JP4578231B2 - 圧電発振器及びその製造方法 - Google Patents
圧電発振器及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4578231B2 JP4578231B2 JP2004375147A JP2004375147A JP4578231B2 JP 4578231 B2 JP4578231 B2 JP 4578231B2 JP 2004375147 A JP2004375147 A JP 2004375147A JP 2004375147 A JP2004375147 A JP 2004375147A JP 4578231 B2 JP4578231 B2 JP 4578231B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oscillation
- piezoelectric
- substrate
- piezoelectric oscillator
- support substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
Description
側面に沿って前記支持基板まで延在させたことを特徴とする。
初めに、図5−1に示すようなICウエハ18を準備する。
次に、図5−2に示すような母基板17を準備する。
そして、図5−4に示すように、得られた集合圧電発振器の母基板17及びICウエハ18を、各基板領域19及び発振用IC2の外周に沿ってダイサーなどで切断することで、複数の圧電発振器を得ることができる。
間11が変動することを抑制することが可能となる。
2・・・・発振用IC
3・・・・圧電振動素子(水晶振動素子)
4・・・・ビアホール導体
5・・・・外部端子電極
6・・・・凹部
7・・・・導電性接合材
8・・・・封止部材
9・・・・電極パッド
10・・・接続パッド
11・・・封止空間
12・・・基板側封止用導体
13・・・IC側封止用導体
14・・・導電性接着剤
15・・・搭載パッド
16・・・シールド層
17・・・母基板
18・・・ICウエハ
19・・・基板領域(支持基板)
Claims (12)
- 支持基板の上面と発振用ICの下面とを、封止部材で両者間に封止空間を形成するように接合し、前記封止空間内に前記発振用ICと電気的に接続される圧電振動素子を収容してなり、
前記支持基板の上面及び前記発振用ICの下面が平面状であって、前記支持基板及び前記発振用ICに当接させて前記封止空間の変動を抑制するスペーサ部材が設けられているとともに、前記圧電振動素子が導電性接着剤を介して前記支持基板又は前記発振用ICに実装されていて、前記導電性接着剤を前記スペーサ部材として用いることを特徴とする圧電発振器。 - 前記封止空間の外方で、前記支持基板上の接続パッドと発振用IC上の電極パッドとが導電性接合材を介して接続されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電発振器。
- 前記圧電振動素子が前記発振用ICの下面に実装されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電発振器。
- 前記封止部材がロウ材から成ることを特徴とする請求項1に記載の圧電発振器。
- 前記封止部材と前記導電性接合材とが同一の金属材料から成ることを特徴とする請求項2に記載の圧電発振器。
- 前記発振用ICの上面にシールド層が被着されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電発振器。
- 前記発振用ICの上面に電波吸収体層が被着されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電発振器。
- 前記支持基板はセラミック材料から成り、前記電波吸収体層の端部を前記発振用ICの側面に沿って前記支持基板まで延在させたことを特徴とする請求項7に記載の圧電発振器。
- 前記発振用IC及び前記支持基板が平面視して略同一であることを特徴とする請求項1に記載の圧電発振器。
- 複数の発振用ICを縦横に有してなるICウエハ上で、前記各発振用ICに対応する領域に圧電振動素子を搭載する工程Aと、
該工程Aで圧電振動素子が搭載されたICウエハを、複数の基板領域を有する母基板上に、前記圧電振動素子を気密封止する封止部材を介して接合することで集合圧電発振器を形成する工程Bと、
前記集合圧電発振器を切断して複数の圧電発振器を得る工程Cと、を含む圧電発振器の製造方法。 - 複数の基板領域を有する母基板上で、各前記基板領域に圧電振動素子を搭載する工程Dと、
該工程Dで前記圧電振動素子が搭載された前記母基板に、複数の発振用ICを縦横に有してなるICウエハを、前記圧電振動素子を気密封止する封止部材を介して接合することで集合圧電発振器を形成する工程Eと、
前記集合圧電発振器を切断して複数の圧電発振器を得る工程Fと、を含む圧電発振器の製造方法。 - 前記工程B及び前記工程Eにおいて、前記発振用IC及び前記基板領域に対応する領域外に、前記ICウエハ及び前記母基板に当接するスペーサ部材を設けることを特徴とする請求項10又は請求項11に記載の圧電発振器の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004375147A JP4578231B2 (ja) | 2004-11-25 | 2004-12-27 | 圧電発振器及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004341013 | 2004-11-25 | ||
JP2004375147A JP4578231B2 (ja) | 2004-11-25 | 2004-12-27 | 圧電発振器及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006180438A JP2006180438A (ja) | 2006-07-06 |
JP4578231B2 true JP4578231B2 (ja) | 2010-11-10 |
Family
ID=36734081
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004375147A Expired - Fee Related JP4578231B2 (ja) | 2004-11-25 | 2004-12-27 | 圧電発振器及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4578231B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4986529B2 (ja) * | 2006-07-31 | 2012-07-25 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 水晶発振器 |
JP2010153966A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-07-08 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 表面実装用の水晶発振器 |
JP2012050057A (ja) * | 2010-07-27 | 2012-03-08 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶発振器及びその製造方法 |
JP2018026649A (ja) * | 2016-08-09 | 2018-02-15 | 新日本無線株式会社 | 発振装置及びその製造方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04284006A (ja) * | 1991-03-13 | 1992-10-08 | Seiko Epson Corp | 圧電発振器 |
JPH04293310A (ja) * | 1991-03-22 | 1992-10-16 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置 |
JP2001007646A (ja) * | 1999-06-23 | 2001-01-12 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電発振器 |
JP2003017941A (ja) * | 2001-07-05 | 2003-01-17 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電発振器 |
JP2003017886A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-17 | Murata Mfg Co Ltd | 電波吸収体 |
JP2003332844A (ja) * | 2002-05-13 | 2003-11-21 | Seiko Epson Corp | 圧電発振器およびその製造方法 |
JP2004214787A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | Seiko Epson Corp | 圧電発振器およびその製造方法 |
-
2004
- 2004-12-27 JP JP2004375147A patent/JP4578231B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04284006A (ja) * | 1991-03-13 | 1992-10-08 | Seiko Epson Corp | 圧電発振器 |
JPH04293310A (ja) * | 1991-03-22 | 1992-10-16 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置 |
JP2001007646A (ja) * | 1999-06-23 | 2001-01-12 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電発振器 |
JP2003017886A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-17 | Murata Mfg Co Ltd | 電波吸収体 |
JP2003017941A (ja) * | 2001-07-05 | 2003-01-17 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電発振器 |
JP2003332844A (ja) * | 2002-05-13 | 2003-11-21 | Seiko Epson Corp | 圧電発振器およびその製造方法 |
JP2004214787A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | Seiko Epson Corp | 圧電発振器およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006180438A (ja) | 2006-07-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4545004B2 (ja) | 圧電発振器 | |
JP2006279872A (ja) | 圧電振動子及びその製造方法並びにその圧電振動子を用いた圧電発振器の製造方法 | |
JP2007060593A (ja) | 圧電デバイス及びその製造方法 | |
JP2005244639A (ja) | 温度補償型水晶発振器 | |
JP4578231B2 (ja) | 圧電発振器及びその製造方法 | |
JP4724518B2 (ja) | 圧電発振器 | |
JP4167557B2 (ja) | 圧電発振器の製造方法 | |
JP4585908B2 (ja) | 圧電デバイスの製造方法 | |
JP4380419B2 (ja) | 電子装置の製造方法 | |
JP4113465B2 (ja) | 温度補償型水晶発振器の製造方法 | |
JP4113459B2 (ja) | 温度補償型水晶発振器の製造方法 | |
JP4472445B2 (ja) | 圧電発振器の製造方法 | |
JP4549158B2 (ja) | 水晶発振器の製造方法 | |
JP4384567B2 (ja) | 温度補償型水晶発振器の製造方法 | |
JP2006129303A (ja) | 圧電発振器の製造方法 | |
JP4472479B2 (ja) | 圧電発振器、及びその製造方法 | |
JP4376148B2 (ja) | 圧電発振器 | |
JP2006101241A (ja) | 圧電発振器、及びその製造方法 | |
JP2007097040A (ja) | 圧電振動子及び圧電発振器 | |
JP4113460B2 (ja) | 温度補償型水晶発振器の製造方法 | |
JP2004297209A (ja) | 表面実装型圧電発振器 | |
JP2005210673A (ja) | 表面実装型水晶発振器 | |
JP2005244641A (ja) | 温度補償型水晶発振器 | |
JP4336213B2 (ja) | 圧電発振器 | |
JP2007300417A (ja) | 圧電発振器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070912 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100105 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100304 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100727 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100824 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130903 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130903 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130903 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |