JP2009253247A - 真空吸着装置用吸着体及び真空吸着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、平均気孔径が2〜5μmであり、かつ気孔率が30〜40%であるセラミック製平板から成る真空吸着装置用吸着体であって、該平板の少なくとも外周面の一部が、封孔剤により被覆されていることを特徴とする吸着体、及びセラミック製多孔質平板から成る吸着体(9)と該吸着体を載置する基盤(1)とを備え、かつ該基盤が、吸着体載置面に吸気溝(3)を有すると共に、該吸気溝と連通しかつ基盤外表面へと続く吸気通路(6)を基盤内部に有するところの真空吸着装置であって、該吸着体(9)が、上記真空吸着装置用吸着体であることを特徴とする装置である。
【選択図】図1
Description
(1)平均気孔径が2〜5μmであり、かつ気孔率が30〜40%であるセラミック製平板から成る真空吸着装置用吸着体であって、該平板の少なくとも外周面の一部が、封孔剤により被覆されており、かつ該封孔剤被覆厚が0.05〜2mmであることを特徴とする吸着体である。
(2)封孔剤による被覆が、該平板の外周面に施されているところの上記(1)記載の吸着体、
(3) 封孔剤による被覆が、該平板の外周面及び他の一面に施されているところの上記(1)記載の吸着体、
(4)平板外周面の封孔剤被覆厚が、0.05〜1mmであるところの上記(1)〜(3)のいずれか一つに記載の吸着体、
(5)平板外周面の封孔剤被覆厚が、0.05〜0.5mmであるところの上記(1)〜(3)のいずれか一つに記載の吸着体、
(6)封孔剤が、ガラス質物質及び樹脂より成る群から選ばれるところの上記(1)〜(5)のいずれか一つに記載の吸着体、
(7)ガラス質物質が、ガラス粉末、水ガラス及び無機質コーティング剤より成る群から選ばれるところの上記(6)記載の吸着体、
(8)樹脂が、フェノール樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、アルキド樹脂、ポリウレタン及び熱硬化性ポリイミドより成る群から選ばれるところの上記(6)記載の吸着体、
(9)平均気孔径が、2.5〜4μmであるところの上記(1)〜(8)のいずれか一つに記載の吸着体、
(10)気孔率が、30〜35%であるところの上記(1)〜(9)のいずれか一つに記載の吸着体
を挙げることができる。
(11)セラミック製多孔質平板から成る吸着体(9)と該吸着体を載置する基盤(1)とを備え、かつ該基盤(1)が、吸着体載置面(2)に吸気溝(3)を有すると共に、該吸気溝(3)と連通しかつ基盤外表面へと続く吸気通路(6)を基盤内部に有するところの真空吸着装置であって、該吸着体(9)が、上記(1)〜(10)のいずれか一つに記載の吸着体であることを特徴とする装置である。
(12)吸気通路(6)が、基盤外周表面へと続くところの上記(11)記載の装置
を挙げることができる。
各実施例及び比較例において使用した材料及び装置等は下記の通りである。
<材料>
ワラストナイト : FPW#800 (商標) 、キンセイマテック株式会社製
タルク : PSハイセラタルク (商標) 、ソブエクレー商事株式会社製
ネフェリン : MINEX#3 (商標)
、稲垣鉱業株式会社製
バインダー : エスレックKW-10 (商標) 、積水化学工業株式会社製
分散剤 : ポリスターA-1060 (商標)
、日油株式会社製
封孔ガラス : 粉末ガラスGA-12
(商標) 、日本電気硝子株式会社製
<装置>
マシニングセンター : 株式会社牧野フライス製作所製V33
平面研削盤 : 岡本工作機械製PSG63
三次元測定機 : 株式会社ミツトヨ製BRT707
<その他>
エポキシ系接着剤 : SG-EPO (商標) 、セメダイン株式会社製
メイルコネクター : 株式会社チヨダ製M5×0.8
真空ポンプ : DOP・80S (商標) 、株式会社アルバック製(排気量88L/min)
ワラストナイト、タルク及びネフェリンを、夫々、100質量部、10質量部及び10質量部の割合で混合した。次いで、バインダー4質量部、分散剤1質量部及び水120質量部を更に配合して、完全に混合されるまでよく攪拌した。このようにして得られたスラリー状混合物を、スプレードライヤーを使用して乾燥し顆粒を得た。得られた顆粒の径は約100μmであった。この顆粒を、成型圧力49MPaで一軸成型機により板状(360mm×360mm×25mm)に成形し、次いで、最高温度1210℃で2時間、大気雰囲気下に焼成して、ワラストナイト系多孔質セラミックを製造した。
得られた平均気孔径が2.6μm及び3.4μmであり、かつ気孔率が32%の二種類のワラストナイト系多孔質セラミックを使用して吸着体を製造した。
ステンレス鋼(SUS304、直径250mm×厚さ25mmの円形平板)に、平面研削盤にてレジンダイヤモンド砥石を用いた研削加工を施し、直径250mm、厚さ20mm及び平面度20μmのステンレス鋼製の円形平板を製造した。平面度は上記と同じく三次元測定機を使用して測定した値である。次いで、該平板に、マシニングセンターにてφ15超硬エンドミルを用いた切削加工を施し、直径を212mmとした。
上記のようにして製造した吸着体を、上記基盤の吸着体載置面にエポキシ系接着剤を使用して固定した。次いで、吸気通路の外周面開口部にメイルコネクター(連結具)を取り付け、真空ポンプとメイルコネクターを内径4mm、外径6mmのウレタンチューブ(真空ポンプ入口側配管)で連結した。
上記のようにして製造した、2種類の異なる平均気孔径を有するワラストナイト系多孔質セラミックの11種類の吸着体について、その被吸着体載置面の平面度を、三次元測定機を使用して測定した。
上記のようにして製造した11種類の吸着体について、夫々、吸着力を測定した。測定は、吸着体の被吸着体載置面の右半分をアクリル板で覆い、左半分を解放した状態で真空ポンプ(8)を起動して吸引した。逐次、真空度を測定し、一定となった時の真空度を測定して吸着力とした。ここで、真空度は真空ポンプ入口側配管(5)に取り付けた真空計により測定したものである。
この比較例において使用した材料及び装置等は下記の通りである。
<材料>
吸着体A : アルミナ質多孔質体FWA600
(商標) 、富士ケミカル株式会社製
吸着体B : アルミナ質多孔質体MP060
(商標) 、富士ケミカル株式会社製
封孔ガラス : 粉末ガラスGA-12
(商標) 、日本電気硝子株式会社製
<装置その他>
マシニングセンター、平面研削盤、三次元測定機、エポキシ系接着剤、メイルコネクター及び真空ポンプは、いずれも上記の実施例1で使用したものと同一である。
2 吸着体載置面
3 吸気溝
4 開口部
5 真空ポンプ入口側配管
6 吸気通路
7 連結具
8 真空ポンプ
9 吸着体
10 封孔剤による被覆
11 被吸着体
Claims (3)
- 平均気孔径が2〜5μmであり、かつ気孔率が30〜40%であるセラミック製平板から成る真空吸着装置用吸着体であって、該平板の少なくとも外周面の一部が、封孔剤により被覆されており、かつ該封孔剤被覆厚が0.05〜2mmであることを特徴とする吸着体。
- 封孔剤が、ガラス質物質及び樹脂より成る群から選ばれるところの請求項1記載の吸着体。
- セラミック製多孔質平板から成る吸着体(9)と該吸着体を載置する基盤(1)とを備え、かつ該基盤(1)が、吸着体載置面(2)に吸気溝(3)を有すると共に、該吸気溝(3)と連通しかつ基盤外表面へと続く吸気通路(6)を基盤内部に有するところの真空吸着装置であって、該吸着体(9)が、請求項1又は2記載の吸着体であることを特徴とする装置。
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