JP4783056B2 - プローブのアプローチ方向設定方法、形状測定装置プログラム及び記憶媒体 - Google Patents
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Description
に関する。具体的には、被測定物表面を検出するプローブの接触部を被測定物表面に適切にアプローチさせるためのアプローチ方向を設定する方法等に関する。
図12は、従来の一般的なプローブを示す図である。
従来のプローブ22は、図12に示されるように、プローブ軸部23と、このプローブ軸部23の先端に設けられた球状の接触部24と、を有する。そして、被測定物表面Sの測定にあたっては、接触部24を被測定物表面Sに当接させるようにプローブ22を移動させていき、接触部24が被測定物表面Sに当接した際の座標を所定の検出手段により検出する。すると、被測定物表面Sの位置が検出され、複数の測定点で被測定物表面Sの位置を検出することにより被測定物の表面形状あるいは寸法が測定される。
しかしながら、プローブ220を形状測定装置に取り付けたのちに、嘴型の接触部240をユーザーが目視で確認したうえで、この接触部240が突出している方向をアプローチ方向として手動で正確に設定入力することは非常に困難であり、正確にアプローチ方向を設定できなければ、接触部以外の部分で被測定物表面Sに接触することになるので測定誤差につながる。
ここで、プローブが非常に微細である場合には、接触部がどの方向であるかを肉眼で確認することは困難であり、その接触部が設けられている方向を正確に手動で設定入力することは不可能である。
この点、本発明では基準球を測定した結果に基づいてアプローチ方向が設定されるので、たとえ肉眼では正確に視認できない微細なプローブであってもアプローチ方向として正確な方向を設定することができる。
また、アプローチ方向を設定するにあたっては、プローブの向きを固定した状態で基準球を測定するだけであるので、非常に簡便である。
なお、長軸方向選択工程において、楕円の長軸方向のどちらの方向をアプローチ方向とするかの選択には、後述する内接円算出工程、表示工程あるいは概略方向設定工程を利用する。
ここで、検出データは、基準球に対してプローブがプローブ軸部の一端で当接するか接触部で当接するかによって基準球の真円からずれているが、検出データの内接円としては、このようなずれにあまり影響されずに、測定対象となった基準球の真円と同じ中心点を有する円になると考えられる。そして、長軸方向選択工程においては、楕円の長軸の端点のうちで遠い方から内接円の中心点に向かう向きをアプローチ方向として選択する。すなわち、内接円の中心点から遠い点は、基準球とプローブ軸部との間に接触部が介在することにより中心点から遠い点(遠点)となっているところ、遠点の位置で接触部の先端が基準球に当接していることになる。そこで、遠点から内接円の中心に向かう方向をアプローチ方向として選択することでアプローチ方向を設定することができる。このような構成によれば、内接円の中心と長軸方向の遠点との関係によってアプローチ方向を自動認識するので、アプローチ方向の設定が簡便かつ正確となる。
(第1実施形態)
本発明のプローブのアプローチ方向設定方法に係る第1実施形態について説明する。
まず、プローブのアプローチ方向設定方法について説明する前提として、プローブ220を備えた形状測定装置100の構成について説明する。
図1は、形状測定装置100の構成を示す図である。
形状測定装置100は、三次元測定機200と、手動操作するジョイスティック310を有する操作部300と、三次元測定機200の動作を制御するモーションコントローラ400と、モーションコントローラ400を介して三次元測定機200を動作させるとともに三次元測定機200によって取得した測定データを処理して被測定物Wの寸法や形状などを求めるホストコンピュータ500と、出力手段610と、入力手段620と、を備えている。
加振型接触式センサ210は、プローブ220と、このプローブ220を支持するプローブホルダ250と、このプローブホルダ250に設けられプローブ220を軸方向に振動させる圧電素子251と、この圧電素子251にプローブ220の固有振動数を有する信号(パルスあるいは正弦波信号など)を印加する加振回路252と、プローブ220の振動変化を電圧変化に変換する圧電素子253と、この圧電素子253からの電圧変化を検出して検出信号として出力する検出回路254と、を備える。
プローブ軸部230の断面形状は円形である。
接触部240は、プローブ軸部230の一端において、プローブ軸部230に直交する一方向へ向けて突出している。
また、接触部240の形状は嘴型であって先端241に行くに従って先き細る先細り形状であり、その先端241は被測定物表面Sと一点で接するとともに接触点を傷つけないように凸形の球面に仕上げられている。
ここで、接触部240の形状は、例えば画像測定機によって測定し、先端241の高さ(Z方向位置)を求めておく。
さらに、被測定物表面Sを測定するにあたっては、接触部240を被測定物表面Sに当接させなければならないところ、形状測定装置100に接触部240が突出している方向であるアプローチ方向を設定しなければならないが、この点については図4のフローチャートを参照して後述する。
このアプローチ方向はアプローチ方向制御部510に記憶されるところ、アプローチ方向制御部510にアプローチ方向を設定する工程については図4のフローチャートを参照して後述する。
被測定物表面Sを検出するにあたって、加振型接触式センサ210を被測定物表面Sに向けて移動させていく。
ただし、加振型接触式センサ210の向きとしては、接触部240が被測定物表面に当接する向き(アプローチ方向)にしておく。
このとき、接触部240と被測定物表面Sとの位置関係により、図3に示されるような検出信号の変化が生じる。接触部240がフリーの状態(A)から接触部240が被測定物表面に接触を開始し(B)、所定の押込み量dで接触部240が被測定物表面に接触したとき(C)、接触部240の振動が束縛されて、検出信号が予め設定された参照値に達する。
ここで、参照値は、接触部240がフリーの状態(非接触の状態)で検出される検出信号値から接触部240が所定押込み量dで押込まれた際の信号変化分を減じたものとして予め設定されるものである。
このような当接と離接を繰り返して被測定物表面を複数点で測定する。そして、サンプリングされた加振型接触式センサ210の位置情報から被測定物表面Sの形状を知ることができる。
次に、接触部240が被測定物表面Sの測定点に当接する方向であるアプローチ方向をアプローチ方向制御部510に設定するアプローチ方向設定方法について図4のフローチャートを参照して説明する。
ここで、図5は、アプローチ方向制御部510の構成を示す図であり、アプローチ方向制御部510は、真円測定部520と、検出データ記憶部530と、アプローチ方向設定部540と、アプローチ方向記憶部550と、を備え、アプローチ方向設定部540は、楕円フィッティング部541と、長軸方向算出部542と、内接円算出部543と、長軸方向選択部544と、を備えている。
アプローチ方向を設定するにあたっては、まず、ST100において、真円測定工程が真円測定部520によって実行される。
この真円測定工程(ST100)では、図6に示されるように、基準球280の赤道部分である真円の輪郭に加振型接触式センサ210を複数点で接触させていく。
加振型接触式センサ210の向きを一定にしているので、接触部240で基準球280に接したか、プローブ軸部230で基準球280に接したかによって、基準球280に当接したときのプローブ軸部230の位置が真円からずれる程度が異なる。そのため、検出データDは、基準球280の真円からずれた略楕円状になる。
すなわち、接触部240にて基準球280に当接した場合にそのプローブ軸部230の位置を検出すると、接触部240が基準球280とプローブ軸部230との間に介在する分だけ基準球280からのずれが大きくなる(図7中のA)。その一方、プローブ軸部230で基準球280に接していれば、基準球280からのずれが小さい検出データを得る(図7中のB)。
検出工程(ST110)にて得られた検出データDは、加振型接触式センサ210がプローブ軸部230と接触部240とのいずれで基準球280に接したかによって真円からずれた形状となっているところ、楕円フィッティング工程では、この検出データDを楕円と認識して検出データDに楕円Eの式をフィッティングする(図8参照)
これにより、楕円フィッティング工程(ST210)にて算出された楕円Eの式から長軸方向Lが算出される。
ここで、楕円Eの長軸方向は、検出データDが真円から最もずれた方向であり、このずれは、一方側において加振型接触式センサ210が接触部240の先端241で基準球280に当接し、その反対側においてプローブ軸部230の背面で基準球280に当接したことによって生じる。つまり、算出された長軸方向Lうちのいずれかに向かう方向は接触部240が設けられている方向であり、すなわち、アプローチ方向である。
このとき、内接円算出工程(ST230)にて算出された内接円Cの中心からみて楕円Eの長軸Lの端点のうち遠い方(遠点B)から内接円Cの中心Oに向かう向きをアプローチ方向Vとして選択する。
例えば、図9において、長軸方向における楕円上の点として点Tと点Bが存在するところ、内接円Cの中心からみて遠い点Bから中心Oに向かう向きをアプローチ方向Vとして選択する。
そして、この測定点における被測定物表面Sの法線方向を加振型接触式センサ210の移動方向として加振型接触式センサ210を測定点に近づけていく。このとき、スピンドル264を回転させて、接触部240が測定点に向く方向にする。つまり、アプローチ方向Vを測定点に向ける。
このように接触部240が測定点に向く状態になったところで、駆動機構260によって加振型接触式センサ210を測定点に近づけていき、接触部240が当接して振動が拘束されたときの検出信号に基づいて接触部240と被測定物表面との接触を検出して、このときの加振型接触式センサ210の位置を駆動センサによって検出する。このようにして得られた検出データに基づいてホストコンピュータ500により被測定物表面の形状解析が行われる。
さらに、接触部240の形状が正確に分かっている場合には、プローブ軸位置から接触部の分を補正して、被測定物表面の座標を正確に算出してもよい。
(1)上記アプローチ方向設定方法によって一方向にのみ接触部240が設けられている加振型接触式センサ210の接触部240の方向を求めてアプローチ方向Vとして設定できるので、アプローチ方向を測定点に向けた状態で加振型接触式センサ210を被測定物Wの測定点に移動させることにより、接触部240を被測定物表面Sの測定点に当接させることができる。これにより、被測定物表面Sを検出することができる。例えば、従来の球状の接触部240では測定不可能であった小孔の形状なども測定することができる。
上記実施形態では、長軸方向算出工程(ST220)にて長軸方向を算出したのち、さらに、内接円算出工程(ST230)で検出データの内接円を算出して、長軸方向Lの端点Bと内接円Cの中心Oとの関係からアプローチ方向Vを自動認識する場合について説明した。この他、例えば、長軸方向算出工程(ST220)にて長軸方向Lを算出したのち、この長軸方向Lのどちら向きがアプローチ方向Vとして設定されるかはオペレーターが判断して選択してもよい。この場合、例えば、楕円フィッティング工程(ST210)にて求められた楕円Eおよび長軸方向算出工程(ST220)にて算出された長軸Lを表示手段に表示したうえで、この表示画面上で楕円の偏心の様子からアプローチ方向をオペレータが選択してもよい。
または、真円に限らず、予め形状が既知である基準物であれば、プローブ220の向きを固定した状態でこの基準物の周囲を測定して、基準物の形状と検出データとのずれに基づいて接触部240の向きを決定してもよい。
例えば、上記加振型接触式プローブ210で検出信号が参照値になるように接触部240を被測定物表面Sに押し当てながら被測定物表面Sに沿って接触部240を倣い移動させて被測定物表面Sを検出してもよい。
あるいは、プローブをスライド移動可能に保持するとともにプローブの押込量を検出可能な倣いプローブによってタッチトリガ測定してもよく、倣い測定してもよい。
Claims (7)
- プローブ軸部、および、このプローブ軸部の一端に設けられプローブ軸部に直交する一方向に向けて所定長さで突出する接触部を有するプローブを用いて被測定物表面を測定するにあたり、前記接触部が前記被測定物表面の測定点に当接する方向であるアプローチ方向を設定するプローブのアプローチ方向設定方法であって、
前記接触部の向きを固定した状態で前記プローブ軸部の一端を真円の輪郭である基準球の赤道部分に複数点で当接させながら前記基準球の一周分にわたって前記プローブを移動させる真円測定工程と、
前記真円測定工程において前記プローブ軸部の一端が前記の輪郭に当接した際のプローブ軸部の位置をプローブ軸部に直交する面内で検出する検出工程と、
前記検出工程にて検出された検出データと前記基準球の赤道部分の真円とが最もずれた方向を前記アプローチ方向として設定するアプローチ方向設定工程と、を備える
ことを特徴とするプローブのアプローチ方向設定方法。 - 請求項1に記載のプローブのアプローチ方向設定方法において、
前記アプローチ方向設定工程は、
前記基準球の赤道の真円と同じ中心点を有する前記検出データの内接円を算出する内接円算出工程と、
前記検出工程にて検出されたプローブ軸部の位置の検出データを楕円とみて、この検出データに楕円の式をフィッティングする楕円フィッティング工程と、
前記楕円フィッティング工程にて前記検出データにフィッティングされた楕円の長軸方向を算出する長軸方向算出工程と、
前記長軸方向算出工程にて算出された長軸方向でいずれか一の方向に向かう方向を前記アプローチ方向として選択する長軸方向選択工程と、を備え、
前記長軸方向選択工程は、前記内接円算出工程にて算出された内接円の中心からみて前記楕円の長軸の端点のうち遠い方から前記内接円の中心点に向かう向きを前記アプローチ方向として選択する
ことを特徴とするプローブのアプローチ方向設定方法。 - 請求項1に記載のプローブのアプローチ方向設定方法において、
前記アプローチ方向設定工程は、
前記検出工程にて検出されたプローブ軸部の位置の検出データを楕円とみて、この検出データに楕円の式をフィッティングする楕円フィッティング工程と、
前記楕円フィッティング工程にて前記検出データにフィッティングされた楕円の長軸方向を算出する長軸方向算出工程と、
前記長軸方向算出工程にて算出された長軸方向でいずれか一の方向に向かう方向を前記アプローチ方向として選択する長軸方向選択工程と、
前記楕円フィッティング工程にて前記検出データにフィッティングされた楕円および前記長軸方向算出工程にて算出された前記長軸方向を表示手段に表示する表示工程と、を備え、
前記長軸方向選択工程では、前記表示手段に表示された前記楕円の形状を視認した際の判断に基づいて前記アプローチ方向が選択される
ことを特徴とするプローブのアプローチ方向設定方法。 - 請求項1に記載のプローブのアプローチ方向設定方法において、
前記アプローチ方向設定工程は、
前記検出工程にて検出されたプローブ軸部の位置の検出データを楕円とみて、この検出データに楕円の式をフィッティングする楕円フィッティング工程と、
前記楕円フィッティング工程にて前記検出データにフィッティングされた楕円の長軸方向を算出する長軸方向算出工程と、
前記長軸方向算出工程にて算出された長軸方向でいずれか一の方向に向かう方向を前記アプローチ方向として選択する長軸方向選択工程と、
前記真円測定工程で前記接触部の向きを固定した際に前記アプローチ方向が座標系上でプラス方向かマイナス方向かを予め設定する概略方向設定工程と、を備え、
前記長軸方向選択工程は、前記概略方向設定工程にて設定された方向に従って前記長軸方向のいずれか一方を前記アプローチ方向として設定する
ことを特徴とするプローブのアプローチ方向設定方法。 - プローブ軸部、および、このプローブ軸部の一端に設けられプローブ軸部に直交する一方向に向けて所定長さで突出する接触部を有するプローブを備え、前記接触部が被測定物表面に当接した際のプローブ位置に基づいて前記被測定物の表面形状を測定する形状測定装置であって、
前記接触部の向きを固定した状態で前記プローブ軸部の一端を真円の輪郭である基準球の赤道部分に複数点で当接させながら前記基準球の一周分にわたって前記プローブを移動させる真円測定手段と、
前記プローブ軸部の一端が前記基準球の輪郭に当接した際のプローブ軸部の位置をプローブ軸部に直交する面内で検出する検出手段と、
前記検出手段にて検出された検出データと前記基準球の赤道部分の真円とが最もずれた方向を前記アプローチ方向として設定するアプローチ方向設定手段と、を備える
ことを特徴とする形状測定装置。 - プローブ軸部、および、このプローブ軸部の一端に設けられプローブ軸部に直交する一方向に向けて所定長さで突出する接触部を有するプローブを備え、前記接触部が被測定物表面に当接した際のプローブ位置に基づいて前記被測定物の表面形状を測定する形状測定装置にコンピュータを組み込んで、このコンピュータを、
前記接触部の向きを固定した状態で前記プローブ軸部の一端を真円の輪郭である基準球の赤道部分に複数点で当接させながら前記基準球の一周分にわたって前記プローブを移動させる真円測定手段と、
前記プローブ軸部の一端が前記基準球の輪郭に当接した際のプローブ軸部の位置をプローブ軸部に直交する面内で検出する検出手段と、
前記検出手段にて検出された検出データと前記基準球の赤道部分の真円とが最もずれた方向を前記アプローチ方向として設定するアプローチ方向設定手段と、として機能させることを特徴とするコンピュータ読取可能なプローブのアプローチ方向設定プログラム。 - 請求項6に記載のプローブのアプローチ方向設定プログラムを記録した記録媒体。
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