ(29)に対して空間的に移動できるように前記測定システム(63)を支持している複数の構成要素(36、37、55)と、
前記複数の構成要素(36、37、55)を互いに移動させるための少なくとも1つの駆動装置(57)と、
前記少なくとも1つの駆動装置(57)を制御するための、請求項1〜15のいずれか1項に記載の方法を実施すべく構成されるコントローラ(31)とを含むことを特徴とする座標測定機。 - 座標測定機のコントローラに請求項1〜15のいずれか1項に記載の方法を実施させるべく適合された制御プログラムを具現する情報を含むことを特徴とするコンピュータ読み取り可能な担体。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102005032749A DE102005032749A1 (de) | 2005-07-13 | 2005-07-13 | Verfahren zum Antasten eines Werkstücks mit einem Koordinatenmessgerät und Koordinatenmessgeräte |
DE102005032749.4 | 2005-07-13 | ||
PCT/EP2006/006456 WO2007006448A1 (de) | 2005-07-13 | 2006-07-03 | Verfahren zum antasten eines werkstücks mit einem koordinatenmessgerät und koordinatenmessgeräte |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009501321A true JP2009501321A (ja) | 2009-01-15 |
JP5106393B2 JP5106393B2 (ja) | 2012-12-26 |
Family
ID=36930823
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008520749A Expired - Fee Related JP5106393B2 (ja) | 2005-07-13 | 2006-07-03 | 座標測定機を用いてワークピースを精査する方法及び座標測定機 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7685726B2 (ja) |
EP (1) | EP1902275B1 (ja) |
JP (1) | JP5106393B2 (ja) |
DE (2) | DE102005032749A1 (ja) |
WO (1) | WO2007006448A1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012515911A (ja) * | 2009-01-20 | 2012-07-12 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 接触式の座標位置決め装置の測定サイクルを最適化する方法 |
EP2527782A2 (en) | 2011-05-27 | 2012-11-28 | Mitutoyo Corporation | Cross-sectional profile measuring method |
JP2013542417A (ja) * | 2010-09-13 | 2013-11-21 | ヘキサゴン・テクノロジー・センター・ゲーエムベーハー | 表面走査座標測定装置の制御方法及び制御装置 |
JP2014074648A (ja) * | 2012-10-04 | 2014-04-24 | Canon Inc | 接触式形状測定装置および方法 |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006019382A1 (de) | 2006-04-24 | 2007-10-25 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Scanning einer Oberfläche mit einem Koordinatenmessgerät |
EP2037211B1 (en) * | 2007-06-29 | 2017-05-10 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Surface shape measuring device, and surface shape measuring method |
JP5192283B2 (ja) * | 2008-05-13 | 2013-05-08 | 株式会社ミツトヨ | 三次元測定機 |
EP2124116B1 (de) | 2008-05-21 | 2013-11-20 | Hexagon Metrology GmbH | Verfahren zur Steuerung eines CNC-gesteuerten Koordinatenmessgerätes sowie Koordinatenmessgerät |
AT508438B1 (de) * | 2009-04-16 | 2013-10-15 | Isiqiri Interface Tech Gmbh | Anzeigefläche und eine damit kombinierte steuervorrichtung für eine datenverarbeitungsanlage |
US8742774B2 (en) * | 2011-09-19 | 2014-06-03 | United Technologies Corporation | Apparatus for measuring a radius of a workpiece |
US9176099B2 (en) | 2012-05-08 | 2015-11-03 | The Boeing Company | Variable radius inspection using sweeping linear array |
US8881611B2 (en) | 2013-02-26 | 2014-11-11 | The Boeing Company | Automated inspection system |
GB201311600D0 (en) * | 2013-06-28 | 2013-08-14 | Renishaw Plc | Calibration of a contact probe |
GB201417771D0 (en) | 2014-10-08 | 2014-11-19 | Delcam Ltd | Measuring device and related methods |
GB201505999D0 (en) * | 2015-04-09 | 2015-05-27 | Renishaw Plc | Measurement method and apparatus |
US10545019B2 (en) * | 2015-04-14 | 2020-01-28 | Hexagon Metrology, Inc. | CMM probe path controller and method |
US11015315B2 (en) * | 2015-10-12 | 2021-05-25 | Yeow Thium Chin | Pile set measurement apparatus |
GB201809631D0 (en) * | 2018-06-12 | 2018-07-25 | Renishaw Plc | Measurement method and apparatus |
DE102019008821A1 (de) * | 2019-12-18 | 2021-06-24 | Mitutoyo Corporation | Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen der Zweipunktgröße eines Werkstücks |
EP3901563B1 (de) * | 2020-04-21 | 2022-12-14 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung einer messstrategie zur vermessung eines messobjekts und programm |
US11644294B2 (en) | 2021-01-29 | 2023-05-09 | Autodesk, Inc. | Automatic generation of probe path for surface inspection and part alignment |
DE102021132660A1 (de) * | 2021-12-10 | 2023-06-15 | Hexagon Metrology Gmbh | Koordinatenmessgerät |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0618254A (ja) * | 1992-04-14 | 1994-01-25 | Carl Zeiss:Fa | 座標測定装置における形状エレメントの測定法および座標測定装置 |
US5726917A (en) * | 1995-08-11 | 1998-03-10 | Carl-Zeiss-Stiftung | Method for controlling a coordinate measuring apparatus |
JPH10206142A (ja) * | 1996-12-21 | 1998-08-07 | Carl Zeiss:Fa | 座標測定装置を制御する方法及び座標測定装置 |
JP2002022435A (ja) * | 2000-05-23 | 2002-01-23 | Carl Zeiss:Fa | 座標測定器の修正方法 |
JP2004272686A (ja) * | 2003-03-10 | 2004-09-30 | Mitsutoyo Corp | 空間経路生成方法及び空間経路生成装置 |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3633011A (en) * | 1968-08-29 | 1972-01-04 | Ibm | Method and apparatus for precisely contouring a workpiece imprecisely positioned on a supporting fixture |
US4167066A (en) * | 1978-04-14 | 1979-09-11 | The Boeing Company | Automatic inspection apparatus |
US4222238A (en) * | 1978-08-14 | 1980-09-16 | Mcculloch Gary E | Apparatus for obtaining energy from wave motion |
DE3141350C2 (de) | 1981-10-17 | 1985-11-28 | Höfler, Willy, Prof. Dr.-Ing., 7500 Karlsruhe | Verfahren zum Synchronisieren der Tasterbewegung eines Teilungs- und/oder Rundlaufmeßgerätes für Zahnräder |
GB8605324D0 (en) * | 1986-03-04 | 1986-04-09 | Rank Taylor Hobson Ltd | Metrological apparatus |
US5189806A (en) | 1988-12-19 | 1993-03-02 | Renishaw Plc | Method of and apparatus for scanning the surface of a workpiece |
DE4326551C2 (de) * | 1993-08-07 | 1997-04-17 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Kalibrier-Verfahren zum Ermitteln und Kompensieren unterschiedlicher Antastkraft-Verhältnisse bei Mehrkoordinaten-Tastsystemen |
DE29612861U1 (de) | 1996-07-24 | 1996-09-12 | Fa. Carl Zeiss, 89518 Heidenheim | Koordinatenmeßgerät mit Meßzeitoptimierung |
DE59711571D1 (de) | 1996-12-21 | 2004-06-03 | Zeiss Carl | Verfahren zur Steuerung von Koordinatenmessgeräten und Koordinatenmessgerät |
JP3081174B2 (ja) * | 1997-07-08 | 2000-08-28 | 株式会社東京精密 | 真円度測定機及びその検出器感度校正方法 |
DE19730471C5 (de) * | 1997-07-16 | 2009-02-19 | Hexagon Metrology Gmbh | Verfahren zum Scannen mit einem Koordinatenmeßgerät |
GB9815830D0 (en) * | 1998-07-22 | 1998-09-16 | Renishaw Plc | Method of and apparatus for reducing vibrations on probes carried by coordinate measuring machines |
DE19900737C2 (de) | 1999-01-12 | 2001-05-23 | Zeiss Carl | Verfahren zur Korrektur der Meßergebnisse eines Koordinatenmeßgerätes und Koordinatenmeßgerät |
DE10050795C2 (de) * | 1999-12-23 | 2002-11-07 | Klingelnberg Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Scannen auf einem Koordinatenmessgerät |
US6457251B1 (en) * | 2000-08-31 | 2002-10-01 | Xilinx Inc. | Method and apparatus for calibrating device pick-up heads used in integrated circuit handler systems |
GB0106245D0 (en) * | 2001-03-14 | 2001-05-02 | Renishaw Plc | Calibration of an analogue probe |
GB0126232D0 (en) * | 2001-11-01 | 2002-01-02 | Renishaw Plc | Calibration of an analogue probe |
DE10214490B4 (de) * | 2002-03-26 | 2010-12-02 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Korrektur von Führungsfehlern bei einem Koordinatenmeßgerät |
DE10229821B4 (de) * | 2002-06-28 | 2004-11-11 | Carl Zeiss | Koordinatenmeßgerät und Verfahren zur Steuerung eines Koordinatenmeßgerätes mit variabler Tastkopfmasse |
GB0215152D0 (en) * | 2002-07-01 | 2002-08-07 | Renishaw Plc | Probe or stylus orientation |
GB0215478D0 (en) * | 2002-07-04 | 2002-08-14 | Renishaw Plc | Method of scanning a calibrating system |
GB0220158D0 (en) | 2002-08-30 | 2002-10-09 | Renishaw Plc | Method of scanning |
US7543393B2 (en) * | 2003-12-16 | 2009-06-09 | Renishaw Plc | Method of calibrating a scanning system |
GB0329098D0 (en) * | 2003-12-16 | 2004-01-21 | Renishaw Plc | Method of calibrating a scanning system |
DE102006019382A1 (de) * | 2006-04-24 | 2007-10-25 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Scanning einer Oberfläche mit einem Koordinatenmessgerät |
-
2005
- 2005-07-13 DE DE102005032749A patent/DE102005032749A1/de not_active Withdrawn
-
2006
- 2006-07-03 US US11/995,519 patent/US7685726B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-07-03 DE DE502006002513T patent/DE502006002513D1/de active Active
- 2006-07-03 JP JP2008520749A patent/JP5106393B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-07-03 WO PCT/EP2006/006456 patent/WO2007006448A1/de active Application Filing
- 2006-07-03 EP EP06762354A patent/EP1902275B1/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0618254A (ja) * | 1992-04-14 | 1994-01-25 | Carl Zeiss:Fa | 座標測定装置における形状エレメントの測定法および座標測定装置 |
US5726917A (en) * | 1995-08-11 | 1998-03-10 | Carl-Zeiss-Stiftung | Method for controlling a coordinate measuring apparatus |
JPH10206142A (ja) * | 1996-12-21 | 1998-08-07 | Carl Zeiss:Fa | 座標測定装置を制御する方法及び座標測定装置 |
JP2002022435A (ja) * | 2000-05-23 | 2002-01-23 | Carl Zeiss:Fa | 座標測定器の修正方法 |
JP2004272686A (ja) * | 2003-03-10 | 2004-09-30 | Mitsutoyo Corp | 空間経路生成方法及び空間経路生成装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012515911A (ja) * | 2009-01-20 | 2012-07-12 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 接触式の座標位置決め装置の測定サイクルを最適化する方法 |
US9400178B2 (en) | 2009-01-20 | 2016-07-26 | Renishaw Plc | Method for optimising a measurement cycle |
JP2013542417A (ja) * | 2010-09-13 | 2013-11-21 | ヘキサゴン・テクノロジー・センター・ゲーエムベーハー | 表面走査座標測定装置の制御方法及び制御装置 |
EP2527782A2 (en) | 2011-05-27 | 2012-11-28 | Mitutoyo Corporation | Cross-sectional profile measuring method |
JP2012247312A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Mitsutoyo Corp | 断面形状測定方法 |
US9739607B2 (en) | 2011-05-27 | 2017-08-22 | Mitutoyo Corporation | Cross-sectional profile measuring method |
JP2014074648A (ja) * | 2012-10-04 | 2014-04-24 | Canon Inc | 接触式形状測定装置および方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE502006002513D1 (de) | 2009-02-12 |
EP1902275A1 (de) | 2008-03-26 |
US7685726B2 (en) | 2010-03-30 |
DE102005032749A1 (de) | 2007-01-18 |
EP1902275B1 (de) | 2008-12-31 |
WO2007006448A1 (de) | 2007-01-18 |
US20080189969A1 (en) | 2008-08-14 |
JP5106393B2 (ja) | 2012-12-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5106393B2 (ja) | 座標測定機を用いてワークピースを精査する方法及び座標測定機 | |
US7918033B2 (en) | Method for correcting the measured values of a coordinate measuring machine, and coordinate measuring machine | |
JP4478248B2 (ja) | 測定エラー低減方法および該方法を用いる測定機械 | |
JP5274782B2 (ja) | 表面性状測定装置、表面性状測定方法及び表面性状測定プログラム | |
US10060737B2 (en) | Method and machine for determining a shape contour on a measurement object | |
JP6608729B2 (ja) | 表面性状測定機及び表面性状測定方法 | |
JP2005009917A (ja) | 表面倣い測定装置、表面倣い測定方法、表面倣い測定プログラムおよび記録媒体 | |
JP2006300823A (ja) | 表面粗さ/輪郭形状測定装置 | |
JPH03160315A (ja) | 座標測定装置 | |
JP2009536325A (ja) | 加工品の表面点に接触するための方法および装置 | |
JP3486254B2 (ja) | 加工物表面の座標測定方法および座標測定機 | |
JP2019509902A (ja) | キャリブレーション装置およびキャリブレーション方法 | |
US9207059B2 (en) | Operation of a coordinate measuring machine | |
JP6147998B2 (ja) | 表面性状測定装置、表面性状測定方法およびプログラム | |
JP6800421B1 (ja) | 測定装置及び測定方法 | |
US7277818B2 (en) | Method and program for leveling aspherical workpieces | |
JP5218957B2 (ja) | 形状測定装置、形状測定方法、及び形状測定プログラム | |
CN101363719B (zh) | 镭射对焦取点***及方法 | |
JP2006078354A (ja) | プローブ制御装置および形状測定装置 | |
JP4783056B2 (ja) | プローブのアプローチ方向設定方法、形状測定装置プログラム及び記憶媒体 | |
JP2007271359A (ja) | 形状測定装置 | |
JP6564171B2 (ja) | 形状測定装置、及び形状測定方法 | |
JP5645349B2 (ja) | 形状測定装置 | |
JP2009063417A (ja) | 形状測定装置及び形状測定装置の制御方法 | |
JPH0736527A (ja) | 形状測定方法および装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090406 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120228 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120528 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120604 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120628 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120705 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120727 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120803 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120906 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121002 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5106393 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151012 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |