JP2009258417A - 光導波路モジュールの製造方法 - Google Patents
光導波路モジュールの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009258417A JP2009258417A JP2008107765A JP2008107765A JP2009258417A JP 2009258417 A JP2009258417 A JP 2009258417A JP 2008107765 A JP2008107765 A JP 2008107765A JP 2008107765 A JP2008107765 A JP 2008107765A JP 2009258417 A JP2009258417 A JP 2009258417A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical waveguide
- core
- light
- clad layer
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/13—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method
- G02B6/138—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method by using polymerisation
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/125—Bends, branchings or intersections
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/43—Arrangements comprising a plurality of opto-electronic elements and associated optical interconnections
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
【解決手段】光導波路の端部の裏面側に光学素子が取り付けられている光導波路モジュールを製造する方法であって、上記光導波路の作製が、成形型10を用いた型成形法により、コア5を被覆した状態でオーバークラッド層6を表面側に形成すると同時に、光導波路の端部に対応するオーバークラッド層6の端部を反射部6aに形成する。
【選択図】図1
Description
下記の一般式(1)で示されるビスフェノキシエタノールフルオレングリシジルエーテル(成分A)35重量部、脂環式エポキシである3,4−エポキシシクロヘキセニルメチル−3’,4’−エポキシヘキセンカルボキシレート(ダイセル化学社製、セロキサイド2021P)(成分B)40重量部、シクロヘキセンオキシド骨格を有する脂環式エポキシ樹脂(ダイセル化学社製、セロキサイド2081)(成分C)25重量部、4,4’−ビス〔ジ(βヒドロキシエトキシ)フェニルスルフィニオ〕フェニルスルフィド−ビス−ヘキサフルオロアンチモネートの50%プロピオンカーボネート溶液(成分D)2重量部とを混合することにより、アンダークラッド層およびオーバークラッド層の形成材料を調製した。
上記成分A:70重量部、1,3,3−トリス{4−〔2−(3−オキセタニル)〕ブトキシフェニル}ブタン:30重量部、上記成分D:1重量部を乳酸エチルに溶解することにより、コアの形成材料を調製した。
ステンレス製基板(厚み50μm)の表面に、上記アンダークラッド層の形成材料をアプリケータにより塗布した後、全面に2000mJ/cm2 の紫外線照射による露光を行った。つづいて、100℃×15分間の加熱処理を行うことにより、アンダークラッド層を形成した。このアンダークラッド層の厚みを接触式膜厚計で測定すると10μmであった。
上記実施例と同様にして、ステンレス製基板の表面に、アンダークラッド層およびコアを形成した。そして、上記コアを被覆するように、上記オーバークラッド層の形成材料をアプリケータにより塗布した後、100℃×15分間の乾燥処理を行い、感光性樹脂層を形成した。ついで、その感光性樹脂層の上方に、オーバークラッド層のパターンと同形状の開口パターンが形成された合成石英系の露光マスクを位置決めした。そして、その上方から、コンタクト露光法にて2000mJ/cm2 の紫外線照射による露光を行った後、150℃×60分間の加熱処理を行った。つぎに、γ−ブチロラクトン水溶液を用いて現像することにより、未露光部分を溶解除去した後、100℃×15分間の加熱処理を行うことにより、オーバークラッド層(厚み100μm)を形成した。その後、刃先角度90°の回転刃を、オーバークラッド層の真上から下ろし、上記アンダークラッド層とコアとオーバークラッド層からなる光導波路の両端部を、45°の傾斜面に切削し、その傾斜面を反射部に形成した。このようにして、光導波路モジュールの光導波路を作製した。
6 オーバークラッド層
6a 反射部
10 成形型
Claims (8)
- コアおよびこのコアを被覆するオーバークラッド層を表面側に有する光導波路と、この光導波路の裏面側において上記光導波路の端部に関連して実装された光学素子と、光を反射して上記コアと上記光学素子との間の光伝播を可能とする反射部とを備えた光導波路モジュールを製造する方法であって、上記オーバークラッド層を型成形法により形成すると同時に、上記光導波路の端部に対応するオーバークラッド層の端部を反射部に形成する工程を有することを特徴とする光導波路モジュールの製造方法。
- 上記オーバークラッド層の端部を反射部に形成する工程が、オーバークラッド層自体の端部を断面アーチ状の曲面に形成する工程である請求項1記載の光導波路モジュールの製造方法。
- 上記断面アーチ状の曲面が、断面約1/4円の曲面である請求項2記載の光導波路モジュールの製造方法。
- 上記オーバークラッド層の端部を反射部に形成する工程が、オーバークラッド層自体の端部を断面アーチ状の曲面にする工程と、さらに、形成された曲面上に金属膜を形成する工程とを有する請求項2記載の光導波路モジュールの製造方法。
- 上記光学素子の取り付けが、光導波路の端部の裏面側に直接行われる請求項1〜4のいずれか一項に記載の光導波路モジュールの製造方法。
- 上記光学素子の取り付けが、光導波路の端部の裏面側に、光通過用の貫通孔を有する基板を介して行われる請求項1〜4のいずれか一項に記載の光導波路モジュールの製造方法。
- 上記光学素子が、上記コアに対して光を出射する発光素子であり、上記反射部が、上記発光素子からの出射光を反射する請求項1〜6のいずれか一項に記載の光導波路モジュールの製造方法。
- 上記光学素子が、上記コアからの光を受光する受光素子であり、上記反射部が、上記コアからの光を反射する請求項1〜6のいずれか一項に記載の光導波路モジュールの製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008107765A JP5160941B2 (ja) | 2008-04-17 | 2008-04-17 | 光導波路モジュールの製造方法 |
KR1020090028393A KR101558584B1 (ko) | 2008-04-17 | 2009-04-02 | 광도파로 모듈의 제조 방법 |
EP09157628.0A EP2136228B1 (en) | 2008-04-17 | 2009-04-08 | Manufacturing method of optical waveguide module |
US12/424,865 US20090261488A1 (en) | 2008-04-17 | 2009-04-16 | Manufacturing method of optical waveguide module |
CN2009101355096A CN101561532B (zh) | 2008-04-17 | 2009-04-17 | 光波导路组件的制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008107765A JP5160941B2 (ja) | 2008-04-17 | 2008-04-17 | 光導波路モジュールの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009258417A true JP2009258417A (ja) | 2009-11-05 |
JP5160941B2 JP5160941B2 (ja) | 2013-03-13 |
Family
ID=41200445
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008107765A Expired - Fee Related JP5160941B2 (ja) | 2008-04-17 | 2008-04-17 | 光導波路モジュールの製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20090261488A1 (ja) |
EP (1) | EP2136228B1 (ja) |
JP (1) | JP5160941B2 (ja) |
KR (1) | KR101558584B1 (ja) |
CN (1) | CN101561532B (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012093564A (ja) * | 2010-10-27 | 2012-05-17 | Nitto Denko Corp | 光導波路の製法 |
US8771562B2 (en) | 2010-06-02 | 2014-07-08 | Nitto Denko Corporation | Optical waveguide production method |
US8778451B2 (en) | 2010-07-05 | 2014-07-15 | Nitto Denko Corporation | Method of manufacturing optical waveguide |
US8778452B2 (en) | 2010-07-05 | 2014-07-15 | Nitto Denko Corporation | Method of manufacturing optical waveguide |
WO2016067914A1 (ja) * | 2014-10-28 | 2016-05-06 | 日東電工株式会社 | 光電気混載基板 |
WO2016093036A1 (ja) * | 2014-12-10 | 2016-06-16 | 日東電工株式会社 | 光電気混載基板 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5049145B2 (ja) * | 2008-01-22 | 2012-10-17 | 日東電工株式会社 | 光導波路デバイスの製法 |
TWI574053B (zh) * | 2009-10-26 | 2017-03-11 | 肯提克有限公司 | 反射元件及其製造方法 |
DE102010018248B4 (de) * | 2010-04-23 | 2015-07-30 | Ruprecht-Karls-Universität Heidelberg | Über optische Verbinder und deren Herstellung |
US8876408B2 (en) | 2010-04-23 | 2014-11-04 | Ruprecht-Karls-Universität Heidelberg | Optical connectors and a method of production thereof |
EP2916151B1 (en) | 2014-03-05 | 2020-01-01 | Corning Optical Communications LLC | Method of forming a fiber coupling device |
WO2018004676A1 (en) * | 2016-07-01 | 2018-01-04 | Intel Corporation | Isotropic etched lens for vertical coupling of photonics circuits |
US11768338B2 (en) * | 2021-05-27 | 2023-09-26 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Optical interconnect structure, package structure and fabricating method thereof |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000321453A (ja) * | 1999-05-11 | 2000-11-24 | Sony Corp | 光転轍装置および光送受信装置ならびにそれらの製造方法 |
JP2001272565A (ja) * | 2000-03-27 | 2001-10-05 | Sony Corp | 光導波路の形成方法および光送受信装置の製造方法 |
JP2003139980A (ja) * | 2001-11-01 | 2003-05-14 | Nec Corp | 光導波路基板及び光モジュール |
JP2003172836A (ja) * | 2001-12-05 | 2003-06-20 | Mitsui Chemicals Inc | 光路変換機能付光導波路素子 |
JP2004054003A (ja) * | 2002-07-22 | 2004-02-19 | Mitsubishi Electric Corp | 光電子基板 |
JP2005298901A (ja) * | 2004-04-12 | 2005-10-27 | Sharp Corp | 無電解めっき前処理用組成物およびそれを用いた光回路基板の製造方法 |
JP2006284634A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光導波路ユニット |
JP2007148087A (ja) * | 2005-11-29 | 2007-06-14 | Kyocera Corp | 光電気集積配線基板及び光電気集積配線システム |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3646186A (en) * | 1970-06-05 | 1972-02-29 | Du Pont | Process for producing continuous round jacketed lightguides |
DE4142047C2 (de) * | 1991-12-19 | 2001-03-01 | Siemens Ag | Verfahren zum Umhüllen mindestens eines Lichtwellenleiters mit einer Schutzschicht und zum Anbringen von Verstärkungselementen |
US6355198B1 (en) * | 1996-03-15 | 2002-03-12 | President And Fellows Of Harvard College | Method of forming articles including waveguides via capillary micromolding and microtransfer molding |
US7046868B2 (en) * | 2000-03-28 | 2006-05-16 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Optical waveguide transmitter-receiver module |
JP3782722B2 (ja) * | 2001-11-30 | 2006-06-07 | シャープ株式会社 | 光送受信モジュールおよび電子機器 |
JP3818153B2 (ja) | 2002-01-11 | 2006-09-06 | オムロン株式会社 | 光導波路装置 |
DE10202277A1 (de) | 2002-01-22 | 2003-07-31 | Siemens Ag | Elektrisch-optischer Schaltungsträger und Verfahren zu dessen Herstellung |
WO2004051335A1 (de) * | 2002-12-05 | 2004-06-17 | Infineon Technologies Ag | Optische sende- und/oder empfangsanordnung mit einem planaren optischen schaltkreis |
US20040120672A1 (en) | 2002-12-18 | 2004-06-24 | Gabel Chong | Waveguides with integrated lenses and reflective surfaces |
US6996303B2 (en) * | 2004-03-12 | 2006-02-07 | Fujitsu Limited | Flexible optical waveguides for backplane optical interconnections |
KR100623477B1 (ko) * | 2004-08-25 | 2006-09-19 | 한국정보통신대학교 산학협력단 | 광섬유 다발을 이용한 광 인쇄회로기판 및 광연결 블록 |
JP4351130B2 (ja) | 2004-09-07 | 2009-10-28 | 学校法人東海大学 | 光接続装置の製造法及びその光接続装置 |
JP2006120956A (ja) * | 2004-10-22 | 2006-05-11 | Ibiden Co Ltd | 多層プリント配線板 |
US7224857B2 (en) * | 2004-12-20 | 2007-05-29 | Fujitsu Limited | Optical-routing boards for opto-electrical systems and methods and apparatuses for manufacturing the same |
US20100165352A1 (en) * | 2006-09-18 | 2010-07-01 | Cyoptics, Inc. | Adiabatic tapered composite waveguide for athermalization |
JP4825729B2 (ja) * | 2007-05-24 | 2011-11-30 | 日東電工株式会社 | 光導波路デバイスおよびその製造方法 |
JP2010134217A (ja) * | 2008-12-05 | 2010-06-17 | Sony Corp | カラーフィルタおよびその製造方法並びに発光装置 |
JP5239835B2 (ja) * | 2008-12-24 | 2013-07-17 | 富士ゼロックス株式会社 | 光導波路及び光導波路型タッチパネル |
JP2010152111A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Fuji Xerox Co Ltd | 光導波路、光モジュール、光モジュールの製造方法、および光導波路の製造方法 |
-
2008
- 2008-04-17 JP JP2008107765A patent/JP5160941B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-04-02 KR KR1020090028393A patent/KR101558584B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2009-04-08 EP EP09157628.0A patent/EP2136228B1/en not_active Not-in-force
- 2009-04-16 US US12/424,865 patent/US20090261488A1/en not_active Abandoned
- 2009-04-17 CN CN2009101355096A patent/CN101561532B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000321453A (ja) * | 1999-05-11 | 2000-11-24 | Sony Corp | 光転轍装置および光送受信装置ならびにそれらの製造方法 |
JP2001272565A (ja) * | 2000-03-27 | 2001-10-05 | Sony Corp | 光導波路の形成方法および光送受信装置の製造方法 |
JP2003139980A (ja) * | 2001-11-01 | 2003-05-14 | Nec Corp | 光導波路基板及び光モジュール |
JP2003172836A (ja) * | 2001-12-05 | 2003-06-20 | Mitsui Chemicals Inc | 光路変換機能付光導波路素子 |
JP2004054003A (ja) * | 2002-07-22 | 2004-02-19 | Mitsubishi Electric Corp | 光電子基板 |
JP2005298901A (ja) * | 2004-04-12 | 2005-10-27 | Sharp Corp | 無電解めっき前処理用組成物およびそれを用いた光回路基板の製造方法 |
JP2006284634A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光導波路ユニット |
JP2007148087A (ja) * | 2005-11-29 | 2007-06-14 | Kyocera Corp | 光電気集積配線基板及び光電気集積配線システム |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8771562B2 (en) | 2010-06-02 | 2014-07-08 | Nitto Denko Corporation | Optical waveguide production method |
US8778451B2 (en) | 2010-07-05 | 2014-07-15 | Nitto Denko Corporation | Method of manufacturing optical waveguide |
US8778452B2 (en) | 2010-07-05 | 2014-07-15 | Nitto Denko Corporation | Method of manufacturing optical waveguide |
JP2012093564A (ja) * | 2010-10-27 | 2012-05-17 | Nitto Denko Corp | 光導波路の製法 |
US8652569B2 (en) | 2010-10-27 | 2014-02-18 | Nitto Denko Corporation | Optical waveguide production method |
JP2016085402A (ja) * | 2014-10-28 | 2016-05-19 | 日東電工株式会社 | 光電気混載基板 |
WO2016067914A1 (ja) * | 2014-10-28 | 2016-05-06 | 日東電工株式会社 | 光電気混載基板 |
KR20170076685A (ko) * | 2014-10-28 | 2017-07-04 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 광전기 혼재 기판 |
US9989720B2 (en) | 2014-10-28 | 2018-06-05 | Nitto Denko Corporation | Opto-electric hybrid board |
KR102619268B1 (ko) * | 2014-10-28 | 2023-12-28 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 광전기 혼재 기판 |
WO2016093036A1 (ja) * | 2014-12-10 | 2016-06-16 | 日東電工株式会社 | 光電気混載基板 |
JP2016109995A (ja) * | 2014-12-10 | 2016-06-20 | 日東電工株式会社 | 光電気混載基板 |
US10288823B2 (en) | 2014-12-10 | 2019-05-14 | Nitto Denko Corporation | Opto-electric hybrid board |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101561532A (zh) | 2009-10-21 |
KR20090110225A (ko) | 2009-10-21 |
EP2136228A1 (en) | 2009-12-23 |
KR101558584B1 (ko) | 2015-10-07 |
JP5160941B2 (ja) | 2013-03-13 |
EP2136228B1 (en) | 2014-09-10 |
CN101561532B (zh) | 2013-08-28 |
US20090261488A1 (en) | 2009-10-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5160941B2 (ja) | 光導波路モジュールの製造方法 | |
JP5055193B2 (ja) | 光電気混載基板の製造方法 | |
JP4971248B2 (ja) | 光電気混載モジュールの製造方法 | |
JP4754613B2 (ja) | 光電気混載基板およびその製造方法 | |
JP4796615B2 (ja) | 光電気混載基板およびその製造方法 | |
JP5877749B2 (ja) | 光電気混載基板の製法 | |
JP5106348B2 (ja) | 光電気混載モジュールの製造方法およびそれによって得られた光電気混載モジュール | |
JP4934070B2 (ja) | 光電気混載基板の製造方法 | |
JP4934068B2 (ja) | 光電気混載基板の製造方法およびそれによって得られた光電気混載基板 | |
JP2009025726A (ja) | 光導波路デバイスおよびその製造方法 | |
JP5101345B2 (ja) | 光導波路装置の製造方法 | |
TW201626011A (zh) | 光電混合基板 | |
JP4934069B2 (ja) | 光電気混載基板の製造方法 | |
JP2010066667A (ja) | 光導波路装置の製造方法 | |
JP2010117380A (ja) | 光導波路装置の製造方法 | |
JP5300396B2 (ja) | 光路変換体とそれを具備する光伝送基板 | |
JP2000338347A (ja) | 光モジュール及び光導波路の製造方法 | |
JP2008298878A (ja) | 光導波路デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101122 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120105 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20120220 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120220 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121204 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121213 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151221 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |