JP2007136569A - 真空チャック - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この真空チャック10は、無機質材料の粉粒体からなる骨材と骨材相互を連結する結合材とを焼結して形成され、表面に被加工物を吸着保持する吸着面13が設けられた多孔質吸着体12を有している。多孔質吸着体12の内部には、吸着面13に透過して連通する流体案内路16が形成されている。流体案内路16に真空ポンプ24により負圧空気を供給することにより被加工物は吸着面13に吸着保持され、流体案内路16に加圧ポンプ32から正圧流体を供給すると、被加工物は真空チャックから取り外される。
【選択図】図2
Description
11 ベース
12 多孔質吸着体
13 吸着面
14,15 封止層
16 流体案内路
17 吸着側領域
18 支持側領域
19 流路形成領域
21,22 連通ポート
23 接続ポート
24 真空ポンプ(真空供給源)
25 真空配管
31 液体容器
32 加圧ポンプ(加圧流体供給源)
33 液体配管
Claims (6)
- 被加工物を真空吸着する真空チャックであって、
無機質材料の粉粒体からなる骨材と当該骨材相互を連結する結合材との混合物を焼結して形成され、表面に被加工物を吸着保持する吸着面が設けられた多孔質吸着体を有し、
前記吸着面に透過して連通する流体案内路を前記多孔質吸着体の内部に形成し、
前記流体案内路に連通するとともに真空供給源に接続される連通ポートを前記多孔質吸着体に形成することを特徴とする真空チャック。 - 請求項1記載の真空チャックにおいて、前記吸着面に吸着保持された被加工物を前記吸着面から離す際に前記流体案内路に加圧流体を供給することを特徴とする真空チャック。
- 請求項1または2記載の真空チャックにおいて、前記流体案内路を前記多孔質吸着体の内部に格子状、同心円状または螺旋状に分散して形成することを特徴とする真空チャック。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の真空チャックにおいて、前記多孔質吸着体の中央部における流体の透過量と周辺部における流体の透過量とを相違させることを特徴とする真空チャック。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の真空チャックにおいて、前記流体案内路を前記吸着体の中央部における流体案内路と、周辺部における流体案内路との複数の独立案内路に分離し、前記吸着面に被加工物を吸着保持する際に、それぞれの独立案内路に時間差を持たせて真空を供給することを特徴とする真空チャック。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の真空チャックにおいて、前記流体案内路を前記多孔質吸着体の中央部における流体案内路と、周辺部における流体案内路との複数の独立案内路に分離し、前記吸着面に被加工物を吸着保持する際に、それぞれの独立案内路に供給される真空の圧力を相違させることを特徴とする真空チャック。
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