JP2009253409A - 水晶振動子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】金属フランジ2bをベース本体2aの外周に溶接した振動子用ベース2と、振動子用ベース2上にサポータ8によって保持された水晶片1と、金属フランジ2bに接合して水晶片1を覆って密閉封入した金属カバー3とからなる水晶振動子において、ベース本体2aをセラミックとしてベース本体2aの外周表面に金属フランジ2bが接合される金属膜9を形成し、ベース本体2aの少なくとも2箇所にはビアホール12によって電気的に接続した内底面及び外底面の金属膜を有し、内底面の金属膜にはサポータ8が接合された構成とする。
【選択図】図1
Description
第3図は一従来例を説明する図で、同図(a)はカバーを除く水晶振動子の平面図、同図(b)はO−A断面図、同図(c)は点線○で示す一部拡大断面図である。
しかしながら、上記構成の水晶振動子では、金属ベース3はベース本体3aをコバールとして釘頭部7aが一主面から突出したリード線7を有する。リード線7はガラス6による気密を確保するために一主面から突出し、ここではサポータの接続する釘頭部7aが突出する。このことから、金属ベースのベース本体の高さは基本的にリード線の突出した高さ分が大きくなり、これに起因して水晶振動子の高さも大きくなる問題があった。ちなみに、ベース本体の厚みはガラスによる気密を確保するため、1.3mmを要し、釘頭部の突出長を0.2mmとして、全体の高さを1.5mmとする。
本発明は金属ベースの高さを小さくして小型化を促進する高安定用の水晶振動子を提供することを目的とする。
本発明の請求項2では、請求項1において、前記金属カバーはフランジを有する凹状として前記振動子用ベースの金属フランジに令間圧接又は抵抗溶接によって接合される。これにより、気密性に優れた例えば気密度を1×10-10Pam3/S以上として、周波数安定度を高安定にする要因の一つを確保できる。
上記実施形態では内底面と外底面の金属膜10(ab)、11(ab)は直線状のビアホール13によって接続したが、例えば第2図(断面図)に示したように、ビアホールをクランク状として気密性をさらに確実にするようにしてもよい。なお、図ではシールド電極13は省略してある。
Claims (3)
- 金属フランジをベース本体の外周に溶接した振動子用ベースと、前記振動子用ベース上にサポータによって保持された水晶片と、前記金属フランジに接合して前記水晶片を覆って密閉封入した金属カバーとからなる水晶振動子において、
前記ベース本体をセラミックとして前記ベース本体の外周表面に前記金属フランジが接合される金属膜を形成し、前記ベース本体の少なくとも2箇所にはビアホールによって電気的に接続した内底面及び外底面の金属膜を有し、前記内底面の金属膜には前記サポータが接合された水晶振動子。 - 請求項1において、前記金属カバーはフランジを有する凹状として前記振動子用ベースの金属フランジに令間圧接又は抵抗溶接によって接合された水晶振動子。
- 請求項1において、前記外底面の金属膜にはリード線が接合した水晶振動子。
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